KR101066357B1 - 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더 - Google Patents

무빙 마그넷형 리니어 슬라이더 Download PDF

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가부시키가이샤 야스카와덴키
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Abstract

리니어 모터에 의한 자기 흡인력을 없게 하고, 리니어 가이드 마찰을 최소화할 수가 있는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더 장치를 제공한다.
리니어 모터의 계자는, 대략 U자 모양의 단면 형상을 가진 자성체 요크(4)와, 자성체 요크의 내측 대향면의 긴 방향을 따라 극성이 교대로 다른 자극을 병설한 한 벌의 계자용 영구자석(3)으로 이루어지는 마그넷 트랙(2)으로 구성되고, 리니어 모터의 전기자는, 고정 베이스(1)의 측면 상에 연직 방향으로 설치한 전기자 홀더(12)와, 전기자 홀더(12)와 직교하도록 설치한 평판 모양의 무코어형(coreless type)의 전기자 코일(11)에 의해 구성된다. 마그넷 트랙(2)의 스트로크 방향의 길이 Lmg를, 전기자(10)의 스트로크 방향의 길이 La보다 길게 하고, 또, 마그넷 트랙(2)의 저부에, 고정 베이스(1)와 대향하도록 가동자의 중량과 균형을 맞추기 위한 중력 보상용 스프링(19)을 설치하였다.
리니어 모터, 리니어 슬라이더, 무빙 마그넷, 계자, 영구자석, 전기자 코일

Description

무빙 마그넷형 리니어 슬라이더{MOVING MAGNET TYPE LINEAR SLIDER}
본 발명은 예를 들면 전기부품 실장 장치, 반도체 관련 장치 혹은 공작기계 등의 각종 산업기계에 사용됨과 아울러 그 직동기구(直動機構)의 구동용으로 매우 적합한 리니어 모터에 관한 것으로, 특히 영구자석으로 이루어지는 계자를 가동자로서, 전기자 코일을 가진 전기자를 고정자로서 구성하는 무빙 마그넷형(Moving Magnet Type) 리니어 슬라이더에 관한 것이다.
종래, 전기부품 실장 장치, 반도체 관련 장치 혹은 공작기계 등의 각종 산업기계에 사용됨과 아울러 그 직동기구(直動機構)의 구동용으로 매우 적합한 리니어 모터는, 도 6에 나타내듯이 이루어져 있다. 또, 도 6은 종래 기술을 나타내는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더로서, (a)는 그 평면도, (b)는 (a)의 B-B선을 따르는 정단면도이고, (a)는 (b)의 화살표 A로부터 투시한 도에 상당한다.
도 6에 있어서, (21)은 고정 베이스, (22)는 마그넷 트랙(track), (23)은 계자용 영구자석, (24)는 계자 요크, (25)는 가이드 레일, (26)은 가이드 블록, (27)은 센서 헤드, (28)은 리니어 스케일부, (29)는 스토퍼(stopper), (30)은 전기자, (31)은 전기자 코일, (32)는 결선 기판이다.
리니어 슬라이더는, 계자용 영구자석(23)의 배면에 계자 요크(24)를 설치하여 계자 요크(24)가 가동자와 자기회로를 겸용하고 있다. 또, 전기자(30)는, 결선 기판(32) 상에 고착된 무슬롯(slotless)의 전기자 코일(31)을 복수 구비한 구조를 가짐과 아울러, 솔리드의 자성부재로 이루어진 고정 베이스(21) 상에 가동자와 자기적 공극을 개재하여 배치되어 고정자를 구성하고 있다. 또, 결선 기판(32)에는 계자용 영구자석(23)에 대향하도록 자극 검출을 행하기 위한 복수의 도시하지 않는 홀 소자(Hall device)를 매립하도록 되어 있다. 이 홀 소자(미도시)는, 전원을 온(ON)시킨 초기의 시점에서 어느 하나의 홀 소자로부터 대향하는 계자자석의 위치를 검출하여, 검출된 계자용 영구자석(23)의 위치에 맞추어 구동 전류를 전기자 코일(31)에 흘리기 위한 검출 신호를 출력한다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
이 전기자(30)의 양측에는, 평행한 가이드 레일(25)이 고정 베이스(21) 상에 고정되어 가이드 레일(25) 상에는, 이 레일 상을 슬라이딩하는 가이드 블록(26)이 계자 요크(24)의 양단의 하부에 고정되어 있다. 또한, 가동자의 측면에는, 리니어형의 엔코더를 구성하는 자기식의 리니어 스케일부(28)가 배치되어 설치되고, 이 리니어 스케일부(28)에 대향하도록 고정 베이스(21)에 이 리니어 스케일부(28)를 검출하는 센서 헤드(27)가 배치되어 설치되어 있다. 그리고, 2개의 가이드 레일(25)의 단부의 사이에는 가동자의 오버런(over-run)을 방지하기 위한 스토퍼(stopper)(29)가 설치되어 있다.
이 리니어 슬라이더는 계자용 영구자석(23)의 자속이, 고정 베이스(21)에 쇄교하는 자기회로 구조로 되어 있고, 또, 전기자 코일(31)을 여자 하면, 계자와 전기자로 만들어지는 이동 자계에 의해 가동자를 전기자 길이와 가동자 길이의 차인 스트로크(stroke) 내에서 직선 이동하도록 되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 및 2를 참조).
　　 <특허 문헌 1>　일본국 특허공개 1997-266659호 공보(명세서 제5 페이지, 도 3)
<특허 문헌 2>　일본국 특허공개 2002-10617(명세서 제7 페이지∼9 페이지, 도 1 및 도 3)
<발명이 해결하고자 하는 과제>
종래의 리니어 슬라이더는, 먼저 리니어 모터를 구성하는 전기자와 계자용 영구자석이 각각의 편면측에서 대향하는 구조로 되어 있기 때문에, 이 양자 사이에는 자기 흡인력이 작용하게 된다. 따라서 리니어 모터를 지지하는 가이드 레일 및 가이드 블록은 비틀림 모멘트(moment)를 경감하기 위해서 2열로 지지하는 구조로 되어 있다. 그렇지만, 이 구조에서는 자기 흡인력에 의해 리니어 가이드에 여압(與壓)이 걸리고, 가이드 마찰을 증대시키는 것으로 되었다. 또 2열의 가이드 레일의 평행도의 오차에 의해 스트로크 방향으로 부분적인 마찰의 변화가 발생하고, 추진력이 일정하게 되지 않기 때문에 미소한 추진력 제어를 할 수 없다고 하는 문제가 있었다.
본 발명은 상기 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 리니어 모터에 의한 자기 흡인력을 없게 하고, 리니어 가이드에 여압을 걸지 않게 함과 아울러 리니어 가이드를 리니어 모터 추진력 중심축 근방에 1개 배치하고, 리니어 가이드 마찰을 최소화할 수가 있는 저점성 마찰 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
<과제를 해결하기 위한 수단>
상기 문제를 해결하기 위해 본 발명은 다음과 같이 구성한 것이다.
청구항 1의 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더와 관련되는 발명은, 고정 베이스 상에 평행으로 대향 배치됨과 아울러 가동자를 구성하는 계자와 고정자를 구성하는 전기자로 이루어지는 리니어 모터와, 상기 리니어 모터의 가동자를 안내 지지하는 가이드 레일과 가이드 블록으로 이루어지는 리니어 가이드와, 상기 가동자와 상기 고정 베이스의 상대 위치를 검출하기 위한 검출 수단을 구비하고, 상기 가동자를 상기 고정 베이스에 대해서 상기 가이드 레일 상의 긴 방향을 따라 왕복 운동시키는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더에 있어서, 상기 리니어 모터의 계자는, 상기 가이드 블록상에 설치됨과 아울러 대략 U자 모양의 단면 형상을 가지고, 한편, 그 개구부가 수평 방향을 향하도록 배치되고 설치되어 이루어지는 자성체 요크와, 상기 자성체 요크의 내측 대향면의 긴 방향을 따라 극성이 교대로 다른 자극이 병설되고, 한편, 서로 대향하는 상기 자극의 극성이 반대의 극성이 되도록 설치한 한 벌의 계자용 영구자석으로 이루어지는 마그넷 트랙으로 구성되고, 상기 리니어 가이드는 상기 리니어 모터의 추진력 중심축 근방에 1개 배치되고, 상기 리니어 모터의 전기자는, 상기 고정 베이스의 한쪽의 측면 상에 연직 방향으로 설치한 전기자 홀더와, 상기 전기자 홀더와 직교하도록 설치됨과 아울러 상기 한 벌의 계자용 영구자석의 내측에 자기적 공극을 개재하여 대향 배치시킨 평판 모양의 무코어형(coreless type)의 전기자 코일로 구성되고, 상기 검출 수단은, 상기 자성체 요크의 개구부와 반대측의 저부의 하면에 설치하여 이루어지는 리니어 스케일과, 상기 전기자 홀더를 배치되어 설치한 고정 베이스와 반대측의 측면 상에 상기 리니어 스케일에 대향하도록 장착한 센서 헤드로 구성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
또, 청구항 2의 발명은, 청구항 1에 기재의 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더에 있어서, 상기 마그넷 트랙의 스트로크 방향의 길이 Lmg를, 상기 전기자의 스트로크 방향의 길이 La보다 길게 하고, 이 스트로크 방향의 길이의 차 Lmg-La를 리니어 슬라이더의 유효 스트로크로 함과 아울러, 상기 전기자에 자극 검출기를 내장하고, 이 자극 검출기에 의해 리니어 슬라이더의 초기 자극을 검출하도록 한 것을 특징으로 하고 있다.
또, 청구항 3의 발명은, 청구항 1에 기재의 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더에 있어서, 상기 마그넷 트랙의 스트로크 방향의 길이 Lmg를, 상기 전기자의 스트로크 방향의 길이 La보다 짧게 하고, 이 스트로크 방향의 길이의 차 La-Lmg를 리니어 슬라이더의 유효 스트로크로 한 것을 특징으로 하고 있다.
청구항 4의 발명은, 청구항 1에 기재의 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더에 있어서, 상기 마그넷 트랙의 스트로크 방향의 길이 Lmg를, 상기 전기자의 스트로크 방향의 길이 La보다 길게 하고, 이 스트로크 방향의 길이의 차 Lmg-La를 리니어 슬라이더의 유효 스트로크로 하는 것이고, 상기 전기자의 모터 리드측과 반대측의 단부에 이 전기자와 별체가 되도록 자극 검출기를 배치 고정하고, 상기 마그넷 트랙이 스트로크단으로 이동한 경우라도 상시 자극 검출이 될 수 있도록 한 것을 특징으로 하고 있다.
청구항 5의 발명은, 청구항 1∼4의 어느 한 항에 기재의 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더에 있어서, 상기 마그넷 트랙의 저부에, 상기 고정 베이스와 대향하도록 가동자의 중량과 균형을 맞추기 위한 중력 보상용 스프링을 설치한 것을 특징으로 하고 있다.
<발명의 효과>
청구항 1에 기재의 발명에 의하면, 리니어 모터에 의한 자기 흡인력을 없게 하고, 리니어 가이드에 여압을 걸지 않게 함과 아울러 리니어 가이드의 배치가 리니어 모터 추진력 중심축 근방의 1개소만으로도 되어 리니어 가이드 마찰을 최소화 할 수가 있다. 그 결과, 리니어 슬라이더의 미소 추진력 제어를 향상할 수가 있다.
또, 청구항 3에 기재의 발명에 의하면, 무코어 전기자 길이보다 마그넷 트랙을 짧게 함으로써 고정 베이스 전체 길이 범위 내에서 구동 스트로크를 확보할 수가 있고, 리니어 슬라이더 크기를 컴팩트(compact) 하게 할 수 있다.
청구항 2, 4에 기재의 발명에 의하면, 청구항 3의 구성과는 반대로 무코어 전기자 길이보다 마그넷 트랙을 길게 함으로써, 가동자가 스트로크 길이를 이동한 경우라도, 자극 검출기에 의해 상시 초기 자극 검출이 가능하게 되기 때문에, 청구항 3에서 필요로 하였던 소프트웨어에 의한 자극 검출이 전원 투입을 불필요하게 할 수가 있다.
청구항 5에 기재의 발명에 의하면, 마그넷 트랙의 저부에 가동자의 중량과 균형을 맞추기 위한 중력 보상용 스프링을 설치함으로써, 컴팩트 하고 한편 치밀한 미소 추진력 제어를 가능하게 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예∼제3 실시예에 공통된 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더의 정단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예를 나타내는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더로서, (a)는 도 1의 화살표 A방향으로부터 투시한 평면도, (b)는 도 1의 화살표 B방향으로부터 투시한 측면도에 상당하는 것이다.
도 3은 본 실시예에 의한 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더의 동작을 나타내는 추진력 특성도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예를 나타내는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더로서, (a)는 도 1의 화살표 A방향으로부터 투시한 평면도, (b)는 도 1의 화살표 B방향으로부터 투시한 측면도에 상당하는 것이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예를 나타내는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더로서, (a)는 도 1의 화살표 A방향으로부터 투시한 평면도, (b)는 도 1의 화살표 B방향으로부터 투시한 측면도에 상당하는 것이다.
도 6은 종래 기술을 나타내는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더로서, (a)는 그 평면도, (b)는 (a)의 B-B선을 따르는 정단면도이고, (a)는 (b)의 화살표 A로부터 투시한 도에 상당하는 것이다.
<부호의 설명>
1 고정 베이스
1A 암 나사부
2 마그넷 트랙(magnet track)
3 계자용 영구자석
4 자성체 요크
4A 암 나사부
5 리니어 가이드의 가이드 레일
6 가이드 블록
7 센서 헤드
8 리니어 스케일
9 볼트
10 전기자
11 전기자 코일
12 전기자 홀더(holder)
12A 관통공
13 스토퍼(stopper)
14 누름부
15 센서 홀더
16 모터 리드
17 자극 검출기 리드
18 리니어 스케일 리드
19 중력 보상용 스프링
20 자극 검출 헤드
21 고정 베이스
22 마그넷 트랙
23 계자용 영구자석
24 계자 요크
25 가이드 레일(guide rail)
26 가이드 블록(guide block)
27 센서 헤드
28 리니어 스케일부
29 스토퍼
30 전기자
31 전기자 코일
32 결선 기판
이하, 본 발명의 실시의 형태에 대해서 도를 참조하여 설명한다.
<실시예 1>
도 1은 본 발명의 제1 실시예∼제3 실시예에 공통된 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더의 정단면도, 도 2는 본 발명의 제1 실시예를 나타내는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더로서, (a)는 도 1의 화살표 A방향으로부터 투시한 평면도, (b)는 도 1의 화살표 B방향으로부터 투시한 측면도에 상당하는 것이다.
본 발명의 특징은 이하와 같다.
도에 있어서, (1)은 고정 베이스, (1A)는 고정 베이스(1)에 설치한 암 나사부, (2)는 마그넷 트랙, (3)은 계자용 영구자석, (4)는 자성체 요크, (4A)는 자성체 요크(4)에 설치한 암 나사부, (5)는 리니어 가이드의 가이드 레일, (6)은 가이드 블록, (7)은 센서 헤드, (8)은 리니어 스케일, (9)는 볼트, (10)은 전기자, (11)은 전기자 코일, (12)는 전기자 홀더, (12A)는 전기자 홀더(12)에 설치한 관통공, (13)은 스토퍼, (14)는 누름부, (15)는 센서 홀더, (16)은 모터 리드, (17)은 자극 검출기 리드, (18)은 리니어 스케일 리드, (19)는 중력 보상용 스프링이다.
본 발명이 종래 기술과 다른 점은, 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더는, 리니어 모터의 계자는, 가이드 블록(6) 상에 설치됨과 아울러 대략 U자 모양의 단면 형상을 가지고, 한편, 그 개구부가 수평 방향을 향하도록 배치되고 설치되어 이루어지는 자성체 요크(4)와, 자성체 요크의 내측 대향면의 긴 방향을 따라 극성이 교대로 다른 자극이 병설되고, 한편, 서로 대향하는 자극의 극성이 반대의 극성이 되도록 설치한 한 벌의 계자용 영구자석(3)으로 이루어지는 마그넷 트랙(2)으로 구성되고, 리니어 모터의 전기자는, 고정 베이스(1)의 한쪽의 측면 상에 연직 방향으로 설치한 전기자 홀더(12)와, 전기자 홀더(12)와 직교하도록 설치됨과 아울러 한 벌의 계자용 영구자석(3)의 내측에 자기적 공극을 개재하여 대향 배치시킨 평판 모양의 무코어형(coreless type)의 전기자 코일(11)로 구성되어 있고, 흡인력 상쇄형 구조가 되어 있는 점이다.
또, 검출 수단은, 자성체 요크(4)의 개구부와 반대측의 저부의 하면에 설치하여 이루어지는 리니어 스케일(8)과, 전기자 홀더(12)를 배치되어 설치한 고정 베이스(1)와 반대측의 측면 상에 리니어 스케일(8)에 대향하도록 장착한 센서 헤드(7)로 구성된 것으로 되어 있다.
또, 마그넷 트랙(2)의 스트로크 방향의 길이 Lmg를, 전기자(10)의 스트로크 방향의 길이 La보다 길게 하고, 이 스트로크 방향의 길이의 차 Lmg-La를 리니어 슬라이더의 유효 스트로크로 함과 아울러, 전기자(10)에 도시하지 않는 자극 검출기(미도시)를 내장하고, 이 자극 검출기에 의해 리니어 슬라이더의 초기 자극을 검출하도록 한 것으로 되어 있다.
또, 마그넷 트랙(2)의 저부에, 고정 베이스(1)와 대향하도록 가동자의 중량과 균형을 맞추기 위한 중력 보상용 스프링(19)을 설치한 것으로 되어 있다.
다음에, 동작에 대해서 설명한다.
도 1, 2에 나타내듯이, 리니어 모터의 전기자에 도시하지 않는 외부 전원으로부터 도통하면, 테이블을 고정 베이스(1)에 대해서 가이드 레일(5) 상의 긴 방향을 따라 왕복 운동하지만, 이때 이동체인 마그넷 트랙(2)측에 설치한 리니어 스케일(8)에 대해서 고정 베이스(1)측에 설치한 센서 헤드(7)에 의해, 이동체와 고정 베이스(1)의 상대 위치를 검출한다.
여기서, 도 3은 본 실시예에 의한 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더의 동작을 나타내는 추진력 특성도이다. 도 3에 나타내듯이, (a)의 본 발명은 (b)의 종래 기 술에 대해서, 전류에 대한 추진력 특성에 히스테리시스성이 없어져 있고, 리니어 슬라이더의 미소 추진력 제어를 가능하게 할 수가 있다.
따라서, 본 실시예는 상기 구성과 같이, 리니어 모터의 계자와 전기자의 배치를 흡인력 상쇄 구조로 하였으므로, 리니어 모터에 의한 자기 흡인력을 없게 하고, 리니어 가이드에 여압을 걸지 않게 함과 아울러 리니어 가이드의 배치가 리니어 모터 추진력 중심축 근방의 1개소만으로도 되어 리니어 가이드 마찰을 최소화 할 수가 있다. 그 결과, 리니어 슬라이더의 미소 추진력 제어를 향상할 수가 있다.
또, 본 실시예의 리니어 슬라이더는, 무코어 전기자 길이보다 마그넷 트랙의 길이를 길게 하고, 전기자에 자극 검출기를 내장한 구성으로 하였으므로, 그 길이의 차가 리니어 슬라이더의 유효 스트로크로 하는 구조가 됨과 아울러 전기자에 내장한 자극 검출기에 의해 용이하게 초기 자극 검출을 할 수가 있다.
또, 마그넷 트랙(2)의 저부에, 고정 베이스(1)와 대향하도록 가동자의 중량과 균형을 맞추기 위한 중력 보상용 스프링(19)을 설치하였으므로, 컴팩트 하고 한편 치밀한 미소 추진력 제어를 가능하게 하고 있다.
<실시예 2>
도 4는 본 발명의 제2 실시예를 나타내는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더로서, (a)는 도 1의 화살표 A방향으로부터 투시한 평면도, (b)는 도 1의 화살표 B방향으로부터 투시한 측면도에 상당하는 것이다.
제2 실시예가 제1 실시예와 다른 점은, 마그넷 트랙(2)의 스트로크 방향의 길이 Lmg를, 전기자(10)의 스트로크 방향의 길이 La보다 짧게 하고, 이 스트로크 방향의 길이의 차 La-Lmg를 리니어 슬라이더의 유효 스트로크로 함과 아울러, 리니어 슬라이더의 초기 자극 검출을 소프트웨어에 의해 검출하도록 한 점이다. 또, 리니어 슬라이더의 초기 자극 검출은, 전원 투입시에 소프트웨어에 의한 자극 서치를 할 필요가 있다.
따라서, 본 실시예는, 무코어 전기자 길이보다 마그넷 트랙을 짧게 함으로써, 그 길이의 차가 리니어 슬라이더의 유효 스트로크로 하는 구조로 되기 때문에, 고정 베이스 전체 길이 범위 내에서 구동 스트로크를 확보할 수가 있고, 리니어 슬라이더 크기를 소형화 할 수가 있다.
<실시예 3>
도 5는 본 발명의 제3 실시예를 나타내는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더로서, (a)는 도 1의 화살표 A방향으로부터 투시한 평면도, (b)는 도 1의 화살표 B방향으로부터 투시한 측면도에 상당하는 것이다.
제3 실시예가 제1 실시예와 다른 점은, 마그넷 트랙(2)의 스트로크 방향의 길이 Lmg를, 전기자(10)의 스트로크 방향의 길이 La보다 길게 하고, 이 스트로크 방향의 길이의 차 Lmg-La를 리니어 슬라이더의 유효 스트로크로 하는 것이고, 전기자(10)의 모터 리드측과 반대측의 단부에 이 전기자(10)와 별체가 되도록 자극 검출기(자극 검출기 헤드(20))를 배치 고정하고, 마그넷 트랙(2)이 스트로크단으로 이동한 경우라도 상시 자극 검출이 될 수 있도록 한 점이다.
따라서, 제3 실시예의 리니어 슬라이더는 상기 구성으로 하였으므로, 무코어 전기자 길이보다 마그넷 트랙의 길이를 길게 하고, 전기자의 단부의 위치에 전기자와는 별체에 자극 검출기를 설치하는 구성으로 하였으므로, 자극 검출기에 의해 가동자가 스트로크 길이를 이동한 경우라도, 상시 초기 자극 검출이 가능하게 되기 때문에, 제2 실시예에서 필요로 하였던 소프트웨어에 의한 자극 검출이 전원 투입을 불필요하게 할 수가 있다.
리니어 가이드 마찰을 작고, 한편 스트로크 영역에서 일정하게 함으로써 미소 추진력 제어가 가능하게 되므로 선단부의 치밀한 제어가 필요한 유리 절단기 등의 용도에도 적용할 수 있다.

Claims (5)

  1. 고정 베이스 상에 평행으로 대향 배치됨과 아울러 가동자를 구성하는 계자와 고정자를 구성하는 전기자로 이루어지는 리니어 모터와, 상기 리니어 모터의 가동자를 안내 지지하는 가이드 레일과 가이드 블록으로 이루어지는 리니어 가이드와, 상기 가동자와 상기 고정 베이스의 상대 위치를 검출하기 위한 검출 수단을 구비하고, 상기 가동자를 상기 고정 베이스에 대해서 상기 가이드 레일 상의 긴 방향을 따라 왕복 운동시키는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더에 있어서,
    상기 리니어 모터의 계자는, 상기 가이드 블록상에 설치됨과 아울러 U자 모양의 단면 형상을 가지고, 한편, 그 개구부가 수평 방향을 향하도록 배치되고 설치되어 이루어지는 자성체 요크와, 상기 자성체 요크의 내측 대향면의 긴 방향을 따라 극성이 교대로 다른 자극이 병설되고, 한편, 서로 대향하는 상기 자극의 극성이 반대의 극성이 되도록 설치한 한 벌의 계자용 영구자석으로 이루어지는 마그넷 트랙으로 구성되고,
    상기 리니어 가이드는 상기 리니어 모터의 추진력 중심축 근방에 1개 배치되고,
    상기 리니어 모터의 전기자는, 상기 고정 베이스의 한쪽의 측면 상에 연직 방향으로 설치한 전기자 홀더와, 상기 전기자 홀더와 직교하도록 설치됨과 아울러 상기 한 벌의 계자용 영구자석의 내측에 자기적 공극을 개재하여 대향 배치시킨 평판 모양의 무코어형(coreless type)의 전기자 코일로 구성되고,
    상기 검출 수단은, 상기 자성체 요크의 개구부와 반대측의 저부의 하면에 설치하여 이루어지는 리니어 스케일과, 상기 전기자 홀더를 배치하고 설치한 고정 베이스와 반대측의 측면 상에 상기 리니어 스케일에 대향하도록 장착한 센서 헤드로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 마그넷 트랙의 스트로크 방향의 길이 Lmg를, 상기 전기자의 스트로크 방향의 길이 La보다 길게 하고, 이 스트로크 방향의 길이의 차 Lmg-La를 리니어 슬라이더의 유효 스트로크로 하는 것이고,
    상기 전기자에 자극 검출기를 내장하고, 이 자극 검출기에 의해 리니어 슬라이더의 초기 자극을 검출하도록 한 것을 특징으로 하는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 마그넷 트랙의 스트로크 방향의 길이 Lmg를, 상기 전기자의 스트로크 방향의 길이 La보다 짧게 하고, 이 스트로크 방향의 길이의 차 La-Lmg를 리니어 슬라이더의 유효 스트로크로 한 것을 특징으로 하는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 마그넷 트랙의 스트로크 방향의 길이 Lmg를, 상기 전기자의 스트로크 방 향의 길이 La보다 길게 하고, 이 스트로크 방향의 길이의 차 Lmg-La를 리니어 슬라이더의 유효 스트로크로 함과 아울러, 전기자의 모터 리드측과 반대측단에 별부품이 되는 자극 검출기를 배치 고정하고, 상기 마그넷 트랙이 스트로크단으로 이동한 경우라도 상시 자극 검출이 될 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 마그넷 트랙의 저부에, 상기 고정 베이스와 대향하도록 가동자의 중량과 균형을 맞추기 위한 중력 보상용 스프링을 설치한 것을 특징으로 하는 무빙 마그넷형 리니어 슬라이더.
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