JP2009017693A - リニアアクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【課題】ガイドレールの長尺化に起因する駆動性能の低下という不都合な現象を、低コストに、かつコンパクトな構成で防止することが可能なリニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】リニアガイド23、26を弾性体24、27を介して上記被ガイド体20に取り付ける。リニアガイド23、26は複数のガイド要素23a、26aに分割構成する。リニアガイド23、26はガイドホルダ25、28に取り付け、可動子20には、ホルダ装着部31、32を形成し、ガイドホルダ25、28をホルダ装着部31、32に対して着脱可能にしている。
【選択図】図1
【解決手段】リニアガイド23、26を弾性体24、27を介して上記被ガイド体20に取り付ける。リニアガイド23、26は複数のガイド要素23a、26aに分割構成する。リニアガイド23、26はガイドホルダ25、28に取り付け、可動子20には、ホルダ装着部31、32を形成し、ガイドホルダ25、28をホルダ装着部31、32に対して着脱可能にしている。
【選択図】図1
Description
この発明は、リニアアクチュエータに関するものであって、特に、駆動性能の低下を抑制することが可能なリニアアクチュエータに係るものである。
近年に至り、リニアモータの推力を利用したリニアアクチュエータの活用が活発化している。図3において、51は、基盤に固定されたベース、52は、ベース51上において位置決めされるステージを示している。図のように、ベース51には、メインガイドレール53が設置され、また、ステージ52にはメインスライドガイド54が取り付けられている。すなわち、ベース51に、メインガイドレール53及びメインスライドガイド54を介して、ステージ52がX方向に移動自在に支持されている。そして、このステージ51の位置決め制御が、リニアアクチュエータによってなされる。アクチュエータは、リニアモータMの推力によって駆動されるものであって、リニアモータMは、上下方向に延びる永久磁石(固定子)61を水平方向に並設すると共に、電機子(可動子)62の電機子歯を所定の間隔を置いて永久磁石61の左右両側に相対向させた構造を有するものである。この場合、可動子62は、その移動方向(紙面と直交するX方向)に延びる上下一対のガイドレール63、63によってガイドされ、水平移動方向(X方向)には移動自在で、移動方向とは直交する水平方向(以下、Y方向と称する)、及び上下方向(以下、Z方向と称する)には移動を規制された状態でガイドされる。そのガイド機構としては、可動子62に上下一対のリニアガイド64、64を取り付け、ガイドレール63、63をその上下から両リニアガイド64、64で挟持した状態として、可動体62をガイドする構造を採用するのが一般的である(例えば、特許文献1、2参照)。
特開2006−320035号公報
特開2003−250260号公報
ところで、上記従来のリニアアクチュエータにおいてガイドレールは両端が支持された両端支持梁構造となっている。このような支持構造のガイドレールにおいては、「重力に起因するZ方向のたわみ」と「磁気吸引力に起因するY方向のたわみ」とが生じることになる。「重力に起因するZ方向のたわみ」は、梁中央部にて最大値となり、また、「磁気吸引力に起因するY方向のたわみ」は、両端部で最大となる。しかしながら、「重力に起因するZ方向のたわみ」に関しては、支持間距離によってたわみ量は計算でき、推力の低下を招くことなく電機子62に接触しない構造に設計することが可能であり、特に大きな問題とはならない。これに対して、「磁気吸引力に起因するY方向のたわみ」の原因である磁気吸引力は、電機子62とガイドレール63との間の隙間のアンバランスから発生するものであり、アンバランスの量に比例して磁気吸引力が増大する特徴がある。すなわちバランスが一度狂うと電機子62に接触するまで磁気吸引力は増大を続ける。このような現象を抑制するため、従来はガイドレール63に対してリニアガイド64をいれて規制を行っていたが、この規制により規制しなくても良い「重力に起因するZ方向のたわみ」の方向のたわみも規制してしまい、リニアガイド64に無理な力が加わるという不具合が生じていた。この結果、リニアガイド64、64には大きな力が作用することになり、これにより、リニアガイド64、64に作用する摩擦が増大し、場合によっては、振動が生じて駆動性能の低下を招くことがある。このような不都合な現象を防止しようとすると、ガイドレール63、63の剛性を大きくしたり、リニアガイド64、64を大形化したりすればよいが、このような対策を講じた場合には、ガイド機構が大形化し、装置設置スペースが増加すると共に、コストアップを招くことにもなる。
この発明は、上記従来の問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、従来のようなガイドレールの長尺化に起因する駆動性能の低下という不都合な現象を、低コストに、かつコンパクトな構成で防止することが可能なリニアアクチュエータを提供することにある。
そこで請求項1のリニアアクチュエータは、水平方向に延びるガイド部材11と、ガイド部材11にガイドされながら相対移動する被ガイド体20とを備え、上記ガイド部材11は、ガイド部材11の長手方向に延びる上ガイド面12aと下ガイド面13aとを有し、上記被ガイド体20は、上ガイド面12aに上側から摺接する上リニアガイド23と、下ガイド面13aに下側から摺接する下リニアガイド26とを有し、上下リニアガイド23、26で上下ガイド面12a、13aを挟持した状態でガイドを行うガイド機構を備えたリニアアクチュエータにおいて、少なくともいずれか一方の上下リニアガイド23、26は弾性体24、27を介して上記被ガイド体20に取り付けられていることを特徴としている。また、請求項2においては、上リニアガイド23と下リニアガイド26との両者が弾性体24、27を介して上記被ガイド体20に取り付けられていることを特徴としている。
請求項3のリニアアクチュエータは、上記リニアガイド23、26は複数のガイド要素23a、26aに分割構成され、これらガイド要素23a、26aの内、すくなくともその一部のガイド要素23a、26aが弾性体24、27を介して上記被ガイド体20に取り付けられていることを特徴としている。
請求項4のリニアアクチュエータは、リニアガイド23、26はガイドホルダ25、28に取り付けられており、上記被ガイド体20には、ホルダ装着部31、32が形成され、上記ガイドホルダ25、28を、上記ガイド面12a、13aに沿って移動させることで、ガイドホルダ25、28を被ガイド体20の上下ホルダ装着部31、32に対して着脱可能にしていることを特徴とする。
請求項5のリニアアクチュエータは、上記ガイド部材11は、上ガイドレール12と下ガイドレール13とを有し、両ガイドレール間に、永久磁石15が、ガイドレール12、13の長手方向に沿って、相隣接する磁極が互いに異極となるように並設され、また、永久磁石15の略中央部に、ガイドレール12、13の長手方向に沿って延びると共に、水平方向の両側に向けて突出する状態で保持板14を取り付けて成り、上記被ガイド体20には電機子22が取り付けられ、その電機子歯を所定の間隔を置いて永久磁石15を挟むように相対向させていることを特徴とする。
請求項1のリニアアクチュエータによれば、ガイド部材11に、重力に起因するZ方向への撓みが生じた場合には、各リニアガイド23、26が弾性体24、27によって被ガイド体20に支持されているので、各弾性体24、27は、撓みに応じて変形し、リニアガイド23、26には、過大な力は作用しない。従って、摩擦の増大、振動の発生による駆動性能の低下を抑制できる。
請求項2のリニアアクチュエータによれば、上記弾性体24、27は上リニアガイド23と下リニアガイド26とのいずれか一方に設けることによっても、ある程度は、上記効果が得られるが、請求項2のように、上下リニアガイド23、26の両者に設けることにより確実に請求項1の効果が得られる。
請求項3のリニアアクチュエータによれば、各ガイド要素23a、26aはガイド面12a、13aの各位置において、各位置での撓みに応じて独立して個別に変形する。従って、ガイドレール12、13の撓みに対し、リニアガイド23、26の変形追従性が向上し、リニアガイド23、26に作用する摩擦力が減少し、アクチュエータにおける駆動性能の低下を抑制できる。この場合、全てのガイド要素23a、26aが弾性体24、27を介して被ガイド体20に取り付けられることもあるし、特定のガイド要素23a、26aを弾性体24、27を介して被ガイド体20に取り付け、残りのガイド要素23a、26aは、弾性体24、27を介することなく直接的に(変位しない状態で)被ガイド体20に取り付けることもある。
請求項4のリニアアクチュエータによれが、被ガイド体20のホルダ装着部31、32からガイドホルダ23、26を引き出すことで、リニアガイド23、26や弾性体24、27を交換することができる。従って、被ガイド体20を分解しなければリニアガイドを交換できなかった従来に比較して、メンテナンス作業の作業性を向上できる。
請求項5のリニアアクチュエータによれば、コンパクトにリニアモータを構成することが可能である。しかも、永久磁石15と保持板14とを、十字状に直交する状態に配置しているので、永久磁石15の剛性、ひいてはガイド部材の剛性が向上し、リニアアクチュエータの位置精度をさらに向上できる。
次に、この発明のリニアアクチュエータの具体的な実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。図1には、装置外観の分解斜視図、図2には、装置の断面図を示している。図2において、1は、基盤に固定されたベース、2は、ベース上において位置決めされるステージを示している。図のように、ベース1には、メインガイドレール3が設置され、また、ステージ2にはメインスライドガイド4が取り付けられている。すなわち、ベース1に、メインガイドレール3及びメインスライドガイド4を介して、ステージ2がX方向に移動自在に支持されている。ステージ2の主たる荷重は、この構造によって、ベース1に支持されることになる。そして、このステージ1の位置決め制御が、この発明の実施形態としてのリニアアクチュエータによってなされる。
このアクチュエータは、リニアモータMの推力によって駆動されるものであって、固定子10と可動子(電機子)20とを有している。固定子10は、水平方向に延びるガイド部材11を有しているが、このガイド部材11は、上ガイドレール12、下ガイドレール13、保持板14、永久磁石15で構成される。永久磁石15は、板状の部材で、上下ガイドレール12、13間に配置され、その平面部がガイドレール12、13の長手方向に沿うように配置されている。この場合、永久磁石15は、ガイドレール12、13の長手方向に沿って、N極とS極とが交互に相隣接するように配置された構造を有している。この永久磁石15の上下方向中央部の位置において、永久磁石15には、保持板14が取り付けられている。この場合、保持板14には、永久磁石15の嵌入し得る四角形の嵌入孔(図示せず)が形成されており、この嵌入孔内に永久磁石15の各磁極片が嵌入され、保持される。このような構造を採用することにより、保持板14は、永久磁石15の長手方向に沿って延びると共に、永久磁石15両側から水平方向の両側に突出する態様で取り付けられることになり、図2に示すように、永久磁石15と保持板14とは、十字状に直交する状態に配置されている。なお、ガイド部材11は、図示しないが、ベース1の所定高さ位置に弾性体を介して支持されているものとする。なお、この理由については後述する。
被ガイド体としての可動子20は、図2に示すように、上記ステージ2の裏側下部に垂設されたものであって、ステージ2を駆動する機能を有するものである。そしてこの可動子20は、図1に示すように、その外装ケース20aの内部に、電機子巻線21(図2参照)を有する電機子22を収納したものである。電機子22は、図1に示すように、3相分の電機子単位体22a、22b、22cを移動方向(ガイド部材11の長手方向)に並設することによって構成されたもので、リング状コアタイプのもので、その電機子歯が所定の間隔を置いて永久磁石15を挟むように相対向して配置している。そして、この可動子20は、上記ガイド部材11によって、その長手方向(X方向)には移動自在で、それとは直交する水平方向(Y方向)、及び上下方向(Z方向)には移動を規制された状態でガイドされている。
このガイド機構について詳しく説明する。図1及び図2に示すように、ガイド部材11の上ガイドレール12には、上リニアガイド23がX方向に摺動自在に嵌合され、この上リニアガイド23は、弾性体24、上ガイドホルダ25を介して、可動子20に取り付けられている。また、下ガイドレール13についても同様の構造であり、下ガイドレール13に摺動自在に勘合した下リニアガイド26が、弾性体27、上ガイドホルダ28を介して、可動子20に取り付けられている。上記各リニアガイド23、26は、複数のガイド要素23a・・、26a・・に分割構成されたものであって、相互に独立したガイド要素23a・・、26a・・が個別に、弾性体24、27を介して各ガイドホルダ25、28に取り付けられている。また、各ガイドホルダ25、28は、可動子20の上下各部に設けた上ホルダ装着部31、下ホルダ装着部32に収納され、止ネジ33によって、可動子20に固定するようになっている。すなわち、上記各ガイドホルダ25、28は、上記止ネジ33を取り外し、各ガイドホルダ25、28を上記各ホルダ装着部31、32からX方向に引き出すことで、可動体20から取り外し可能となっているのである。
上記上下リニアガイド23、26は、公知のものであって、上下ガイドレール12、13に対して、その長手方向(X方向)には移動自在で、それとは直交する水平方向(Y方向)、及び上下方向(Z方向)には移動を規制された状態でガイドされている。また、上記弾性体24、27は、公知の弾性ゴムなどによって構成されるものである。
また、ベース1と可動子20との間には、位置検出機構30が配置されている。すなわち、ベース1にはリニアスケール34が取り付けられ、また、可動子20には、リニアスケールに相対向して、リニアエンコーダ35が取り付けられている。
上記リニアアクチュエータにおいて、ガイド部材11、12に重力に起因するZ方向へのたわみが生じた場合には、各リニアガイド23、26が弾性体24、27によって各ガイドホルダ25、28に支持されているので、各弾性体24、27はたわみ量に応じて変形し、リニアガイド23、26には過大な力は作用しない。したがって、摩擦の増大、振動の発生による駆動性能の低下を抑制することが可能となる。一方、磁気吸引力によるたわみに関しては、アンバランスの変位量に比例して磁気吸引力は増大する特徴があるため、変位量が少ない場合には磁気吸引力も小さい。そのため、弾性体24、27の変形量も微小となる。つまり、弾性体24、27のヤング率や弾性体24、27の個数を適正に選択することで、変位量を抑えることは可能であり、結果として、磁気吸引力によるたわみ量を少なくすることが可能となる。
また、上記弾性体24、27は上リニアガイド23と下リニアガイド26とのいずれか一方に設けることによってもある程度は、上記効果が得られるが、実施形態のように、両者に設けると確実に効果が得られる。
さらに、リニアガイド23、26を複数のガイド要素23a、26aに分割構成し、各ガイド要素23a、26aを弾性体24、27によって支持しているので、各ガイド要素23a、26aはガイドレール12、13の各位置において、各位置での撓みに応じて独立して個別に変形する。従って、ガイドレール12、13の撓みに対し、リニアガイド23、26の変形追従性が向上し、リニアガイド23、26に作用する摩擦力が減少し、リニアモータMによる駆動性能の低下を抑制できる。この場合、全てのガイド要素23a、26aが弾性体24、27を介して被ガイド体20に取り付けられることもあるし、特定のガイド要素23a、26aを弾性体24、27を介して被ガイド体20に取り付け、残りのガイド要素23a、26aは、弾性体24、27を介することなく直接的に(変位しない状態で)被ガイド体20に取り付けることもある。
上リニアガイド23は上ガイドホルダ25に、また下リニアガイド26は下ガイドホルダ28に取り付けられており、上記可動子20には、上下ホルダ装着部31、32が形成され、上記各ガイドホルダ25、28を、上記ガイドレール12、13に沿って移動させることで、各ガイドホルダ25、28を可動子20の上下ホルダ装着部31、32に対して着脱可能にしている。このような構成を採用することにより、可動子20の上下ホルダ装着部31、32から各ガイドホルダ25、28を引き出すことで、リニアガイド23、26や弾性体24、27を交換することができる。従って、従来の場合、すなわちリニアモータMを分解しなければリニアガイドを交換できなかった場合に比較して、メンテナンス作業の作業性を向上できる。なお、上記ホルダ装着部31、32からガイドホルダ25、28を抜き出す場合には、ホルダ装着部31、32内には、ガイドホルダ25、28の代わりに、滑り易いスペーサ(図示せず)を挿入して、固定子10と可動子20との磁気による吸着を防止するようにする。
上記ガイド部材11は、上ガイドレール12と下ガイドレール13とを有し、両ガイドレール間に、永久磁石15が、ガイドレール12、13の長手方向に沿って、相隣接する磁極が互いに異極となるように並設され、また、永久磁石15の略中央部に、ガイドレール12、13の長手方向に沿って延びると共に、水平方向の両側に向けて突出する状態で保持板14を取り付けて成り、上記被ガイド体20には電機子22が取り付けられ、その電機子歯を所定の間隔を置いて永久磁石15を挟むように相対向させることでリニアモータMを構成している。従って、コンパクトにリニアモータMを構成可能である。しかも、永久磁石15と保持板14とを、十字状に直交する状態に配置しているので、ガイド部材11の剛性が向上し、リニアアクチュエータの位置精度を向上できる。
上記実施形態においては、リニアモータMは、永久磁石11を固定子10、電機子22を可動子20としているが、永久磁石11を可動子、電機子22を固定子としてモータMを構成することもある。また、上記では、リニアモータを使用した例を示しているが、場合によっては、サーボモータを用いたボール−スクリュー方式のアクチュエータに対しても適用可能である。この場合においても、ガイド部材11の重力に起因する撓みに対しての対処は上記実施形態と全く同様に可能である。また、上ガイドレール12と下ガイドレール13との2本のガイドレール12、13を用いる例を示しているが、1本のガイドレールを使用し、その上面を上ガイド面12a、下面を下ガイド面13aとして機能させても良い。さらに、リニアガイド23、26を、ガイド要素23a、26aに分割構成した例を示しているが、ガイド要素に分割構成せず、一体のものとして構成されたリニアガイドを用いることもある。もっとも、上記した通り、分割構成するのが好ましい。この場合において、弾性体24、27は、実施形態のように要素ごとに設けるのが好ましいが、一体に成形された共通の弾性体24、27を用いることもできる。
また、上記実施形態においては、ガイド部材11は、ベース1の所定高さ位置に弾性体を介して支持されているが、このような構成を採用している理由は以下の通りである。すなわち、ガイド部材11の両端部を、ガイド部材11のヤング率よりも充分に小さいヤング率の弾性体で覆うようにして保持することにより、両端部に自由度を持たせ、可動子20に負担をかけないようにしているのである。なお、ガイド部材11の両側ではなく、片側だけを弾性体を介して支持するようにして実施することも可能である。
10・・固定子、11・・ガイド部材、12・・上ガイドレール、13・・下ガイドレール、14・・連結部材、15・・永久磁石、20・・可動子(被ガイド部材)、23・・上リニアガイド、24・・弾性体、25・・上ガイドホルダ、26・・下リニアガイド、27・・弾性体、28・・下ガイドホルダ、31・・上ホルダ装着部、32・・下ホルダ装着部
Claims (5)
- 水平方向に延びるガイド部材(11)と、ガイド部材(11)にガイドされながら相対移動する被ガイド体(20)とを備え、上記ガイド部材(11)は、ガイド部材(11)の長手方向に延びる上ガイド面(12a)と下ガイド面(13a)とを有し、上記被ガイド体(20)は、上ガイド面(12a)に上側から摺接する上リニアガイド(23)と、下ガイド面(13a)に下側から摺接する下リニアガイド(26)とを有し、上下リニアガイド(23)(26)で上下ガイド面(12a)(13a)を挟持した状態でガイドを行うガイド機構を備えたリニアアクチュエータにおいて、少なくともいずれか一方の上下リニアガイド(23)(26)は弾性体(24)(27)を介して上記被ガイド体(20)に取り付けられていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
- 上リニアガイド(23)と下リニアガイド(26)との両者が、弾性体(24)(27)を介して上記被ガイド体(20)に取り付けられていることを特徴とする請求項1のリニアアクチュエータ。
- 上記リニアガイド(23)(26)は複数のガイド要素(23a)(26a)に分割構成され、これらガイド要素(23a)(26a)の内、少なくともその一部のガイド要素(23a)(26a)が弾性体(24)(27)を介して上記被ガイド体(20)に取り付けられていることを特徴とする請求項1または請求項2のリニアアクチュエータ。
- 上記リニアガイド(23)(26)はガイドホルダ(25)(28)に取り付けられており、上記被ガイド体(20)には、ホルダ装着部(31)(32)が形成され、上記各ガイドホルダ(25)(28)を、上記ガイド面(12a)(13a)に沿って移動させることで、ガイドホルダ(23)(26)を被ガイド体(20)のホルダ装着部(31)(32)に対して着脱可能にしていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかのリニアアクチュエータ。
- 上記ガイド部材(11)は、上ガイドレール(12)と下ガイドレール(13)とを有し、両ガイドレール間に、永久磁石(15)が、ガイドレール(12)(13)の長手方向に沿って、相隣接する磁極が互いに異極となるように並設され、また、永久磁石(15)の略中央部に、ガイドレール(12)(13)の長手方向に沿って延びると共に、水平方向の両側に向けて突出する状態で保持板(14)を取り付けて成り、上記被ガイド体(20)には電機子(22)が取り付けられ、その電機子歯を所定の間隔を置いて永久磁石(15)を挟むように相対向させていること特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかのリニアアクチュエータ。
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