JP2017129461A - 形状測定機 - Google Patents
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Abstract
【課題】測定器本体を手動で素早く移動させる操作性を持ちながらも誤操作による破損を未然防止できる形状測定機を提供する。【解決手段】形状測定機100は、ドライブシャフト310と、測定器本体500と、トラクションナット部400と、を備える。測定器本体500は、被測定物の表面を倣い移動する触針を有し、ドライブシャフト310に沿って上下動可能に設けられている。トラクションナット部400は、ドライブシャフト310に摩擦接触する摩擦接触状態とドライブシャフト310から離間する離間状態とを切り替え可能となっている。形状測定機100は、さらに、触針が被測定物に衝突するのを防止する保護装置を有する。保護装置は、被測定物と触針との距離が所定距離以下となる接近状態になったことを検知するワーク検知センサ560と、測定器本体500の下降を止めるブレーキ装置と、を備える。【選択図】図1
Description
本発明は形状測定機に関する。
形状測定機は、例えば、スタイラスを被測定物の表面に接触させながら移動させ、そのときのスタイラスの変位から被測定物の形状データを得る。
本出願人は、形状測定機として、測定器本体の上下動を素早く行うことができる送り機構を備えたものを提案している(特許文献1)。
送り機構部は、ドライブシャフトと、トラクションナット部と、を有する。
ドライブシャフトは、上下方向に立設され、軸回りに回転可能になっている。
トラクションナット部は、ドライブシャフトに対して接触状態と離間状態とを切り替えできるようになっている。
測定器本体は、トラクションナット部に付設されている。トラクションナット部には開閉レバーが付いている。
送り機構部は、ドライブシャフトと、トラクションナット部と、を有する。
ドライブシャフトは、上下方向に立設され、軸回りに回転可能になっている。
トラクションナット部は、ドライブシャフトに対して接触状態と離間状態とを切り替えできるようになっている。
測定器本体は、トラクションナット部に付設されている。トラクションナット部には開閉レバーが付いている。
ユーザが開閉レバーを握り込むと、トラクションナット部がドライブシャフトを開放し、トラクションナット部とともに測定器本体を自由に上下動させることができる。この状態を粗動可能状態と称することにする。
ユーザは、測定器本体がワークの直上にくるように粗動させ、測定器本体がワークの直上に来たら、開閉レバーを握っていた手を緩める。すると、トラクションナット部がドライブシャフトを挟み込むようにして接触し、トラクションナット部の動きが止まる。この状態を粗動不可状態と称することにする。その後、ドライブシャフトを軸回りに回転させると、ツイストローラの働きでトラクションナット部がドライブシャフトに沿って微動する。
このような送り機構部によれば、粗動と微動とを簡単に切り替えられるので、測定器本体の位置決めを素早くかつ簡便に行うことができる。この形状測定機は、低価格でありながらも画期的な操作性を備えており、ユーザに大変な好評を博している。
ユーザは、測定器本体がワークの直上にくるように粗動させ、測定器本体がワークの直上に来たら、開閉レバーを握っていた手を緩める。すると、トラクションナット部がドライブシャフトを挟み込むようにして接触し、トラクションナット部の動きが止まる。この状態を粗動不可状態と称することにする。その後、ドライブシャフトを軸回りに回転させると、ツイストローラの働きでトラクションナット部がドライブシャフトに沿って微動する。
このような送り機構部によれば、粗動と微動とを簡単に切り替えられるので、測定器本体の位置決めを素早くかつ簡便に行うことができる。この形状測定機は、低価格でありながらも画期的な操作性を備えており、ユーザに大変な好評を博している。
上記の送り機構部にあっては、ユーザが開閉レバーを握るとトラクションナット部がドライブシャフトを開放した粗動可能状態になる。
この状態では、測定器本体が自由に移動できてしまうため、測定高さにアプローチする際に勢いがつきすぎると、測定器本体が適切な位置を超えて下がり過ぎてしまう場合がある。
このとき、スタイラスがワークに接触し、さらには、スタイラスの可動範囲をオーバーしてしまうと測定器本体が破損するという事態に繋がる可能性がある。例えば、表面粗さ測定(表面性状測定)に使用されるスタイラスというのはストロークが数100μm程度(例えばプラスマイナス300μm〜400μm)である。測定器本体とワークとの接触にユーザが気付いたときには、すでに、オーバーストロークになっている可能性が高い。
この状態では、測定器本体が自由に移動できてしまうため、測定高さにアプローチする際に勢いがつきすぎると、測定器本体が適切な位置を超えて下がり過ぎてしまう場合がある。
このとき、スタイラスがワークに接触し、さらには、スタイラスの可動範囲をオーバーしてしまうと測定器本体が破損するという事態に繋がる可能性がある。例えば、表面粗さ測定(表面性状測定)に使用されるスタイラスというのはストロークが数100μm程度(例えばプラスマイナス300μm〜400μm)である。測定器本体とワークとの接触にユーザが気付いたときには、すでに、オーバーストロークになっている可能性が高い。
本発明の目的は、測定器本体を手動で素早く移動させる操作性を持ちながらも誤操作による破損を未然防止できる形状測定機を提供することにある。
本発明の形状測定機は、
基台に立設されたドライブシャフトと、
被測定物の表面を倣い移動する触針を有し、前記ドライブシャフトに沿って上下動可能に設けられた測定器本体と、
前記測定器本体と前記ドライブシャフトとの間に介在配置され、前記ドライブシャフトに摩擦接触する摩擦接触状態と前記ドライブシャフトから離間する離間状態とを切り替え可能であるトラクションナット部と、を備える形状測定機であって、
さらに、前記触針が被測定物に衝突するのを防止する保護装置を有し、
前記保護装置は、
前記被測定物と前記触針との距離が所定距離以下となる接近状態になったことを検知するワーク検知センサと、
前記測定器本体の下降を止めるブレーキ装置と、を備える
ことを特徴とする。
基台に立設されたドライブシャフトと、
被測定物の表面を倣い移動する触針を有し、前記ドライブシャフトに沿って上下動可能に設けられた測定器本体と、
前記測定器本体と前記ドライブシャフトとの間に介在配置され、前記ドライブシャフトに摩擦接触する摩擦接触状態と前記ドライブシャフトから離間する離間状態とを切り替え可能であるトラクションナット部と、を備える形状測定機であって、
さらに、前記触針が被測定物に衝突するのを防止する保護装置を有し、
前記保護装置は、
前記被測定物と前記触針との距離が所定距離以下となる接近状態になったことを検知するワーク検知センサと、
前記測定器本体の下降を止めるブレーキ装置と、を備える
ことを特徴とする。
本発明では、
前記ワーク検知センサは、
前記測定器本体の筐体に突設され、その先端が前記触針の近傍に位置する支持フレームと、
前記支持フレームの前記先端において下向きに検知面を向けて配設された近接センサと、を備える
ことが好ましい。
前記ワーク検知センサは、
前記測定器本体の筐体に突設され、その先端が前記触針の近傍に位置する支持フレームと、
前記支持フレームの前記先端において下向きに検知面を向けて配設された近接センサと、を備える
ことが好ましい。
本発明では、
前記支持フレームは、前記触針の直上に延在している
ことが好ましい。
前記支持フレームは、前記触針の直上に延在している
ことが好ましい。
本発明では、
前記トラクションナット部の前記摩擦接触状態と前記離間状態とを切り替え操作するための開閉レバーを備え、
前記ワーク検知センサは、
前記開閉レバーが前記トラクションナット部を前記離間状態にする位置にある場合のみ、前記近接センサをオンにする
ことが好ましい。
前記トラクションナット部の前記摩擦接触状態と前記離間状態とを切り替え操作するための開閉レバーを備え、
前記ワーク検知センサは、
前記開閉レバーが前記トラクションナット部を前記離間状態にする位置にある場合のみ、前記近接センサをオンにする
ことが好ましい。
本発明では、
前記開閉レバーが前記トラクションナット部を前記離間状態にする位置にあることを検出するレバー位置検出器を備える
ことが好ましい。
前記開閉レバーが前記トラクションナット部を前記離間状態にする位置にあることを検出するレバー位置検出器を備える
ことが好ましい。
本発明では、
前記ワーク検知センサは、
前記測定器本体の側方において揺動可能または上下動可能に設けられ、その先端が前記触針よりも下方に位置するワーク検出棒と、
前記ワーク検出棒の変位を検出する変位検出センサと、を備える
ことが好ましい。
前記ワーク検知センサは、
前記測定器本体の側方において揺動可能または上下動可能に設けられ、その先端が前記触針よりも下方に位置するワーク検出棒と、
前記ワーク検出棒の変位を検出する変位検出センサと、を備える
ことが好ましい。
本発明の実施形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明の形状測定機に係る第1実施形態を示す図である。
図2は、形状測定機を斜め後ろから見た斜視図である。
なお、説明が分かりやすくなるように、図1、図2のようにX軸、Y軸、Z軸方向をとることとする。
すなわち、高さ方向をZ軸方向とし、図1中の右から左方向をX軸方向とし、図1中の奥から手前の方向をY軸方向とする。
(第1実施形態)
図1は、本発明の形状測定機に係る第1実施形態を示す図である。
図2は、形状測定機を斜め後ろから見た斜視図である。
なお、説明が分かりやすくなるように、図1、図2のようにX軸、Y軸、Z軸方向をとることとする。
すなわち、高さ方向をZ軸方向とし、図1中の右から左方向をX軸方向とし、図1中の奥から手前の方向をY軸方向とする。
形状測定機100は、基台(ベース)1と、支柱2と、昇降部材3と、揺動部材4と、送り機構部300と、測定器本体500と、保護装置600(図14)と、を備えている。
基台1に支柱2が立設されている。支柱2には昇降部材3が上下動可能に設けられている。昇降部材3には、揺動部材4を介して測定器本体500が取り付けられている。
また、昇降部材3と支柱2との間にはブレーキ装置610(図14)が設けられている。
ブレーキ装置610は、例えば、摩擦部材(不図示)と、この摩擦部材を支柱2またはドライブシャフト310に押しつける力を発生するためのソレノイドコイル(不図示)を備える。ブレーキ装置610の動作についてはフローチャート(図15)を参照しながら後述する。
揺動部材4は、支柱2の軸線に対して直交する軸線を揺動軸として角度調整可能となっている。
また、昇降部材3と支柱2との間にはブレーキ装置610(図14)が設けられている。
ブレーキ装置610は、例えば、摩擦部材(不図示)と、この摩擦部材を支柱2またはドライブシャフト310に押しつける力を発生するためのソレノイドコイル(不図示)を備える。ブレーキ装置610の動作についてはフローチャート(図15)を参照しながら後述する。
揺動部材4は、支柱2の軸線に対して直交する軸線を揺動軸として角度調整可能となっている。
送り機構部300は、測定器本体500の上下方向位置を調整する機能を有している。
図3は、ドライブシャフト310を断面して、ドライブシャフト310の軸線に沿って送り機構部300を見た図である。また、図4は、送り機構部300の分解斜視図である。
送り機構部300は、ドライブシャフト310と、トラクションナット部400と、レバー位置検出器25(図10、図14)と、を備える。
図3は、ドライブシャフト310を断面して、ドライブシャフト310の軸線に沿って送り機構部300を見た図である。また、図4は、送り機構部300の分解斜視図である。
送り機構部300は、ドライブシャフト310と、トラクションナット部400と、レバー位置検出器25(図10、図14)と、を備える。
ドライブシャフト310は支柱2と平行になるように基台1に立設されている。ドライブシャフト310は、その上端に設けられたつまみ部311によって回転操作できるようになっている。
トラクションナット部400は、ドライブシャフト310に対して緊緩可能に設けられている。すなわち、トラクションナット部400は、通常はドライブシャフト310に対して摩擦係合しているが、ユーザによるレバー操作によって弛緩してドライブシャフト310から離脱する。トラクションナット部400は、摩擦接触機構と称される場合がある。
トラクションナット部400は、固定片410と、可動片420と、ヒンジ片430と、バネ440と、六つのツイストローラ451−456と、開閉レバー460と、ハンドル470と、を備える。
トラクションナット部400は、固定片410と、可動片420と、ヒンジ片430と、バネ440と、六つのツイストローラ451−456と、開閉レバー460と、ハンドル470と、を備える。
図3、図4でわかるように、固定片410と可動片420とによりドライブシャフト310を緊緩可能に挟持する。
Z軸方向に立設されるドライブシャフト310に対し、固定片410および可動片420はX軸方向に長手を有する部材である。そして、固定片410は+Y側から、可動片420は−Y側からドライブシャフト310を挟む。固定片410と可動片420とは+X側の端面がヒンジ片430によって連結されている。ヒンジ片430は薄板であってある程度の弾性を有している。これにより固定片410と可動片420とは蝶番のごとくわずかに開閉可能となっている。
Z軸方向に立設されるドライブシャフト310に対し、固定片410および可動片420はX軸方向に長手を有する部材である。そして、固定片410は+Y側から、可動片420は−Y側からドライブシャフト310を挟む。固定片410と可動片420とは+X側の端面がヒンジ片430によって連結されている。ヒンジ片430は薄板であってある程度の弾性を有している。これにより固定片410と可動片420とは蝶番のごとくわずかに開閉可能となっている。
固定片410にはブラケット411が取り付けられ、さらに、ブラケット411が昇降部材3に連結される。したがって、固定片410は、ブラケット411を介して昇降部材3と一体的になる。
固定片410においてヒンジ片430と反対側の端部には溝412が設けられている。
この溝412は、固定片410において可動片420と対向する面側にあり、X軸方向に所定の長さを有する。この溝412は、開閉レバー460を取り付けるための溝である。
この溝412は、固定片410において可動片420と対向する面側にあり、X軸方向に所定の長さを有する。この溝412は、開閉レバー460を取り付けるための溝である。
トラクションナット部400において、ドライブシャフト310を間にしてヒンジ片430とは反対側の端部にはバネ440が設けられている。ここではコイルバネであるが、付勢力を生む弾性体であればよい。
バネ440は、−Yの側、すなわち、固定片410とは反対側から可動片420に押し付けられている。バネ440および可動片420を挿通するようにネジ441が設けられ、ネジ441の先端が固定片410に螺合している。したがって、可動片420はバネ440の付勢力によって固定片410側に押しつけられている。
バネ440は、−Yの側、すなわち、固定片410とは反対側から可動片420に押し付けられている。バネ440および可動片420を挿通するようにネジ441が設けられ、ネジ441の先端が固定片410に螺合している。したがって、可動片420はバネ440の付勢力によって固定片410側に押しつけられている。
ここでは、可動片420を固定片410に向けて押し付ける構成を採用しているが、可動片420を固定片410に向けて引っ張るようにしてもよいことはもちろんである。
ツイストローラ451−456が6つ設けられている。
6つのツイストローラ451−456のうち4つのツイストローラ451−454は固定片410に支持され、残る2つのツイストローラ455、456が可動片420にて支持されている。
固定片410側の4つのツイストローラ451−454のうち2つのツイストローラ451、452は固定片410の上側面に設けられ、2つのツイストローラ453、454は固定片410の下側面に設けられている。
これら4つのツイストローラ451−454はネジピン413によって回転可能に固定片410に支持されている。このとき、図5を見てわかるように、固定片410のネジ穴414の軸が傾いている。図5は、固定片410を−Y側からみた端面図である。
6つのツイストローラ451−456のうち4つのツイストローラ451−454は固定片410に支持され、残る2つのツイストローラ455、456が可動片420にて支持されている。
固定片410側の4つのツイストローラ451−454のうち2つのツイストローラ451、452は固定片410の上側面に設けられ、2つのツイストローラ453、454は固定片410の下側面に設けられている。
これら4つのツイストローラ451−454はネジピン413によって回転可能に固定片410に支持されている。このとき、図5を見てわかるように、固定片410のネジ穴414の軸が傾いている。図5は、固定片410を−Y側からみた端面図である。
同じく、2つのツイストローラ455、456がネジピン421によって可動片420に支持されるが、可動片420のネジ穴422の軸が傾いている。
図6を参照されたい。
図6は、可動片420を+Y側からみた端面図である。
これにより、図7、図8に示すように、ツイストローラ451−456は、ドライブシャフト310に対して所定角度の傾斜を持つ。
図7は、ドライブシャフト310とツイストローラ451、452、455とだけを抜き出してドライブシャフト310の軸方向から見た図である。
図8は、ドライブシャフト310とツイストローラ451−465とだけを抜き出して側方視した図である。
図6を参照されたい。
図6は、可動片420を+Y側からみた端面図である。
これにより、図7、図8に示すように、ツイストローラ451−456は、ドライブシャフト310に対して所定角度の傾斜を持つ。
図7は、ドライブシャフト310とツイストローラ451、452、455とだけを抜き出してドライブシャフト310の軸方向から見た図である。
図8は、ドライブシャフト310とツイストローラ451−465とだけを抜き出して側方視した図である。
なお、固定片410側のツイストローラ451−454と可動片420側のツイストローラ455、456とでは傾きの方向が反対になっている。
このツイストローラ451−456の傾斜がリードを生む。
回転軸が傾いたツイストローラ451−456とドライブシャフト310とが接触した状態でドライブシャフト310が回転すると、トラクションナット部400がドライブシャフト310の軸方向に進退する。
このツイストローラ451−456の傾斜がリードを生む。
回転軸が傾いたツイストローラ451−456とドライブシャフト310とが接触した状態でドライブシャフト310が回転すると、トラクションナット部400がドライブシャフト310の軸方向に進退する。
開閉レバー460は、X軸方向に長手の部材であって、その先端部が固定片410の溝412に遊挿され、心棒461によって揺動可能に軸支されている。
なお、心棒461はZ軸方向であり、したがって、開閉レバー460はXY面内にあってY軸方向に揺動可能となっている。
開閉レバー460の先端には、押しピン462が突起している。押しピン462は、固定片410から可動片420の方向に突起している。可動片420はバネ440によって固定片410側に押されているので、通常、この押しピン462は可動片420によって固定片410側に押されている。
なお、心棒461はZ軸方向であり、したがって、開閉レバー460はXY面内にあってY軸方向に揺動可能となっている。
開閉レバー460の先端には、押しピン462が突起している。押しピン462は、固定片410から可動片420の方向に突起している。可動片420はバネ440によって固定片410側に押されているので、通常、この押しピン462は可動片420によって固定片410側に押されている。
ここで、開閉レバー460の基端を+Y側に揺動させた際には、押しピン462は−Y側に移動する。すなわち、開閉レバー460の揺動によって可動片420を固定片410から離間する側に押すことができる。可動片420が固定片410から離間すれば、それに伴ってツイストローラ451−456がドライブシャフト310から離間する。
図9を参照されたい。
この状態であれば、トラクションナット部400とドライブシャフト310とは離れているわけであるから、トラクションナット部400はフリーで移動可能となる。
図9を参照されたい。
この状態であれば、トラクションナット部400とドライブシャフト310とは離れているわけであるから、トラクションナット部400はフリーで移動可能となる。
ハンドル470は、図2または図4を見て判るように、X軸方向に長手を有する。そして、ハンドル470は固定片410に固定されている。ハンドル470は、その軸線に沿った溝条471を有する。この溝条471は、開閉レバー460を受け入れられる程度の幅を有する。
ハンドル470と開閉レバー460との位置関係としては、両者はほぼ平行であり、ユーザがハンドル470を握ろうとすれば自然と開閉レバー460も握り込んでしまうように配設されている。
ハンドル470とともに開閉レバー460が握り込まれた際には、開閉レバー460はハンドル470の溝条471に受け入れられるようになっている。
これにより、開閉レバー460の揺動が許容されるとともに、開閉レバー460とハンドル470とを同時に握り込み易くなっている。
ハンドル470とともに開閉レバー460が握り込まれた際には、開閉レバー460はハンドル470の溝条471に受け入れられるようになっている。
これにより、開閉レバー460の揺動が許容されるとともに、開閉レバー460とハンドル470とを同時に握り込み易くなっている。
つまり、ユーザがハンドル470を握ると開閉レバー460も合わせて握られる。このとき、開閉レバー460の押しピン462が可動片420を押す。すると、トラクションナット部400はドライブシャフト310から離れてフリーになる。ユーザにとってみれば、特段意識しなくてもハンドル470を握れば自動的にトラクションナット部400はフリーになっている。したがって、ハンドル470を持って昇降部材3とともに測定器本体500をZ軸方向に移動させればよい。
一方、ユーザがハンドル470を離すと、開閉レバー460もユーザの手から離れる。このとき、可動片420はバネ440の付勢力によって固定片410側に接近する。すると、ツイストローラ451−456がドライブシャフト310に接触し、トラクションナット部400とドライブシャフト310との間に摩擦が働くようになる。したがって、ユーザがハンドル470から手を離せば、トラクションナット部400の位置、すなわち、昇降部材3および測定器本体500の高さ位置は固定される。
ツイストローラ451−456は、ドライブシャフト310に摩擦接触する摩擦接触部である。
ここで、ユーザがハンドル470と開閉レバー460とを合わせて握り、ツイストローラ451−456がドライブシャフト310から離間した状態を粗動可能状態と称することにする。
また、ユーザがハンドル470から手を離し(あるいは握力を緩め)、ツイストローラ451−456がドライブシャフト310に接触した状態を粗動不可状態と称することにする。
また、ユーザがハンドル470から手を離し(あるいは握力を緩め)、ツイストローラ451−456がドライブシャフト310に接触した状態を粗動不可状態と称することにする。
レバー位置検出器25は、開閉レバー460の位置を検出し、開閉レバー460の位置に応じて検出信号を出力する。
これにより、レバー位置検出器25からの出力信号は、トラクションナット部400の状態が粗動可能状態なのか粗動不可状態なのかを示す信号となる。
図10は、レバー位置検出器25を例示する図である。
レバー位置検出器25は、例えば、ハンドル470の溝条471に設けられたボタンスイッチ25である。
ユーザがハンドル470と開閉レバー460とを合わせて握ると、開閉レバー460に押されてボタンスイッチ25が押し下げられる。ユーザがハンドル470および開閉レバー460から手を離すと(あるいは握力を緩めると)、開閉レバー460が元の位置に戻り、ボタンスイッチ25も復帰する。すなわち、ボタンスイッチ25が押されているかどうかでトラクションナット部400が粗動可能状態なのか粗動不可状態なのかが区別される。
これにより、レバー位置検出器25からの出力信号は、トラクションナット部400の状態が粗動可能状態なのか粗動不可状態なのかを示す信号となる。
図10は、レバー位置検出器25を例示する図である。
レバー位置検出器25は、例えば、ハンドル470の溝条471に設けられたボタンスイッチ25である。
ユーザがハンドル470と開閉レバー460とを合わせて握ると、開閉レバー460に押されてボタンスイッチ25が押し下げられる。ユーザがハンドル470および開閉レバー460から手を離すと(あるいは握力を緩めると)、開閉レバー460が元の位置に戻り、ボタンスイッチ25も復帰する。すなわち、ボタンスイッチ25が押されているかどうかでトラクションナット部400が粗動可能状態なのか粗動不可状態なのかが区別される。
なお、ボタンスイッチ25は、開閉レバー460に設けられてもよい。
また、図11は、レバー位置検出器の変形例である。
レバー位置検出器35は、発光部35aと、受光部35bと、遮蔽板35cと、を備えている。
発光部35aと受光部35bは、ハンドル470の溝条471に設けられ、フォトセンサを構成している。遮蔽板35cは、開閉レバー460に設けられている。
ユーザがハンドル470と開閉レバー460とを合わせて握ると、発光部35aから受光部35bに向かって出射された光が遮蔽板35cによって遮られ、受光部35bに入射しなくなる。ユーザがハンドル470および開閉レバー460から手を離すと、受光部35bは発光部35aからの光を検知する。したがって、受光部35bからの受光信号により、トラクションナット部400が粗動可能状態なのか粗動不可状態なのか区別される。
レバー位置検出器35は、発光部35aと、受光部35bと、遮蔽板35cと、を備えている。
発光部35aと受光部35bは、ハンドル470の溝条471に設けられ、フォトセンサを構成している。遮蔽板35cは、開閉レバー460に設けられている。
ユーザがハンドル470と開閉レバー460とを合わせて握ると、発光部35aから受光部35bに向かって出射された光が遮蔽板35cによって遮られ、受光部35bに入射しなくなる。ユーザがハンドル470および開閉レバー460から手を離すと、受光部35bは発光部35aからの光を検知する。したがって、受光部35bからの受光信号により、トラクションナット部400が粗動可能状態なのか粗動不可状態なのか区別される。
本実施形態では、トラクションナット部400が粗動可能状態になったとき、レバー位置検出器25、35からレバー操作を検知した旨のレバー操作信号が出力されるとする。
次に、測定器本体500について説明する。
図12は、測定器本体500の内部構造を説明するための図である。
測定器本体500は、触針ユニット510と、触針ユニット510を進退させる第1駆動部530と、第1駆動部530を進退させる第2駆動部540と、ワークWの接近を検知するワーク検知センサ560と、を有する。
図12は、測定器本体500の内部構造を説明するための図である。
測定器本体500は、触針ユニット510と、触針ユニット510を進退させる第1駆動部530と、第1駆動部530を進退させる第2駆動部540と、ワークWの接近を検知するワーク検知センサ560と、を有する。
触針ユニット510は、いわゆる表面粗さ測定器(表面性状測定器)であって、その構造自体はよく知られたものであるが、図13を参照して触針ユニット510の機構を簡単に説明しておく。図13は、触針ユニット510の内部機構を説明するための図である。なお、図面を見やすくするため、断面を示すハッチングを省略した。
触針ユニット510は、内部に空間を有する触針ケース511と、触針ケース511内で揺動可能に設けられた触針レバー516と、変位検出部520と、を有する。触針ケース511は、略直方体の胴部512と、この胴部512の先端から突き出たノーズ部513と、有し、さらに、ノーズ部513の先端から触針レバー516が出ている。
触針ユニット510は、内部に空間を有する触針ケース511と、触針ケース511内で揺動可能に設けられた触針レバー516と、変位検出部520と、を有する。触針ケース511は、略直方体の胴部512と、この胴部512の先端から突き出たノーズ部513と、有し、さらに、ノーズ部513の先端から触針レバー516が出ている。
触針レバー516は、その先端に下向きの触針517を有する。
触針レバー516は、胴部512からノーズ部513にかけて挿通され、ノーズ部513の先端から外部に出ている。触針レバー516は、その中間部において板ばね518によって胴部512の内部空間に取り付けられている。板ばね518は、触針レバー516の揺動支点となっているとともに、触針レバー516がほぼ水平で触針517が鉛直下方向を向いた状態でバランスが取れるように触針レバー516を弾性的に支持している。
触針レバー516は、胴部512からノーズ部513にかけて挿通され、ノーズ部513の先端から外部に出ている。触針レバー516は、その中間部において板ばね518によって胴部512の内部空間に取り付けられている。板ばね518は、触針レバー516の揺動支点となっているとともに、触針レバー516がほぼ水平で触針517が鉛直下方向を向いた状態でバランスが取れるように触針レバー516を弾性的に支持している。
変位検出部520は、胴部512の内部に配置されている。
変位検出部520は、フェライト板521と、インダクタンス検出器522と、を有する。
フェライト板521は、触針レバー516の後端上面に取り付けられている。胴部512の内部空間においてフェライト板521と対向する位置には、インダクタンス検出器522が取り付けられている。
変位検出部520は、フェライト板521と、インダクタンス検出器522と、を有する。
フェライト板521は、触針レバー516の後端上面に取り付けられている。胴部512の内部空間においてフェライト板521と対向する位置には、インダクタンス検出器522が取り付けられている。
測定時においてワークWと触針517とが接触し、測定面の表面粗さによって触針517が上下動する。触針517が上下動すると、インダクタンス検出器522によってこの上下動が検出される。インダクタンス検出器522から出力される検出信号によりワークWの表面粗さが測定される。
なお、触針517の上下動の可動範囲は数100μm程度(プラスマイナス300μm〜400μm程度)である。
なお、触針517の上下動の可動範囲は数100μm程度(プラスマイナス300μm〜400μm程度)である。
図12に戻って、第1駆動部530と第2駆動部540とについて説明する。
第1駆動部530は、第1ケース531と、第1スライダ532と、第1ガイド部533と、第1動力機構部536と、を備える。
第1駆動部530は、第1ケース531と、第1スライダ532と、第1ガイド部533と、第1動力機構部536と、を備える。
第1ケース531の内部に触針ケース511の後部が収容され、さらに、第1スライダ532と、第1ガイド部533と、第1動力機構部536と、が第1ケース531の内部に設けられている。
触針ケース511の後部は第1スライダ532に接続されており、触針ユニット510は第1スライダ532とともに進退する。
第1スライダ532は、その進退方向が第1ガイド部533でガイドされている。第1ガイド部533は、第1ガイドシャフト534を有し、第1スライダ532を平行移動可能に支持するものである。第1ガイドシャフト534は、第1スライダ532の上面に設けられた軸受535、535の孔に挿通されている。
触針ケース511の後部は第1スライダ532に接続されており、触針ユニット510は第1スライダ532とともに進退する。
第1スライダ532は、その進退方向が第1ガイド部533でガイドされている。第1ガイド部533は、第1ガイドシャフト534を有し、第1スライダ532を平行移動可能に支持するものである。第1ガイドシャフト534は、第1スライダ532の上面に設けられた軸受535、535の孔に挿通されている。
なお、第1スライダ532と第1ガイドシャフト534との間にはエンコーダ等の変位測定器(不図示)が設けられ、第1スライダ532の変位を検出できるようになっている。
第1動力機構部536は、第1モータ537と、第1送りネジ538と、ねじ受けナット539と、で構成されている。
第1スライダ532の下端面には、第1送りネジ538に螺合するねじ受けナット539が設けられている。第1送りネジ538が第1ガイドシャフト534と平行に設けられているのはもちろんである。
第1スライダ532の下端面には、第1送りネジ538に螺合するねじ受けナット539が設けられている。第1送りネジ538が第1ガイドシャフト534と平行に設けられているのはもちろんである。
ねじ受けナット539が螺合する第1送りネジ538の末端には第1モータ537が接続されている。第1モータ537が回転駆動することにより、第1スライダ532が第1送りネジ538によって前後に送られる。すなわち、触針ユニット510が前後(X軸方向)に進退することになる。
次に、第2駆動部540を説明する。
第2駆動部540は、第2ケース541と、第2スライダ542と、第2ガイド部543と、第2動力機構部544と、を有する。
第2スライダ542の下端に第1駆動部530の第1ケース531が接続されている。
第2スライダ542は、その進退方向が第2ガイド部543でガイドされている。
また、第2スライダ542は、X方向に設けられた第2動力機構部544としての第2送りネジ545に螺合している。
第2モータ546の回転動力が歯車547を介して第2送りネジ545に伝達されるようになっており、さらに、第2モータ546は、ロータリースイッチ548の回転操作によって操作できるようになっている。
なお、第2スライダ542の変位は、エンコーダ549によって検出される。
第2駆動部540は、第2ケース541と、第2スライダ542と、第2ガイド部543と、第2動力機構部544と、を有する。
第2スライダ542の下端に第1駆動部530の第1ケース531が接続されている。
第2スライダ542は、その進退方向が第2ガイド部543でガイドされている。
また、第2スライダ542は、X方向に設けられた第2動力機構部544としての第2送りネジ545に螺合している。
第2モータ546の回転動力が歯車547を介して第2送りネジ545に伝達されるようになっており、さらに、第2モータ546は、ロータリースイッチ548の回転操作によって操作できるようになっている。
なお、第2スライダ542の変位は、エンコーダ549によって検出される。
第2駆動部540によって第1駆動部530と触針ユニット510とを前後(X軸方向)に進退させ、触針517を測定開始点に位置させる。そして、第1駆動部530によって触針ユニット510を進退させる。
このときの触針517の変位からワークWの表面粗さが検出される。
このときの触針517の変位からワークWの表面粗さが検出される。
ワーク検知センサ560について説明する。
ワーク検知センサ560は、第1ケース531の前端に突設された支持フレーム561と、支持フレーム561の先端に取り付けられた近接センサ562と、を備える。
支持フレーム561は、直線状の棒状体である。支持フレーム561は、第1ケース531の前端に取り付けられ、触針ケース511と平行に延在している。
本実施形態においては、支持フレーム561は、触針ケース511の直上に位置するように設けられている。つまり、Z軸に沿って上から見ると、支持フレーム561と触針ケース511とは重なっているように見える。支持フレーム561は、触針ケース511と平行に伸び、さらに、ノーズ部513、さらには、触針517よりも前方(+X方向)に突き出ている。
ワーク検知センサ560は、第1ケース531の前端に突設された支持フレーム561と、支持フレーム561の先端に取り付けられた近接センサ562と、を備える。
支持フレーム561は、直線状の棒状体である。支持フレーム561は、第1ケース531の前端に取り付けられ、触針ケース511と平行に延在している。
本実施形態においては、支持フレーム561は、触針ケース511の直上に位置するように設けられている。つまり、Z軸に沿って上から見ると、支持フレーム561と触針ケース511とは重なっているように見える。支持フレーム561は、触針ケース511と平行に伸び、さらに、ノーズ部513、さらには、触針517よりも前方(+X方向)に突き出ている。
近接センサ562は、支持フレーム561の先端において、その検知面を下方に向けて取り付けられている。
近接センサ562としては、検出距離が20mm〜30mm程度の小型のセンサであればその種類は限定されない。
仮に近接センサ562と触針517とのギャップが10mm〜15mmであるとして、近接センサ562は、ワークと触針517との距離が5mm〜20mm以下という接近状態になったことを検知する。
本実施形態では、フォト近接センサを利用する。
ワークWとの距離を検出するにあたり、ワークWが非導電体や非磁性体である可能性も考慮するとフォト近接センサが好適である。
近接センサ562としては、検出距離が20mm〜30mm程度の小型のセンサであればその種類は限定されない。
仮に近接センサ562と触針517とのギャップが10mm〜15mmであるとして、近接センサ562は、ワークと触針517との距離が5mm〜20mm以下という接近状態になったことを検知する。
本実施形態では、フォト近接センサを利用する。
ワークWとの距離を検出するにあたり、ワークWが非導電体や非磁性体である可能性も考慮するとフォト近接センサが好適である。
フォト近接センサ562は、発光部と受光部とを有し、発光部からの光を検出対象に向けて照射する。検出対象からの反射光を受光部で受光し、受光強度が所定のレベルを超えたら、検出対象の近接を知らせるワーク検知信号を出力する。したがって、触針517が実際にワークWに接触する前に、フォト近接センサ562によってワークWの接近を検知することができる。
次に、保護装置600について説明する。
保護装置600のシステムブロック図を図14に示す。
保護装置600は、触針517(触針レバー516)がワークWに衝突して破損するのを防止するための機構であり、すなわち、触針保護装置である。
保護装置600は、ワーク検知センサ560と、レバー位置検出器25と、ブレーキ装置610と、中央制御部620と、によって構成されている。
ワーク検知センサ560、レバー位置検出器25およびブレーキ装置610については、既に説明した。
保護装置600のシステムブロック図を図14に示す。
保護装置600は、触針517(触針レバー516)がワークWに衝突して破損するのを防止するための機構であり、すなわち、触針保護装置である。
保護装置600は、ワーク検知センサ560と、レバー位置検出器25と、ブレーキ装置610と、中央制御部620と、によって構成されている。
ワーク検知センサ560、レバー位置検出器25およびブレーキ装置610については、既に説明した。
中央制御部620は、ワーク検知センサ560、レバー位置検出器25およびブレーキ装置610の動作を統合的に制御するものである。
中央制御部620による制御動作を説明する。
図15は、中央制御部620による処理手順を示すフローチャートである。
中央制御部620は、電源オンでシステムが起動したら、レバー位置検出器25を監視(モニター)する(ST120)。開閉レバー460が操作されず、レバー位置検出器25からレバー操作信号が出力されていなければ(ST120:NO)、中央制御部620はただ待機して監視を続ける。なお、ユーザが開閉レバー460を操作していないときは(ST120:NO)、ワーク検知センサ560もブレーキ装置610もオフ(ST121、ST122)のままである。
中央制御部620による制御動作を説明する。
図15は、中央制御部620による処理手順を示すフローチャートである。
中央制御部620は、電源オンでシステムが起動したら、レバー位置検出器25を監視(モニター)する(ST120)。開閉レバー460が操作されず、レバー位置検出器25からレバー操作信号が出力されていなければ(ST120:NO)、中央制御部620はただ待機して監視を続ける。なお、ユーザが開閉レバー460を操作していないときは(ST120:NO)、ワーク検知センサ560もブレーキ装置610もオフ(ST121、ST122)のままである。
ユーザがワークWの測定を行う場面を考える。
ユーザは、ワークWを基台1上にセットし、続いて、触針517がワークに接触するように測定器本体500を下げる。つまり、ワークWと測定器本体500とを近づける。測定器本体500をワークWに向けて下ろすにあたって、ユーザは、ハンドル470と開閉レバー460とを握り込んでトラクションナット部400を粗動可能状態にする。ユーザがハンドル470と開閉レバー460とを握り込んだとき、この操作はレバー位置検出器25で検知され、レバー位置検出器25からレバー操作信号が出力される。
中央制御部620は、レバー操作信号により、開閉レバー460がユーザによって操作中であることを検知する(ST120:YES)。
ユーザは、ワークWを基台1上にセットし、続いて、触針517がワークに接触するように測定器本体500を下げる。つまり、ワークWと測定器本体500とを近づける。測定器本体500をワークWに向けて下ろすにあたって、ユーザは、ハンドル470と開閉レバー460とを握り込んでトラクションナット部400を粗動可能状態にする。ユーザがハンドル470と開閉レバー460とを握り込んだとき、この操作はレバー位置検出器25で検知され、レバー位置検出器25からレバー操作信号が出力される。
中央制御部620は、レバー操作信号により、開閉レバー460がユーザによって操作中であることを検知する(ST120:YES)。
中央制御部620は、開閉レバー460が操作されていることを検知すると(ST120:YES)、ワーク検知センサ560をオンにする(ST130)。具体的には、フォト近接センサ562をオンにする(ST130)。そして、中央制御部620は、レバー位置検出器25に加えて、ワーク検知センサ560も監視する(ST120、ST140)。
ユーザはハンドル470を握って測定器本体500を下げていくが、ワークWがワーク検知センサ560の検出距離に入ってこなければ、ワーク検知センサ560からワーク検知信号が出力されない(ST140:NO)。
この場合、フローの先頭に戻り、開閉レバー460が操作されている間(ST120:YES)、ST110〜ST140をループすることになる。
ユーザはハンドル470を握って測定器本体500を下げていくが、ワークWがワーク検知センサ560の検出距離に入ってこなければ、ワーク検知センサ560からワーク検知信号が出力されない(ST140:NO)。
この場合、フローの先頭に戻り、開閉レバー460が操作されている間(ST120:YES)、ST110〜ST140をループすることになる。
ワークWがワーク検知センサ560の検出距離に入ってくる前に、ユーザが自分の判断で測定器本体500の降下を停止させることもある。そして、ユーザが開閉レバー460から手を離すと、レバー位置検出器25からのレバー操作信号がオフになる(ST120:NO)。すると、中央制御部620は、ワーク検知センサ560をオフにして(ST121)、レバー位置検出器25の監視に戻る。ユーザは、ハンドル470による測定器本体500の降下を停止したあと、つまみ部311を操作してドライブシャフト310を回し、徐々に測定器本体500をワーク表面に近づけ、触針517がワークWに接触するようにする。このような場合、ブレーキ装置610が作動することはない。
さて、ユーザが測定器本体500をワークに近づけるにあたって、力が入りすぎて勢いがつきすぎてしまうことがある。
この場合を考える。
ユーザがハンドル470と開閉レバー460を握ると、レバー位置検出器25からレバー操作信号が出力される(ST120:YES)。中央制御部620は、ワーク検知センサ560をオンにする(ST130)。
ユーザの手に力が入りすぎ、測定器本体500の降下速度が速すぎると、測定器本体500がワークに瞬時にして接近してしまう。操作性の良さは送り機構部300のすぐれた利点でもあるが、勢いがつきすぎた測定器本体500の降下を急停止させるのは難しい。
この場合を考える。
ユーザがハンドル470と開閉レバー460を握ると、レバー位置検出器25からレバー操作信号が出力される(ST120:YES)。中央制御部620は、ワーク検知センサ560をオンにする(ST130)。
ユーザの手に力が入りすぎ、測定器本体500の降下速度が速すぎると、測定器本体500がワークに瞬時にして接近してしまう。操作性の良さは送り機構部300のすぐれた利点でもあるが、勢いがつきすぎた測定器本体500の降下を急停止させるのは難しい。
ここで、本実施形態では、測定器本体500がワークWに急激に接近しすぎるような場合、ワーク検知センサ560からワーク検知信号が出力される。すなわち、ユーザが開閉レバー460を操作中であり(ST120:YES)、かつ、ワーク検知センサ560の検出距離にワークが入ってきた場合、ワーク検知センサ560からワーク検知信号が出力される(ST140:YES)。中央制御部620は、ワーク検知センサ560からのワーク検知信号を受けると(ST140:YES)、ブレーキ装置610を作動させる(ST150)。すると、ブレーキ装置610のブレーキ力によって測定器本体500の移動が止められる。
ワーク検知センサ560の検出距離は20mm〜30mmである。仮にフォト近接センサ562と触針517との間に10mm〜15mmの間隔があるとしても、ワーク検知センサ560がワークWを検知してから触針517がワークWに衝突するまでに5mm〜20mmの余裕がある。したがって、ブレーキ装置610のブレーキ力によって触針517がワークWに衝突する前に測定器本体500の移動が止まり、触針517が破損するといった事故は防止される。
ブレーキ装置610を作動させたあと(ST150)、中央制御部620は、開閉レバー460が操作されかつワーク検知センサ560でワークが検出される限りは(ST120、ST140:YES)、ブレーキ装置610のオンを継続する(ST150)。
ユーザが開閉レバー460から手を離し、レバー位置検出器25からのレバー操作信号がなくなったら(ST120:NO)、中央制御部620は、ワーク検知センサ560もブレーキ装置610もオフにし(ST121、ST122)、レバー位置検出器25の監視(ST120)に戻る。
このあと、ユーザは、前述と同じように、ドライブシャフト310を回して徐々に測定器本体500をワーク表面に近づける。このとき、ブレーキ装置610はすでにオフ(解除)になっているから、測定器本体500を移動させるのに支障はない。
ユーザが開閉レバー460から手を離し、レバー位置検出器25からのレバー操作信号がなくなったら(ST120:NO)、中央制御部620は、ワーク検知センサ560もブレーキ装置610もオフにし(ST121、ST122)、レバー位置検出器25の監視(ST120)に戻る。
このあと、ユーザは、前述と同じように、ドライブシャフト310を回して徐々に測定器本体500をワーク表面に近づける。このとき、ブレーキ装置610はすでにオフ(解除)になっているから、測定器本体500を移動させるのに支障はない。
このような構成を有する本実施形態によれば次のような効果を奏する。
(1)本実施形態ではブレーキ装置610が設けられているので、ユーザのハンドル操作に力が入りすぎて測定器本体500が急激に降下したとしても、触針517とワークWとが接触する前に測定器本体500の移動が止まる。したがってワークWとの接触で触針517が破損するような事故は未然に回避される。
(1)本実施形態ではブレーキ装置610が設けられているので、ユーザのハンドル操作に力が入りすぎて測定器本体500が急激に降下したとしても、触針517とワークWとが接触する前に測定器本体500の移動が止まる。したがってワークWとの接触で触針517が破損するような事故は未然に回避される。
(2)本実施形態では触針517が接触する前にワークWの接近を検知するワーク検知センサ560を設けている。これにより、触針レバー516のストロークが極めて短いような表面粗さ測定器(表面性状測定器)を送り機構部300と組み合わせることができることとなった。
例えば、スタイラスのストロークが数10mmあれば、スタイラスの変位に基づいてワークWを検知してからブレーキ装置を作動させてもオーバーストロークになる前に測定器本体500の移動を止めることが可能である。したがって、この場合、測定器がもともと持っているスタイラスの他にワーク検知センサを付加する必要はない。
例えば、スタイラスのストロークが数10mmあれば、スタイラスの変位に基づいてワークWを検知してからブレーキ装置を作動させてもオーバーストロークになる前に測定器本体500の移動を止めることが可能である。したがって、この場合、測定器がもともと持っているスタイラスの他にワーク検知センサを付加する必要はない。
しかし、本実施形態が想定しているような表面粗さ測定器にあっては、ワークWと触針517との接触に気づいてからではブレーキが間に合わない。
もし、ワーク検知センサ560が無いとすれば、本実施形態の送り機構部300のように素早い位置調整を可能にする粗動機構は測定器の破損につながるおそれがある。従来のように常時送りねじによる微動だけに制限するしかない。人力で送りねじを回すのは大変であるので、モータで送りねじを回転駆動させることはできるが、高価になってしまう。
この点、本実施形態では、ワーク検知センサ560を別途に付加したことにより、表面粗さ測定器のような高精密な測定器を送り機構部300に取り付けることができるようになった。
これにより操作の利便性、低価格、さらに高精度測定というメリットをユーザに提供できる画期的な製品となる。
もし、ワーク検知センサ560が無いとすれば、本実施形態の送り機構部300のように素早い位置調整を可能にする粗動機構は測定器の破損につながるおそれがある。従来のように常時送りねじによる微動だけに制限するしかない。人力で送りねじを回すのは大変であるので、モータで送りねじを回転駆動させることはできるが、高価になってしまう。
この点、本実施形態では、ワーク検知センサ560を別途に付加したことにより、表面粗さ測定器のような高精密な測定器を送り機構部300に取り付けることができるようになった。
これにより操作の利便性、低価格、さらに高精度測定というメリットをユーザに提供できる画期的な製品となる。
(3)本実施形態では、開閉レバー460が操作されている間だけ、ワーク検知センサ560をオンにし、それ以外のときはワーク検知センサ560をオフにしている。
ワーク検知センサ560は、触針517に近い位置に配置されている。本実施形態のようにフォト近接センサ562を用いると、光源が熱を発することになる。数マイクロメータオーダーの表面粗さを検出対象としているのであるから、測定環境温度の管理上、熱源が触針517やワークWの近辺に常に存在しているのは好ましいことではない。
この点、本実施形態では、ユーザがハンドル470を操作するほんの短い間だけワーク検知センサ560がオンになるのであり、測定中はもちろんワーク検知センサ560はオフになるようにしている。
これにより、ワーク検知センサ560の付加が測定に影響せず、保護機能と測定精度とを両立させることができる。
ワーク検知センサ560は、触針517に近い位置に配置されている。本実施形態のようにフォト近接センサ562を用いると、光源が熱を発することになる。数マイクロメータオーダーの表面粗さを検出対象としているのであるから、測定環境温度の管理上、熱源が触針517やワークWの近辺に常に存在しているのは好ましいことではない。
この点、本実施形態では、ユーザがハンドル470を操作するほんの短い間だけワーク検知センサ560がオンになるのであり、測定中はもちろんワーク検知センサ560はオフになるようにしている。
これにより、ワーク検知センサ560の付加が測定に影響せず、保護機能と測定精度とを両立させることができる。
(4)本実施形態では、ワーク検知センサ560は触針ケース511の直上にある。これは、ワーク検知センサ560が測定の邪魔にならないようにするための配置である。
触針517とワークWとの距離を検出する場合、触針517とワーク検知センサ560との高さが同じになっていた方が好都合とも思える。しかしながら、表面測定としては、例えば図16に例示するように、細溝の底面を測定対象とすることがある。
このような場合、触針ケース511の真横に、ワーク検知センサ560があると測定の邪魔である。
したがって、本実施形態では、触針ケース511の直上にワーク検知センサ560を配置することとした。
触針517とワークWとの距離を検出する場合、触針517とワーク検知センサ560との高さが同じになっていた方が好都合とも思える。しかしながら、表面測定としては、例えば図16に例示するように、細溝の底面を測定対象とすることがある。
このような場合、触針ケース511の真横に、ワーク検知センサ560があると測定の邪魔である。
したがって、本実施形態では、触針ケース511の直上にワーク検知センサ560を配置することとした。
(変形例1)
第1実施形態の変形例を図17に示す。
第1実施形態では、ワーク検知センサ560の支持フレーム561を第1ケース531の前端に取りつけて、触針ケース511と平行に延在させていた。
変形例1としては、支持部材564をスキッド514の前端に取りつけて、この支持部材564に近接センサ562を取りつけるようにしてもよい。
図17においては、ノーズ部513の先端にスキッド514が設けられている。スキッド514は、その内部にL字型に屈曲した貫通孔515を有し、この貫通孔515はノーズ部513内の空洞に連続している。触針レバー516は、胴部512からノーズ部513にかけて挿通され、先端の触針517がスキッド514の下端開口から外部に臨むように配設されている。
第1実施形態の変形例を図17に示す。
第1実施形態では、ワーク検知センサ560の支持フレーム561を第1ケース531の前端に取りつけて、触針ケース511と平行に延在させていた。
変形例1としては、支持部材564をスキッド514の前端に取りつけて、この支持部材564に近接センサ562を取りつけるようにしてもよい。
図17においては、ノーズ部513の先端にスキッド514が設けられている。スキッド514は、その内部にL字型に屈曲した貫通孔515を有し、この貫通孔515はノーズ部513内の空洞に連続している。触針レバー516は、胴部512からノーズ部513にかけて挿通され、先端の触針517がスキッド514の下端開口から外部に臨むように配設されている。
スキッド514の下面は、測定時においてワークWと接触するワーク接触面となる。詳しい説明は省略するが、スキッド514の下面が測定面の凹凸やうねりによって上下するときの触針ユニット510の上下動(揺動量)を検出し、さらに、スキッド514の下面を基準とした触針517の変位を検出する。スキッド514の変位と触針517の変位とを合成することで測定面の表面性状が検出される。この変形例1のようにスキッド付きの触針ユニット510の場合、スキッド514を介して近接センサ562を設けることにより、長い支持フレーム561が不要になる。なお、スキッド付きの触針ユニットの場合に、第1の実施形態のように長い支持フレーム561を用いて近接センサ562を設けることを除外するものではない。
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態を説明する。
図18は、第2実施形態を示す図である。
第2実施形態においては、ワーク検知センサ570が円弧運動するワーク検出棒571である点に特徴を有する。
ワーク検知センサ570は、第1ケース531の側面に軸支(573)されたワーク検出棒571と、ワーク検出棒571の回転を検出する回転センサ(変位検出センサ)574と、を備える。
本発明の第2実施形態を説明する。
図18は、第2実施形態を示す図である。
第2実施形態においては、ワーク検知センサ570が円弧運動するワーク検出棒571である点に特徴を有する。
ワーク検知センサ570は、第1ケース531の側面に軸支(573)されたワーク検出棒571と、ワーク検出棒571の回転を検出する回転センサ(変位検出センサ)574と、を備える。
ワーク検出棒571の先端には接触子572が設けられている。
また、ワーク検出棒571の先端がちょうど触針517の真横を通る程度にワーク検出棒571の長さが設計されている。そして、ワーク検出棒571に外力がかかっていないときは、図18に示すように、ワーク検出棒571の先端が触針517よりも下方に位置する。
また、ワーク検出棒571の先端がちょうど触針517の真横を通る程度にワーク検出棒571の長さが設計されている。そして、ワーク検出棒571に外力がかかっていないときは、図18に示すように、ワーク検出棒571の先端が触針517よりも下方に位置する。
たとえば、ワーク検出棒571の先端は、触針517よりも10mm〜20mm程度下に下がっているようにするとよい。揺動軸573をワーク検出棒571の基端寄りに設けることで、先端が自重によって自然に下がるようにしてもよい。
あるいは、揺動軸573にバネを仕込んでおいて、ワーク検出棒571の先端が下がるように付勢してもよい。
あるいは、揺動軸573にバネを仕込んでおいて、ワーク検出棒571の先端が下がるように付勢してもよい。
回転センサ574は、ワーク検出棒571の回転運動を検出し、ワーク検知信号を中央制御部620に出力する。
このような構成によれば、測定器本体500を降下させていってワークWと触針517とが接近したとき、触針517よりも前にワーク検出棒571がワークWに接触する。そして、測定器本体500がさらにワークWに近づくと、ワーク検出棒571の先端がワークWに押し上げられて、ワーク検出棒571が回転する。この回転運動を回転センサ574で検知し、中央制御部620にワーク検知信号を発するようにする。中央制御部620は、ワーク検知信号を受けてブレーキ装置610を作動させる。
これにより、触針517がワークWに接触する前にブレーキをかけて、測定器本体500の移動を止めることができる。
このような構成によれば、測定器本体500を降下させていってワークWと触針517とが接近したとき、触針517よりも前にワーク検出棒571がワークWに接触する。そして、測定器本体500がさらにワークWに近づくと、ワーク検出棒571の先端がワークWに押し上げられて、ワーク検出棒571が回転する。この回転運動を回転センサ574で検知し、中央制御部620にワーク検知信号を発するようにする。中央制御部620は、ワーク検知信号を受けてブレーキ装置610を作動させる。
これにより、触針517がワークWに接触する前にブレーキをかけて、測定器本体500の移動を止めることができる。
(変形例2)
さらに第2実施形態の変形例を図19に示す。
第2実施形態においては、ワーク検出棒571は円弧運動するように軸支していた。
これに対し、変形例2に示すように、ワーク検出棒575が略水平を保ったままで上下動するようになっていてもよい。すなわち、ワーク検出棒575を第1ケース531の側面に軸支するのではなく、上下動するようにガイド部材576でガイドしておく。この場合、ワーク検出棒575の変位を検知するセンサとしてリニアエンコーダ(変位検出センサ)を用いてもよい。
もちろんリニアエンコーダに代えて、ワーク検出棒575が触針517の下10mm〜30mmを通過したときに信号を出力するようなセンサを使用してもよい。
さらに第2実施形態の変形例を図19に示す。
第2実施形態においては、ワーク検出棒571は円弧運動するように軸支していた。
これに対し、変形例2に示すように、ワーク検出棒575が略水平を保ったままで上下動するようになっていてもよい。すなわち、ワーク検出棒575を第1ケース531の側面に軸支するのではなく、上下動するようにガイド部材576でガイドしておく。この場合、ワーク検出棒575の変位を検知するセンサとしてリニアエンコーダ(変位検出センサ)を用いてもよい。
もちろんリニアエンコーダに代えて、ワーク検出棒575が触針517の下10mm〜30mmを通過したときに信号を出力するようなセンサを使用してもよい。
(変形例3)
ブレーキ装置610のブレーキ力を可変制御できる場合、触針517とワークWとの距離に応じてブレーキ力を変化させてもよい。
ワークWとの距離が近づくほどワーク検知センサ560、570の信号レベルが高くなるようにしておく。そして、ワーク検知センサ560、570の信号レベルの高さに応じてブレーキ装置610のブレーキ力が強くなるようにする。
この構成によれば、ブレーキが徐々にかかるのでユーザの手に突然強い力がかからず、自然で使いやすい。
ブレーキ装置610のブレーキ力を可変制御できる場合、触針517とワークWとの距離に応じてブレーキ力を変化させてもよい。
ワークWとの距離が近づくほどワーク検知センサ560、570の信号レベルが高くなるようにしておく。そして、ワーク検知センサ560、570の信号レベルの高さに応じてブレーキ装置610のブレーキ力が強くなるようにする。
この構成によれば、ブレーキが徐々にかかるのでユーザの手に突然強い力がかからず、自然で使いやすい。
(変形例4)
ブレーキ解除スイッチ(不図示)を設けておくとよい。ブレーキ解除スイッチが押されている間はブレーキ装置610の作動を無効にする。
1つのワークWの測定が終了して、次のワークWに段取り替えする際、送り機構部300の粗動動作で測定器本体500を素早く持ち上げたい。しかし、測定器本体500がワークWに接近した状態でユーザがハンドル470を握ると、ブレーキ装置610が作動してしまう。
したがって、ある程度の距離まではドライブシャフト310を回して測定器本体500とワークWとを引き離し、それからハンドル470を握って測定器本体500を持ち上げることになる。
これは、万が一の事故を回避する上で意味のあることであるが、熟練のユーザや急いでいるような場合には不便にも感じられる。
そこで、ブレーキ解除スイッチを設けておいて素早い段取り替えを可能にしてもよい。ブレーキ解除スイッチは、ハンドル470あるいはハンドル470の近辺で、意図的に親指を伸ばせば押せるような位置にあるとよい。
ブレーキ解除スイッチ(不図示)を設けておくとよい。ブレーキ解除スイッチが押されている間はブレーキ装置610の作動を無効にする。
1つのワークWの測定が終了して、次のワークWに段取り替えする際、送り機構部300の粗動動作で測定器本体500を素早く持ち上げたい。しかし、測定器本体500がワークWに接近した状態でユーザがハンドル470を握ると、ブレーキ装置610が作動してしまう。
したがって、ある程度の距離まではドライブシャフト310を回して測定器本体500とワークWとを引き離し、それからハンドル470を握って測定器本体500を持ち上げることになる。
これは、万が一の事故を回避する上で意味のあることであるが、熟練のユーザや急いでいるような場合には不便にも感じられる。
そこで、ブレーキ解除スイッチを設けておいて素早い段取り替えを可能にしてもよい。ブレーキ解除スイッチは、ハンドル470あるいはハンドル470の近辺で、意図的に親指を伸ばせば押せるような位置にあるとよい。
あるいは、ブレーキ装置610の構造として、測定器本体500の降下に対してはブレーキが働くが、測定器本体500が上昇する分にはブレーキが掛からないような方向性をもったブレーキとしてもよい。
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
1…基台、2…支柱、3…昇降部材、4…揺動部材、
25、35…レバー位置検出器、35a…発光部、35b…受光部、35c…遮蔽板、
100…形状測定機、
300…送り機構部、310…ドライブシャフト、311…つまみ部、
400…トラクションナット部、410…固定片、411…ブラケット、412…溝、413…ネジピン、414…ネジ穴、420…可動片、421…ネジピン、422…ネジ穴、430…ヒンジ片、440…バネ、441…ネジ、
451−456…ツイストローラ、460…開閉レバー、461…心棒、462…ピン、470…ハンドル、471…溝条、
500…測定器本体、
510…触針ユニット、511…触針ケース、512…胴部、513…ノーズ部、514…スキッド、515…貫通孔、516…触針レバー、517…触針、520…変位検出部、521…フェライト板、522…インダクタンス検出器、
530…第1駆動部、531…第1ケース、532…第1スライダ、533…第1ガイド部、534…第1ガイドシャフト、535…軸受、536…第1動力機構部、537…第1モータ、538…第1送りネジ、539…ねじ受けナット、
540…第2駆動部、541…第2ケース、542…第2スライダ、543…第2ガイド部、544…第2動力機構部、545…第2送りネジ、546…第2モータ、547…歯車、548…ロータリースイッチ、549…エンコーダ、
560…ワーク検知センサ、561…支持フレーム、562…近接センサ、564…支持部材、
570…ワーク検知センサ、571…ワーク検出棒、572…接触子、573…揺動軸、574…回転センサ、575…ワーク検出棒、576…ガイド部材、
600…保護装置、610…ブレーキ装置、620…中央制御部。
25、35…レバー位置検出器、35a…発光部、35b…受光部、35c…遮蔽板、
100…形状測定機、
300…送り機構部、310…ドライブシャフト、311…つまみ部、
400…トラクションナット部、410…固定片、411…ブラケット、412…溝、413…ネジピン、414…ネジ穴、420…可動片、421…ネジピン、422…ネジ穴、430…ヒンジ片、440…バネ、441…ネジ、
451−456…ツイストローラ、460…開閉レバー、461…心棒、462…ピン、470…ハンドル、471…溝条、
500…測定器本体、
510…触針ユニット、511…触針ケース、512…胴部、513…ノーズ部、514…スキッド、515…貫通孔、516…触針レバー、517…触針、520…変位検出部、521…フェライト板、522…インダクタンス検出器、
530…第1駆動部、531…第1ケース、532…第1スライダ、533…第1ガイド部、534…第1ガイドシャフト、535…軸受、536…第1動力機構部、537…第1モータ、538…第1送りネジ、539…ねじ受けナット、
540…第2駆動部、541…第2ケース、542…第2スライダ、543…第2ガイド部、544…第2動力機構部、545…第2送りネジ、546…第2モータ、547…歯車、548…ロータリースイッチ、549…エンコーダ、
560…ワーク検知センサ、561…支持フレーム、562…近接センサ、564…支持部材、
570…ワーク検知センサ、571…ワーク検出棒、572…接触子、573…揺動軸、574…回転センサ、575…ワーク検出棒、576…ガイド部材、
600…保護装置、610…ブレーキ装置、620…中央制御部。
Claims (6)
- 基台に立設されたドライブシャフトと、
被測定物の表面を倣い移動する触針を有し、前記ドライブシャフトに沿って上下動可能に設けられた測定器本体と、
前記測定器本体と前記ドライブシャフトとの間に介在配置され、前記ドライブシャフトに摩擦接触する摩擦接触状態と前記ドライブシャフトから離間する離間状態とを切り替え可能であるトラクションナット部と、を備える形状測定機であって、
さらに、前記触針が被測定物に衝突するのを防止する保護装置を有し、
前記保護装置は、
前記被測定物と前記触針との距離が所定距離以下となる接近状態になったことを検知するワーク検知センサと、
前記測定器本体の下降を止めるブレーキ装置と、を備える
ことを特徴とする形状測定機。 - 請求項1に記載の形状測定機において、
前記ワーク検知センサは、
前記測定器本体の筐体に突設され、その先端が前記触針の近傍に位置する支持フレームと、
前記支持フレームの前記先端において下向きに検知面を向けて配設された近接センサと、を備える
ことを特徴とする形状測定機。 - 請求項2に記載の形状測定機において、
前記支持フレームは、前記触針の直上に延在している
ことを特徴とする形状測定機。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の形状測定機において、
前記トラクションナット部の前記摩擦接触状態と前記離間状態とを切り替え操作するための開閉レバーを備え、
前記ワーク検知センサは、
前記開閉レバーが前記トラクションナット部を前記離間状態にする位置にある場合のみ、前記近接センサをオンにする
ことを特徴とする形状測定機。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の形状測定機において、
前記開閉レバーが前記トラクションナット部を前記離間状態にする位置にあることを検出するレバー位置検出器を備える
ことを特徴とする形状測定機。 - 請求項1に記載の形状測定機において、
前記ワーク検知センサは、
前記測定器本体の側方において揺動可能または上下動可能に設けられ、その先端が前記触針よりも下方に位置するワーク検出棒と、
前記ワーク検出棒の変位を検出する変位検出センサと、を備える
ことを特徴とする形状測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016009052A JP2017129461A (ja) | 2016-01-20 | 2016-01-20 | 形状測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016009052A JP2017129461A (ja) | 2016-01-20 | 2016-01-20 | 形状測定機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017129461A true JP2017129461A (ja) | 2017-07-27 |
Family
ID=59396171
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016009052A Pending JP2017129461A (ja) | 2016-01-20 | 2016-01-20 | 形状測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2017129461A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110657739A (zh) * | 2018-06-30 | 2020-01-07 | 株式会社三丰 | 表面性状测定装置的控制方法 |
JP2021148485A (ja) * | 2020-03-17 | 2021-09-27 | 株式会社アライドマテリアル | マイクロメータ用情報伝達装置 |
-
2016
- 2016-01-20 JP JP2016009052A patent/JP2017129461A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN110657739A (zh) * | 2018-06-30 | 2020-01-07 | 株式会社三丰 | 表面性状测定装置的控制方法 |
JP2021148485A (ja) * | 2020-03-17 | 2021-09-27 | 株式会社アライドマテリアル | マイクロメータ用情報伝達装置 |
JP7170683B2 (ja) | 2020-03-17 | 2022-11-14 | 株式会社アライドマテリアル | マイクロメータ用情報伝達装置 |
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