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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine optische Ablenkeinrichtung.
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Eine
zweidimensionale optische Ablenkeinrichtung, die zweidimensional
Licht ablenkt, beinhaltet zwei Galvano-Ablenkeinrichtungen, die
orthogonal angeordnet sind und von denen jede über einen Spiegel verfügt. Wenn
eine solche zweidimensionale optische Ablenkeinrichtung physisch
einen Lichtstrahl ablenkt, verzerrt sich der geometrische Ort des Lichtstrahls
auf einer Bildebene.
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Das
US-Patent Nr. 4 838 632 offenbart
eine zweidimensionale optische Ablenkeinrichtung, die eine solche
Verzerrung verringert.
29 und
30 zeigen
die im
US-Patent Nr. 4 838 632 gezeigte
zweidimensionale optische Ablenkeinrichtung.
29 ist
eine Ansicht der zweidimensionalen optischen Ablenkeinrichtung,
betrachtet entlang einer Linie XXIX-XXIX in
30.
30 ist
eine Ansicht der zweidimensionalen optischen Ablenkeinrichtung,
betrachtet entlang einer Linie XXX-XXX in
29.
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Wie
in 29 und 30 gezeigt
ist, umfasst eine zweidimensionale optische Ablenkeinrichtung 500 eine
erste Ablenkeinrichtung 510 und eine zweite Ablenkeinrichtung 520.
Die erste Ablenkeinrichtung 510 umfasst einen bewegbaren
Abschnitt 512 mit einer Reflexionsfläche und einem Bügel 514, der
den bewegbaren Abschnitt 512 trägt, damit er um eine erste
Achse A1 schwingen kann. Die zweite Ablenkeinrichtung 520 lässt die
erste Ablenkeinrichtung 510 um eine zweite Achse A2 schwingen,
die senkrecht zu ersten Achse A1 liegt. Die erste Ablenkeinrichtung 510 ist
an der zweiten Ablenkeinrichtung 520 so fixiert, dass im
ablenkungsfreien Zustand die Reflexionsfläche des bewegbaren Abschnitts 512 einen Winkel
von 45° bezüglich der
zweiten Achse A2 bildet.
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Ein
einfallender Lichtstrahl LB1, der abgelenkt werden soll, fällt so auf
die erste Ablenkeinrichtung 510, dass er parallel zu der
zweiten Achse A2 ist. Ein Lichtstrahl LB2, der von der Reflexionsfläche des
bewegbaren Abschnitts 512 reflektiert wird, fällt durch
eine Linse 532 auf eine Bildebene 534.
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Die
zweidimensionale optische Ablenkeinrichtung 500 erzielt
eine Verringerung der Verzerrung des geometrischen Ortes eines Lichtstrahls
auf der Bildebene, trotz der Tatsache, dass die Ablenkeinrichtung
einfach aufgebaut und sehr kompakt ist.
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Bei
der zweidimensionalen optischen Ablenkeinrichtung 500 lässt die
zweite Ablenkeinrichtung 520 die erste Ablenkeinrichtung 510 in
einem Stück um
eine Schwingachse schwingen, die parallel zum einfallenden Lichtstrahl
ist. Aus diesem Grund sind die Größe, die Masse und das Trägheitsmoment
der ersten Ablenkeinrichtung 510 wichtige Faktoren bei der
Realisierung einer kompakten zweidimensionalen optischen Ablenkeinrichtung
mit einem einfachen Aufbau.
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Die
Beschreibung des
US-Patents Nr.
4 838 632 liefert jedoch keine Lehre und auch keinen Vorschlag
zur spezifischen Anordnung der ersten Ablenkeinrichtung. Darüber hinaus
liefert die Beschreibung weder eine Lehre noch einen Vorschlag bezüglich eines
Verfahrens zur Fixierung der ersten Ablenkeinrichtung
510 an
der zweiten Ablenkeinrichtung
520, so dass die Reflexionsfläche des
bewegbaren Abschnitts
512 im ablenkungsfreien Zustand einen
Winkel von 45° bezüglich der
zweiten Achse A2 bildet.
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Eine
zweidimensionale optische Ablenkeinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
umfasst eine erste Ablenkeinrichtung zum Ablenken eines Lichtstrahls
um eine erste Achse bei einer hohen Geschwindigkeit, einen zweite
Ablenkeinrichtung zum Ablenken eines Lichtstrahls um eine zur ersten
Achse senkrecht liegende, zweite Achse bei einer geringen Geschwindigkeit,
und einen Fixiermechanismus zum Fixieren der ersten Ablenkeinrichtung
an der zweiten Ablenkeinrichtung. Die erste Ablenkeinrichtung umfasst
ein Ablenkeinrichtungsplättchen
und eine Betätigungseinrichtung
zum Betätigen
des Ablenkeinrichtungsplättchens.
Das Ablenkeinrichtungsplättchen
umfasst einen bewegbaren Abschnitt mit einer Reflexionsfläche, ein
außerhalb
des bewegbaren Abschnitts angeordnetes Auflageteil und einen Verbindungsabschnitt,
der den bewegbaren Abschnitt mit dem Auflageteil verbindet. Der
Verbindungsabschnitt erstreckt sich entlang der ersten Achse und
ist dazu in der Lage, sich um die erste Achse zu verwinden, so dass
der bewegbare Abschnitt bezügliche
des Auflageteils um die erste Achse schwingen kann. Die zweite Ablenkeinrichtung
umfasst eine Drehwelle, die sich um die zweite Achse drehen kann.
Der Fixiermechanismus umfasst ein Fixierelement mit einer Drehwellenfixieröffnung,
an der die Drehwelle der zweiten Ablenkeinrichtung im Wesentlichen
ohne Spiel angreift, und einer Befestigungseinrichtung zum Verkleinern
eines Durchmessers der Drehwellenfixieröffnung des Fixierelements.
Der Durchmesser der Drehwellenfixieröffnung des Fixierelements wird
durch die Befestigungseinrichtung verkleinert, so dass das Fixierelement
an der Drehwelle der zweiten Ablenkeinrichtung fixiert ist. Das
Fixierelement umfasst darüber
hinaus eine erste Ablenkeinrichtungs-Anbrin gungsfläche, auf
der die erste Ablenkeinrichtung angebracht ist. Die erste Ablenkeinrichtungs-Anbringungsfläche bildet
einen Winkel von im Wesentlichen 45° bezüglich der zweiten Achse, wenn
das Fixierelement an der Drehwelle der zweiten Ablenkeinrichtung
fixiert ist. Der Fixiermechanismus umfasst darüber hinaus eine Fixiereinrichtung zum
Fixieren der ersten Ablenkeinrichtung am Fixierelement, so dass
die Reflexionsfläche
des bewegbaren Abschnitts in einem betätigungsfreien Zustand im Wesentlichen
parallel zur ersten Ablenkeinrichtungs-Anbringungsfläche des
Fixierelements liegt.
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Diese
Zusammenfassung der Erfindung beschreibt nicht unbedingt alle erforderlichen
Merkmale, so dass die Erfindung auch eine Teilkombination dieser
beschriebenen Merkmale sein kann.
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Die
Erfindung lässt
sich durch die folgende ausführliche
Beschreibung umfassender verstehen, wenn sie in Zusammenschau mit
den beigefügten Zeichnungen
betrachtet wird:
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1 ist
eine Seitenansicht einer zweidimensionalen optischen Ablenkeinrichtung
gemäß der ersten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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2 ist
eine Vorderansicht der in 1 gezeigten
zweidimensionalen optischen Ablenkeinrichtung;
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3 ist
eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel der in 1 und 2 gezeigten MEMS-Resonanzablenkeinrichtung
zeigt;
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4 ist
eine perspektivische Ansicht, die ein weiteres Beispiel der in 1 und 2 gezeigten
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung zeigt;
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5 ist
eine perspektivische Ansicht eines in 4 gezeigten
Metallsockels und Ablenkeinrichtungsplättchens, die bezüglich 4 umgedreht
ist;
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6 ist
eine in ihre Einzelteile zerlegte, perspektivische Ansicht der in 4 gezeigten MEMS-Resonanzablenkeinrichtung;
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7 ist
eine perspektivische Ansicht, die den in 1 und 2 gezeigten
Adapter zeigt;
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8 ist
eine Seitenansicht des in 7 gezeigten
Adapters;
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9 ist
eine Schnittansicht entlang einer Linie IX-IX des Adapters in 8;
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10 ist
eine Seitenansicht des Adapters wie 8, die einen
Zustand zeigt, in dem der Adapter an einer Galvano-Ablenkeinrichtung
fixiert ist und eine MEMS-Ablenkeinrichtung am Adapter angebracht
ist;
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11 ist
eine Ansicht, die einen Zustand zeigt, bevor die MEMS-Ablenkeinrichtung
am Adapterkörper
befestigt wird, wobei die MEMS-Ablenkeinrichtung am Adapterkörper befestigt
wird, indem ein Raumeinstellelement verwendet wird;
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12 ist
eine Ansicht, die einen Zustand zeigt, in dem die MEMS-Ablenkeinrichtung
am Adapterkörper
befestigt wird, wobei die MEMS-Ablenkeinrichtung am Adapterkörper befestigt
wird, indem das Raumeinstellelement verwendet wird;
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13 ist
eine Ansicht, die ein Beispiel eines Einstellmechanismus für den Raum
zwischen der MEMS-Ablenkeinrichtung und dem Adapterkörper zeigt;
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14 ist
eine Ansicht, die einen weiteren Adapter zeigt, der anstelle des
in 7 bis 9 gezeigten Adapters verwendet
werden kann;
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15 ist
eine Ansicht, die einen Halter zum Halten der in 1 und 2 gezeigten
Galvano-Ablenkeinrichtung zeigt;
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16 ist
eine Ansicht, die einen Zustand zeigt, bevor der Außenflächenabschnitt
der in 1 und 2 gezeigten Galvano-Ablenkeinrichtung
in eine Befestigungsöffnung
für die
Galvano-Ablenkeinrichtung in dem in 15 gezeigten
Haltekörper
eingepasst wird;
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17 ist
eine Ansicht, die einen Zustand zeigt, in dem der Außenflächenabschnitt
der in 1 und 2 gezeigten Galvano-Ablenkeinrichtung
in die Befestigungsöffnung
für die
Galvano-Ablenkeinrichtung in dem in 15 gezeigten
Haltekörper
eingepasst ist;
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18,
die ähnlich
der Ansicht von 17 ist, zeigt einen Halter,
an dem vorab ein Verdrahtungsfixierelement befestigt ist;
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19 ist
eine perspektivische Ansicht einer zweidimensionalen optischen Ablenkeinrichtung
gemäß der zweiten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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20 ist
eine perspektivische Ansicht des Hauptteils der in 19 gezeigten
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung (Abschnitte ohne einen Magnetkreis,
d.h. einen Metallsockel, ein Ablenkeinrichtungsplättchen und
eine flexible Platine);
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21 ist
eine Seitenansicht des Metallsockels, des Ablenkeinrichtungsplättchens
und der flexiblen Platine, die in 20 gezeigt
sind;
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22 ist
eine perspektivische Ansicht einer Modifikation des Metallsockels
und einer starren Platine;
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23 ist
eine perspektivische Ansicht eines Magnetkreises in der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung
gemäß der zweiten
Ausführungsform;
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24 ist
eine Schnittansicht entlang einer Linie XXIV-XXIV des Magnetkreises
von 23;
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25 ist
eine Unteransicht des in 23 gezeigten
Magnetkreises;
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26,
die eine Schnittansicht ähnlich
der in 24 ist, zeigt den Magnetkreis
in der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung gemäß der ersten Ausführungsform;
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27 ist
eine Ansicht, die eine Modifikation des in 23 bis 25 gezeigten
Magnetkreises zeigt;
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28 ist
eine perspektivische Ansicht der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung
gemäß der zweiten
Ausführungsform
in einem zusammengebauten Zustand;
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29 ist
eine Ansicht der im
US-Patent
Nr. 4 838 632 veröffentlichten
zweidimensionalen optischen Ablenkeinrichtung, entlang einer Linie XXIX-XXIX
in
30 betrachtet; und
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30 ist
eine Ansicht der im
US-Patent
Nr. 4 838 632 veröffentlichten
zweidimensionalen optischen Ablenkeinrichtung, entlang einer Linie XXIX-XXIX
in
29 betrachtet.
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Die
Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die
Ansichten der beigefügten
Zeichnungen beschrieben. In dieser Beschreibung umfasst der Begriff „Ablenkeinrichtung" einen Scanner und
einen Schalter.
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Erste Ausführungsform
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1 ist
eine Seitenansicht einer zweidimensionalen optischen Ablenkeinrichtung
gemäß der ersten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. 2 ist eine
Vorderansicht der in 1 gezeigten zweidimensionalen
optischen Ablenkeinrichtung.
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Wie
in 1 und 2 gezeigt ist, umfasst die zweidimensionale
optische Ablenkeinrichtung gemäß dieser
Ausführungsform
eine Galvano-Ablenkeinrichtung 110, eine MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 und
einen Adapter 120 zum Fixieren der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 an
der Galvano-Ablenkeinrichtung 110.
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Die
Galvano-Ablenkeinrichtung 110 dient dazu, einen einfallenden
Lichtstrahl LB1 mit relativ geringer Geschwindigkeit um die X-Achse
abzulenken. Die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 dient dazu,
den einfallenden Lichtstrahl LB1 mit relativ hoher Geschwindigkeit
um eine zur X-Achse senkrecht liegende Y-Achse abzulenken.
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Die
Galvano-Ablenkeinrichtung 110 umfasst eine Drehwelle 112,
die sich um die X-Achse drehen kann. Die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 ist an
der Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 durch
den Adapter 120 fixiert.
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Obwohl
dies später
ausführlich
beschrieben werden wird, hat die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 eine
Reflexionsfläche 240 zur
Reflexion des einfallenden Lichtstrahls LB1. Die Reflexionsfläche 240 kann
um die Y-Achse schwingen. Der Adapter 120 fixiert die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 an
der Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110,
so dass in einem betätigungsfreien
Zustand (neutralen Zustand) die Reflexionsfläche der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 einen
Winkel von im Wesentlichen 45° bezüglich der
X-Achse bildet.
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Bei
dieser zweidimensionalen optischen Ablenkeinrichtung wandert der
einfallende Lichtstrahl LB1 auf einer Verlängerung der Mittelachse der
Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110,
d.h. auf der X-Achse, und wird durch die Reflexionsfläche 240 der
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 reflektiert.
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Ein
reflektierter Lichtstrahl LB2 wird um die Y-Achse abgelenkt, und
zwar in Entsprechung mit dem Schwingen der Reflexionsfläche 240 der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 um
die Y-Achse, wie in 1 gezeigt ist. Der reflektierte Lichtstrahl
LB2 wird auch um die X-Achse abgelenkt, und zwar in Entsprechung
mit dem Schwingen der Reflexionsfläche 240 der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 um
die X-Achse, wobei das Schwingen der Reflexionsfläche 240 durch
das Drehen der Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 um
die X-Achse verursacht wird, wie in 2 gezeigt ist.
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3 ist
eine perspektivische Ansicht eines Beispiels der in 1 und 2 gezeigten MEMS-Resonanzablenkeinrichtung.
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Wie
in 3 gezeigt ist, umfasst die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 einen
Magnetkreis 210, der ein Magnetfeld erzeugt, ein Ablenkeinrichtungsplättchen 230 und
einen Metallsockel 248, der das Ablenkeinrichtungsplättchen 230 hält. Die
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 umfasst auch eine flexible
Verdrahtungsplatine 246 für die Eingang und Ausgang elektrischer
Signale in die bzw. aus der externen Einheit.
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Das
Ablenkeinrichtungsplättchen 230 umfasst
eine bewegbare Platte 232, zwei Auflageteile 236,
die sich außerhalb
der bewegbaren Platte 232 befinden, und zwei Torsionsstäbe 234,
die die bewegbare Platte 232 mit den Auflageteilen 236 verbinden.
Die beiden Torsionsstäbe 234 erstrecken
sich beide auf einer im Wesentlichen geraden Linie entlang der Y-Achse.
Die Torsionsstäbe 234 sind
in der Lage, sich um die Y-Achse zu verwinden und ermöglichen,
dass die bewegbare Platte 232 bezüglich der Auflageteile 236 um
die Y-Achse schwingen kann. Die Auflageteile 236 sind mit
einem Klebstoff am Metallsockel angebracht.
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Die
Reflexionsfläche 240 ist
an der Oberseite der bewegbaren Platte 232 gebildet. Die
bewegbare Platte 232 hat an der Unterseite eine Antriebsspule 242,
die nahe des Randes der bewegbaren Platte 232 verläuft. 3 zeigt
die Antriebsspule 242 zum Zwecke der Veranschaulichung,
obwohl man die Spule tatsächlich
nicht sieht, da sie sich an der Unterseite der bewegbaren Platte 232 befindet.
Die zwei Endabschnitte der Antriebsspule 242 verlaufen
durch einen Torsionsstab 234 und sind elektrisch jeweils
mit einem Elektrodenfeld 244 verbunden, die sich auf dem
Auflageteil 236 befinden. 3 zeigt
auch die Elektrodenfelder 244 zum Zwecke der Veranschaulichung,
obwohl man sie tatsächlich
nicht sieht, da sie sich an der Unterseite der bewegbaren Platte 232 befinden.
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Das
Ablenkeinrichtungsplättchen 230 wird einstückig aus
einem Einkristall-Siliziumsubstrat durch Ätzen unter
Verwendung des MEMS-Verfahrens gebildet, das sich durch Anwendung
eines Halbleiter-Herstellungsprozesses etabliert hat.
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Der
Magnetkreis 210 umfasst zwei Permanentmagnete 212 und
ein Magnetjoch 214, an dem die Permanentmagnete 212 fixiert
sind. Die beiden Permanentmagnete 212 sind an den beiden
Seiten der bewegbaren Platte 232 angeordnet. In diesem Fall
sind die beiden Permanentmagnete 212 so angeordnet, dass
ihre Magnetisierungsrichtungen in einem betätigungsfreien Zustand im Wesentlichen senkrecht
zu der Richtung sind, in die sich die Torsionsstäbe 234 erstrecken,
und im Wesentlichen parallel zur Reflexionsfläche des bewegbaren Abschnitts. Das
heißt,
der Magnetkreis 210 erzeugt ein Magnetfeld, das in einem
betätigungsfreien
Zustand im Wesentlichen parallel zur Reflexionsfläche 240 der
bewegbaren Platte 232 und im Wesentlichen senkrecht zur
Längsrichtung
(Erstreckungsrichtung) der Torsionsstäbe 234 ist.
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Wenn
in der Antriebsspule 242 ein Strom fließt, wirken nach der 3-Finger-Regel in einem betätigungsfreien
Zustand entgegengesetzte Kräfte
auf die beiden Abschnitte der Antriebsspule 242, die parallel
zu den Torsionsstäben 234 liegen, und
zwar in eine Richtung senkrecht zur Reflexionsfläche 240 der bewegbaren
Platte 232. Das heißt,
es wird ein Kräftepaar
um die X-Achse erzeugt. Das Kräftepaar verleiht
der bewegbaren Platte 232 ein Drehmoment. Die bewegbare
Platte 232 kippt um die Y-Achse, in Entsprechung mit dem
Verhältnis
zwischen dem Drehmoment und der Reaktionskraft der Torsionsstäbe 234.
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Die
Größe der Kraft,
die auf die Antriebsspule 242 wirkt, hängt von der Stärke des
Stroms ab, der in der Antriebsspule 242 fließt. Darüber hinaus
hängt die
Richtung der Kraft, die auf die Antriebsspule 242 wirkt,
von der Richtung des Stroms ab, der in der Antriebsspule 242 fließt. Wenn
somit der Strom, der in der Antriebsspule 242 fließt, ein
Wechselstrom ist, kippt die bewegbare Platte 232 innerhalb
eines vorbestimmten Winkelbereichs wiederholt im Uhrzeigersinn und
entgegen dem Uhrzeigersinn. Das heißt, die bewegbare Platte 232 schwingt
um die Y-Achse.
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Wie
vorstehend beschrieben, bilden der Magnetkreis 210 und
die Antriebsspule 242 eine Betätigungseinrichtung bzw. einen
Aktuator, der die bewegbare Platte 232 schwingen lässt.
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Die
Resonanzfrequenz des Ablenkeinrichtungsplättchens 230 hängt von
dem Trägheitsmoment
der bewegbaren Platte 232 und der Torsionssteifigkeit der
Torsionsstäbe 234 ab.
Die Zuführung eines
Wechselstroms mit einer dieser Resonanzfrequenz entsprechenden Frequenz
zur Antriebsspule 232 macht es möglich, mit einem niedrigen
Betätigungsstrom
einen großen
Ablenkwinkel zu erzielen.
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4 ist
eine perspektivische Ansicht, die ein weiteres Beispiel der in 1 und 2 gezeigten
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung zeigt. 5 ist eine
perspektivische Ansicht des Metallsockels und Ablenkeinrichtungsplättchens,
die in 4 gezeigt sind. Diese Ansicht ist bezüglich 4 umgedreht. 6 ist
eine in ihre Einzelteile zerlegte, perspektivische Ansicht der in 4 gezeigten MEMS-Resonanzablenkeinrichtung.
In den 4 bis 6 stellen Elemente, die mit
der gleichen Bezugszahl versehen sind wie in 3, die gleichen
Elemente wie in 3 dar, und eine ausführliche
Beschreibung derselben unterbleibt.
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Da
die Einzelheiten der in
4 bis
6 gezeigten
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung in der Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnr.
US 2002/0060830 A1 offenbart
sind, wird hier nur ein Überblick
von dieser gegeben. Der Aufbau und die Betriebsweise der in
4 bis
6 gezeigten MEMS-Resonanzablenkeinrichtung
sind im Wesentlichen gleich denen der in
3 gezeigten MEMS- Resonanzablenkeinrichtung.
Bei der folgenden Beschreibung liegt der Schwerpunkt auf den Unterschieden
zwischen diesen Ablenkeinrichtungen.
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Wie
in 4 bis 6 gezeigt ist, ist bei der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 das
Ablenkeinrichtungsplättchen 230 so
an einem Metallsockel 250 fixiert, dass die Reflexionsfläche 240 dem
Metallsockel 250 zugewandt ist. Der Metallsockel 250 hat eine Öffnung 252.
Wie z. B. in 4 gezeigt ist, liegt die Reflexionsfläche 240 über die Öffnung 252 des Metallsockels 250 frei.
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Noch
genauer, wie in 5 gezeigt, verfügt der Metallsockel 250 über Vorsprünge 264,
an dem die Auflageteile 236 des Ablenkeinrichtungsplättchens 230 fixiert
sind. Die Auflageteile 236 sind mit einem Klebstoff so
an den Vorsprüngen
fixiert, dass die zu den Flächen,
auf denen die Elektrodenfelder 244 gebildet sind, entgegengesetzten
Flächen
der Auflageteile 236, d.h. dieselbe Fläche auf der bewegbaren Platte 232 wie
die, auf der die Reflexionsfläche 240 gebildet
ist, mit den Oberseiten der Vorsprünge in Kontakt sind.
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Bei
dem Ablenkeinrichtungsplättchen 230 der
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 befinden sich die beiden
Elektrodenfelder 244 jeweils auf den beiden Auflageteilen 236.
Ein Verdrahtungselement 260, das eine starre Platine 262 und
die flexible Verdrahtungsplatine 246 umfasst, ist auf dem
Metallsockel 250 angebracht. Die beiden Endabschnitte der starren
Platine 262 sind jeweils in der Nähe der beiden Auflageteile 236 angebracht
und durch Drahtbondstellen 266 elektrisch mit den Elektrodenfeldern 244 auf
den Auflageteilen 236 verbunden. Die flexible Verdrahtungsplatine 246 ist
elektrisch mit einem Mittelabschnitt der starren Platine 262 verbunden.
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Der
Montagevorgang für
das Ablenkeinrichtungsplättchen
230 auf
dem Metallsockel
250 ist zum Beispiel in der Patentanmeldung
mit der Veröffentlichungsnr.
US 2002/0060830 A1 offenbart.
Gemäß dem in
dieser Referenz dargelegten Montagevorgang wird zuerst das Verdrahtungselement
260 mit dem
Metallsockel
250 verbunden. Dann wird das Ablenkeinrichtungsplättchen
230 mit
dem Metallsockel
250 verbunden. Zu diesem Zeitpunkt verfügt das Ablenkeinrichtungsplättchen
230 über einen
Auflagerahmen, der die bewegbare Platte
232 umgibt, obwohl
dies in
5 nicht dargestellt ist. Die
Abschnitte des Auflagerahmens, die nicht mit den Vorsprüngen
264 in
Kontakt sind, werden durch Abschneiden entfernt und die verbleibenden
Abschnitte werden zu den Auflageteilen
236, die in
5 gezeigt
sind.
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Der
Montagevorgang ist jedoch nicht hierauf beschränkt. Zum Beispiel kann, wenn
das Ablenkeinrichtungsplättchen 230 mit
dem Metallsockel 250 verbunden ist und der Auflagerahmen
teilweise entfernt wurde, das Verdrahtungselement 260 mit
dem Metallsockel 250 verbunden werden.
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Das
Verdrahtungselement 260 ist vorzugsweise ein Element, das
erhalten wird, indem die starre Platine 262 und die flexible
Verdrahtungsplatine 246 in einem Stück gebildet werden. Die vorliegende Erfindung
ist jedoch nicht hierauf beschränkt.
Das Verdrahtungselement 260 kann zum Beispiel eine Anordnung
haben, bei der flexible Anschlussleitungen mit der starre Platine 262 verlötet sind.
Für das Löten ist
es erforderlich, eine bestimmte Fläche auf der starren Platine 262 zu
gewährleisten.
Im Gegensatz dazu ist bei Verwendung des Verdrahtungselements 260,
das erhalten wird, indem man die starre Platine 262 und
die flexible Verdrahtungsplatine 246 in einem Stück bildet,
ein spezieller Bereich für
den Verbindungsabschnitt zwischen der starren Platine 262 und
der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 nicht mehr erforderlich;
die Verwendung des Verdrahtungselements ist somit dahingehend geeignet,
die Gesamtfläche
der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 zu verringern. Dies
trägt zu
einer Verringerung der Fläche
des Metallsockels 250 in 5 bei, d.h.
zu einer Verringerung der Gesamtgröße und des Gesamtgewichts der
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200.
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Die
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 ist fertiggestellt,
wenn der Metallsockel 250, auf dem das Ablenkeinrichtungsplättchen 230 und
das Verdrahtungselement 260 angebracht sind, wie in 6 gezeigt,
mit dem Magnetkreis 210 verbunden werden. Bei der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 umfasst
der Magnetkreis 210 zusätzlich
zu dem Magnetjoch 214 ein Mitteljoch 218, an dem
die Permanentmagnete 212 fixiert sind.
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Der
Metallsockel 250 und der Magnetkreis 210 sind
miteinander z. B. durch drei nichtmagnetische oder schwach magnetische
Schrauben 254 (siehe 4) verbunden,
die durch drei Magnetkreis-Fixieröffnungen 256, die
in dem Metallsockel 250 gebildet sind, hindurchgehen. Der
Metallsockel 250 hat zum Beispiel drei externe Fixieröffnungen 258 zusätzlich zu
den Magnetkreis-Fixieröffnungen 256.
Die externen Fixieröffnungen 258 werden
dazu verwendet, die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 am
Adapter 120 zu fixieren.
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Wie
vorstehend beschrieben, macht es die Verwendung der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 als
Hochgeschwindigkeits-Resonanzablenkeinrich tung möglich, verglichen mit dem Stand
der Technik eine starke Verringerung der Größe zu erzielen.
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7 ist
eine perspektivische Ansicht des in 1 und 2 gezeigten
Adapters. 8 ist eine Seitenansicht des
in 7 gezeigten Adapters. 9 ist eine
Schnittansicht entlang einer Linie IX-IX des Adapters in 8; 10 ist
eine Seitenansicht des Adapters wie 8 und zeigt
einen Zustand, in dem der Adapter an der Drehwelle der Galvano-Ablenkeinrichtung
fixiert ist, und am Adapter eine MEMS-Ablenkeinrichtung angebracht
ist.
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Wie
in 10 gezeigt ist, umfasst der Adapter 120,
der einen Fixiermechanismus für
die Fixierung der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 an der
Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 umfasst,
einen Adapterkörper 122,
Schrauben 140 zur Fixierung des Adapterkörpers 122 an
der Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110, und
Schrauben 142 zur Fixierung der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 am
Adapterkörper 122.
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Wie
in 7 gezeigt ist, umfasst der Adapterkörper 122 eine
Drehwellen-Fixieröffnung 132,
die an der Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 im
Wesentlichen ohne Spiel angreift und eine MEMS-Ablenkeinrichtungs-Anbringungsfläche 124, an
der die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 angebracht ist.
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Wie
in 8 gezeigt, verfügt der Adapterkörper 122 über einen
Drehwellen-Befestigungsabschnitt 130,
bei dem der Durchmesser der Drehwellen-Fixieröffnung 132 verringert
werden kann. Wie in 8 und 9 gezeigt,
sind nahe dem Drehwellen-Befestigungsabschnitt 130 Schlitze 134 und 128 gebildet.
Der Schlitz 134 ermöglicht
eine Verringerung des Durchmessers der Drehwellen-Fixieröffnung 132.
Der Schlitz 128 erleichtert eine Verringerung des Durchmessers
der Drehwellen-Fixieröffnung 132 des
Drehwellen-Befestigungsabschnitts 130 und verhindert effektiv,
dass eine Verformung des Drehwellen-Befestigungsabschnitts 130 die MEMS-Ablenkeinrichtungs-Anbringungsfläche 124 beeinträchtigt.
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Wie
in 9 gezeigt, verfügt der Drehwellen-Befestigungsabschnitt 130 über zwei
Schraubenöffnungen 136 und 138,
die bezüglich
der Drehwellen-Fixieröffnung 132 symmetrisch
sind. Die Schraubenöffnung 136 nimmt
eine Schraube 140 auf, die vor allem dazu beiträgt, den
Drehwellen-Befestigungsabschnitt 130 an der Drehwelle 112 der
Galvano-Ablenkeinrichtung 110 anzubringen. Die Schraubenöffnung 138 nimmt
eine Schraube 140 auf, die für eine symmetrische Gewichtsverteilung
bezüglich
der Drehwellen-Fixieröffnung 132 verwendet
wird.
-
Der
Adapterkörper 122 wird
auf folgende Weise an der Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 fixiert.
Die Schraube 140 wird in der Schraubenöffnung 136 befestigt,
wobei die Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 in
die Drehwellen-Fixieröffnung 132 eingeführt ist.
Bei diesem Vorgang verringert sich der Durchmesser der Drehwellen-Fixieröffnung 132 des
Drehwellen-Befestigungsabschnitts 130, so dass der Abstand
zwischen der Drehwellen-Fixieröffnung 132 und
der Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 verschwindet.
In der Folge ist der Adapterkörper 122 zuverlässig an
der Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 fixiert.
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Eine
weitere Schraube 140 wird in der Schraubenöffnung 138 befestigt.
Bei diesem Vorgang befindet sich der Schwerpunkt G im Wesentlichen
auf der Drehachse, sogar wenn die Schrauben 140 in den
Schraubenöffnungen 136 und 138 in
einem Zustand befestigt sind, in dem die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 am
Adapter 120 fixiert ist und ein Schwerpunkt G im Wesentlichen
auf einer zentralen Achse 132a liegt. In diesem Zustand
wird die Massenkraft (Zentrifugalkraft), die beim Schwingen der
Galvano-Ablenkeinrichtung 110 erzeugt wird, im Wesentlichen
zu Null, wodurch eine unnötige
Resonanz unterdrückt
wird.
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Wie
vorstehend beschrieben, dient die Schraube 140 als Befestigungseinrichtung
oder Verbindungselement zur Verringerung des Durchmessers der Drehwellen-Fixieröffnung 132 des
Adapterkörpers 122.
Der Durchmesser der Drehwellen-Fixieröffnung 132 des Fixierelements
wird durch die Schraube 140 verringert, so dass der Adapterkörper 122 an
der Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 fixiert
ist.
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Wie
in 8 gezeigt, bildet die auf dem Adapterkörper 122 gebildete
MEMS-Ablenkeinrichtungs-Anbringungsfläche 124 einen
Winkel von im Wesentlichen 45° bezüglich der
Mittelachse 132a der Drehwellen-Fixieröffnung 132. Somit
bildet die MEMS-Ablenkeinrichtungs-Anbringungsfläche 124 in einem Zustand,
in dem der Adapter 120 an der Drehwelle 112 der
Galvano-Ablenkeinrichtung 110 fixiert ist, einen Winkel
von im Wesentlichen 45° bezüglich der
Mittelachse der Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110,
d.h. bezüglich
der X-Achse.
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Zum
Beispiel verfügt
der Adapterkörper 122 über drei
Gewinde 126 an der MEMS-Ablenkeinrichtungs-Anbringungsfläche 124.
Die in 4 bis 6 gezeigte MEMSResonanzablenkeinrichtung 200 wird am
Adapter 120 beispielsweise dadurch fixiert, dass die in
die Gewinde 126 eingreifenden Schrauben 142, die
sich durch die in dem Metallsockel 250 gebildeten externen
Fixieröffnungen 258 erstre cken,
festgezogen werden. Die Schrauben 142 sind vorzugsweise
nichtmagnetisch oder schwach magnetisch. Die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 in 3 wird
am Adapter 120 durch Verwendung der externen Fixieröffnungen
(nicht gezeigt), die im Metallsockel 248 gebildet sind,
fixiert.
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Genauer
gesagt wird die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 so am
Adapterkörper 122 fixiert,
dass die Reflexionsfläche 240 der
bewegbaren Platte 232 in einem betätigungsfreien Zustand im Wesentlichen
parallel zur MEMS-Ablenkeinrichtungs-Anbringungsfläche 124 des
Adapterkörpers 122 liegt.
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Wie
vorstehend beschrieben, dienen die Schrauben 142 als Fixiereinrichtung
oder Fixiermittel zur Fixierung der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 am
Adapterkörper 122 und
ermöglichen,
dass die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 am Adapterkörper 122 so
fixiert werden kann, dass die Reflexionsfläche 240 der bewegbaren
Platte 232 in einem betätigungsfreien
Zustand im Wesentlichen parallel zur MEMS-Ablenkeinrichtungs-Anbringungsfläche 124 des
Adapterkörpers 122 liegt.
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Wie
in 10 gezeigt ist, liegt, während der Adapter 120 und
die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 aneinander
fixiert sind, der Gesamtschwerpunkt G des Adapters 120 und
der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 vorzugsweise im
Wesentlichen auf der Mittelachse 132a der Drehwellen-Fixieröffnung 132 des
Adapterkörpers 122.
In diesem Fall liegt der Gesamtschwerpunkt G des Adapters 120 und
der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 im Wesentlichen
auf der Mittelachse der Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110,
d.h. auf der X-Achse, während
der Adapter 120 an der Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 fixiert
ist.
-
Der
Adapterkörper 122 verfügt vorzugsweise über eine
zylindrische Seitenfläche.
Der Adapterkörper 122 wird
hergestellt, indem zum Beispiel ein zylindrisches Element unter
45° bezüglich der
Mittelachse 132a zerschnitten wird. Wenn das zylindrische Element
einfach unter 45° zerschnitten
wird, weicht der Schwerpunkt G von der Mittelachse 132a ab. Wenn
das Element jedoch in eine Form wie in 10 gezeigt
geschnitten wird (eine so genannte "D-Schnitt-Form" in 9), kann
dafür gesorgt
werden, dass die Position des Schwerpunkts G mit der Mittelachse 132a zusammenfällt.
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Mit
anderen Worten und unter Bezugnahme auf 10 hat
der Adapterkörper 122 als
MEMS-Ablenkeinrichtungs-Anbringungsfläche 124 eine Stirnfläche, die
so geformt ist, dass sie einen Winkel von 45° bezüglich der Mittelachse 132a bildet,
und das andere Ende (an der Seite der Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110)
hat eine Form, die gebildet wird, indem ein Teilbereich des Adapterkörpers 122 von
einer Seitenfläche
zur Mitte hin abgeschnitten wird, so dass der abgeschnittene Abschnitt einen
Teil der Seitenfläche
des Adapterkörpers 122 enthält, der
die größte Länge entlang
der Mittelachse 132a enthält.
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Damit
die Form des Adapterkörpers
leicht verstanden wird, wurde das Verfahren zu dessen Herstellung
aus dem zylindrischen Element gegeben. Ein Adapterkörper kann
jedoch durch ein anderes Verfahren hergestellt werden. Bei der vorstehenden
Beschreibung werden die Begriffe „schneiden" und „entfernen" verwendet, um die Form des fertigen Produkts
im Vergleich zu dem zylindrischen Element vor der Verarbeitung zu
erklären
und stellen keine Einschränkung
bezüglich
des zu verwendenden Herstellungsverfahrens dar. Ein Adapterkörper kann durch
ein anderes Herstellungsverfahren hergestellt werden, wie zum Beispiel
Spritzgießen,
so lange die Form am Schluss ähnlich
der oben beschriebenen Form ist.
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Das
heißt,
der Adapterkörper 122 ist
im Allgemeinen zylindrisch, hat als MEMS-Ablenkeinrichtungs-Anbringungsfläche 124 eine
Stirnfläche
mit einem Winkel von 45° bezüglich der
Mittelachse 132a, und hat einen Ausschnitt in der Nähe der anderen Stirnfläche, die
zu der um 45° geneigten
Stirnseite entgegengesetzt ist, wobei der Ausschnitt einen Teil der
Seitenfläche
umfasst, die die größte Länge entlang
der Mittelachse 132a des Adapterkörpers 122 hat.
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11 und 12 zeigen,
wie die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung am Adapterkörper fixiert
ist, indem ein Raumeinstellelement verwendet wird. 11 zeigt
einen Zustand, bevor die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung am Adapterkörper fixiert
wird. 12 zeigt einen Zustand, nachdem die
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung am Adapterkörper fixiert wurde.
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Wie
in 11 und 12 gezeigt,
kann, wenn die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 am Adapterkörper 122 zu
fixieren ist, ein Abstandshalter 144 zwischen die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 und
den Adapterkörper 122 eingefügt werden,
um den Winkel der Reflexionsfläche 240,
die auf der bewegbaren Platte 232 der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 vorgesehen
ist (Neutralstellung), in einem betätigungsfreien Zustand einer vorbestimmten
Neigung (z. B. 45°)
der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 bezüglich der Drehwelle 112 anzugleichen.
Wenn der Abstandshalter 144 in der Nähe von mindestens einer der
drei Schrauben 142 eingefügt wird, wenn die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 am
Adapterkörper 122 mit
den drei Schrauben 142 angebracht ist, kann die Reflexionsfläche 240 der
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 bezüglich der Drehwelle 112 der
Galvano-Ablenkeinrichtung
genau positioniert werden. Es ist festzuhalten, dass die Anbringungsposition
des Abstandshalters 144 nicht auf die Position in der Nähe der Schraube 142 beschränkt ist.
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Die
relative Stellungsanpassung für
die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 und den Abstandshalter 144 ist
nicht auf das Verfahren beschränkt,
das den Abstandshalter 144 auf diese Weise verwendet. Zum
Beispiel kann ein Einstellmechanismus für den Adapter 120 oder
die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 vorgesehen werden.
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13 zeigt
ein Beispiel für
einen Einstellmechanismus für
den Raum zwischen der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung und dem Adapterkörper. Wie
in 13 gezeigt ist, wird durch diesen Einstellmechanismus
den Raum zwischen der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 und
dem Adapterkörper 112 eingestellt,
indem ein Schraubenpaar verwendet wird (eine MEMS-Fixierschraube 146 und
eine Einstellschraube 148). Die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 hat
eine Durchgangsöffnung 272,
durch die sich die MEMS-Fixierschraube 146 erstreckt, und
ein Gewinde 274, in das die Einstellschraube 148 eingreift.
Wenn die Einstellschraube 148 in das Gewinde geschraubt
wird, steht die Einstellschraube 148 von der Rückseite
(der unteren linken Seite in 13) der
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 vor. Dies hat die gleiche
Wirkung wie das Einfügen
eines Abstandshalters 144 zwischen die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 und
den Adapterkörper 122.
Durch Anziehen der MEMS-Fixierschraube 146, wobei ein vorbestimmter Betrag
des Überstands
erzielt wird, werden die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 und
der Adapterkörper 122 aneinander
fixiert, wobei ein vorbestimmter Abstand zwischen ihnen gewährleistet
wird. Dies ermöglicht,
eine relative Stellung in einem vorbestimmten Zustand zu halten.
Die Bereitstellung eines solchen Einstellmechanismus anstelle mindestens
einer der drei Schrauben 142 zur Fixierung der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung
macht es möglich,
die Stellung anzupassen.
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Die
Zahl der vorstehenden Abstandshalter 144 oder Einstellmechanismen
ist nicht auf eins beschränkt;
zwei oder drei solcher Abstandshalter oder Mechanismen können verwendet
werden.
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Gemäß dem Adapter 120 in
der oben genannten Anordnung ist es, da der Adapterkörper 122 aus
einem Bauteil gebildet wird, d.h. der Drehwellen-Befestigungsabschnitt 130 eine
integrale Struktur hat, einfach, eine maßbezogene Ein flussnahme auf die
Komponenten (insbesondere den Durchmesser der Galvano-Ablenkeinrichtungs-Fixieröffnung)
und den Zusammenbau auszuüben.
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Die
Anordnung des Adapters 120 ist nicht auf die vorstehende
Anordnung beschränkt. 14 zeigt einen
weiteren Adapter, der anstelle des Adapters 120 verwendet
werden kann. Wie in 14 gezeigt, umfasst ein Adapter 150 einen
Adapterkörper 152, einen
separaten Andrückfuß 154,
der am Adapterkörper 152 angreift,
und zwei Schrauben 156, die den Adapterkörper und
den Andrückfuß fixieren.
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15 zeigt
einen Halter zum Halten der in 1 und 2 gezeigten
Galvano-Ablenkeinrichtung.
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Im
Allgemeinen ist der Außenflächenabschnitt
der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 zylindrisch und seine
Mittelachse stimmt mit einer Mittelachse der Drehwelle 112 überein.
Wie in 15 gezeigt, umfasst ein Halter 160 einen
Haltekörper 162 und
eine Schraube 168. Der Haltekörper 162 hat eine Halterungsöffnung 164 für die Galvano-Ablenkeinrichtung,
die einen kleinen Abstand zum Außenflächenabschnitt der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 hat.
Mit anderen Worten verfügt
der Haltekörper 162 über die
Halterungsöffnung 164 für die Galvano-Ablenkeinrichtung,
an der der Außenflächenabschnitt der
Galvano-Ablenkeinrichtung 110 im Wesentlichen ohne Spiel
angreift. Darüber
hinaus ist in dem Haltekörper 162 ein
Schlitz 166 gebildet. Der Schlitz 166 ermöglicht,
den Durchmesser der Halterungsöffnung 164 für die Galvano-Ablenkeinrichtung
des Haltekörpers 162 zu
verringern.
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Obwohl
dies nicht im Einzelnen gezeigt ist, verfügt der Haltekörper 162 über eine
Durchgangsöffnung,
durch die sich die Schraube 168 erstreckt, und ein Gewinde,
in das Schraube 168, die sich durch die Durchgangsöffnung erstreckt,
eingreift. Die Schraube 168 erstreckt sich durch die Durchgangsöffnung im
Haltekörper 162,
kreuzt den Schlitz 166 und greift in das Gewinde des Haltekörpers 162 ein. Die
Schraube 168 ist am Haltekörper 162 befestigt, um
die Halterungsöffnung 164 für die Galvano-Ablenkeinrichtung
des Haltekörpers 162 zu
verengen.
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Der
Haltekörper 162 hat
zum Beispiel über die
Erscheinungsform eines rechtwinkligen Quaders. Eine Anbringungsfläche 162a,
die an einer externen Einheit anzubringen ist, liegt im Wesentlichen
parallel zu einer Mittelachse 164a der Halterungsöffnung 164 für die Galvano-Ablenkeinrichtung.
Indem die Anbringungsfläche 162a als
Bezugsfläche
festgelegt wird, kann die Stellung der zweidimensionalen Ablenkeinrichtung
innerhalb eines vorbestimmten Toleranzbereichs gehalten werden.
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16 und 17 zeigen
die Schritte des Einpassens des Außenflächenabschnittes der Galvano-Ablenkeinrichtung
der in 1 und 2 gezeigten zweidimensionalen
optischen Ablenkeinrichtung in die in 15 gezeigte
Halterungsöffnung
für die Galvano-Ablenkeinrichtung. 16 zeigt
einen Zustand, bevor der Außenflächenabschnitt
der Galvano-Ablenkeinrichtung in die Halterungsöffnung für die Galvano-Ablenkeinrichtung
eingepasst ist. 17 zeigt einen Zustand, in dem
der Außenflächenabschnitt
der Galvano-Ablenkeinrichtung in die Halterungsöffnung für die Galvano-Ablenkeinrichtung
eingepasst ist.
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Wie
in 16 gezeigt, wird die zweidimensionale optische
Ablenkeinrichtung in die Halterungsöffnung 164 für die Galvano-Ablenkeinrichtung
des Haltekörpers 162 von
der Seite der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 her eingepasst,
wie durch den Pfeil angezeigt ist. Wie in 16 gezeigt, wird
der Außenflächenabschnitt
der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 in die Öffnung eingepasst.
Dabei ist es vorzuziehen, dass die flexible Verdrahtungsplatine 246,
die an die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 angeschlossen
ist, wie in 16 gezeigt zeitweise gebogen
wird, um den Zusammenbau nicht zu beeinträchtigen. Wenn die in 15 gezeigte
Schraube angezogen wird, während
der Außenflächenabschnitt
der in 17 gezeigten Galvano-Ablenkeinrichtung 110 in
die Halterungsöffnung
für die
Galvano-Ablenkeinrichtung des Haltekörpers eingepasst wird, ist
die Galvano-Ablenkeinrichtung 110 zuverlässig am
Halter 160 gehalten.
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Ein
Endabschnitt der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 wird
danach am Halter 160 angebracht, um den Zusammenbau abzuschließen. Genauer
gesagt wird, wie in 18 gezeigt ist, zum Beispiel
ein Verdrahtungsfixierelement 172 vorab am Halter 160 fixiert,
und ein Endabschnitt der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 wird
am Verdrahtungsfixierelement 172 fixiert. Obwohl dies nicht
gezeigt ist, ist es zu bevorzugen, ein Verfahren zur Verbindung
eines Verbindungselements mit dem Endabschnitt der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 vorab
zu verwenden und das Verbindungselement am Verdrahtungsfixierelement 172 zu
fixieren. Das zu verwendende Verbindungsverfahren ist jedoch nicht
hierauf beschränkt. Zum
Beispiel kann ein Verbindungselement, das mit einer Verdrahtung
verbunden ist, direkt am Halter 160 anstatt am Verdrahtungsfixierelement 172 fixiert werden.
Anstatt an einem Verbindungselement kann eine Verdrahtung alternativ
direkt am Verdrahtungsfixierelement 172 oder Halter 160 fixiert
werden.
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Das
in 16 und 17 gezeigte
Montageverfahren kann nur für
eine Anordnung verwendet werden, bei sich der sowohl die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 als
auch der Adapter 120 vollständig in dem Bereich befinden,
der durch das Hervorstehen des Außenflächenabschnitts der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 in
Richtung ihrer Drehachse definiert wird. Darüber hinaus ist es erforderlich, dass
die Verdrahtung, die mit der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 verbunden
ist, ein flexibles Verdrahtungselement ist (die flexible Verdrahtungsplatine 246)
ist und sich zum Zeitpunkt der Montage wenigstens vorübergehend
innerhalb des oben genannten Bereichs befindet. Darüber hinaus
wird bei der zweidimensionalen optischen Ablenkeinrichtung gemäß dieser
Ausführungsform,
da die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 und
der Adapter 120 sich in dem oben genannten Bereich befinden,
das Trägheitsmoment,
das als Last auf die Galvano-Ablenkeinrichtung 110 wirkt,
auf einen niedrigen Wert gedrückt.
Das ermöglicht
die Durchführung
eines direkten Betätigungsvorgangs
durch Verwendung der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 anstelle
der Durchführung
eines Betätigungsvorgangs
durch ein Untersetzungsgetriebe gemäß dem Stand der Technik.
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Die
Funktionen und Wirkungen dieser Ausführungsform werden wie folgt
aus der vorstehenden Beschreibung zusammengefasst:
Zuerst wird
wie in 1 und 2 gezeigt die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 an
der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 mit einem Neigewinkel von
45° angebracht.
Dann wird von der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 ein Ablenken
bei einer geringen Geschwindigkeit und von der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 ein
Ablenken bei einer hohen Geschwindigkeit durchgeführt, um
eine zweidimensionale Ablenkung mit einer geringen Verzerrung durchzuführen. Dabei
kann die Last auf die Galvano-Ablenkeinrichtung 110 im
Vergleich zum Stand der Technik deutlich verringert werden, indem
die in 3 und 4 bis 6 gezeigte
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 verwendet wird. Darüber hinaus
kann durch die Verwendung der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 als
MEMS-Ablenkeinrichtung eine weitere Verringerung der Größe erreicht werden.
Somit kann eine Erhöhung
der Ablenkgeschwindigkeit durch die Galvano-Ablenkeinrichtung 110 oder
eine Verringerung der Größe der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 erreicht
werden.
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Wie
in 7 bis 13 gezeigt, sind die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 und
die Galvano-Ablenkeinrichtung 110 durch den Adapter 120 aneinander
fixiert. In diesem Fall ist die Form des Adapters 120 so
ausgelegt, dass, wenn der Adapter 120 und die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 aneinander
fixiert sind, sich der Schwerpunkt G im Wesentlichen auf der Mittelachse
der Fixieröffnung
für den
Adapter 120 und die Galvano-Ablenkeinrichtung 110 befindet.
Darüber
hinaus befin det sich, da die beiden Schrauben 140 zur Befestigung
des Adapters 120 an der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 so
angeordnet sind, dass die hinsichtlich der Mittelachse symmetrisch
sind, die Position des Gesamtschwerpunkts G der Abschnitte, die
an der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 angebracht sind, im
Wesentlichen auf der Drehachse der Galvano-Ablenkeinrichtung 110.
Die obige Anordnung kann deshalb die Zentrifugalkraft einschränken, die
erzeugt wird, wenn die Galvano-Ablenkeinrichtung 110 schwingt,
und somit eine unnötige
Resonanz unterdrücken.
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Darüber hinaus
sind die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 und der Adapter 120 aneinander
an drei Positionen fixiert, wobei vorzugsweise nichtmagnetische
oder schwach magnetische Schrauben verwendet werden; sie werden
aneinander durch das Anziehen der Schrauben von der Seite der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 zum
Adapter 120 fixiert. Darüber hinaus werden der Abstandshalter 144,
der Einstellmechanismus (die MEMS-Fixierschraube 146 und
Einstellschraube 148) oder dergleichen verwendet, um den
Abstand zwischen der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 und
dem Adapter 120 einzustellen, und die Montage wird so durchgeführt, dass
die Reflexionsfläche 240 der
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 eine vorbestimmte
Stellung bezüglich
des Adapters 120 einnimmt. Der obige Vorgang ermöglicht eine
relativ leichte und hochgenaue Montage.
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Wie
in 15 bis 18 gezeigt,
wird, wenn die zweidimensionale optische Ablenkeinrichtung gemäß der zweidimensionalen
optischen Ablenkeinrichtung dieser Ausführungsform am Halter 160 anzubringen
ist, da sich sowohl die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 als
auch der Adapter 120 vollständig in dem Bereich befinden,
der durch das Hervorstehen des Außenflächenabschnitts der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 in
die Richtung ihrer Drehachse gebildet wird, die Montagearbeit erleichtert, und
das Trägheitsmoment
der Abschnitte, die an der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 angebracht
sind, kann auf einen niedrigen Wert gedrückt werden.
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Die
vorstehende Beschreibung betrifft nur die Ausführungsform, die die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung
verwendet. Es kann jedoch eine resonanzfreie Ablenkeinrichtung verwendet
werden, so lange es sich um eine Ablenkeinrichtung basierend auf
der MEMS-Technologie handelt, und eine Ablenkeinrichtung kann sowohl
im Resonanzmodus als auch im resonanzfreien Modus betätigt werden.
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Zweite Ausführungsform
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19 ist
eine perspektivische Ansicht einer zweidimensionalen optischen Ablenkeinrichtung
gemäß einer
zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. Die gleichen Bezugszahlen wie in 19 bezeichnen
die gleichen Elemente der zweidimensionalen optischen Ablenkeinrichtung
gemäß der ersten
Ausführungsform.
Obwohl diese grundlegende Anordnung der zweiten Ausführungsform
die gleiche wie die der ersten Ausführungsform ist, unterscheidet
sich die zweite Ausführungsform
von der ersten Ausführungsform
in der Art der Führung
der flexiblen Verdrahtungsplatine, die mit einer MEMS-Resonanzablenkeinrichtung
verbunden ist. Bei der folgenden Beschreibung wird der Schwerpunkt
auf die Unterschiede zwischen der ersten und der zweiten Ausführungsform
gelegt.
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Wie
in 19 gezeigt, ist eine flexible Verdrahtungsplatine 246 von
einer MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 in eine Richtung
parallel zur Y-Achse geführt,
erstreckt sich, wenn man sie in Richtung der X-Achse betrachtet,
im Wesentlichen in U-Form, und ist an einem Verdrahtungsfixierelement 172 fixiert,
das bezüglich
der X-Achse auf der entgegengesetzten Seite des Abschnitts, der
von der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 hergeführt wird,
liegt. Das heißt,
der durch die Luft geführte
Abschnitt der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 erstreckt
sich zwischen der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 und
dem Verdrahtungsfixierelement 172, wobei er sich um eine
Drehwelle 112 einer Galvano-Ablenkeinrichtung 110 krümmt und
sich entlang einer Ebene erstreckt, die im Wesentlichen senkrecht zu
der Drehwelle 112 ist. Darüber hinaus ist die flexible
Verdrahtungsplatine 246 durch die Luft geführt, während ihre
Oberfläche,
auf der eine Verdrahtungsstruktur gebildet ist, immer im Wesentlichen
parallel zur X-Achse gehalten wird. Das heißt, die Oberfläche mit
der gebildeten Struktur auf dem durch die Luft geführten Abschnitt
liegt im Wesentlichen parallel zur Drehwelle 112 der Galvano-Ablenkeinrichtung 110.
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Aus
diesem Grund verformt sich die flexible Verdrahtungsplatine 246 leicht,
wenn die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 um die X-Achse schwingt
(durch die Betätigung
der Galvano-Ablenkeinrichtung 110), und die Reaktionskraft
der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 während der Verformung ist gering.
Darüber
hinaus ist es, da die auf die flexible Verdrahtungsplatine 246 wirkende
Spannung zu einer Biegespannung in Richtung der Dicke wird, in der die
Steifigkeit der Platine gering ist, leicht, eine hohe Beständigkeit
der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 zu gewährleisten.
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Die
vorstehend beschriebene Art der Führung der flexible Verdrahtungsplatine 246 ist
nicht auf eine ungefähre
U-Form beschränkt
und kann nach Bedarf aus Gründen
bezüglich
des Aufbaus eines jeden Elements oder des Gesamtaufbaus verändert werden.
Es ist jedoch zu bevorzugen, dass die Richtung der Oberfläche mit
der gebildeten Struktur so weit wie möglich parallel zur X-Achse
bleibt. Eine Verbindungsplatine (starre Platine) 182 ist
mit dem Endabschnitt der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 verbunden,
der am Verdrahtungsfixierelement 172 fixiert ist, wodurch
die Fixierung der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 erleichtert
wird. Darüber
hinaus wird, da die Verdrahtung der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 elektrisch
mit einem Verbindungselement 184 (siehe 20)
der Verbindungsplatine 182 verbunden ist, die Verbindung
erleichtert, wenn ein Verlängerungskabel
(nicht gezeigt) für
die elektrische Verbindung zwischen dem Verbindungselement 184 und
einem Betätigungsschaltkreis
der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung (nicht gezeigt) verwendet werden
soll.
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Bei
dieser Ausführungsform
wird ein Abstandshalter 116 verwendet, um die Galvano-Ablenkeinrichtung 110 bezüglich eines
Halters 160 in der X-Richtung zu positionieren. Weitere
Abschnitte sind die gleichen wie in der ersten Ausführungsform.
Das heißt,
es kann ein XY-Ablenkmuster (zweidimensionales Ablenkmuster) ohne
Verzerrung gebildet werden, indem die Ablenkung in Richtung der
X-Achse mittels der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 durchgeführt wird,
und die Ablenkung in Richtung der Y-Achse mittels der Galvano-Ablenkeinrichtung 110 durchgeführt wird,
wie in der ersten Ausführungsform.
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20 ist
eine perspektivische Ansicht des Hauptteils (die Abschnitte enthalten
keinen Magnetkreis, aber einen Metallsockel, ein Ablenkeinrichtungsplättchen und
eine flexible Platine) der in 19 gezeigten
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung. 21 ist
eine Seitenansicht des Metallsockels, des Ableineinrichtungsplättchens
und der flexiblen Platine, die in 20 gezeigt
sind. Da die grundlegende Anordnung der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 dieser
Ausführungsform
gleich der in 4 bis 6 gezeigten
ersten Ausführungsform
ist, werden nur die Abschnitte beschrieben, in denen sich die beiden
unterscheiden.
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Wie
in 20 gezeigt, ist bei dieser Ausführungsform
eine starre Platine 262 der Verdrahtungsplatine (bestehend
aus der starren 262 und der flexiblen Verdrahtungsplatine 246,
die miteinander verbunden sind) in U-Form auf einem Metallsockel 250 platziert,
und die beiden Endabschnitte der U-Form, die über Drahtbondstellen 266 verbunden
sind, befinden sich in der Nähe
der Verlängerungen
der Torsions stäbe 234.
Mit dieser Struktur wird eine Breite W des Metallsockels 250 (die
Länge entlang
der Erstreckungsrichtung der Torsionsstäbe 234) auf den Wert gedrückt, der
erhalten wird, indem man einen Montagespielraum zur Summe der Länge des
Ablenkeinrichtungsplättchens 230 (die
Abmessung entlang der Erstreckungsrichtung der Torsionsstäbe 234)
addiert und die Breiten der beiden Endabschnitte der starren Platine 262 (die
Abmessungen entlang der Erstreckungsrichtung der Torsionsstäbe 234)
addiert.
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Bei
dieser Ausführungsform
wird, um die in 19 gezeigte Führung der
flexiblen Verdrahtungsplatine 246 zu erzielen, der durch
die Luft geführte Abschnitt
der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 verändert. Zusammen
mit dieser Veränderung
wird auch die Form der Verdrahtungsplatine selbst verändert. Genauer
gesagt hat der geführte
Abschnitt der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 eine Form
der Verdrahtungsplatine, die parallel zu den Torsionsstäben 234 ist.
Wie in 21 im Einzelnen gezeigt ist,
befindet sich auf dem Metallsockel 250 darüber hinaus
ein Führungsabschnitt 282 für die flexible
Platine. Der Führungsabschnitt 282 für die flexible
Platine hat einen Winkel von etwa 45° bezüglich einer Reflexionsfläche 240 des
Ablenkeinrichtungsplättchens 230, das
sich auf der hinteren, seitlich orientierten Fläche einer bewegbaren Platte 232 in 20 befindet.
Mit dieser Struktur hat die durch die Verdrahtung gebildete Oberfläche der
flexiblen Verdrahtungsplatine 246, die am Führungsabschnitt 282 für die flexible
Platine fixiert ist, einen Winkel von etwa 45° bezüglich der Reflexionsfläche 240 des
Ablenkeinrichtungsplättchens 230.
Die Bildung des Metallsockels 250 in der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 auf
diese Weise und die Führung
der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 kann die in 19 gezeigte
Führung
der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 bewirken. Darüber hinaus
ist ein abgeschrägter
Abschnitt 284 so auf dem Metallsockel 250 vorgesehen,
dass er dem Führungsabschnitt 282 für die flexible
Platine zugewandt ist, so dass eine Erhöhung der Masse des Metallsockels 250 verhindert
wird.
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Es
ist festzuhalten, dass das Verbindungselement 184 so auf
der Verbindungsplatine 182 angebracht ist, wie in 20 gezeigt
ist. Darüber
hinaus sind Halterungsöffnungen 186 in
der Verbindungsplatine 182 gebildet, um diese am Verdrahtungsfixierelement 172 zu
fixieren.
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22 ist
eine perspektivische Ansicht einer Modifikation der Metallbasis
und der starren Platine. Wie in 22 gezeigt,
ist bei dieser Modifikation die Platzierungsposition der starren
Platine 262 auf eine Position abgeändert, bei der sie nicht über das
Ablenkeinrichtungsplättchen 230 in
Erstreckungsrichtung der Torsionsstä be 234 hervorsteht.
Das heißt,
die Gesamtlänge
der starren Platine 262 ist auf eine Länge abgeändert, die im Wesentlichen
gleich der Länge des
Ablenkeinrichtungsplättchens 230 ist.
Die starre Platine 262 ist neben den Auflageteilen 236 des
Ablenkeinrichtungsplättchens 230 platziert,
und zwar in einer Richtung senkrecht zur Erstreckungsrichtung der
Torsionsstäbe 234.
Die Drahtbondstellen 266, die das Ablenkeinrichtungsplättchen 230 mit
der starren Platine 262 elektrisch verbinden, erstrecken
sich in eine Richtung, die im Wesentlichen senkrecht zur Erstreckungsrichtung
der Torsionsstäbe 234 ist.
Dies drückt
die Breite W des Metallsockels 250 auf einen noch geringeren
Wert. Mit dieser Anordnung werden die Größe und das Gewicht des Metallsockels 250 verringert
und somit kann eine Verringerung der Gesamtgröße und des Gesamtgewichts der
MEMS-Ablenkeinrichtung erreicht werden.
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In
dem Fall der in 22 gezeigten Halterungsform
sind das Ablenkeinrichtungsplättchen 230 und
die starre Platine 262 nebeneinander in einer Richtung
angeordnet, die senkrecht zur Erstreckungsrichtung der Torsionsstäbe 234 liegt.
Deshalb kann die starre Platine 262, wenn das Ablenkeinrichtungsplättchen 230 mit
dem Metallsockel 250 verbunden ist und die Auflageteile 236 gebildet
sind, indem der Auflagerahmen teilweise entfernt wurde, mit dem
Metallsockel 250 verbunden werden. In diesem Fall werden
die vorstehenden Elemente vorzugsweise miteinander verbunden, nachdem
die Auflageteile 236 des Ablenkeinrichtungsplättchens 230 in
die Nähe
der starren Platine 262 gebracht wurden.
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23 ist
eine perspektivische Ansicht des Magnetkreises in der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung
gemäß dieser
Ausführungsform. 24 ist eine
Schnittansicht entlang einer Linie XXIV-XXIV des Magnetkreises in 23. 25 ist
eine Unteransicht des in 23 gezeigten
Magnetkreises.
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Wie
in 23 gezeigt, ist ein Magnetkreis 210 der
MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 ähnlich dem Magnetkreis 210 (siehe 6)
in der ersten Ausführungsform.
Wie in 24 und 25 gezeigt,
umfasst ein Magnetjoch 214 jedoch hintere Jochteile 216,
die sich außerhalb
der Permanentmagnete 212 befinden, und untere Jochteile 220,
die sich unter den Permanentmagneten 212 befinden. Ein
oberer Abschnitt eines jeden Permanentmagnets 212 steht
vom Magnetjoch 214 hervor. Die Permanentmagnete 212 sind
am Magnetjoch 214 vor allem an den Kontaktflächen zwischen
den Permanentmagneten 212 und den hinteren Jochteilen 216 fixiert, aber
auch an den Kontaktflächen
zwischen den Permanentmagneten 212 und den unteren Jochteilen 220.
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Es
wird Bezug auf 24 genommen. Da die oberen Abschnitte
der Permanentmagneten 212 vom Magnetjoch 214 hervorstehen,
versuchen die Magnete immer, sich in vertikaler Richtung in eine Neutralposition
bezüglich
des Magnetjochs 214 zu bewegen (der stabilste Zustand im
Hinblick auf die Energie). Aus diesem Grund wird in 24 eine nach
unten wirkende Kraft erzeugt. Im Allgemeinen wirkt die Kraft in
die Scherrichtung auf die fixierten Flächen zwischen den Permanentmagneten 212 und dem
Magnetjoch 214. Eine solche Kraft in Scherrichtung setzt
die Anhaftung zwischen den Permanentmagneten 212 und dem
Magnetjoch 214 herab.
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Bei
dieser Ausführungsform
werden, mit Bezug auf 24, die Permanentmagnete 212,
auf die eine nach unten wirkende Kraft wirkt, durch die unteren
Jochteile 220 des Magnetjochs 214 unterstützt. Dies
verhindert eine Verringerung der Anhaftung aufgrund der Kraft in
Scherrichtung und verbessert somit die Stabilität und Beständigkeit der Haftabschnitte.
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Dies
kann auch die Möglichkeit
einer mangelnden Anhaftung verhindern, zu der es kommt, wenn die
Trägheitskraft
zwischen den Permanentmagneten 212 und den hintere Jochteilen 216 wirkt, nachdem
die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 durch die Galvano-Ablenkeinrichtung 110 betätigt wurde.
Nur als Hinweis zeigt 26, die ähnlich 24 ist,
eine Schnittansicht des Magnetkreises 210 der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 gemäß der ersten
Ausführungsform.
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Die
vorstehend beschriebene Anordnung des Magnetkreises 210 ist
nicht nur bei der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 der
zweidimensionalen optischen Ablenkeinrichtung dieser Ausführungsform
wirksam, sondern auch bei einer MEMS-Resonanzablenkeinrichtung, die alleine
verwendet wird.
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Die
Anordnung des Magnetkreises 210 ist nicht auf die vorstehende
Beschreibung beschränkt. 27 zeigt
eine Modifikation des Magnetkreises 210. Wie in 27 beschrieben,
umfasst bei dieser Modifikation das Magnetjoch 214 Aussparungen 224 (ausgeklinkte
Abschnitte) auf den beiden Seiten eines Mitteljochs 218.
Die Aussparungen 224 dienen dazu, zu verhindern, dass sich
die Drahtbondstellen 266 und das Magnetjoch 214 in
die Quere kommen, wenn der Magnetkreis 210 und der Metallsockel 250 montiert
werden.
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28 ist
eine perspektivische Ansicht der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung
gemäß dieser Ausführungsform
in einem montierten Zustand. Wie in 28 gezeigt,
sind der Metallsockel 250 und der Magnetkreis 210 aneinander
mit drei Schrauben 254 (vorzugsweise nichtmagnetische oder
schwach magnetische Schrauben) befestigt, und um die Öffnungen herum
befinden sich Einsenkungen 288, durch die sich die Schrauben 254 erstrecken,
um zu verhindern, dass die Köpfe
der Schrauben 254 von der obersten Fläche des Metallsockels 250 hervorstehen.
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Diese
Anordnung ist geeigneter dafür,
eine transparente, staubdichte Abdeckung auf der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 oder
eine Schutzabdeckung während
der Montage zur Verfügung
zu stellen. Darüber
hinaus kann die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200,
wenn sie alleine verwendet und unter Verwendung der oberen Fläche in 28 als
Bezugsfläche
an einer externen Einheit angebracht werden soll, auf der externen
Einheit angebracht werden, ohne dass die Köpfe der Schrauben austreten.
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Die
in
28 gezeigte Anordnung kann nicht nur bei der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung
200 dieser
Ausführungsform
angewendet werden, sondern auch bei der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung
200 gemäß der ersten
Ausführungsform
oder bei der einzelnen MEMS-Ablenkeinrichtung, die in der Patentanmeldung
mit der Veröffentlichungsnr.
US 2002/0060830 A1 offenbart
ist.
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Die
Funktionen und Wirkungen dieser Ausführungsform werden wie folgt
aus der vorstehenden Beschreibung zusammengefasst.
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Wie
in 19 gezeigt ist, ermöglicht die Führung der
flexiblen Verdrahtungsplatine 246, die mit der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 so
verbunden ist, dass die Oberfläche
mit der gebildeten Struktur immer parallel zur X-Achse liegt, dass
die flexible Verdrahtungsplatine 246 sich leicht verformt, wenn
die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 um
die X-Achse schwingt, und verringert die Reaktionskraft der flexiblen
Verdrahtungsplatine 246 bei deren Verformung. Darüber hinaus
ist es, da die Spannung, die auf die flexible Verdrahtungsplatine 246 wirkt,
zu einer Biegespannung in Richtung der Dicke wird, bei der die Steifigkeit
der Platine gering ist, leicht, eine hohe Beständigkeit der flexiblen Verdrahtungsplatine 246 zu
gewährleisten.
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Wie
in 20 bis 22 gezeigt,
ist bei der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 die flexible Verdrahtungsplatine 246 in
einer Richtung parallel zu den Torsionsstäben 234 geführt und
ist auch von der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 in
einer Richtung geführt,
in der die durch die Verdrahtung gebildete Oberfläche der
flexiblen Verdrahtungsplatine 246 einen Winkel von etwa
45° bezüglich der
Reflexi onsfläche 240 hat,
so dass die in 19 gezeigte Führung der
flexiblen Verdrahtungsplatine 246 erzielt wird.
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Wie
in 23 bis 25 und 27 gezeigt,
wird bei dem Magnetkreis 210 der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 die
Langzeitstabilität des
fixierten Abschnitts verbessert, indem jeder Permanentmagnet 212 mit
dem Magnetjoch 214 an zwei Oberflächen in Kontakt gebracht wird,
die im Wesentlichen senkrecht zueinander sind, und genauer gesagt
dadurch, dass für
den Permanentmagneten 212 zusätzlich zum hinteren Joch 216 das
untere Joch 220 vorgesehen wird, und diese an deren beiden
Flächen
befestigt werden.
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Wie
in 28 gezeigt, ist bei der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 die
Fläche
des Metallsockels 250, an dem das Ablenkeinrichtungsplättchen 230 fixiert
ist (die Fläche
auf der zu der Fläche entgegengesetzten
Seite, auf der das Ablenkeinrichtungsplättchen 230 fixiert
ist) in eine flache oder konkave Fläche gebracht, wobei die Köpfe der
Fixierschrauben und dergleichen nicht von der Fläche hervorstehen. Dies erleichtert
das Anbringen eines weiteren Elements an dieser Fläche oder
erleichtert die Fixierung der MEMS-Resonanzablenkeinrichtung an einer
externen Einheit an dieser Fläche.
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Bei
dieser Ausführungsform
ist die MEMS-Resonanzablenkeinrichtung 200 wie bei der ersten
Ausführungsform
nicht auf eine Resonanzablenkeinrichtung beschränkt und kann auf die gleiche Weise
wie vorstehend beschrieben modifiziert werden.
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Obwohl
die Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung vorstehend mit Bezug auf die Ansichten
der beigefügten
Zeichnungen beschrieben wurden, ist die vorliegende Erfindung nicht
auf diese Ausführungsformen
beschränkt
und kann auf verschiedene Arten im Rahmen der Erfindung modifiziert
und verändert
werden.