WO2019193659A1 - リニアモータ - Google Patents

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WO2019193659A1
WO2019193659A1 PCT/JP2018/014327 JP2018014327W WO2019193659A1 WO 2019193659 A1 WO2019193659 A1 WO 2019193659A1 JP 2018014327 W JP2018014327 W JP 2018014327W WO 2019193659 A1 WO2019193659 A1 WO 2019193659A1
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linear motor
mover
sides
plate
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Inventor
壮志 野村
加藤　進一
Original Assignee
株式会社Ｆｕｊｉ
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    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors

Definitions

  • This specification discloses a technique related to a linear motor in which the structure of the air gap between the stator and the mover is improved.
  • linear motors there are various types of linear motors, such as flat type, center magnet type, and shaft type (cylindrical type). Generally, when you want to increase thrust, flat type or center magnet type linear motors are used. It is done.
  • the flat linear motor is configured such that the stator and the mover face each other in parallel, and the air gap between the stator and the mover. Is configured to extend in the horizontal direction or the vertical direction (the direction of gravity).
  • a stator extending in the moving direction of the mover is disposed at the center of the linear motor, and Field magnets are arranged on both sides of the stator in the moving direction of the mover.
  • a groove is formed on the mover to fit the stator, and both sides of the groove of the mover are formed.
  • the magnets on both sides of the stator and coils facing each other in the horizontal direction via an air gap are provided.
  • the flat type linear motor of Patent Document 1 has a configuration in which a mover is disposed above a stator, but a driving object connected to the mover hangs down like a mounting head of a component mounting machine.
  • the linear motor 11 may be installed horizontally and the stator and the mover may be arranged to face each other in the horizontal direction.
  • two guide rails extending in parallel along the upper and lower sides of the stator are provided, and the mover is attached to the inner side of the slide member slidably supported across the two guide rails.
  • a driving object such as a mounting head is attached to the outside of the slide member.
  • a linearly extending stator two guide rails extending in parallel along both sides of the stator, and a slidable support across the two guide rails are supported.
  • the linear motor comprising a sliding member and a movable element supported by the sliding member and facing the stator, an air gap between the stator and the movable element is relative to an installation surface of the linear motor. It is comprised so that it may extend in the direction to incline.
  • FIG. 1 is a side view illustrating the configuration of the linear motor according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view showing the configuration of the stator side of the linear motor according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating the force acting on the stator of the linear motor according to the first embodiment.
  • FIG. 4 is a side view illustrating the configuration of the linear motor according to the second embodiment.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating the force acting on the mover of the linear motor according to the second embodiment.
  • the stator 12 and the mover 13 are arranged in the vertical direction (vertical direction), and the mover 13 is positioned above the stator 12.
  • the stator 12 has two yokes 14 extending along the moving direction of the mover 13, and two N-pole and S-pole magnetic fields are alternately formed on the upper surface side of the yoke 14 along the moving direction of the mover 13. It consists of a number of magnets 15 (see FIG. 2) arranged in rows.
  • the yoke 14 of the stator 12 is fixed on a stator plate 16 constituting an outer shell on the installation surface side of the linear motor 11 by fixing means such as screwing, caulking, and welding.
  • the yoke 14 of the stator 12 is formed so as to have a substantially isosceles triangle (mountain) cross-sectional shape when viewed from the moving direction of the mover 13, and the moving direction of the mover 13 is respectively formed on two inclined surfaces thereof.
  • a large number of magnets 15 are arranged so as to alternately form N-pole and S-pole magnetic fields.
  • Two guide rails 21 extending in parallel along both sides of the stator 12 extending along the moving direction of the movable element 13 are fixed to the upper surface of the stator plate 16 by fixing means such as screwing, caulking, and welding.
  • a mover plate 22 that is a slide member straddling the two guide rails 21 is supported horizontally through support frames 23 on both sides. Thereby, the mover plate 22 is arranged in parallel with the stator plate 16, and the mover 13 is attached to the lower surface side of the mover plate 22.
  • the mover 13 is mounted on the lower surface of the mover plate 22 by screwing, caulking, welding, or other fixing means, and on the lower surface side of the yoke 24 so as to face the magnet 15 of the stator 12. And a plurality of coils 25.
  • the yoke 24 of the mover 13 is formed to have a valley-shaped (V-groove) cross-sectional shape corresponding to the mountain-shaped cross-sectional shape of the yoke 14 of the stator 12.
  • the air gap 26 between the magnet 15 of the stator 12 and the coil 25 of the mover 13 extends in a direction inclined with respect to the installation surface of the linear motor 11 (the lower surface of the stator plate 16).
  • the air gap 26 is configured to have a cross-sectional shape (inverted V shape) along two sides of the triangle when viewed from the moving direction of the movable element 13.
  • the linear motor 11 of the first embodiment configured as described above can be used as a linear drive device of various industrial machines such as a linear drive device that moves the mounting head of the component mounting machine in the X direction or the Y direction. Yes, a movable object such as a mounting head is supported by the mover plate 22.
  • the air gap 26 between the stator 12 and the movable element 13 has a cross-sectional shape along two sides of the triangle as viewed from the moving direction of the movable element 13. Therefore, as shown in FIG. 3, the acting direction of the magnetic attractive force acting between the stator 12 and the mover 13 is different from the center of the linear motor 11. The direction of the magnetic attraction force deviates from the opposite direction by 180 °, not by the opposite direction by 180 °, but by the inclination angle of the air gap 26.
  • the air gap 26 between the stator 12 and the movable element 13 has a cross-sectional shape (inverted V shape) along two sides of the triangle as viewed from the moving direction of the movable element 13.
  • the air gap between the stator and the mover may be configured to have a cross-sectional shape (V shape) along two sides of the inverted triangle when viewed from the moving direction of the mover. Even with this configuration, the same effect as in the first embodiment can be obtained.
  • the installation surface of the linear motor 11 (the lower surface of the stator plate 16) is a horizontal plane, and the stator 12 is located below and the mover 13 is located above.
  • the stator 12 is located on the upper side and the mover 13 is located on the lower side.
  • the installation surface of the linear motor 11 is not limited to a horizontal surface or a vertical surface, and may be a surface of any other angle.
  • Example 2 will be described with reference to FIGS. However, description of parts substantially the same as those in the first embodiment will be omitted or simplified, and different parts will be mainly described.
  • a stator 32 and a mover 33 are arranged in the horizontal direction.
  • the stator 32 is arranged so that a yoke 34 extending along the moving direction of the mover 33 and an N-pole and S-pole magnetic field are alternately formed inside the yoke 34 along the moving direction of the mover 33. It is composed of a large number of magnets 35.
  • the yoke 34 of the stator 32 is fixed to the inner side of the stator plate 36 constituting the outer shell on the installation surface side of the linear motor 31 by fixing means such as screwing, caulking, and welding.
  • the yoke 34 of the stator 32 is formed so that the inner surface is inclined with respect to the vertical surface when viewed from the moving direction of the mover 33, and N poles are formed on the inclined surface along the moving direction of the mover 13.
  • a large number of magnets 35 are arranged so as to alternately form magnetic fields of S and S poles.
  • a mover plate 42 which is a slide member, straddles the two guide rails 41 and is slidably supported via support frames 43 on both sides. Accordingly, the mover plate 42 is arranged in parallel with the stator plate 36, and the mover 33 is attached to the inside of the mover plate 42.
  • the mover 33 is mounted on the inner side of the mover plate 42 by a fixing means such as screwing, caulking, or welding, and on the inner side of the yoke 44 so as to face the magnet 35 of the stator 32. And a coil 45.
  • the yoke 44 of the mover 33 is formed so that the inner surface is inclined with respect to the vertical surface corresponding to the shape of the inner surface of the yoke 34 of the stator 32.
  • the air gap 46 between the magnet 35 of the stator 32 and the coil 45 of the mover 33 extends in a direction inclined with respect to the installation surface of the linear motor 31 (the outer surface of the stator plate 36), and
  • the magnetic attractive force acting between the stator 32 and the mover 33 is configured so that the acting direction is obliquely upward.
  • the linear motor 31 of the second embodiment configured as described above can be used as a linear drive device of various industrial machines such as a linear drive device that moves the mounting head of the component mounting machine in the X direction or the Y direction. Yes, a movable object such as a mounting head is supported by the mover plate 42.
  • the air gap 46 between the stator 32 and the mover 33 is inclined with respect to the installation surface of the linear motor 31 (the outer surface of the stator plate 36). 5 and the magnetic attractive force acting on the mover 33 is configured so that the acting direction of the magnetic attractive force is obliquely upward, as shown in FIG. It has an upward component, and its magnetic attraction force plays a role of assisting a force that supports the load of the driving object attached to the movable element plate 42.
  • the design standard of the mechanical strength of the part (movable element plate 42, the support frame 43, the guide rail 41, the stator plate 36) which supports a drive target object can be eased, and the linear motor 31 correspondingly. Can be reduced in size and weight, contributing to space saving and improved positioning accuracy.
  • the magnetic attracting force acting on the mover 33 is configured so that the acting direction of the magnetic attraction is obliquely upward.
  • the mover depends on the acting direction of the load acting on the mover plate 42 from the driven object. You may comprise so that the action direction of the magnetic attraction force which acts on may become diagonally downward.
  • the installation surface of the linear motor 31 (the outer surface of the stator plate 36) is a vertical surface, and the stator 32 and the mover 33 are arranged in the horizontal direction.
  • the installation surface of the motor 31 (the outer surface of the stator plate 36) may be a horizontal plane, and the stator 32 and the mover 33 may be arranged in the vertical direction.
  • the installation surface of the linear motor 31 is not limited to a horizontal surface or a vertical surface, and may be a surface of any other angle.
  • the magnets 15 and 35 are provided on the stators 12 and 32, and the coils 25 and 45 are provided on the movers 13 and 33. On the contrary, the coils are provided on the stator and movable. It is good also as a structure which provided the magnet in the child.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiments.
  • the shapes of the yokes 24 and 44 may be changed, or the inclination angles of the air gaps 26 and 46 may be changed as appropriate according to the driven object.
  • various modifications can be made without departing from the scope of the invention.

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Abstract

リニアモータ（１１）は、直線状に延びる固定子（１２）と、この固定子（１２）の両側に沿って平行に延びる２本のガイドレール（２１）と、２本のガイドレール（２１）に跨がってスライド可能に支持されたスライド部材である可動子プレート（２２）と、この可動子プレート（２２）に支持されて固定子（１２）と対向する可動子（１３）とを備える。固定子（１２）と可動子（１３）との間のエアギャップ（２６）がリニアモータ（１１）の設置面に対して傾斜する方向に延在するように構成されている。

Description

リニアモータ
　本明細書は、固定子と可動子との間のエアギャップの構造を改良したリニアモータに関する技術を開示したものである。
　リニアモータには、フラット型、センターマグネット型、シャフト型（円筒型）等の様々なタイプのリニアモータがあるが、一般に、推力を大きくしたい場合は、フラット型やセンターマグネット型のリニアモータが用いられる。
　フラット型のリニアモータは、特許文献１（国際公開ＷＯ２０１５／１４５５５０号公報）に記載されているように、固定子と可動子とが平行に対向し、固定子と可動子との間のエアギャップが水平方向又は鉛直方向（重力の方向）に延在するように構成されている。
　一方、センターマグネット型のリニアモータは、特許文献２（特開２０１７－３４８１７号公報）に記載されているように、リニアモータの中央に、可動子の移動方向に延びる固定子を配置すると共に、その固定子の両側面にそれぞれ界磁用の磁石を可動子の移動方向に配列し、一方、可動子に、固定子を嵌める凹条溝を形成して、その可動子の凹条溝の両側面に、固定子の両側面の磁石とそれぞれエアギャップを介して水平方向に対向するコイルを設けた構成となっている。
国際公開ＷＯ２０１５／１４５５５０号公報 特開２０１７－３４８１７号公報
　上記特許文献１のフラット型のリニアモータは、固定子の上方に可動子を配置した構成となっているが、可動子に連結する駆動対象物が部品実装機の実装ヘッドのように下方に垂れ下がる物体である場合には、リニアモータ１１を横向きに設置して、固定子と可動子とを水平方向に対向させるように配置した構成とする場合がある。この場合は、固定子の上下両側に沿って平行に延びる２本のガイドレールを設け、これら２本のガイドレールに跨がってスライド可能に支持されたスライド部材の内側に可動子を取り付け、そのスライド部材の外側に実装ヘッド等の駆動対象物を取り付けるようにしている。
　この構成では、駆動対象物の荷重は、スライド部材を介して２本のガイドレールで支持されるため、ガイドレールやスライド部材を機械的に強固に構成しなければならず、その分、リニアモータが大型化したり、重量が増加する欠点がある。
　また、部品実装機のようにリニアモータを天井側に吊して設置する場合は、大型化したリニアモータを設置するスペースを確保しにくくなったり、重量が増加したリニアモータの加減速・停止の繰り返しにより部品実装機の本体フレームの振動が増大して実装ヘッドの位置決め精度が悪化するという問題も発生する。
　一方、特許文献２のセンターマグネット型のリニアモータは、可動子の凹条溝の中心と固定子の中心との位置関係がずれると、固定子の両側面と可動子の凹条溝の両側面との間のエアギャップの大きさがアンバランスとなるため、固定子の両側面に作用する磁気吸引力がアンバランスとなって、その磁気吸引力の差が固定子に大きな倒れ込み力として作用する。つまり、固定子の両側面に作用する磁気吸引力の向きが１８０°反対方向であるため、固定子の両側面に作用する磁気吸引力がアンバランスとなると、その磁気吸引力の差がそのまま固定子の倒れ込み力となる。この対策として、固定子が倒れないようにするために、固定子を支持する構造を機械的に強固に構成しなければならず、その分、リニアモータが大型化したり、重量が増加する欠点がある。リニアモータの大型化や重量増加は、上述したように省スペース化や位置決め精度向上を阻害する要因となる。
　上記課題を解決するために、直線状に延びる固定子と、前記固定子の両側に沿って平行に延びる２本のガイドレールと、前記２本のガイドレールに跨がってスライド可能に支持されたスライド部材と、前記スライド部材に支持されて前記固定子と対向する可動子とを備えたリニアモータにおいて、前記固定子と前記可動子との間のエアギャップがリニアモータの設置面に対して傾斜する方向に延在するように構成されている。
　このように、固定子と可動子との間のエアギャップがリニアモータの設置面に対して傾斜する方向に延在するように構成すれば、固定子や駆動対象物を支持する部分に作用する外力を軽減することができる。
図１は実施例１のリニアモータの構成を示す側面図である。 図２は実施例１のリニアモータの固定子側の構成を示す平面図である。 図３は実施例１のリニアモータの固定子に作用する力を説明する図である。 図４は実施例２のリニアモータの構成を示す側面図である。 図５は実施例２のリニアモータの可動子に作用する力を説明する図である。
　以下、２つの実施例１，２を説明する。
　図１乃至図３を参照して実施例１を説明する。
　本実施例１のリニアモータ１１は、固定子１２と可動子１３とが鉛直方向（上下方向）に配置され、固定子１２の上方に可動子１３が位置する構成となっている。固定子１２は、可動子１３の移動方向に沿って延びるヨーク１４と、このヨーク１４の上面側に可動子１３の移動方向に沿ってＮ極とＳ極の磁界を交互に形成するように２列に配列した多数の磁石１５（図２参照）とから構成されている。
　固定子１２のヨーク１４は、リニアモータ１１の設置面側の外殻を構成する固定子プレート１６上にねじ止め、かしめ付け、溶着等の固定手段により固定されている。固定子１２のヨーク１４は、可動子１３の移動方向から見て略二等辺三角形（山型）の断面形状となるように形成され、その傾斜する２つの面に、それぞれ可動子１３の移動方向に沿ってＮ極とＳ極の磁界を交互に形成するように多数の磁石１５が配列されている。
　固定子プレート１６の上面には、可動子１３の移動方向に沿って延びる固定子１２の両側に沿って平行に延びる２本のガイドレール２１がねじ止め、かしめ付け、溶着等の固定手段により固定されている。２本のガイドレール２１に跨がってスライド部材である可動子プレート２２が両側の支持枠２３を介してスライド可能に水平に支持されている。これにより、可動子プレート２２が固定子プレート１６と平行に配置され、該可動子プレート２２の下面側に可動子１３が取り付けられている。
　可動子１３は、可動子プレート２２の下面にねじ止め、かしめ付け、溶着等の固定手段により固定されたヨーク２４と、このヨーク２４の下面側に固定子１２の磁石１５と対向するように装着された複数のコイル２５とから構成されている。可動子１３のヨーク２４は、固定子１２のヨーク１４の山型の断面形状に対応して谷型（Ｖ溝状）の断面形状となるように形成されている。これにより、固定子１２の磁石１５と可動子１３のコイル２５との間のエアギャップ２６がリニアモータ１１の設置面（固定子プレート１６の下面）に対して傾斜する方向に延在するように構成され、且つ、エアギャップ２６が可動子１３の移動方向から見て三角形の２辺に沿った断面形状（逆Ｖ字状）となるように構成されている。
　以上のように構成した本実施例１のリニアモータ１１は、例えば、部品実装機の実装ヘッドをＸ方向又はＹ方向に移動させるリニア駆動装置等、各種の産業機械のリニア駆動装置として使用可能であり、実装ヘッド等の駆動対象物を可動子プレート２２に支持させるようになっている。
　以上のように構成した本実施例１のリニアモータ１１は、固定子１２と可動子１３との間のエアギャップ２６が可動子１３の移動方向から見て三角形の２辺に沿った断面形状となるように構成されているため、図３に示すように、固定子１２と可動子１３との間に作用する磁気吸引力の作用方向がリニアモータ１１の中心を境にして異なる方向となるが、１８０°反対方向ではなく、エアギャップ２６の傾斜角度分だけ磁気吸引力の作用方向が１８０°反対方向からずれる。このため、たとえ、可動子１３の中心と固定子１２の中心との位置関係がずれて、固定子１２の両側のエアギャップ２６の大きさがアンバランスとなって、固定子１２の両側に作用する磁気吸引力がアンバランスとなった場合でも、両側の磁気吸引力の差がそのまま固定子１２の倒れ込み力とはならず、両側の磁気吸引力の水平方向成分の差が固定子１２の倒れ込み力となるだけである。これにより、固定子１２の倒れ込み力を軽減でき、固定子１２や駆動対象物を支持する部分（可動子プレート２２、支持枠２３、ガイドレール２１、固定子プレート１６）の機械的強度の設計基準を緩和することができて、その分、リニアモータ１１の小型化や軽量化を実現できて、省スペース化や位置決め精度向上に貢献できる。
　尚、本実施例１では、固定子１２と可動子１３との間のエアギャップ２６が可動子１３の移動方向から見て三角形の２辺に沿った断面形状（逆Ｖ字状）となるように構成したが、固定子と可動子との間のエアギャップが可動子の移動方向から見て逆三角形の２辺に沿った断面形状（Ｖ字状）となるように構成しても良い。この構成でも、本実施例１と同様の効果を得ることができる。
　また、本実施例１では、リニアモータ１１の設置面（固定子プレート１６の下面）を水平面として、固定子１２が下、可動子１３が上に位置する構成となっているが、これとは反対に、固定子１２が上、可動子１３が下に位置する構成としても良い。
　或は、リニアモータ１１の設置面を鉛直面として、固定子１２と可動子１３とを水平方向に配置した構成としても良い。その他、リニアモータ１１の設置面は、水平面や鉛直面に限定されず、それ以外の角度の面としても良いことは言うまでもない。
　次に、図４及び図５を用いて実施例２を説明する。但し、上記実施例１と実質的に同じ部分については説明を省略又は簡略化して、主として異なる部分について説明する。
　本実施例２のリニアモータ３１は、固定子３２と可動子３３とが水平方向に配置されている。固定子３２は、可動子３３の移動方向に沿って延びるヨーク３４と、このヨーク３４の内側に可動子３３の移動方向に沿ってＮ極とＳ極の磁界を交互に形成するように配列した多数の磁石３５とから構成されている。
　　固定子３２のヨーク３４は、リニアモータ３１の設置面側の外殻を構成する固定子プレート３６の内側にねじ止め、かしめ付け、溶着等の固定手段により固定されている。固定子３２のヨーク３４は、可動子３３の移動方向から見て内側面が鉛直面に対して傾斜面となるように形成され、その傾斜面に、可動子１３の移動方向に沿ってＮ極とＳ極の磁界を交互に形成するように多数の磁石３５が配列されている。
　固定子プレート３６の内面には、可動子３３の移動方向に沿って延びる固定子３２の両側に沿って平行に延びる２本のガイドレール４１がねじ止め、かしめ付け、溶着等の固定手段により固定されている。２本のガイドレール４１に跨がってスライド部材である可動子プレート４２が両側の支持枠４３を介してスライド可能に支持されている。これにより、可動子プレート４２が固定子プレート３６と平行に配置され、該可動子プレート４２の内側に可動子３３が取り付けられている。
　可動子３３は、可動子プレート４２の内側にねじ止め、かしめ付け、溶着等の固定手段により固定されたヨーク４４と、このヨーク４４の内側に固定子３２の磁石３５と対向するように装着されたコイル４５とから構成されている。可動子３３のヨーク４４は、固定子３２のヨーク３４の内側面の形状に対応して内側面が鉛直面に対して傾斜面となるように形成されている。これにより、固定子３２の磁石３５と可動子３３のコイル４５との間のエアギャップ４６がリニアモータ３１の設置面（固定子プレート３６の外面）に対して傾斜する方向に延在し、且つ、固定子３２と可動子３３との間に作用する磁気吸引力の作用方向が斜め上向きとなるように構成されている。
　以上のように構成した本実施例２のリニアモータ３１は、例えば、部品実装機の実装ヘッドをＸ方向又はＹ方向に移動させるリニア駆動装置等、各種の産業機械のリニア駆動装置として使用可能であり、実装ヘッド等の駆動対象物を可動子プレート４２に支持させるようになっている。
　以上のように構成した本実施例２のリニアモータ３１は、固定子３２と可動子３３との間のエアギャップ４６がリニアモータ３１の設置面（固定子プレート３６の外面）に対して傾斜する方向に延在し、且つ、可動子３３に作用する磁気吸引力の作用方向が斜め上向きとなるように構成されているため、図５に示すように、可動子１３に作用する磁気吸引力が上向きの成分を持ち、その磁気吸引力が可動子プレート４２に取り付けた駆動対象物の荷重を支持する力を補助する役割を果たすようになる。これにより、駆動対象物を支持する部分（可動子プレート４２、支持枠４３、ガイドレール４１、固定子プレート３６）の機械的強度の設計基準を緩和することができて、その分、リニアモータ３１の小型化や軽量化を実現できて、省スペース化や位置決め精度向上に貢献できる。
　尚、本実施例２では、可動子３３に作用する磁気吸引力の作用方向が斜め上向きとなるように構成したが、駆動対象物から可動子プレート４２に作用する荷重の作用方向によっては可動子に作用する磁気吸引力の作用方向が斜め下向きとなるように構成しても良い。
　また、本実施例２では、リニアモータ３１の設置面（固定子プレート３６の外面）を鉛直面として、固定子３２と可動子３３とが水平方向に配置された構成となっているが、リニアモータ３１の設置面（固定子プレート３６の外面）を水平面として、固定子３２と可動子３３とが上下方向に配置された構成としても良い。その他、リニアモータ３１の設置面は、水平面や鉛直面に限定されず、それ以外の角度の面としても良いことは言うまでもない。
［その他の実施例］
　上記実施例１，２では、固定子１２，３２に磁石１５，３５を設け、可動子１３，３３にコイル２５，４５を設けたが、これとは反対に、固定子にコイルを設け、可動子に磁石を設けた構成としても良い。
　その他、本発明は、上記各実施例に限定されず、例えば、ヨーク２４，４４の形状を変更したり、駆動対象物に応じてエアギャップ２６，４６の傾斜角度を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。
　１１…リニアモータ、１２…固定子、１３…可動子、１４…ヨーク、１５…磁石、１６…固定子プレート、２１…ガイドレール、２２…可動子プレート（スライド部材）、３３…支持枠、２４…ヨーク、２５…コイル、２６…エアギャップ、３１…リニアモータ、３２…固定子、３３…可動子、３４…ヨーク、３５…磁石、３６…固定子プレート、４１…ガイドレール、４２…可動子プレート（スライド部材）、４３…支持枠、４４…ヨーク、４５…コイル、４６…エアギャップ

Claims (5)

  1. 　直線状に延びる固定子と、
    　前記固定子の両側に沿って平行に延びる２本のガイドレールと、
    　前記２本のガイドレールに跨がってスライド可能に支持されたスライド部材と、
    　前記スライド部材に支持されて前記固定子と対向する可動子と
    　を備えたリニアモータにおいて、
    　前記固定子と前記可動子との間のエアギャップがリニアモータの設置面に対して傾斜する方向に延在するように構成されている、リニアモータ。
  2. 　前記エアギャップは、前記可動子の移動方向から見て三角形又は逆三角形の２辺に沿った断面形状となるように構成されている、請求項１に記載のリニアモータ。
  3. 　前記リニアモータの設置面は水平面であり、前記固定子と前記可動子とが鉛直方向に配置されている、請求項１又は２に記載のリニアモータ。
  4. 　前記リニアモータの設置面は鉛直面であり、前記固定子と前記可動子とが水平方向に配置されている、請求項１又は２に記載のリニアモータ。
  5. 　前記スライド部材に部品実装機の実装ヘッドが支持されている、請求項１乃至４のいずれかに記載のリニアモータ。
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