JP2881865B2 - フライング・プローブ・ヘッド - Google Patents
フライング・プローブ・ヘッドInfo
- Publication number
- JP2881865B2 JP2881865B2 JP30562189A JP30562189A JP2881865B2 JP 2881865 B2 JP2881865 B2 JP 2881865B2 JP 30562189 A JP30562189 A JP 30562189A JP 30562189 A JP30562189 A JP 30562189A JP 2881865 B2 JP2881865 B2 JP 2881865B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving coil
- magnetic circuit
- swing
- base
- probe head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はフライング・プローブ・ヘッド、特に、半導
体を実装する多層配線基板の検査に用いるフライング・
プローブ・ヘッドに関する。
体を実装する多層配線基板の検査に用いるフライング・
プローブ・ヘッドに関する。
従来のフライング・プローブ・ヘッドは、一端にプロ
ーブを取り付け、他端には永久磁石とヨークからなる磁
気回路の空隙内を磁束と直角な面内で直線運動するムー
ビングコイルを有し、フライング・プローブ・ヘッド全
体を保持するスライド・レールを含んで構成される。
ーブを取り付け、他端には永久磁石とヨークからなる磁
気回路の空隙内を磁束と直角な面内で直線運動するムー
ビングコイルを有し、フライング・プローブ・ヘッド全
体を保持するスライド・レールを含んで構成される。
次に従来のフライング・プローブ・ヘッドについて図
面を参照して詳細に説明する。
面を参照して詳細に説明する。
第２図は従来のフライング・プローブ・ヘッドの一例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
フライング・プローブ・ヘッド本体101の一端にはプ
ローブ103、他端には箱型のムービングコイル104が取り
付けられている。
ローブ103、他端には箱型のムービングコイル104が取り
付けられている。
ヘッド本体101はスライド・レール102に従い図中矢印
Ａのように直線運動し、被検査物（多層配線基板）109
のパッド100に当たる。
Ａのように直線運動し、被検査物（多層配線基板）109
のパッド100に当たる。
ヨーク152はＥの字の右側を上にした形状で、永久磁
石151はその両側の突起の上部の内側に位置して磁気回
路105を構成している。箱型のムービングコイル104はヨ
ーク152の中央の突起を取り巻いていて、その両側のコ
イルは磁気回路105の空隙内にあるため、ムービングコ
イル104に電流を流すことによりヘッド本体101を駆動出
来る。
石151はその両側の突起の上部の内側に位置して磁気回
路105を構成している。箱型のムービングコイル104はヨ
ーク152の中央の突起を取り巻いていて、その両側のコ
イルは磁気回路105の空隙内にあるため、ムービングコ
イル104に電流を流すことによりヘッド本体101を駆動出
来る。
上下速度を大きくするとパッド100へ当たる衝撃が大
きくなりパッド100が損傷するため、平行バネ111を設け
てある。しかし、平行バネ111の力の強さは通常固定で
ありパッド100の損傷の度合を調整することは困難であ
った。
きくなりパッド100が損傷するため、平行バネ111を設け
てある。しかし、平行バネ111の力の強さは通常固定で
ありパッド100の損傷の度合を調整することは困難であ
った。
上述した従来のフライング・プローブ・ヘッドは、上
下速度を大きくすると被検査物の損傷が大きくなり、損
傷の度合を調整することが困難であるという欠点があっ
た。
下速度を大きくすると被検査物の損傷が大きくなり、損
傷の度合を調整することが困難であるという欠点があっ
た。
本発明のフライング・プローブ・ヘッドは、一般にプ
ローブを取り付け他端に磁気回路の空隙内にあって磁束
と直角な面を揺動面とする揺動アームと、揺動の中心に
位置する揺動軸と、揺動中心を扇の要とする略扇型に前
記揺動面に前記揺動面で渦巻状に巻いた第一のムービン
グコイルと、前記第一のムービングコイルの位置を検出
する位置検出器と、前記第一のムービングコイルに磁束
を与える第一の磁気回路と、前記揺動中心の軸受けと前
記第一の磁気回路とを保持する第一のベースと、前記第
一のベースを支えるスライド・レールと、前記第一のベ
ースに設けられる第二のムービングコイルと、前記第二
のムービンクコイルに磁束を与える第二の磁気回路と、
前記スライド・レールと第二の磁気回路とを保持する第
二のベースとを含んで構成される。
ローブを取り付け他端に磁気回路の空隙内にあって磁束
と直角な面を揺動面とする揺動アームと、揺動の中心に
位置する揺動軸と、揺動中心を扇の要とする略扇型に前
記揺動面に前記揺動面で渦巻状に巻いた第一のムービン
グコイルと、前記第一のムービングコイルの位置を検出
する位置検出器と、前記第一のムービングコイルに磁束
を与える第一の磁気回路と、前記揺動中心の軸受けと前
記第一の磁気回路とを保持する第一のベースと、前記第
一のベースを支えるスライド・レールと、前記第一のベ
ースに設けられる第二のムービングコイルと、前記第二
のムービンクコイルに磁束を与える第二の磁気回路と、
前記スライド・レールと第二の磁気回路とを保持する第
二のベースとを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細
に説明する。
に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図である。
第１図に示すフライング・プローブ・ヘッドにおい
て、揺動アーム１は揺動軸２の周りに図中矢印Ｂのよう
に揺動可能であり、揺動アーム１の位置を位置検出器５
で検出する。
て、揺動アーム１は揺動軸２の周りに図中矢印Ｂのよう
に揺動可能であり、揺動アーム１の位置を位置検出器５
で検出する。
揺動アーム１の一端にはプローブ３、揺動軸２を挟ん
で他端には第一のムービングコイル41が取り付けられて
いる。磁石51は第一のムービングコイル41の両側面に位
置し、ヨーク61が各々の側の磁石51を保持して、第一の
磁気回路55を構成する。
で他端には第一のムービングコイル41が取り付けられて
いる。磁石51は第一のムービングコイル41の両側面に位
置し、ヨーク61が各々の側の磁石51を保持して、第一の
磁気回路55を構成する。
揺動軸２と磁気回路55（ヨーク61）とを保持している
のが第一のベース６である。
のが第一のベース６である。
第一のベース６は第二のムービングコイル42を有しス
ライド・レール７によって第二のベース８に取り付けて
ある。
ライド・レール７によって第二のベース８に取り付けて
ある。
磁石52は第二のムービングコイル42の両側面に位置
し、Ｅ型のヨーク62が各々の側の磁石52を保持して、第
二の磁気回路56を構成する。
し、Ｅ型のヨーク62が各々の側の磁石52を保持して、第
二の磁気回路56を構成する。
第一のムービングコイル41に流す電流は位置検出器５
により知り得た位置を保持する様、制御する。
により知り得た位置を保持する様、制御する。
第二のムービングコイル42はスライド・レール７に従
い図中矢印のように直接運動し、被検査物（多層配線基
板）９のパッド10に当たる。
い図中矢印のように直接運動し、被検査物（多層配線基
板）９のパッド10に当たる。
この時、揺動アーム１は第一のムービングコイル41に
流す電流は位置検出器５により知り得た位置を保持され
ており、この保持力の強さが第２の従来例に示した平行
バネ111の強さに相当する。
流す電流は位置検出器５により知り得た位置を保持され
ており、この保持力の強さが第２の従来例に示した平行
バネ111の強さに相当する。
本発明のフライング・プローブ・ヘッドは、プローブ
を取り付けた揺動アームと、この揺動アームに保持力を
与える機構を有するため、上下速度を大きくしたさいに
も被検査物の損傷を小さくするよう、損傷の度合を調整
することが可能であるという効果がある。
を取り付けた揺動アームと、この揺動アームに保持力を
与える機構を有するため、上下速度を大きくしたさいに
も被検査物の損傷を小さくするよう、損傷の度合を調整
することが可能であるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は従来
一例の斜視図である。 １……揺動アーム、２……揺動軸、3,103……プロー
ブ、41,42,104……ムービングコイル、５……位置検出
器、55,56,105……磁気回路、6,8……ベース、7,102…
…スライドレール、9,109……被検査物（多層配線基
板）、51,52,151……磁石、61,62,152……ヨーク、10,1
00……パッド、101……ヘッド本体、111……平行バネ。
一例の斜視図である。 １……揺動アーム、２……揺動軸、3,103……プロー
ブ、41,42,104……ムービングコイル、５……位置検出
器、55,56,105……磁気回路、6,8……ベース、7,102…
…スライドレール、9,109……被検査物（多層配線基
板）、51,52,151……磁石、61,62,152……ヨーク、10,1
00……パッド、101……ヘッド本体、111……平行バネ。
Claims (1)
- 【請求項１】一端にプローブを取り付け他端に磁気回路
の空隙内にあって磁束と直角な面を揺動面とする揺動ア
ームと、揺動の中心に位置する揺動軸と、揺動中心を扇
の要とする略扇型に前記揺動面に前記揺動面で渦巻状に
巻いた第一のムービングコイルと、前記第一のムービン
グコイルの位置を検出する位置検出器と、前記第一のム
ービングコイルに磁束を与える第一の磁気回路と、前記
揺動中心の軸受けと前記第一の磁気回路とを保持する第
一のベースと、前記第一のベースを支えるスライド・レ
ールと、前記第一のベースに設けられる第二のムービン
グコイルと、前記第二のムービングコイルに磁束を与え
る第二の磁気回路と、前記スライド・レールと第二の磁
気回路とを保持する第二のベースとを含むことを特徴と
するフライング・プローブ・ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30562189A JP2881865B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | フライング・プローブ・ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30562189A JP2881865B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | フライング・プローブ・ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03165272A JPH03165272A (ja) | 1991-07-17 |
| JP2881865B2 true JP2881865B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=17947345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30562189A Expired - Lifetime JP2881865B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | フライング・プローブ・ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2881865B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5241870A (en) * | 1991-07-22 | 1993-09-07 | Intest Corporation | Test head manipulator |
| JP3604610B2 (ja) * | 2000-03-06 | 2004-12-22 | 株式会社 東京ウエルズ | 測定プローブ駆動装置 |
-
1989
- 1989-11-24 JP JP30562189A patent/JP2881865B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03165272A (ja) | 1991-07-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080205 |
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