KR950009613Y1 - 반도체 검사용 핸들러의 접촉핑거장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

반도체 검사용 핸들러의 접촉핑거장치

제1도는 본 고안의 사시도.

제2도는 본 고안의 작동도로서, (a)는 접촉핑거가 반도체 소자의 리도에 접촉되기 전의 상태도, (b)는접촉핑거가 반도체 소자의 리드에 접촉된 상태도.

제3도는 종래 장치를 나타낸 작동도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

3 : 접촉핑거 5 : 교정톱니

4 : 도전체 6 : 받침판

본 고안은 반도체 소자 검사용 핸들러(Handler)에 관한 것으로, 좀더 구체적으로는 소자의 리드(Lead)가 휘어진 상태로 핸들러에 투입되는 경우에도 이를 바로 세위서 정확히 검사할 수 있도록 된 리드 휨의 교정이 가능한 접촉핑거(Finger)장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 검사용 핸들러에서 검사작업을 할때 소자 가이더를 따라 소자가 투입되어 스토퍼에 의해 일정위치에 정지하면 접촉핑거가 소자 방향으로 이동하면서 리드와 전기적으로 접촉하게 되고 검사작업이 끝나면 양품은 양품은 양품 통로로, 불량품은 불량품 통로로 각각 떨어지게 된다.

상기한 바와 같은 반도체 검사용 핸들러에 적용되어 온 종래의 접촉핑거 장치, 예를 들어 제3도에 도시한바와 같은 장치는 소자 가이더(1)의 일측에 검사장비와 연결된 접촉핑거(7)를 도면상 좌, 우로 이동가능하게 설치하여 소자 가이더(1)로 소자(2)가 투입되어 일정위치에 정지하면 접촉핑거(7)가 제3도의 실선 위치에서 일점쇄선 위치로 이동하면서 소자(2)의 리드와 접촉되게 하였다.

그러나 상기한 종래의 장치는 접촉핑거(7)가 좌, 우 방향으로 이동하면서 리드에 단순접촉을 하는 구조이기때문에 소자(2)에 형성된 다수의 리드중 어느 하나의 리드라도 휘어져 있는 경우에는 해당리드에 접촉핑거(7)가 접촉하지 못하게 되는 문제가 있다.

따라서 소자가 양품임에도 불구하고 리드 휨으로 인해 불량품으로 판정받는 사례가 발생하고 이에 따라 반도체 소자의 수율저하를 가져오게 된다.

본 고안은 소자의 리드가 휘어져 있는 경우에도 접촉핑거가 리드에 정확히 접촉될 수 있는 개선된 구조의 접촉핑거 장치를 제공하기 의한 것인 바, 이를 첨부된 도면 제1도 내지 제2도에 의해 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

도전체(4)와 교정톱니(5)가 격간격으로 배열 고정된 접촉핑거(3)를 소자가이더(1)의 일측에 좌, 우로 이동가능하게 설치하고 다른 일측 상방에는 받침판(6)을 좌, 우로 이동가능하게 설치하여 받짐판(6)이 소자(2)의리드를 접촉핑거 방향으로 이동시킬 수 있계 한 것이다.

이와같이 된 본 고안은 제2도(a)와 같이 반도체 소자 검사시 소자(2)가 소자가이더(1)를 따라 투입되어 일정위치에 정지하면 제2도(b)와 같이 접촉핑거(3)가 소자 방향으로 이동하여 교정톱니(5)가 리드의 사이사이 공간으로 삽입됨과 동시에 반침판(6)이 소자 방향으로 이동하면서 리드를 밀어 접촉핑거(3)의 도전체(4)에 접촉시키게 된다.

따라서 소자(2)의 리드가 휘어져 있는 경우에도 반침판(6)과 접촉핑거(3)의 상호 연관 작동에 의해 리드가 일직선으로 교정되면서 접촉핑거(3)의 도전체(4)와 접촉하게 되며, 이에 따라 정확한 검사가 가능해지고 반도체 수율을 높일 수 있게 되는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 도전체(4)와 교정톱니(5)가 격간격으로 배열 고정된 접촉핑거(3)를 소자가이더(1)의 일측에 좌, 우로 이동가능하게 설치하고 다른 일측 상방에는 받침판(6)을 좌, 우로 이동가능하게 설치하여 받침판(6)이 소자(2)의 리드를 접촉핑거 방향으로 이동시킬 수 있게 함을 특징으로 하는 반도체 검사용 핸들러의 접촉 핑거장치.