JP2005156976A5

JP2005156976A5 -

Info

Publication number: JP2005156976A5
Application number: JP2003395844A
Authority: JP
Filing date: 2003-11-26
Publication date: 2006-12-07
Anticipated expiration: 2023-11-26

Claims

光ビームを第一軸の周りに高速で偏向させるための第一偏向器と、光ビームを第一軸に直交する第二軸の周りに低速で偏向させるための第二偏向器と、第一偏向器を第二偏向器に固定するための固定機構とを有しており、第一偏向器は、偏向器チップと、偏向器チップを駆動する駆動手段とを有し、偏向器チップは、反射面を備えた可動部と、可動部の外側に位置する支持部と、可動部と支持部とを接続している接続部とを有し、接続部は、第一軸に沿って延びていて、第一軸の周りにねじり変形可能で、可動部が支持部に対して第一軸の周りに揺動することを可能にしており、偏向器チップは、半導体製造技術により作製されており、第二偏向器は、第二軸の周りに揺動可能な揺動軸を備えており、固定機構は、第二偏向器の揺動可能な揺動軸とほぼすき間なく係合する揺動軸固定穴を有する固定部材と、固定部材の揺動軸固定穴の径を狭めるための締結手段とを有し、締結手段により固定部材の揺動軸固定穴の径が狭められることで、固定部材が第二偏向器の揺動軸に固定され、固定部材は、さらに、第一偏向器が取り付けられる第一偏向器取付面を有し、第一偏向器取付面は、固定部材が第二偏向器の揺動軸に固定された状態で、第二軸に対してほぼ４５度の角度をなし、固定機構は、さらに、非駆動状態の可動部の反射面が固定部材の第一偏向器取付面にほぼ平行になるように、第一偏向器を固定部材に固定する固定手段を有している、二次元光偏向器。
請求項１において、第二偏向器を保持する保持機構をさらに有し、第二偏向器は、第二軸にほぼ一致する中心軸を有するほぼ円柱形状の外周部を有し、保持機構は、第二偏向器のほぼ円柱形状の外周部にほぼすき間なく係合する取付穴を有する保持部材と、保持部材の取付穴の径を狭めるための締め付け具とを有しており、締め付け具により保持部材の取付穴の径が狭められることで、第二偏向器が保持部材に保持され、第一偏向器と固定機構は、第二軸に直交して取付穴を横切る平面への投影において、取付穴の内側に位置している、二次元光偏向器。
請求項１において、相互に固定された第一偏向器と固定機構の全体の重心の位置は、固定部材の揺動軸固定穴の中心軸上にほぼ位置しており、従って、固定部材が第二偏向器の揺動軸に固定された状態では、第二偏向器の揺動軸の中心軸である第二軸上にほぼ位置する、二次元光偏向器。
請求項３において、固定部材は一つの部材で構成され、締結手段はほぼ同一の二つの締結具を有し、二つの締結具は第二軸を基準にしてほぼ対称に位置し、第二偏向器の揺動軸への固定部材の固定は主として一方の締結具でなされる、二次元光偏向器。
請求項１において、固定手段は三つの固定具を含んでおり、三つの固定具は共に、第一偏向器の側から、第一偏向器を固定部材に固定し、固定手段は、さらに、第一偏向器と固定部材の間隔を調整するための少なくとも一つの間隔調整部材を有している、二次元光偏向器。
請求項５において、固定手段は三つの間隔調整部材を有し、三つの間隔調整部材はそれぞれ三つの固定具の近くに設けられたネジである、二次元光偏向器。
請求項２において、さらに、第一偏向器に電気的かつ機械的に接続されたフレキシブルな配線部材を有しており、第一偏向器との接続部の反対側に位置する配線部材の端部は、保持部材に機械的に固定されている、二次元光偏向器。
請求項７において、第一偏向器と保持機構の間に延びている配線部材の空中引き回し部分が、第二偏向器の揺動軸にほぼ直交するひとつの平面に沿って延びている、二次元光偏向器。
請求項８において、配線部材が第二偏向器の揺動軸の周りに湾曲して延びている、二次元光偏向器。
請求項９において、配線部材はフレキシブル配線基板であり、空中引き回し部分の配線パターン形成面が第二偏向器の揺動軸にほぼ平行である、二次元光偏向器。
請求項１０において、第一偏向器との接続部分のフレキシブル配線基板の配線パターン形成面が、第一偏向器の反射面に対してほぼ４５度の角度をなしている、二次元光偏向器。
請求項１において、第一偏向器は電磁駆動型であり、駆動手段は、可動板に設けられた駆動コイルと、駆動コイルを横切る磁界を発生させる磁気回路とから構成され、磁気回路は、永久磁石と、永久磁石が固定される磁気ヨークとを有し、永久磁石は、その着磁方向が、第一軸にほぼ直交すると共に非駆動状態の可動部の反射面にほぼ平行になるように配置され、永久磁石は磁気ヨークに対して着磁方向と第一軸の両方にほぼ直交する方向に沿って一方の側に突出しており、永久磁石と磁気ヨークの固定は着磁方向にほぼ直交する面で主になされており、永久磁石の磁気ヨークから突出していない部分で着磁方向と第一軸の両方にほぼ直交する面の少なくとも一部もまた磁気ヨークに固定されている、二次元光偏向器。