JP3553676B2 - 接触センサ装置 - Google Patents
接触センサ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3553676B2 JP3553676B2 JP04338995A JP4338995A JP3553676B2 JP 3553676 B2 JP3553676 B2 JP 3553676B2 JP 04338995 A JP04338995 A JP 04338995A JP 4338995 A JP4338995 A JP 4338995A JP 3553676 B2 JP3553676 B2 JP 3553676B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- contact
- sensor device
- contact sensor
- force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【産業上の利用分野】
この発明は接触センサ装置に関し、接触圧力の調整が容易で、しかも小さな接触圧力を得ることが出来る接触センサ装置を提供することを目的とする。
【0002】
【従来の技術】
従来よりセンサには各種の構成のものがしられているが、その中に対象物に直接接触させて対象物の所定の特性を検出する接触センサ装置が知られている。
このような接触センサ装置は、例えば液晶表示回路の検査等に多く用いられており、この検査においては接触センサ装置のプローブを液晶基板に接触させたまま摺動させて回路の状態を検出するように構成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記したようにプローブを摺動接触させて用いる場合、プローブの接触圧力の調整が重要であり、接触圧力が大きすぎると検査対象部にキズをつける上、プローブの摩耗が多くなる欠点がある。また接触圧力が小さいと接触性が悪化して検出の信頼性が低下する問題がある。
本発明は上記した従来技術の問題点を解決することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段及び作用】
上記目的を達成するために本発明の接触センサ装置は、プローブと、該プローブを保持し、該プローブを対象物方向に接近及び離間させるように回動可能に装着された保持体と、該保持体に前記プローブを対象物方向に移動させる力を加える弾性体と、該保持体に前記プローブを対象物方向と反対方向にに移動させる力を加える弾性体と、該弾性体の中の少なくとも1つの弾性体の力を調節するための手段とを備えたことを特徴とする。
回動可能な保持体をそれぞれ逆方向に回動させる力を及ぼす弾性体により保持体のバランスを保ち、プローブの対象物への安定した接触を小さな接触圧力により実現できる。また弾性体の少なくとも一方の力を調節する手段により、対象物との接触圧力を精密に調整することが可能になる。
また、前記プローブを対象物方向に接近させる方向への保持体の回動を制限する手段を更に備えるようにすることも可能であり、これによりプローブが対象物へ大きな力で接触することを防止することが可能になる。
【0005】
【実施例】
以下本発明を液晶表示装置検査用の接触センサ装置に適用した実施例を図面に基づいて説明する。
図1はその全体正面図、図2は部分拡大図である。
プローブ1は図示するように針状に成っており、その先端が液晶表示装置の電極に摺動接触することにより、電極の導通、非導通を検出するようになっている。プローブ1は保持体2の先端に傾斜した取り付けられており、図面上左方向に移動しつつ液晶表示装置に摺動接触するようになっている。
【0006】
保持体2はそのほぼ中央部で支持体3に回動可能に支持されており、該支持体3の両脇において、針圧調整用バネ4とバランスバネ5により押圧力を受ける構成になっている。
保持体2は図3に示すようにほぼ中央部にテーパ溝20を備えており、このテーパ溝20において、支持体3に装着された支軸21上に載置され、回動可能に支持されている。
このようにテーパ溝20と支軸21の組み合わせにより、支持体3は図面左右方向への動きを規制されるから、支持体3及びプローブ1の左右方向のぶれを防止することが可能になる。
【0007】
保持体2には針圧調整用バネ4の下端部を受けるスペーサ用孔60が形成されており、ここにスペーサ6とワッシャ61を挿入し、更に必要に応じてワッシャ61の枚数を増加することにより針圧調整用バネ4の押圧力を調整するようになっている。
【0008】
保持体2の後端には上方向に向けて制限ネジ7が装着されおり、ストッパ70に当接して保持体2の回動を制限するようになっている。制限ネジ7の突出量はネジ込み量の調整により可能であり、これにより回動制限位置の調整を行えるように構成されている。この調整によりプローブ1の最下端位置を調整できる。
またストッパ70に連続してプローブ接地信号用端子17が設けられており、プローブ1が被検対象物に接触して、制限ネジ7とストッパ70が離れると、該信号をプローブ接地信号用端子17により検出してプローブ1の被検対象物への接触を知ることが出来るようになっている。
なお、プローブ接地信号用端子17はハッチングで示す絶縁部14を介して装着部30側に固定されている。
【0009】
支持体3の上部は装着部30になっており、L字取付具9の先端に着脱可能に嵌装した構成になっている。L字取付具9は図1に示すように、測定装置本体Xに昇降可能に嵌装しており、昇降用てこ10を昇降用調整ネジ11により傾動させることによりL字取付具9を上下方向に昇降できるようになっている。
【0010】
また、15は検出端子であり、検出ケーブル16に接続して、プローブ1からの信号を装置本体に送るようになっている。この検出端子15もハッチングで示す絶縁部13を介して装着部30側に固定されている。
【0011】
以上の構成において、最初に昇降用調整ネジ11によりL字取付具9を昇降させてプローブ1の大体の上下位置を調整し、次にスペーサ用孔60にスペーサ6或いはワッシャ61を適宜装着して、針圧調整用バネ4の押圧力を調整する。
また、制限ネジ7を回して、制限ネジ7の突出量を調整して、プローブ1が対象物方向に下がる限界位置を調整する。
以上の調整が終了したら、昇降用調整ネジ11を回してL字取付具9を下降させ、プローブ1を対象物に接触させて、装置全体を図面左方向に走行させ、プローブ1を摺動接触させつつ、検出端子15から信号を取り出す。
プローブ1はバランスバネ5と針圧調整用バネ4の押圧力のバランスにより決定される接触圧力で対象物に接触する。該接触圧力は針圧調整用バネ4の押圧力を調整することにより高精度の調整が可能である。また、バランスバネ5と針圧調整用バネ4によりバランスさせてあるため、小さな接触圧力でも、プローブ1は対象物との良好な接触を保ち、測定ミス等が生じない。
更に、制限ネジ7によりプローブ1の下方位置は制限されているため、不測の大きな力が掛かっても対象物を傷つける等の事故が生じない。
【0012】
なお、上記実施例ではプローブ1として針状のものを使用しているが、これに限定されるものではなく、車輪状のもの等も採用可能である。
【0013】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の接触センサ装置は、小さな接触圧力でも接触状態を良好に保つことができ、しかも該接触圧力の調整も簡単に行える。更に、大きな力が加わった場合でも、対象物にキズをつける等の恐れがない等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す正面図。
【図2】図1の部分拡大図。
【図3】支持体3の回動構造を説明する拡大図。
【符号の説明】
1:プローブ、2:保持体、3:支持体、4:針圧調整用バネ、5:バランスバネ、6:スペーサ、7:制限ネジ、9:L字取付具、10:昇降用てこ、11:昇降用調整ネジ、13:絶縁部、14:絶縁部、15:検出端子、16:検出ケーブル、20:テーパ溝、21:支軸、30:装着部、60:スペーサ用孔、61:ワッシャ、70:ストッパ。
Claims (2)
- プローブと、
該プローブを保持し、該プローブを対象物方向に接近及び離間させるように回動可能に装着された保持体と、
該保持体に前記プローブを対象物方向に移動させる力を加える弾性体と、
該保持体に前記プローブを対象物方向と反対方向にに移動させる力を加える弾性体と、
該弾性体の中の少なくとも1つの弾性体の力を調節するための手段と、
を備えたことを特徴とする接触センサ装置。 - 前記プローブを対象物方向に接近させる方向への保持体の回動を制限する手段を更に備えた、
請求項1に記載の接触センサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04338995A JP3553676B2 (ja) | 1995-02-08 | 1995-02-08 | 接触センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04338995A JP3553676B2 (ja) | 1995-02-08 | 1995-02-08 | 接触センサ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08220136A JPH08220136A (ja) | 1996-08-30 |
JP3553676B2 true JP3553676B2 (ja) | 2004-08-11 |
Family
ID=12662449
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04338995A Expired - Lifetime JP3553676B2 (ja) | 1995-02-08 | 1995-02-08 | 接触センサ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3553676B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3604610B2 (ja) * | 2000-03-06 | 2004-12-22 | 株式会社 東京ウエルズ | 測定プローブ駆動装置 |
-
1995
- 1995-02-08 JP JP04338995A patent/JP3553676B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08220136A (ja) | 1996-08-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101443669B (zh) | 基板检查用夹具及其中的连接电极部的电极结构 | |
EP0392699A3 (en) | Probe head | |
US4956923A (en) | Probe assembly including touchdown sensor | |
JP4684805B2 (ja) | プローブ装置及び被検査体とプローブとの接触圧の調整方法 | |
CN110763201B (zh) | 一种倾斜检测装置 | |
JP3553676B2 (ja) | 接触センサ装置 | |
US4780961A (en) | Probe assembly and circuit for measuring machine | |
JP3099873B2 (ja) | プリント基板検査装置およびユニバーサル型プリント基板検査装置の使用方法 | |
TWI630396B (zh) | 探針檢測裝置及其檢測模組 | |
JPH0621166A (ja) | ウエハプローバ | |
JP3124659B2 (ja) | 平面度測定装置の較正方法 | |
JPH0345125Y2 (ja) | ||
JPH11118405A (ja) | ハイトゲージ | |
JP3803692B2 (ja) | 水平保持機構及びそれを用いたプリント基板回路検査装置又は部品ハンダ付け装置 | |
JPH06341927A (ja) | ギヤの噛み合い試験機 | |
CN219455384U (zh) | 一种可校准的检测装置 | |
JPH07113603A (ja) | 内側測定装置 | |
JPS6315139A (ja) | ひつかき硬さ試験装置 | |
CN215909811U (zh) | 一种探针卡固定治具及检测台 | |
KR0155869B1 (ko) | 텔레비젼의 전도각 측정장치 | |
KR960009902Y1 (ko) | 전극간격 외장 측정기가 부착된 반도체 식각장비 | |
JP2520823B2 (ja) | 半導体ウエハ―測定方法 | |
JPH1038919A (ja) | プローブ構造 | |
KR200141154Y1 (ko) | 전도성 플라스틱 볼의 접속저항 측정장치 | |
JP2531042Y2 (ja) | プローブヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040426 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040430 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110514 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110514 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140514 Year of fee payment: 10 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |