JPS62218808A - 三次元計測ロボットの計測精度補正方法 - Google Patents

三次元計測ロボットの計測精度補正方法

Info

Publication number
JPS62218808A
JPS62218808A JP6072686A JP6072686A JPS62218808A JP S62218808 A JPS62218808 A JP S62218808A JP 6072686 A JP6072686 A JP 6072686A JP 6072686 A JP6072686 A JP 6072686A JP S62218808 A JPS62218808 A JP S62218808A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
axis
correction
bending
value
posture
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP6072686A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH052168B2 (ja
Inventor
Toshiaki Ueda
上田 俊昭
Yuji Asano
浅野 裕二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TOKYO BOEKI KK
Original Assignee
TOKYO BOEKI KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TOKYO BOEKI KK filed Critical TOKYO BOEKI KK
Priority to JP6072686A priority Critical patent/JPS62218808A/ja
Publication of JPS62218808A publication Critical patent/JPS62218808A/ja
Publication of JPH052168B2 publication Critical patent/JPH052168B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Numerical Control (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ)産業上の利用分野 本発明は、例えば、自動車の部品や車体等の立体形状を
計測する三次元計測ロボット (三次元測定装置)の精
度補正方法に関し、詳しくは、直交3軸の片持型の計測
機機構のアームに、先端に接触子を有する回転2軸及び
曲折2軸の多関節アームを設けた三次元計測ロボツ)K
於ける精度補正方法に関する。
口)従来の技術 従来から、三次元(立体形状)の計測には、直交3軸の
問屋あるいは片持型の三次元測定装置が使用されている
。この2つのタイプの測定装置の特長としては、前者は
上から下方向への測定を基本とし、後者は横方向からの
測定を基本とするものであり、前者に比較してより計測
可能な範囲が広く有効性は大きいが、いずれにしても複
雑形状の計測には不向きであった。
そこで、近時、片持型の直交3軸の測定機のアームに回
転2軸及び曲折2軸の多関節アームを設け、この多関節
アームの先端に接触子を設けて複雑形状の計測を可能に
する三次元計測ロボットが実現しつつある。
ハ)発明が解決しようとする問題点 しかし、上記の改良された三次元計測ロボットでは、多
関節のアームを備えるため、可動部分が多くあり、必然
的にその分だけ大きな計測誤差を生じる虞れがあり、適
当な補正手段を講じなければ、とても高精度での実用化
はできないと匹う問題があった。そして、従来、この適
当な補正手段はなく、このため、多関節アームを備える
改良された三次元計測ロボットは実用化これないままで
あった。
本発明はこのような現状に鑑みてなされたものであり、
改良された三次元計測ロボットに於て、その構造的なも
のから発生する計測誤差を補正し計測精度を向上させる
方法を提供することを目的とする。
二)問題点を解決するための手段 上記の目的を達成するため、まずKlの発明の三次元計
測ロボットの精度補正方法は、直交3軸の計測機機構の
アームに、第1回転軸と第1曲折軸と第2回転軸と8g
2曲折軸とが順に連結された多関節アームを設け、該多
関節アームの第2曲折軸の先端に接触子を備える三次元
計測ロボットに於て、上記多関節アームの基本姿勢で、
定位置に置いた基準となる球体の表面に1上記接触子を
接触させる手法で該球体の基準中心座標を求め、この求
め虎中心座標値を基準値と定め、以下、上記第2回転軸
及び第2曲折軸を一定の姿勢に保持しつつ、上記第1回
転軸及び第1曲折軸の回転角度及び曲折角度を変化させ
て上記球体全便った手法により、各姿勢で該球体の中心
座標値を求めるとともに、該値と上記基準中心座標との
差を補正値として求めて該補正値を上記回転角度及び曲
折角度を変数とするマトリックス上に記憶づせた第1の
補正マトリックスを作成し、同様に、上記第1回転軸及
び第1曲折軸を一定の姿勢に保持しつつ、上記第2回転
軸及び第2曲折軸の回転角度及び曲折角度を変化ζせて
上記球体を使った手法により、各姿勢で該球体の中心座
標値を求めるとともに、該値と上記基準中心座標との差
を補正値として求めて該補正値を上記第2回転軸及び第
2曲折軸の回転角度及び曲折角度を変数とするマトリッ
クス上に記憶させた第2の補正マトリックスを作成し、
しかる後に、三次元計測ロボットに測定対象物の測定点
及び該測定点に至る経路をティーチングし、このティー
チングに基いて測定点の自動計測を行って測定値を求め
るとともに、該測定値を求めるにあたっての多関節アー
ムの姿勢に応じて上記第1及び第2の補正マトリックス
からそ4ぞれ近似@正 的に補正値を検索し、かつ、これら2つの餠鐙値を合成
してこの合成補正値だけ上記測定値を補正するものであ
る。
また、第2の発明の係る三次元計測ロボットの精度補正
方法は、直交3軸の計測機機構のアーム忙、第1回転軸
と第1曲折軸と第2回転軸と第2曲折軸とが順に連結さ
れた多関節アームを設け、該多関節アームの第2曲折軸
の先端に接触子を備える三次元計測ロボットに於て、上
記多関節アームの基本姿勢で、定位置に置いた基準とな
る球体の表面に、上記接触子を接触させる手法で該球体
の基準中心座標を求め、この求めた中心座標値を基準値
と定め、以下、上記第2回転軸及びM2曲折軸を一定の
姿勢に保持しつつ、上記!1回転軸及び第1曲折軸の回
転角度及び曲折角度を変化させて上記球体を使った手法
により、各姿勢で該球体の中心座標値を求めるとともに
、該値と上記基準中心座標との差を補正値として求めて
該補正値を上記回転角度及び曲折角度を変数とするマト
リックス上に記憶ζせた第1の補正マ) IJソックス
作成し、同様に、上記第1回転軸及び第1曲折軸を一定
の姿勢に保持しつつ、上記第2回転軸及び第2曲折軸の
回転角度及び曲折角度を変化させて上記球体を使った手
法により、各姿勢で該球体の中心座標値を求めるととも
に、該値と上記基準中心座標との差を補正値として求め
て該補正値を上記第2回転軸及び第2曲折軸の回転角度
及び曲折角度を変数とするマトリックス上に記憶させた
第2の補正マ) IJソックス作成し、制御装置に、三
次元計測ロボットを制御するために、測定点における多
関節アームの姿勢及びそれに至る経路のデータを入力し
、測定点での多関節アームの姿勢に応じて上記第1及び
第2の補正マトリックスからけ上記データを補正し、こ
の補正さnたデータを使用して上記測定点を自動計測し
て測定値を得るものである。
ホ)作  用 第1の発明は、ティーチングプレイバック方式によって
三次元計測ロボットを作動させるものである。以下、そ
の作用を述べると、多関節アームの基本姿勢に対する各
姿勢時の補正値を基準となる球体の中心座標を求める手
法から求めて第1及び第2の補正マトリックスを作成し
、これを記憶装置に記憶しておく、そして、三次元計測
ロボットに被測定対象の測定点及び該測定点に至る経路
をティーチングし、このティーチングに基いて測定点の
自動計測を行い測定値を求めるとともに、記憶しである
第1及び!2の補正マトリックスを使って測定値を補正
してやれば高精度での計測が可能になる。
次に%第2の発明は、データベース方式によって三次元
計測ロボットヲ作動させるものであり、第1の発明と同
様に、予め第1及び第2の補正マトリックスを作成して
記憶装置に記憶してお(、しかして、制御装置に、被測
定対象の測定点における多関節アームの姿勢及びそれに
至る経路等のデータを入力するとともに、このデータを
記憶しておいた第1及び第2の補正マトリックスを使っ
て補正し、この補正はねたデータを使用して自動計測を
行うことにより、高精度での計測が可能になる。
このように、本発明では、測定誤差の増幅され易り多関
節型アームを備える三次元計測機であっても、予め多関
節アームの可動範囲全網羅して各姿勢での補正値を記憶
しておき、ティーチングプレイパック方式では実際の測
定値に%また、データベース方式では制御装置への入力
データに、それぞれ上記記憶された特定の補正値金力き
出すとともにこの補正値分だけ補正処理するものであり
、これにより、高精度での計測が可能になるものである
へ)実施例 以下、本発明の実施例を図面につ込て説明する。
まず最初に、第1図及び第2図は、本発明に係る改良こ
れた三次元計測ロボットヲ図示するものであり、lは計
測装置、2はレール(溝の場合もある)、3Fiこのレ
ール2上に沿って(を軸方向に)に移動するベース、4
はベース3上に垂直に立てられたコラム、5はコラム4
に沿って(プ軸方向)に移動するヘッド、6はレール2
及びコラム4に対して直角で水平方向((軸方向)に設
けられ、かつ、ヘッド5中をこの軸方向に摺動するアー
ムである。ここまでの構成は、従来からあるものと同じ
であり、従来のものはこのアーム6の先端に接触子を備
えるものであつ九。
本発明忙係る三次元計測ロボットの計測装置1は、直交
3軸の片持型の基本構成に加えてそのアーム6の先端に
さらに多関節型のアーム7を備え、この多関節型アーム
7の先端に接触子全役けるものである。すなわち、多関
節型アーム7に於て、8はアーム軸6に対して同軸で回
動可能な第1回転軸、9はこの第1回転軸8の先端に軸
支して第1回転軸8の中心軸に対して直交する一平面上
を回動可能な8g1曲折軸、10はこの第1曲折軸9に
対して同軸で回転可能な第2回転軸、11は第2回転軸
10の先端に軸支して第2回転軸10の中心軸に対して
直交する一平面上七回動可能な第2曲折軸、12は第2
曲折軸11の先端に設けた接触子である。
なお、多関節型アーム7各部は必ずしも360゜の範囲
で回転可能なわけではない。!1回転軸8、第1曲折軸
9、第2回転軸10及び第2回転軸11の角度をそれぞ
れ θ1.θ1.θ3.θ、 で示せば、−901≦θ
目≦90° 、−190”≦θ、≦10”、−90°≦
θ、≦90’、   −100”≦θ番 ≦ 100゜
(ただし、第1図及び第2図に示す状態を原点、すなわ
ち、基準位置としたとき。)である。
また、13け三次元計測ロボットを制御するためのコン
ピュータからなる制御装置である。
なお、第1図に於て、14は測定対象物を載置する定盤
、15は真円の球体16を備える基準治具を示す。
本発明の特徴は、多関節アーム7の関節部各部の可動範
囲で各姿勢時の誤差時(これを補正値とする。)′jk
予め記憶しておき、計測時にこれら補正値を利用して測
定値を補正するものである。このため、本発明では補正
マ) IJッスと称するものを作成する。
この補正マトリックスは第1及び第2の2つが存在し、
I!1の補正マトリックスI/i第1回転軸8及び第1
曲折軸9に対応し、第2の補正マトリックスは第2回転
軸10及び第2曲折軸11に対応するものである。以下
、説明する。
まず、補正マトリックスを作成するにあたって、多関節
アーム7の原点(基準)姿勢を定める。この基準姿勢は
、できるだけ多関節アーム7の構造からして計測誤差の
出K〈い姿勢とすることが好ましく、例えば、第1図及
び第2図に図示する姿勢がこれに該当ずぶ。この場合、
θ、=θ、=θ。
=θ4;0° である。
なお、基準姿勢は、必ずしもこれに限定するものではな
く−1他の任意な姿勢としてもよい。
そして、この基準姿勢において、定盤14上の定位置に
載置した基準治具15の真円の球体16の表面に多関節
アーム7の先端に設けた接触子12を接触させてこの球
体16の中心座標を求める。
球体16の中心座at求めるには球面上の4点の座標か
ら容易に求まる。下記0式は4点(xItug  +Z
I )t  (Z*  、lim  +g2)l  (
2M痰 +−ya  him)+  (Z4 1Y4  + z
4)を通る$の方程式の行列式を用いた一般解である。
この行列式を展開し、さらに変形すると、下記■式とな
る。
(:rニーa)” + (y−6f + Cz−c)”
 = R” −・・・、、・、、■ここで、α161”
は球の中心座標値(α、b、C)であり、Rは球の半径
で一定である。
したがって、球体16の球面上の4点に接触子12を当
接させれば、これらの4点の座標値が読みとられ、これ
ら4点の座標値から球体16の中心座標及び半径が容易
に計算で求まる。ここでは球体16の中心座標値が必要
であり、半径値は必ずしも必要なものではな込が、この
演算により求める半径値は、球体16の中心座標を求め
るに当っての球体16の表面4点の計測が正しく行われ
たかどうかの検定に用いることができる。すなわ・ち、
実際には、球体16の半径Rは既知のものであるため、
演算で求めた半径値の既知の半径値に対する誤差値が一
定許容範囲内にあるときは一連の球体16の計測が正し
いと判定し、そうでないときは計測が不適当であったと
判定して再度、計測をやり直すようにする。
なお、球体16の中心座標値だけを求めるには、球体1
6表面の少くとも3点を計測すればよく、そのようにし
てもよい。
このようにして、多関節アーム7の基準姿勢で球体16
の中心座標(zo。、yo。+  go。)を求める。
そして、基本姿勢で計測した中心座標を基準とし、その
ときの誤差をOと見なして、(0,0、O)なる誤差値
(補正値)を決める。
以下、同様にして多関節アーム7の各姿勢で球体16の
中心座標及び誤差値を求めるが、その場合、第1回転軸
8及び第1曲折軸9とを1組とし、第2回転軸lO及び
第2曲針軸11′t−1組とする。
すなわち、まず、第2回転軸lO及び第2曲近軸11を
θ1;θ4;0 (あるhは一定)に保持して第1回転
軸8や第1曲折軸9あるいは両者を任意の角度にして上
記基本姿勢のときと同様に球体16の中心座標を求める
。例えば、θ譜=α1 。
θ!=β1のとき中心座標が(Zot e ’gos 
s go虐)となる。そして、さらに、この中心座標と
基準となる中心座標から誤差値(ΔZO1+Δハ1.Δ
Z6+ )を求め、その異符号値を補正値とする。ここ
で、Δz01 ” ZOI −zQQ #  ΔVo1
=Voz  ’J10o  rΔzot=zo1−zo
o  である。
なお、この球面座標の計測にあたっては、多関節アーム
7を所定の姿勢に保持して4点を計測するが、その場合
、直交3軸の各軸を適当に調整することで、容品に計測
可能である。
このようにして、θ盲 と02を、小角度ピッチα0 
、β0で、その全範囲にわたって上記の計測を行い、補
正値を求める処理を制御装置13のコタ ンピューXで行い、その結果!図示しない記憶装置く記
憶される。
第3図はこれらの一連の作業によって作成ばれ、記憶装
置に記憶される第1の補正マ) IJソックス模式的に
示すものである。
!3図図示のよう釦、θ1とθ宜を変数とするマ) +
7ツクス上に補正値が記憶されている。
次に、同様にして、θ、−〇、±0(あるいは一定)に
してθ1.0番を適宜な小角度ピッチr11  、δ0
で変えることにより、第4図に模式的に図示する第2の
補正マトリックスを作成する。
このようにして2つの補正マトリックスを作成しておく
なお、補正マ) IJラックス補正値は必ずしも異符号
値にしなくともよい。
三次元計測ロボットの自動計測には、ティーチングプレ
イパック方式とデータベース方式とがある。
そこで、まず、補正マトリックスを用いたティーチング
プレイバッグ方式の自動計測を説明する。
この方法では、計測ロボットに、測定対象物の測定点及
び経路をティーチングした後に、自動計測を行う。この
自動計測で得られる測定値は誤差を含んだままの値であ
る。
計測ロボットの多関節部の姿勢が決定された時点で各関
節(C1、θ! 、C1、C4)の角度データが制御装
置に入力される。これにより、制御装置#i第1及び第
2の補正マトリックス中より、その姿勢に最も近似する
姿勢、すなわち、近似姿勢の補正値データを抽出する。
ただし、本システムでは抽出方法を二部検索としている
この方法を用いて、2つの補正マ) IJラックスθ茸
 、θ、とθ8.θ番より作られる第1及び第2のマ)
 IJラックスの検索を行い、それぞれの補正値データ
を得た上で、こtiを合成する。ただし、第2の補正マ
トリックスから得られる補正値データは第1の補正マト
リックスとは座標系が違うため、単に加えて合成するこ
とができず、一旦、座標系を統一した上で合成する。例
えば、第1の補正マトリックスから得られる補正値デー
タを(ΔZ on 、Δyon、Δzan)  とし、
第2の補正マトリックスから得られる補正値データを(
ΔZOn’、Δyott’、Δgon’)とすると、こ
の第2の補正マトリックスから得られるデータを、座標
変換して(Δz’on’、Δ3/’ C1rL’  、
 ΔZ’ On’ )とした上で合成するものであり、
合成された補正値データは(Δz on’ +Δ2Y’
 on’ 、 Δy on’ +Δy’on’ 、Δt
 on’ +Δz’ on’ )  となる。
そして、合成された補正値データは、対応する測定値(
Z n  * V R’ zn )に加えられ、測定値
は補正されることになり、この補正された測定値が出力
される。
次に、データベース方式の場合について説明すると、こ
の方式でも基本的にはティーチングプレイバッグ方式と
同じである。すなわち、データベース方式でも予め第1
及び第2の補正マ) IJラックス作成しておき、多関
節アームの測定点での姿勢及び経路のデータを、計測ロ
ボットの制御装置にデータベースによる入力を行い、こ
のデータから第1及び第2の補正マトリックス中よりそ
れぞれ補正値データの検索を行い、さらにこれらを合成
してそれに基いて対応する上記データを補正し、しかる
後に自動計測を行い測定値を得るものである。
正手順を表わすフローチャートである。
ト)発明の効果 以上述べたように、本発明の方法では、構造上、複数の
関節部金有することで計測誤差の生じ易い多関節アーム
を備える三次元計測ロボットに於て、計測誤差を補正し
て高精度での計測が可能になり、複雑形状の測定対象の
計測も実現できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は三次元計測ロボットの説明図、第2図は多関節
アームの説明図、第3図I/′i第1の補正マトリック
スの模式的な説明図、第4図は第2の補正マトリックス
の模式的な説明図、第5図は補正マトリックスの作成手
順を表わすフローチャート、第6図はティーチングプレ
イパック方式による自動計測及び補正手順を表わすフロ
ーチャート、第7図はデータベース方式による自動計測
及び補正手順を表わすフローチャートである。 特許出願人  東京貿易株式会社 代理人 弁上 1三)、′、・、1 −゛−′、−1 第4歯 第6図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)直交3軸の計測機機構のアームに、第1回転軸と
    第1曲折軸と第2回転軸と第2曲折軸とが順に連結され
    た多関節アームを設け、該多関節アームの第2曲折軸の
    先端に接触子を備える三次元計測ロボットに於て、上記
    多関節アームの基本姿勢で、定位置に置いた基準となる
    球体の表面に、上記接触子を接触させる手法で該球体の
    基準中心座標を求め、この求めた中心座標値を基準値と
    定め、以下、上記第2回転軸及び第2曲折軸を一定の姿
    勢に保持しつつ、上記第1回転軸及び第1曲折軸の回転
    角度及び曲折角度を変化させて上記球体を使つた手法に
    より、各姿勢で該球体の中心座標値を求めるとともに、
    該値と上記基準中心座標との差を補正値として求めて該
    補正値を上記回転角度及び曲折角度を変数とするマトリ
    ックス上に記憶させた第1の補正マトリックスを作成し
    、同様に、上記第1回転軸及び第1曲折軸を一定の姿勢
    に保持しつつ、上記第2回転軸及び第2曲折軸の回転角
    度及び曲折角度を変化させて上記球体を使つた手法によ
    り、各姿勢で該球体の中心座標値を求めるとともに、該
    値と上記基準中心座標との差を補正値として求めて該補
    正値を上記第2回転軸及び第2曲折軸の回転角度及び曲
    折角度を変数とするマトリックス上に記憶させた第2の
    補正マトリックスを作成し、しかる後に、三次元計測ロ
    ボットに測定対象物の測定点及び該測定点に至る経路を
    テイーチングし、このテイーチングに基いて測定点の自
    動計測を行つて測定値を求めるとともに、該測定値を求
    めるにあたつての多関節アームの姿勢に応じて上記第1
    及び第2の補正マトリックスからそれぞれ近似的に補正
    値を検索し、かつ、これら2つの補正値を合成してこの
    合成補正値だけ上記測定値を補正することを特徴とする
    三次元計測ロボットの精度補正方法。
  2. (2)直交3軸の計測機機構のアームに、第1回転軸と
    第1曲折軸と第2回転軸と第2曲折軸とが順に連結され
    た多関節アームを設け、該多関節アームの第2曲折軸の
    先端に接触子を備える三次元計測ロボットに於て、上記
    多関節アームの基本姿勢で、定位置に置いた基準となる
    球体の表面に、上記接触子を接触させる手法で該球体の
    基準中心座標を求め、この求めた中心座標値を基準値と
    定め、以下、上記第2回転軸及び第2曲折軸を一定の姿
    勢に保持しつつ、上記第1回転軸及び第1曲折軸の回転
    角度及び曲折角度を変化させて上記球体を使つた手法に
    より、各姿勢で該球体の中心座標値を求めるとともに、
    該値と上記基準中心座標との差を補正値として求めて該
    補正値を上記回転角度及び曲折角度を変数とするマトリ
    ックス上に記憶させた第1の補正マトリックスを作成し
    、同様に、上記第1回転軸及び第1曲折軸を一定の姿勢
    に保持しつつ、上記第2回転軸及び第2曲折軸の回転角
    度及び曲折角度を変化させて上記球体を使つた手法によ
    り、各姿勢で該球体の中心座標値を求めるとともに、該
    値と上記基準中心座標との差を補正値として求めて該補
    正値を上記第2回転軸及び第2曲折軸の回転角度及び曲
    折角度を変数とするマトリックス上に記憶させた第2の
    補正マトリックスを作成し、制御装置に、三次元計測ロ
    ボットを制御するために、測定対象物の測定点における
    多関節アームの姿勢及びそれに至る経路のデータを入力
    し、測定点での多関節アームの姿勢に応じて上記第1及
    び第2の補正マトリックスからそれぞれ近似的に補正値
    を検索し、かつ、これら2つの補正値を合成してこの合
    成された補正値だけ上記データを補正し、この補正され
    たデータを使用して上記測定点を自動計測して測定値を
    得ることを特徴とする三次元計測ロボットの精度補正方
    法。
JP6072686A 1986-03-20 1986-03-20 三次元計測ロボットの計測精度補正方法 Granted JPS62218808A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6072686A JPS62218808A (ja) 1986-03-20 1986-03-20 三次元計測ロボットの計測精度補正方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6072686A JPS62218808A (ja) 1986-03-20 1986-03-20 三次元計測ロボットの計測精度補正方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62218808A true JPS62218808A (ja) 1987-09-26
JPH052168B2 JPH052168B2 (ja) 1993-01-11

Family

ID=13150569

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6072686A Granted JPS62218808A (ja) 1986-03-20 1986-03-20 三次元計測ロボットの計測精度補正方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62218808A (ja)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01156616A (ja) * 1987-11-26 1989-06-20 Carl Zeiss:Fa 座標測定装置のプローブヘッドに用いられる回転・旋回装置
JPH02152750A (ja) * 1988-11-30 1990-06-12 Okuma Mach Works Ltd 制御装置付機械における球心算出方法
JPH0337508A (ja) * 1989-07-03 1991-02-18 Nissan Motor Co Ltd 計測装置の補正装置
JPH0342508A (ja) * 1989-07-10 1991-02-22 Mitsutoyo Corp 測定装置
WO1991012935A1 (en) * 1990-02-28 1991-09-05 Fanuc Ltd Calibration system for robot
JPH03113787U (ja) * 1990-03-02 1991-11-21
WO2003002938A1 (de) * 2001-06-29 2003-01-09 Carl Zeiss Verfahren zum betreiben eines koordinatenmessgeräts mit einem dreh-schwenk-gelenk
JP2006234756A (ja) * 2005-02-28 2006-09-07 Mitsutoyo Corp 表面性状測定機の真直度補正方法および表面性状測定機
JP2008076309A (ja) * 2006-09-22 2008-04-03 Nissan Motor Co Ltd タッチプローブ測定方法および測定装置
JP2008119784A (ja) * 2006-11-10 2008-05-29 Toshiba Mach Co Ltd 斜め加工のための5軸加工機の姿勢保証システム
TWI504476B (zh) * 2013-01-16 2015-10-21 Tongtai Machine & Tool Co Ltd 加工機旋轉中心的檢知方法
JP2016154039A (ja) * 2016-04-19 2016-08-25 株式会社牧野フライス製作所 エラーマップ作成方法及び装置並びにエラーマップ作成機能を有した数値制御工作機械

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4101002B2 (ja) * 2002-08-29 2008-06-11 松下電器産業株式会社 形状測定装置及び形状測定方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5980708U (ja) * 1982-11-24 1984-05-31 株式会社ミツトヨ 三次元測定機の原点ブロツク支持台
JPS59178310A (ja) * 1983-03-30 1984-10-09 Fujitsu Ltd 多関節ロボツトの座標系較正用位置合せ装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5980708U (ja) * 1982-11-24 1984-05-31 株式会社ミツトヨ 三次元測定機の原点ブロツク支持台
JPS59178310A (ja) * 1983-03-30 1984-10-09 Fujitsu Ltd 多関節ロボツトの座標系較正用位置合せ装置

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01156616A (ja) * 1987-11-26 1989-06-20 Carl Zeiss:Fa 座標測定装置のプローブヘッドに用いられる回転・旋回装置
JPH02152750A (ja) * 1988-11-30 1990-06-12 Okuma Mach Works Ltd 制御装置付機械における球心算出方法
JPH0337508A (ja) * 1989-07-03 1991-02-18 Nissan Motor Co Ltd 計測装置の補正装置
JPH0342508A (ja) * 1989-07-10 1991-02-22 Mitsutoyo Corp 測定装置
WO1991012935A1 (en) * 1990-02-28 1991-09-05 Fanuc Ltd Calibration system for robot
JPH03113787U (ja) * 1990-03-02 1991-11-21
WO2003002938A1 (de) * 2001-06-29 2003-01-09 Carl Zeiss Verfahren zum betreiben eines koordinatenmessgeräts mit einem dreh-schwenk-gelenk
JP2006234756A (ja) * 2005-02-28 2006-09-07 Mitsutoyo Corp 表面性状測定機の真直度補正方法および表面性状測定機
JP4568621B2 (ja) * 2005-02-28 2010-10-27 株式会社ミツトヨ 表面性状測定機の真直度補正方法および表面性状測定機
JP2008076309A (ja) * 2006-09-22 2008-04-03 Nissan Motor Co Ltd タッチプローブ測定方法および測定装置
JP2008119784A (ja) * 2006-11-10 2008-05-29 Toshiba Mach Co Ltd 斜め加工のための5軸加工機の姿勢保証システム
US7941240B2 (en) 2006-11-10 2011-05-10 Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha Position ensuring system for oblique machining in five-axis machine tool
US8112173B2 (en) 2006-11-10 2012-02-07 Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha Position ensuring system for oblique machining in five-axis machine tool
TWI504476B (zh) * 2013-01-16 2015-10-21 Tongtai Machine & Tool Co Ltd 加工機旋轉中心的檢知方法
JP2016154039A (ja) * 2016-04-19 2016-08-25 株式会社牧野フライス製作所 エラーマップ作成方法及び装置並びにエラーマップ作成機能を有した数値制御工作機械

Also Published As

Publication number Publication date
JPH052168B2 (ja) 1993-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101200961B1 (ko) 평행 운동학적 기계, 평행 운동학적 기계의 교정 방법, 및교정 프로그램 제품
JPS62218808A (ja) 三次元計測ロボットの計測精度補正方法
Zargarbashi et al. Single setup estimation of a five-axis machine tool eight link errors by programmed end point constraint and on the fly measurement with Capball sensor
US5687293A (en) Method and device for calibration of movement axes of an industrial robot
JPS61281305A (ja) 多関節ロボツト制御装置
JP2002516424A (ja) 産業用ロボットの制御方法
JPS59153207A (ja) ロボツトの制御装置
WO1996030171A1 (en) Method and device for calibration of movement axes of an industrial robot
US5528116A (en) Method and device for calibration of movement axes of an industrial robot
CN113160334B (zh) 一种基于手眼相机的双机器人系统标定方法
CN101213049B (zh) 旋转中心点计算方法、旋转轴线计算方法、程序的生成、动作方法以及机器人装置
WO2023185201A1 (zh) 手术机器人运动精度的测量方法、装置及手术机器人系统
EP0497813B1 (en) Calibration of measuring apparatus
CN112476435B (zh) 重力加速度方向的标定方法、标定装置及存储介质
Driels et al. Robot calibration using an automatic theodolite
JPH06249641A (ja) 座標測定機用ロータリテーブルの校正方法
JPS60151711A (ja) ロボツト手先視覚座標系較正方式
CN113686278B (zh) 一种高精度工业机器人工具tcp标定方法
CN113601269B (zh) 一种多轴数控机床旋转轴几何误差快速分离新方法
Guo et al. Dynamic Parameter Identification and Collision Detection of Robot
JPH012104A (ja) ロボットの位置決め誤差補正方法
CN116038721B (zh) 一种无运动学参与的手眼标定方法和系统
CN116839634B (zh) 一种用机械臂标定陀螺仪的方法与机械臂
CN109062138A (zh) 一种基于立体标定块的五轴平台系统标定方案
US11801577B2 (en) 5-axis processing machine

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term