KR20080075216A

KR20080075216A - 리니어 모터 액추에이터

Info

Publication number: KR20080075216A
Application number: KR1020087016290A
Authority: KR
Inventors: 요시히로 기무라; 히로시 가네시게
Original assignee: 티에치케이 가부시끼가이샤
Priority date: 2005-12-06
Filing date: 2006-11-20
Publication date: 2008-08-14
Also published as: JP4877834B2; CN101326702B; WO2007066500A1; JPWO2007066500A1; US20090278412A1; CN101326702A; US8067862B2; DE112006003341T5; KR101275954B1

Abstract

충분한 추력이나 보유 지지력을 발생시키면서 종래에 비해 각별한 소형화가 가능한 리니어 모터 액추에이터이며, 바닥판(10) 및 한 쌍의 측벽(11)을 갖고 채널 형상으로 형성된 베이스 부재(1)와, 이 베이스 부재의 길이 방향을 따라 그 바닥판 상에 부설된 궤도 레일(2)과, 이 궤도 레일을 따라 운동하는 슬라이드 테이블(3)과, 상기 베이스 부재의 각 측벽의 내측면에 배열된 고정자 마그넷(40)과, 상기 슬라이드 테이블에 탑재되는 동시에, 상기 베이스 부재의 각 측벽에 설치된 고정자 마그넷과 대향하여 리니어 모터(4)를 구성하는 한 쌍의 코일 부재(41)를 구비하고 있다.

리니어 모터, 고정자 마그넷, 궤도 레일, 코일 부재, 슬라이드 테이블

Description

리니어 모터 액추에이터 {LINEAR MOTOR ACTUATOR}

본 발명은 리니어 모터를 내장하고, 입력 신호에 따라서 슬라이드 테이블이 베이스 부재에 대해 이동 가능한 리니어 모터 액추에이터에 관한 것으로, 특히 폭 10 ㎜ 정도, 길이 40 ㎜ 정도까지 소형화하여 각종 산업 기기에 이용 가능한 리니어 모터 액추에이터에 관한 것이다.

종래, 리니어 모터 액추에이터로서는 일본 특허 출원 공개 제2004-274950호 공보나 일본 특허 출원 공개 제2004-312983호 공보에 개시된 것이 알려져 있다. 이들 공보에 개시되는 리니어 모터 액추에이터는 바닥판 및 한 쌍의 측벽을 갖고 채널 형상으로 형성된 궤도 레일과, 다수의 볼을 개재하여 상기 궤도 레일의 한 쌍의 측벽의 사이에 조립된 슬라이드 블록과, 이 슬라이드 블록을 궤도 레일에 대해 추진하기 위한 리니어 모터로 구성되어 있다.

상기 리니어 모터는 N극 및 S극의 자극이 직선 형상으로 교대로 배열되어 자계를 발생시키는 고정자 마그넷과, 상기 교류 전류의 통전에 의해 고정자 마그넷의 자극의 배열 방향을 따른 이동 자계를 발생시키는 이동자로서의 코일 부재로 구성되어 있다. 상기 고정자 마그넷은 궤도 레일의 길이 방향을 따라 그 바닥판 상에 설치되는 한편, 상기 코일 부재는 슬라이드 블록 자체, 혹은 슬라이드 블록에 고정 된 테이블에 탑재되어 상기 고정자 마그넷과 근소한 간극을 두고 대향하고 있다.

상기 코일 부재는 철 등의 강자성체로 형성된 코어 부재를 구비하는 타입과 구비하지 않는 타입이 존재하지만, 발생 추력의 점에서는 전자의 타입이 유리하다. 이러한 코어 부재에는 상기 교류 전류의 상수의 자연수배로 되는 수의 치형부가 상기 고정자 마그넷과 대향하도록 설치되어 있다. 이들 치형부에는 코일이 권취되어 있어, 코일에 통전되면 각 치형부가 전자석으로 되어 상기 고정자 마그넷을 구성하는 각 자극과의 사이에 자기 흡인력 또는 자기 반발력이 발생한다. 예를 들어, 삼상 교류 전류는 위상이 120도씩 상이한 u상, v상, w상의 3개의 교번 전류로 형성되어 있으므로, 상기 코어 부재의 일단의 치형부에는 u상, 다음의 치형부에는 v상, 그 다음의 치형부에는 w상이라고 하는 바와 같이, 일련의 치형부에 권취된 코일에 대해 위상이 120도씩 상이한 교번 전류를 순차 통전해 가면 마치 코어 부재의 일단에 위치하는 치형부로부터 타단에 위치하는 치형부를 향해 자계가 이동하고 있는 것과 같은 현상을 발생한다. 이것이 전술한 이동 자계이며, 이 이동 자계와 고정자 마그넷과의 협동에 의해 이동자와 고정자 마그넷 사이에 추력이 작용한다.

특허 문헌 1 : 일본 특허 출원 공개 제2004-274950호 공보

특허 문헌 2 : 일본 특허 출원 공개 제2004-312983호 공보

전술한 바와 같이, 큰 추력을 얻는다고 하는 관점에서 보면 코일을 코어 부재에 권취하여 코일 부재를 구성하는 것이 요망된다. 그러나 이러한 코어 부재가 존재하면 코일에 전류를 통전하고 있지 않은 경우라도 고정자 마그넷과 코어 부재 사이에 추력의 수배에 상당하는 자기 흡인력이 작용해 버려, 코일 부재를 탑재한 슬라이드 블록에 대해 항상 일방향으로의 하중이 작용한 상태로 되어 버린다. 이로 인해, 궤도 레일에 대한 슬라이드 블록의 움직임이 무거워지고, 또한 궤도 레일과 슬라이드 블록 사이에 개재되는 베어링 볼이 조기에 마모되어 버리는 것과 같은 문제점이 있었다.

특히, 리니어 모터 액추에이터의 사이즈를 폭 10 ㎜ 정도, 길이 40 ㎜ 정도까지 소형화하기 위해서는 궤도 레일과 슬라이드 블록으로 구성되는 리니어 가이드로서 매우 소형인 것을 사용할 필요가 생기고, 이러한 리니어 가이드의 허용 부하 하중도 극단적으로 작은 것으로 될 수 밖에 없다. 따라서, 리니어 모터의 자기 흡인력이 그대로 리니어 가이드에 작용해 버리면, 이러한 리니어 모터 액추에이터의 용도에 있어서의 허용 부하 하중은 그만큼 작아지고, 또한 리니어 가이드의 수명이 짧아져 버린다.

본 발명은 이러한 문제점에 비추어 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는 충분한 추력이나 보유 지지력을 발생시키면서 종래에 비해 각별한 소형화가 가능한 리니어 모터 액추에이터를 제공하는 데 있다.

상기 목적을 달성하는 본 발명의 리니어 모터 액추에이터는, 바닥판 및 한 쌍의 측벽을 갖고 채널 형상으로 형성된 베이스 부재와, 이 베이스 부재의 길이 방향을 따라 그 바닥판 상에 부설된 궤도 레일과, 이 궤도 레일을 따라 운동하는 슬라이드 테이블과, 상기 베이스 부재의 각 측벽의 내측면에 배열된 고정자 마그넷과, 상기 슬라이드 테이블에 탑재되는 동시에 상기 베이스 부재의 각 측벽에 설치된 고정자 마그넷과 대향하여 리니어 모터를 구성하는 한 쌍의 코일 부재를 구비하고 있다.

이러한 기술적 수단에 따르면, 리니어 모터를 구성하는 고정자 마그넷은 채널 형상으로 형성된 베이스 부재의 한 쌍의 측벽의 내측면에 배열되는 한편, 코일 부재는 각 측벽에 설치된 고정자 마그넷과 대향하도록 하여 슬라이드 블록에 탑재되어 있으므로, 이들 고정자 마그넷과 코일 부재 사이에 작용하는 흡인력은 한 쌍의 측벽의 사이에 있어서 상쇄되어, 리니어 모터에서 발생되는 자기적인 흡인력이 슬라이드 블록에 대해 항상 작용하는 것을 방지하는 것이 가능해진다. 그 결과, 슬라이드 테이블에 요구되는 허용 부하 하중을 저감할 수 있으므로, 리니어 모터의 추력을 높이면서도 상기 베이스 부재에 부설되는 궤도 레일 및 이 궤도 레일을 따라 운동하는 슬라이드 테이블을 소형화하는 것이 가능해진다.

도1은 본 발명을 적용한 리니어 모터 액추에이터의 일례를 도시하는 사시도이다.

도2는 도1에 도시한 리니어 모터 액추에이터로부터 테이블 플레이트를 떼어낸 상태를 도시하는 사시도이다.

도3은 도1에 도시한 리니어 모터 액추에이터에 사용 가능한 리니어 가이드를 도시하는 사시도이다.

도4는 테이블 플레이트와 코어 플레이트의 결합 상태를 도시하는 사시 단면도이다.

[부호의 설명]

1 : 베이스 부재, 2 : 궤도 레일, 3 : 슬라이드 테이블, 4 : 리니어 모터, 5 : 슬라이드 블록, 6 : 테이블 플레이트, 10 : 바닥판, 11 : 측벽, 40 : 고정자 마그넷, 41 : 코일 부재

이하, 첨부 도면을 기초로 하여 본 발명의 리니어 모터 액추에이터를 상세하게 설명한다.

도1은 본 발명을 적용한 리니어 모터 액추에이터의 일례를 도시하는 사시도이다. 이 리니어 모터 액추에이터는 베이스 부재(1)와, 이 베이스 부재(1) 상에 부설된 궤도 레일(2)과, 이 궤도 레일(2)을 따라 자유롭게 왕복 운동이 가능한 슬라이드 테이블(3)과, 이 슬라이드 테이블(3)을 베이스 부재(1) 상에서 추진하는 리니어 모터(4)로 구성되어 있다.

상기 베이스 부재(1)는 바닥판(10) 및 이 바닥판(10)의 양측에 기립 설치된 한 쌍의 측벽(11, 11)을 갖고 채널 형상으로 형성되어 있고 스테인리스에 의해 제작되어 있다. 상기 바닥판(10)에는 상기 궤도 레일(2)을 위치 결정하기 위한 장착 홈(12)이 상기 베이스 부재(1)의 길이 방향을 따라 형성되어 있다.

또한, 상기 슬라이드 테이블(3)은 상기 궤도 레일(2)을 따라 운동하는 슬라이드 블록(5)과, 이 슬라이드 블록(5)에 고정된 테이블 플레이트(6)로 구성되어 있다. 도2는 도1에 도시한 사시도로부터 테이블 플레이트(6)를 떼어낸 상태를 도시하는 사시도이다. 상기 슬라이드 블록(5)은 궤도 레일(2)과 더불어 리니어 가이드 를 구성하고 있고, 상기 테이블 플레이트(6)를 궤도 레일(2)을 따라 안내한다.

도3은 상기 리니어 가이드의 일례를 도시하는 것이다. 상기 궤도 레일(2)은 길이 방향에 수직인 단면이 대략 사각 형상으로 형성되어 있고, 볼(20)이 구름 주행하는 볼 구름 주행 홈(21)이 양측면에 1줄씩 형성되어 있다. 또한, 궤도 레일(2)에는 그 길이 방향으로 적절하게 간격을 두고 볼트 구멍(22)이 형성되어 있고, 이 볼트 구멍(22)에 삽입한 고정 볼트에 의해 궤도 레일(2)을 상기 베이스 부재(1)에 고정하도록 되어 있다.

한편, 상기 슬라이드 블록(5)은 테이블 플레이트(6)의 장착면(50) 및 당해 테이블 플레이트(6)의 고정 볼트(60)가 나사 결합되는 탭 구멍(51)을 갖는 스테인리스제의 블록 본체(52)와, 이 블록 본체(52)의 전후 양 단부면에 대해 고정되는 한 쌍의 합성 수지제의 앤드 캡(53)으로 구성되어 있고, 이러한 앤드 캡(53)을 블록 본체(52)에 대해 장착 볼트(54)를 이용하여 고정함으로써 당해 슬라이드 블록(5) 내에 볼(20)의 무한 순환로가 구비되도록 되어 있다.

상기 블록 본체(52)는 단면 대략 새들 형상으로 형성되고 궤도 레일(2)에 걸쳐지도록 하여 배치되어 있고, 상기 볼(20)은 궤도 레일(2)의 양 측면에 형성된 볼 구름 주행 홈(21)과 상기 블록 본체(52) 사이에서 하중을 부하하면서 구름 이동한다. 이에 의해, 테이블 플레이트(6)를 탑재한 슬라이드 블록(5)은 하중을 부하하면서 궤도 레일(2)을 따라 자유롭게 이동 가능하다. 또한, 볼(20)이 상기 무한 순환로 내를 순환함으로써, 슬라이드 블록(5)이 궤도 레일(2)을 따라 스트로크에 제한없이 자유롭게 이동 가능하게 되어 있다.

도1 및 도2에 도시하는 리니어 모터 액추에이터에서는 2기(基)의 슬라이드 블록(5)이 1개의 궤도 레일(2)에 전후하여 조립되어 있고, 테이블 플레이트(6)는 이들 슬라이드 블록(5)에 걸쳐져 있다. 즉, 테이블 플레이트(6)를 각 슬라이드 블록(5)의 장착면(50)에 고정함으로써, 2기의 슬라이드 블록(5)이 서로 연결되어 슬라이드 블록(5)과 테이블 플레이트(6)가 일체로 된 슬라이드 테이블(3)이 궤도 레일(2)을 따라 자유롭게 왕복 운동을 행하는 것이 가능하게 되어 있다.

상기 테이블 플레이트(6)는 각 슬라이드 블록(5)에 고정 볼트(60)를 이용하여 고정되는 한 쌍의 고정 블록(61)과, 이들 고정 블록(61)을 연결하는 브리지부(62)를 구비하고 있다. 상기 고정 블록(61)은 대략 사각 형상으로 형성되고, 테이블 플레이트(6)의 다른 부위에 비해 두껍게 형성되어 있다. 또한, 상기 브리지부(62)는 고정 블록(61)과 동일한 두께로 형성되고, 테이블 플레이트(6)의 하면측에서 한 쌍의 고정 블록(61, 61)과 연속되어 있다.

상기 베이스 부재(1)에 궤도 레일(2)을 고정하고 또한 이 궤도 레일(2)에 대해 슬라이드 블록(5)을 조립해도 이러한 슬라이드 블록(5)의 장착면(50)은 베이스 부재(1)의 측벽(11)의 상단면보다도 낮은 위치에 존재하고 있다. 그러나 테이블 플레이트(6)에 설치한 상기 고정 블록(61)을 슬라이드 블록(5)에 고정함으로써, 테이블 플레이트(6)를 베이스 부재(1)의 측벽(11)을 상부로부터 덮도록 배치하여 베이스 부재(1)의 소형화를 도모하면서도 테이블 플레이트(6)의 면적을 넓게 설정하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 이와 같이 테이블 플레이트(6)를 베이스 부재(1)의 측벽보다도 상방으로 위치시킴으로써 한 쌍의 슬라이드 블록(5, 5) 사이에 후술하는 리니어 모터(4)의 코일 부재(41)를 배치하는 것이 가능하게 되어 있다.

또한, 상기 베이스 부재(1)의 길이 방향의 양단에는 궤도 레일(2)에 대한 슬라이드 블록(5)의 오버런(overrun)을 방지하기 위한 스토퍼(23)가 각각 고정되어 있다. 이 스토퍼(23)는 합성 수지제이며, 상기 궤도 레일(2)을 걸치도록 하여 베이스 부재(1)의 바닥판(10)에 고정되어 있다.

한편, 상기 리니어 모터(4)는 리니어 동기 모터이며, 베이스 부재(1)의 각 측벽(11)에 1열로 배열된 복수의 고정자 마그넷(40)과, 이들 고정자 마그넷(40)과 근소한 간극을 두고 대향하는 동시에 상기 슬라이드 테이블(3)에 탑재된 한 쌍의 코일 부재(41)로 구성되어 있다.

베이스 부재(1)의 각 측벽(11) 상에 있어서, 상기 고정자 마그넷(40)은 N극 및 S극을 교대로 상기 코일 부재(41)를 향하도록 배열되어 있다. 이들 고정자 마그넷(40)은 합성 수지제의 보유 지지 플레이트(42)에 배열되어 있고, 이러한 보유 지지 플레이트(42)를 베이스 부재(1)의 측벽(11)의 내측면에 접착함으로써 상기 고정자 마그넷(40)의 베이스 부재(1)에 대한 배열을 용이하게 행할 수 있도록 되어 있다. 또한, 상기 고정자 마그넷(40)은 보유 지지 플레이트(42)를 사출 성형함으로써 상기 보유 지지 플레이트(42)와 일체화되어 있다.

또한, 상기 코일 부재(41)는 철 등의 강자성체로 형성된 코어 부재에 대해 코일을 권취하여 형성되어 있다. 본 발명의 리니어 모터 액추에이터에서는 베이스 부재(1)의 각 측벽(11)에 배열된 고정자 마그넷(40)과 대향하는 한 쌍의 코일 부재(41, 41)가 존재하지만, 도2에 도시하는 예에서는 이들 한 쌍의 코일 부재(41, 41)를 1매의 코어 플레이트(43)를 이용하여 형성하고 있다.

도4는 상기 코일 부재(41)와 상기 테이블 플레이트(6)의 결합 상태를 도시하는 사시도로, 코일 부재(41)의 구조가 단면도로서 묘화되어 있다. 또한, 이 도4는 테이블 플레이트를 이면측에서 관찰한 것이다. 상기 코일 부재(41)는 코어 플레이트(43)에 코일(44)을 감아 형성되어 있다. 이 코어 플레이트(43)는 상기 테이블 플레이트(6)에 결합되는 중앙부(43a)와, 이 중앙부(43a)의 양측에 위치하는 한 쌍의 코어부(43b, 43b)로 구성되어 있고, 각 코어부(43b)에는 코일(44)을 수용하기 위한 슬롯이 각각 형성되어 있다. 즉, 각 코어부(43b)에 대해 코일(44)을 감음으로써, 코어 플레이트(43)에 의해 일체화된 한 쌍의 코일 부재(41)가 구성되어 있다. 각 코일 부재(41)는 u상, v상 및 w상의 삼상의 코일(44)을 구비하고 있고, 이들 코일(44)에 대해 삼상 교류 전류를 통전함으로써 코일 부재(41)에 대해 고정자 마그넷(40)의 배열 방향을 따른 추력이 발생하도록 되어 있다.

또한, 상기 코어 플레이트(43)의 중앙부(43a)에는 테이블 플레이트(6)의 이동 방향을 따라 고정 홈(45)이 형성되는 한편, 테이블 플레이트(6)의 브리지부(62)에는 리브(63)가 돌출되어 있고, 접착제를 도포한 리브(63)를 상기 고정 홈(45)에 끼워 맞춤시킴으로써 코어 플레이트(43)가 테이블 플레이트(6)와 결합되도록 되어 있다. 즉, 코어 플레이트(43)는 테이블 플레이트(6)의 브리지부(62)에 매달리도록 하여 고정되어 있고, 그 결과 코어 플레이트(43)의 양 측단에 위치하는 한 쌍의 코일 부재(41)의 각각이 베이스 부재(1)의 측벽(11)의 내측면에 배열된 고정자 마그넷(40)과 대향하여 리니어 모터를 구성하도록 되어 있다.

또한, 상기 베이스 부재(1)의 한쪽 측벽에는 단면 대략 L자형의 브래킷(13)이 고정되어 있고, 이 브래킷(13)의 상면에는 베이스 부재(1)의 길이 방향을 따라 리니어 스케일(14)이 부착되어 있다. 또한, 상기 테이블 플레이트(6)의 하면에는 상기 테이블 플레이트(6)의 이동에 따라서 상기 리니어 스케일(14)을 판독하는 인코더(15)가 고정되어 있고, 테이블 플레이트(6)의 이동 속도에 따른 간격으로 펄스 신호를 출력한다. 이 리니어 스케일(14)과 인코더(15)의 조합으로서는 자기 타입 또는 광학 타입 등과 같이 다양한 타입을 이용할 수 있지만, 베이스 부재(1)의 측벽(11)의 상단면과 테이블 플레이트(6)의 하면 사이의 매우 얇은 공간에 배치할 필요가 있으므로 도시한 예에서는 자기 타입인 것을 사용하고 있다.

상기 코일 부재(41)에 대한 통전 및 상기 인코더(15)의 출력 신호의 전송에는 가요성 프린트 배선판(FPC)(16, 17)이 이용되어 있고, 이들 FPC(16, 17)는 테이블 플레이트(6)의 하면에 고정되어 베이스 부재(1)의 측방으로 인출되어 있다.

이상과 같이 구성된 리니어 모터 액추에이터에서는, 테이블 플레이트(6)에 고정된 코일 부재(41)에 대해 삼상 교류 전류를 통전하면 이러한 코일 부재(41)에 고정자 마그넷(40)의 배열 방향을 따른 추력이 발생하여 슬라이드 테이블(3)이 궤도 레일(2)을 따라 진퇴한다. 상기 인코더(15)는 스케일(14)을 판독하여 슬라이드 테이블(3)의 이동 속도 및 이동 거리에 따른 출력 신호를 출력하므로, 이러한 인코더(15)의 출력 신호를 참조하면서 코일 부재(41)로의 통전을 제어함으로써 슬라이드 테이블(3)의 왕복 운동을 임의로 제어할 수 있다.

이때, 코일 부재(41)는 궤도 레일(1)을 사이에 두도록 하여 상기 궤도 레 일(2)의 양측에 위치하고 있고, 베이스 부재(1)의 측벽(11)의 내측면에 배열된 고정자 마그넷(40)과 각각 대향하고 있으므로, 궤도 레일(2)의 좌우에서는 서로 역방향의 자기 흡인력 또는 자기 반발력이 동시에 발생하고 있는 것이 된다. 따라서, 궤도 레일(2)을 따라 운동하는 슬라이드 테이블(3)에 대해서는 상기 자기 흡인력 또는 자기 반발력에 기인하는 하중이 작용하는 일은 없어, 그만큼 궤도 레일(2)에 대해 슬라이드 테이블(3)을 가볍게 운동시킬 수 있는 것이다.

또한, 슬라이드 테이블(3)에 대해 상기 자기 흡인력 또는 자기 반발력에 기인하는 하중이 항시 작용하는 것을 회피할 수 있으므로, 허용 부하 하중이 작은 리니어 가이드를 이용하여 리니어 모터 액추에이터를 구성하는 것이 가능해지고, 이러한 리니어 모터 액추에이터의 소형화를 도모하는 것도 가능해진다.

또한, 본원 발명자들이 실제로 본 발명의 리니어 모터 액추에이터를 시험 제작한 바, 베이스 부재의 폭 10 ㎜, 테이블 플레이트(6)의 높이 6 ㎜, 궤도 레일 폭 2 ㎜까지 소형화할 수 있고, 최대 추력 1.2 N, 무부하시 최고 속도 1866 ㎜/초로 슬라이드 테이블(6)을 진퇴시킬 수 있었다.

Claims

바닥판(10) 및 한 쌍의 측벽(11)을 갖고 채널 형상으로 형성된 베이스 부재(1)와, 이 베이스 부재의 길이 방향을 따라 그 바닥판 상에 부설된 궤도 레일(2)과, 이 궤도 레일을 따라 운동하는 슬라이드 테이블(3)과, 상기 베이스 부재의 각 측벽의 내측면에 배열된 고정자 마그넷(40)과, 상기 슬라이드 테이블에 탑재되는 동시에, 상기 베이스 부재의 각 측벽에 설치된 고정자 마그넷과 대향하여 리니어 모터(4)를 구성하는 한 쌍의 코일 부재(41)를 구비한 것을 특징으로 하는 리니어 모터 액추에이터.
제1항에 있어서, 상기 슬라이드 테이블(3)은 다수의 볼을 개재하여 단일의 궤도 레일(2)에 전후하여 조립된 한 쌍의 슬라이드 블록(5)과, 이들 슬라이드 블록(5)에 걸쳐져 이들을 연결하는 테이블 플레이트(6)로 구성되고,

상기 한 쌍의 코일 부재(41)는 한 쌍의 슬라이드 블록(5) 사이에 위치하여 상기 테이블 플레이트(6)의 하면에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모터 액추에이터.
제2항에 있어서, 상기 테이블 플레이트(6)는 각 슬라이드 블록(5)에 고정되는 한 쌍의 고정 블록(61)과, 이들 고정 블록(61)을 연결하는 동시에 상기 코일 부재(41)가 고정되는 브리지부(62)로 구성되는 것을 특징으로 하는 리니어 모터 액추 에이터.
제3항에 있어서, 상기 테이블 플레이트(6)의 브리지부(62)의 하면에는 코어 플레이트(43)가 고정되고, 이 코어 플레이트(43)의 양단에 각각 형성된 슬롯에 코일(44)을 수용하여 상기 한 쌍의 코일 부재(41)를 구성한 것을 특징으로 하는 리니어 모터 액추에이터.
제4항에 있어서, 상기 브리지부(62)의 하면에는 각 고정 블록(61)으로부터 연속되는 리브(63)가 형성되는 한편, 상기 코어 플레이트(43)에는 상기 리브(63)가 끼워 맞추어지는 고정 홈(45)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모터 액추에이터.
제1항에 있어서, 상기 고정자 마그넷(40)은 수지 플레이트 상에 소정의 간격으로 배열되고, 이러한 수지 플레이트를 상기 베이스 부재(1)의 측벽에 고정하고 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모터 액추에이터.
제1항에 있어서, 상기 베이스 부재(1)의 측벽(11)에는 리니어 스케일(14)이 장착되는 한편, 상기 슬라이드 테이블(3)에는 상기 리니어 스케일(14)을 판독하는 엔코더(15)가 탑재되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모터 액추에이터.
제2항에 있어서, 상기 베이스 부재(1)의 길이 방향의 양단에는 상기 슬라이드 블록(5)의 스토퍼(23)가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모터 액추에이터.