KR960009902Y1 - 전극간격 외장 측정기가 부착된 반도체 식각장비 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

전극간격 외장 측정기가 부착된 반도체 식각장비

제1도는 종래 식각장비의 챔버를 나타내는 측면도.

제2도는 간격 측정 플러그와 베이스 사시도.

제3도는 식각장비의 챔버 상부부위를 나타내는 사시도.

제4도는 본 고안에 따른 전극간격 외장 측정기가 부착된 식각장비의 챔버 상부 부위를 나타내는 측면도.

제5도는 본 고안에 따른 전극간격 외장 측정기 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 상부전극 2 : 하부전극

3 : 갭 하우징 어셈블리 4 : 챔버 커버

5 : 모터 6 : 리드 스크루

7 : 리프터 8 : 도어

9 : 지시침 10 : 지시대

11 : 지시확인용 블랙킷 12 : 눈금판

20 : 전극간격 외장 측정기

본 고안은 반도체 제조공정에 사용되는 식각장비의 전극간 간격을 정확하게 유지 관리하기 위한 전극 간격외장 측정기가 부착된 반도체 식각장비에 관한 것이다.

도면, 제1도 및 제2도를 통하여 종래 기술을 살펴본다.

제1도는 종래의 식각장비의 챔버를 나타내는 측면도로서, 도면에서 1은 상부전극, 2는 하부전극, 3은 갭 하우징 어셈블리(gap housing assembly), 4는 챔버 커버(chamber cover), 5는 모터(moter, 6은 리드 스크루(lead screw), 7은 리프터(lifter), 8은 도어(door)를 각각 나타낸다.

동작 상태는 상부전극

(1)이 위로 올러가 있는 상태에서 로보트압(robot arm)이 웨이퍼를 가지고 안으로 들어오면 리프터(7)가 올라가서 웨이퍼를 들고 있는 동안 로보트 암이다시 나간뒤 리프터(7)가 내려가서 웨이퍼가 하부전극(2)에 안착된다.

계속해서 상부전극(1)이 공정에 적합한 건극간격을 맞추어 주기 위해 하향되는데 전극간격이 정확히 맞지 않을 경우 식각율 및 균일성에 문제가 발생하게 된다.

따라서 종래에는 전극간의 간격을 보정하기 위하여 먼저, 챔버를 열어 전극간격 확인용 기구인 간격 측정 플러그와 베이스(gap gage plug and base) 또는 크레이 볼(clay ball)을 하위전극(2)에 올려놓고 챔버를 닫은 후 장비의 모니터 상에서 원하는 공정에 필요한 전극간격을 맞추라고 명령을 준다.

그러면 모터(5)와 리드 스크루(6)의 작동에 의해 상부전극(1)이 아래로 내려와 전극 확인용 기구를 누르게 된다.

이어서 챔버를 열어 상기 간격 측정 플러그와 베이스 또는 크레이 볼을 빼내어 버니어켈리퍼스(verniercalipers)로 눌려진 만큼의 간격을 측정하여 전극 위치 세팅 값을 모니터상에서 보정해 주고 다시 확인후 이상이 없을시 사용하게 된다.

제2도는 상기 전극확인용 기구중의 하나인 간격 측정 플러그와 베이스를 나타내는 사시도이다.

상기와 같은 종래의 전극간의 간격 보정 방법을 공정에 이상이 있을때 전극간의 간격을 확인해야 되므로 챔버를 열어야 하며 챔버를 한번 열게되면 전극간격 보정후 세정작업을 해야하고 공전전확인 사항을 점검하여야 하므로 이로 인한 시간손실이 많이 발생한다.

또한 전극간격에 문제가 없는 데도 식각율 및 균일성에 문제가 있으면 전극간격을 확인 하기 위하여 부득이 챔버를 열어야 하므로 이로 인한 공정시간 손실 또한 크게 되는 문제점이 발생한다.

상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 고안은 챔버를 열지 않고 전극간격을 확인 할 수 있도록 챔버 상극전극 외부에 전극간격 외장 측정기를 설치하여 점검시 조치 소요시간을 단축 시키는 전극간격 외장 측정기가 부착된 반도체 식각장비를 제공함을 그 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 갭 하우징 어셈블리의 외부 소정의 부위에 고정 장착되어 상,하로 움직이는 지시침이 부착된 지시대와, 세부눈금이 형성돼 있고 상기 지시대의 지시침이 세부눈금을 가리킬 수 있도록 챔버 커버의 외부 소정의 부위에 고정되어 장착된 눈금판으로 이루어지는 다수의 전극간격 외장 측정기를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면 제3도 및 제5도를 참조하여 본 고안을 상세히 설명한다.

제3도는 식각장비의 챔버 상부 부위를 나타내는 사시도이다.

도면에서 갭 하우징 어셈블리(gap housing assembly)(3)는 상·하로 움직이고 챔버 커버(cover)(4)는 고정되어 있는데, 본 고안은 고정되어 있는 상기 챔버 커버(4)와 상·하 이동하는 갭 하우징 어셈블리(3)에 각각 측정기를 제4도와 같이 설치하여 전극간격을 확인할 수 있도록 한 것이다.

제4도는 본 고안에 따른 전극간격 외장 측정기(20)가 부착된 식각장비의 챔버 상부 부위를 나타내는 측면도로서, 도면에 도시된 바와 같이 갭 하우징 어셈블리(3) 및 쳄버 커버(4)에 전극간격 외장 측정기가 장착된다.

제5도는 본 고안에 따른 전극간격 외장 측정기로서, 지시침(9)이 부착된 지시대(10)는 갭 하우징 어셈블리에 장착되어 상,하로 움직이며, 지시확인용 블랙킷(bracket)(11)이 형성돼 있고 세부눈금이 새겨진 눈금판(12)는 챔버 커버에 장착되어 고정되어 있으므로 초기에 간격 측정 플러그와 베이스 또는 크레이 볼을 이용하여 공정에 적합한 전극간격을 조정해준 후 본 고안에 따른 전극간격 외장 측정기의 지시대(10)의 지시침(9)이 가리키는 눈금판(12)의 눈금에 지시확인용 블랙킷(11)을 맞추어 놓게 되면 추후 식각율 및 균일성에 문제가 생길때 챔버를 열지 않고 지시확인용 블랙킷(11)의 가운데 눈금과 지시대(10)의 지시침(9)이 가리키는 눈금이 일치되는지 확인 하므로서 전극간격의이상 유무를 확인 보정해 줄 수 있다.

이때, 전극간격 외장 측정기를 갭 하우징 어셈블리의 세 측면에 장착하여 보다 정확한 확인 및 보정을 할 수 있다.

상기 설명과 같이 본 고안은 식각율 및 균일성에 문제 발생시 챔버를 열지 않고 전극간격을 확인 할 수 있게 되어 보정에 필요한 조치시간을 크게 단축시켜 실질적인 식각장비 가동률을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 반도체 식각장비에 있어서; 갭 하우징 어셈블리(3)의 외부 소정의 부위에 고정 장착되어 상,하로 움직이는 지시침(9)이 부착된 지시대(10)와, 세부눈금이 형성돼 있고, 상기 지시대(10)의 지시침(9)이 세부눈금을 가리킬 수 있도록 챔버 커버(4)의 외부 소정의 부위에 고정되어 장착된 눈금판(12)으로 이루어지는 다수의 전극간격 외장측정기를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전극간격 외장 측정기가 부착된 반도체 식각장비.
2. 제1항에 있어서, 상기 눈금판(12)에 상·하로 움직이는 지시확인용 블랙킷(11)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전극간격 외장 측정기가 부착된 반도체 식각장비.