JP4568621B2 - 表面性状測定機の真直度補正方法および表面性状測定機 - Google Patents
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Description
この表面性状測定機では、検出器の触針を被測定物の測定面に接触させ、この状態において検出器を駆動装置によって測定方向へ移動させると、触針が被測定物の測定面の凹凸に応じて変位される結果、触針の変位から被測定物の表面粗さやうねりなどを測定することができる。
このような測定原理であるため、被測定物の表面粗さなどの表面性状を高精度に測定するには、検出器を測定方向へ直線的に移動させるために、駆動装置の真直度を高精度に確保する必要がある。しかし、駆動装置の加工や組立精度には限界があるため、駆動装置の真直度精度が測定に影響を与えるという課題がある。
これは、被測定物の測定面に接触される触針の変位を検出するピックアップと、このピックアップを移動させる駆動機構とを備えた表面粗さ形状測定機において、出荷時などにおいて、オプチカルフラットを測定することによって駆動機構の真直度精度を予め補正データとして記憶手段に記憶しておき、実測の際に測定データから記憶手段に記憶した補正データを減算することにより、測定データから駆動機構の真直度精度による誤差成分を除去するようにしたものである。
このような表面性状測定機では、検出器を回転させた場合、検出器の回転角度位置によって決まる測定姿勢によって駆動装置の真直度精度も異なるため、特許文献1に記載の補正方法では、正確な補正が期待できないという課題がある。
従って、検出器の姿勢を変更させて測定を行う場合でも、測定時における検出器の姿勢と記憶手段に記憶された2つの検出器補正データとから、測定時における検出器の姿勢に対応する補正データが演算され、この補正データを基に測定データが補正されるから、測定時の検出器の姿勢に応じた最適な補正が行える。とくに、この発明では、記憶手段に、検出器の異なる少なくとも2つの姿勢に対応して、駆動装置の各移動位置での検出器補正データを記憶しておけばよいので、少ないデータ量で最適な補正を実行できる。
この発明の表面性状測定装置においても、上述した真直度補正方法と同様な効果が期待できる。
<図1(全体構成)の説明>
図1は、本発明の関連技術を示す表面粗さ測定機の斜視図である。この表面粗さ測定機は、ベース1と、このベース1上に立設された支柱2と、この支柱2に上下方向へ昇降可能に設けられたX軸駆動装置3と、このX軸駆動装置3によって支柱2に対して直交する方向(X軸方向)へ移動される検出器姿勢変更機構としての検出器回転ユニット4と、
この検出器回転ユニット4によってX軸(後述するスタイラス5Cの軸と略平行な軸)を
中心として回転することによって姿勢変更される粗さ検出器5とから構成されている。
図2は、検出器回転ユニット4を示す概略図である。検出器回転ユニット4は、X軸駆動装置3によってX軸方向へ移動される筐体10と、この筐体10内に固定されたモータ11と、筐体10内に軸受12を介してモータ11の出力軸11Aと同軸上で回転可能に支持され先端に粗さ検出器5を保持した回転軸14と、この回転軸14とモータ11の出力軸11Aとを連結する軸継手15と、回転軸14(粗さ検出器5)の回転角度位置を検出する角度検出センサ16とから構成されている。
角度検出センサ16は、回転軸14に固定され外周縁に沿って一定ピッチで透孔を有する回転円盤17と、この回転円盤17を挟んで対向配置された発光素子および受光素子からなる検出ヘッド18とから構成されている。
なお、粗さ検出器5は、検出器本体5Aと、この検出器本体5Aに変位可能(揺動可能)に支持されかつ先端に触針5Bを略直角に突設させたスタイラス5Cと、このスタイラス5Cの変位(揺動)を検出する検出部5Dとから構成されている。
図3は、X軸駆動装置3を示す斜視図である。X軸駆動装置3は、支柱2に沿って昇降可能に設けられた筐体20(図2参照)と、この筐体20内に固定されたフレーム21と、このフレーム21に両端が支持されたガイドレール22と、このガイドレール22に沿って摺動可能に設けられかつ検出器回転ユニット4を保持したスライダ24と、このスライダ24の摺動面がガイドレール22のガイド面に接する方向へスライダ24を付勢する付勢手段31と、スライダ24をガイドレール22に沿って移動させる駆動手段41とから構成されている。
スライダ24の上壁24A、両側壁24B,24C、下壁24Dの内面とガイドレール22の上壁22A,側壁22B,下壁22Dの外面との間には、摺動子26A,26B,26C,26Dがそれぞれ介在されている。ここでは、スライダ24の上壁24Aの内面とガイドレール22の上壁22Aの外面との間には、幅方向中央に摺動子26Aが設けられている。スライダ24の下壁24Dの内面とガイドレール22の下壁22Dの外面との間には、幅方向中央に摺動子26Dが設けられている。スライダ24の側壁24Bの内面とガイドレール22の側壁22Bの外面との間には、上下位置に摺動子26B,26Bが設けられている。スライダ24の側壁24Cの内面とガイドレール22の上壁22A端面および下壁22D端面との間には、それぞれ摺動子26C,26Cが設けられている。
揺動機構33は、板ばね32と摺動子26C,26Dとの間に配置され、互いに対向する内面中心に円錐溝を形成した2枚のプレート34A,34Bと、この2枚のプレート34A,34Bの円錐溝内に収納配置された鋼球35とから構成されている。
付勢力調整機構36は、スライダ24に固定された取付部材37と、この取付部材37に螺合された調整ねじ38と、この調整ねじ38の内部に収納されたばね39とから構成されている。
回転伝達機構43は、モータ42の出力軸42Aに取り付けられたプーリ44と、ボールねじ軸47の一端に固定されたプーリ45と、この両プーリ44,45間に掛け回されたベルト46とからなるベルト伝達機構により構成されている。なお、回転伝達機構43としては、ベルト伝達機構に限らす、歯車伝達機構、チェーン伝達機構などでもよい。
ボールねじ軸47は、ガイドレール22とスライダ24との4つの摺動面(スライダ24の上壁24Aの内面、下壁24Dの内面、両側壁24B,24Cの内面)の略中心近傍に配置されている。具体的には、ガイドレール22のコ字状内部空間の略中心にボールねじ軸47が配置されている。
ユニバーサルジョイント51は、ボールねじ軸47の軸直交方向のナット部材48の微小変位を許容する構造を備えている。
図6は、制御装置のブロック図である。制御装置61には、X軸駆動装置3を昇降させるZ軸駆動装置6、X軸駆動装置3、検出器回転ユニット4、粗さ検出器5、入力装置7、表示装置8、記憶装置9がそれぞれ接続されている。
入力装置7からは、測定項目の選択、測定開始指令などのほか、各種指令情報が入力される。
表示装置8には、測定項目や測定結果などが表示される。
記憶装置9には、測定項目毎の動作指令プログラムなどを記憶したプログラム記憶部9A、補正データ記憶手段としての補正データ記憶部9B、測定データ記憶手段としての測定データ記憶部9Cなどが設けられている。
なお、スタイラス5Cは被測定物の凹凸に応じて揺動するため、その軸方向は常にX方向を保つわけではないが、ここではスタイラス5Cの軸方向がX方向に平行となる軸方向を基準軸方向としている。
測定データ記憶部9Cには、測定時に、検出器回転ユニット4によって粗さ検出器5(触針5B)が被測定物の測定面に対応する回転角度位置に設定され、かつ、触針5Bが被測定物の測定面に接触された状態において、X軸駆動装置3を駆動させたときのX軸駆動装置3の各移動位置および粗さ検出器5の変位量(スタイラス5Cの変位量)が測定データとして記憶される。
制御装置61は、測定時における粗さ検出器5の回転角度位置に一致または最も近い回転角度位置に対応する検出器補正データを補正データ記憶部9Bから読み出し、この検出器補正データで測定データ記憶部9Cに記憶された測定データを補正する補正演算手段を含んで構成されている。
被測定物の表面性状を測定する際には、まず、ベース1上にY軸テーブルなどを使って
被測定物を載置し、粗さ検出器5の触針5Bを被測定物の表面に当接させたのち、粗さ検出器5を被測定物表面に沿って移動させる。
ここで、被測定物の載置にあたって、Y軸テーブルは必ずしも必要ではないが、Y軸テーブルを用いれば被測定物のY軸方向(X軸方向とZ軸方向のいずれにも直交する方向)の位置決めが容易になり、さらにY軸方向位置を精密に決定できる。このY軸テーブルは被測定物を手動あるいは自動のいずれで移動あるいは位置決め出来るものでも良い。
粗さ検出器5を被測定物表面に沿って移動させるには、X軸駆動装置3のモータ42を回転させる。すると、モータ42の回転力が回転伝達機構43を介してボールねじ軸47に伝達される。ボールねじ軸47が回転されると、このボールねじ軸47に螺合されたナット部材48が進退し、ナット部材48に固定されたスライダ24および粗さ検出器5がガイドレール22に沿って進退(移動)される。粗さ検出器5が被測定物表面に沿って移動されると、触針5B(スタイラス5C)の上下方向の変位から被測定物の表面粗さ等が検出される。
スタイラス5Cの触針5Bの向きを被測定物の測定部位に応じて変えれば、下向き測定だけでなく、次のような測定も実現できる。
図9は、被測定物100の孔101の内面の表面粗さを測定する例を示している。触針5Bを下向きにした姿勢において、孔101の内面のうち下側面を測定し、触針5Bを横向きにした姿勢にすれば、孔101の内面のうち側面を測定することができ、更に、触針5Bを上向きにした姿勢にすれば、孔101の内面のうち上側面を測定することができる。
図10は、クランクシャフト102の2つのフランジ103,104間の幅寸法Wを測定する例である。まず、触針5Bを横向きにした姿勢で片方のフランジ103の外面を測定したのち、触針5Bを前とは逆の横向きにした姿勢に回転させて、他方のフランジ104の外面を測定すれば、2つのフランジ103,104間の幅寸法Wを測定することができる。より具体的には、フランジ103の外面を測定した際のY軸テーブル位置と検出器5の変位量、フランジ104の外面を測定した際のY軸テーブル位置と検出器5の変位量、および検出器5の変位量を補正する2つの補正データ(Y+姿勢補正データとY−姿勢補正データ)とから算出する。
真直度補正方法を実行するにあたっては、補正データ記憶工程を行ったのち、測定工程を実行する。測定工程において、測定データ取得工程および補正演算工程が実行される。
補正データ記憶工程では、粗さ検出器5(スタイラス5C)が異なる回転角度位置に設定された各回転角度位置に対応して、X軸駆動装置3の各移動位置での検出器補正データを補正データ記憶部9Bに記憶させる。具体的には、図11に示すように、触針5Bを基準面となるオプチカルフラットに接触させたのち(ST1)、X軸駆動装置3を駆動させる(ST2)。X軸駆動装置3の駆動中において、X軸駆動装置3の各移動位置と、粗さ検出器5の変位量(スタイラス5Cの変位量)とを取り込み(ST3)、X軸駆動装置3の各移動位置での検出器補正データを求め、補正データ記憶部9Bに記憶させる(ST4)。続いて、終了か否かを判定、つまり、予め設定した回数の測定を行ったか否かを判定する(ST5)。終了でなければ、粗さ検出器5を45度回転させたのち(ST6)、ST1〜ST5の処理を繰り返す。これにより、粗さ検出器5が異なる回転角度位置に設定された各回転角度位置に対応して、X軸駆動装置3の各移動位置での検出器補正データが補正データ記憶部9Bに記憶される。
つまり、ここでの検出器補正データは検出器5の45度毎の回転角度位置における変位量に基づいて補正データを取得して補正データ記憶部9Bに記憶する。この際、オプチカルフラットの基準面の法線方向が、触針5Bの変位方向に一致するようにオプチカルフラットをベースに載置する。例えば、触針5Bが横向きの回転角度位置(90度)においては、オプチカルフラットの基準面が垂直(Z軸方向)となるようにオプチカルフラットを載置する。
ここでは、一例として45度毎に補正データを取得する例を説明したが、必要な所定角度毎において補正データを取得するものであっても良い。
従って、粗さ検出器5を回転させて測定を行う場合でも、測定時における粗さ検出器5の回転角度位置と一致または最も近い回転角度位置に対応する検出器補正データを基に測定データが補正されるから、測定時の粗さ検出器5の回転角度位置に応じた最適な補正が行える。
(1)粗さ検出器5をスタイラス5Cの軸と略平行な軸を中心に回転させる検出器回転ユニット4を備えているから、触針5Bの向きを被測定物の測定部位に応じて変更することができる。たとえば、触針5Bの向きを、下向き、横向き、上向き、斜め上または下向きなどに変更することができる。そのため、孔の内周面の任意の位置での粗さ測定など測定範囲の拡大が期待できる。
また、補正データ記憶部9Bには、粗さ検出器5が45度間隔で複数の回転角度位置に設定された各回転角度位置に対応して、X軸駆動装置3の各移動位置での検出器補正データが記憶されているから、粗さ検出器5の回転角度位置が0度、45度、90度…のほか、これらに近い回転角度位置での測定でも、高精度な真直度補正が行える。
具体的には、ガイドレール22は断面略コ字状に形成され、スライダ24は断面矩形枠状に形成され、ボールねじ軸47は、ガイドレール22とスライダ24との4つの摺動面の略中心近傍に配置されているから、つまり、摩擦力中心に配置されているから、スライダ24に生じるモーメントが打ち消される結果、粗さ検出器5の姿勢変化をより確実に抑えることができる。
この方法では、まず、補正データ記憶工程において、粗さ検出器5が90度異なる2つの回転角度位置に設定された各回転角度位置に対応して、X軸駆動装置3の各移動位置での検出器補正データを補正データ記憶部9Bに記憶させる。たとえば、図13に示すように、触針5Bが下向きの回転角度位置(0度)、触針5Bが横向きの回転角度位置(90度)に対応して、X軸駆動装置3の各移動位置での検出器補正データを補正データ記憶部9Bに記憶させる。
たとえば、図15に示すように、測定時の粗さ検出器5の回転角度位置が斜め下向きの場合(触針5Bの向きが鉛直方向に対してθ度傾いていた場合)、次のようにして補正データを演算する。いま、X軸駆動装置3のある特定移動位置Pにおいて、0度方向の補正データが「An(但し、n=1,2,3、、、)」、90度方向の補正データ「Bn(但し、n=1,2,3、、、)」であるとすると、P位置における補正データCn(但し、n=1,2,3、、、)を、次式から求める。
Cn=An・cosθ+Bn・sinθ (1)
ここで、AnはA1、A2、A3、、、また、BnはB1、B2、B3、、、でありX軸駆動装置3のそれぞれの特定移動位置に対応した補正データであり、求められたC1、C2、C3、、、はX軸駆動装置3のそれぞれの特定移動位置に対応したP位置における補正データである。
こののち、上記式によって得られた補正データを測定データから減算することにより、測定データが補正される。
ここで、検出器と被測定物の相対移動は、検出器と被測定物のいずれか、あるいは双方が移動するものであっても良い。
さらに、測定方法として、触針走査による測定方法を示したが、タッチ信号プローブや倣いプローブによる座標測定方法であっても、この発明を実施できる。
さらに、この実施形態では、X軸駆動装置3のガイドレール22のみが真直度基準面となる2つのガイド面23A、23Bを備える構成を示したが、Z軸駆動装置6やY軸駆動装置が同様な複数のガイド面を備えていても良い。
さらに、X軸駆動装置やZ軸駆動装置、あるいはY軸駆動装置自体が傾斜あるいは回転することによって検出器の相対姿勢が変更される表面性状測定機においても、この発明を実施できる。
また、表面性状測定機として表面粗さ計を示したが、形状測定機、真円度測定機、画像測定機、三次元測定機などの表面性状測定機であっても、この発明を実施できる。
4…検出器回転ユニット(検出器回転機構)
5…粗さ検出器(検出器)
5A…検出器本体
5B…触針
5C…スタイラス
5D…検出部
9B…補正データ記憶部(補正データ記憶手段)
9C…測定データ記憶部(測定データ記憶手段)
61…制御装置(補正演算手段)
Claims (2)
- 被測定物の表面性状を検出する触針を有する検出器と、この検出器を測定方向へ相対移動させる駆動装置と、前記検出器の姿勢を変更させる検出器姿勢変更機構とを備えた表面性状測定機の真直度補正方法であって、
前記検出器の触針が下向きおよび横向きの90°異なる2つの姿勢に設定された各姿勢に対応して、前記駆動装置の各移動位置での検出器補正データを記憶手段に記憶する補正データ記憶工程と、
測定時に、前記検出器姿勢変更機構によって前記検出器の触針が下向きから横向きの間で被測定物の測定面に対応する回転角度位置に設定され、かつ、前記検出器が前記被測定物の測定面の表面性状を検出可能とされた状態において、前記駆動装置を駆動させながら前記駆動装置の各移動位置および前記検出器の検出量を測定データとして取り込む測定データ取得工程と、
測定時における前記検出器の回転角度位置と前記記憶手段に記憶された2つの検出器補正データとから、測定時における前記検出器の回転角度位置に対応する補正データを演算し、この補正データで前記測定データを補正する補正演算工程とを備えたことを特徴とする表面性状測定機の真直度補正方法。 - 被測定物の表面に接触される触針を先端に有するスタイラスを変位可能に支持した検出器と、この検出器を測定方向へ相対移動させる駆動装置と、前記検出器を前記スタイラスの軸と略平行な軸を中心に回転させる検出器回転機構とを備えた表面性状測定機であって、
前記検出器の触針が下向きおよび横向きの90°異なる2つの回転角度位置に設定された各回転角度位置に対応して、前記駆動装置の各移動位置での検出器補正データを記憶した補正データ記憶手段と、
測定時に、前記検出器回転機構によって前記検出器の触針が下向きから横向きの間で被測定物の測定面に対応する回転角度位置に設定され、かつ、前記触針が被測定物の測定面に接触された状態において、前記駆動装置を駆動させたときの前記駆動装置の各移動位置および前記検出器の変位量を測定データとして記憶する測定データ記憶手段と、
測定時における前記検出器の回転角度位置と前記補正データ記憶手段に記憶された2つの検出器補正データとから、測定時における前記検出器の回転角度位置に対応する補正データを演算し、この補正データで前記測定データを補正する補正演算手段とを備えたことを特徴とする表面性状測定機。
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