JPH0342508A - 測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野〕 この発明は移動手段の作動によって披４１１１定物と測
定手段との相対位置を移動させることによって測定がお
こなわれる測定装置に関し、特に被測定物と測定手段と
の所定通りの移動に対して移動手段が固有に持っている
移動の特性を補正し得る測定装置に関する。

［従来の技術］ 移動手段の作動によって被測定物と測定手段との相対位
置を移動させることによって測定をおこなう測定装置で
は、従来、移動手段が移動の作動に関して固イＪに持つ
特性を補正することなく／１１１１走結果に取込んでい
た。

［発明が解決しようとする課題］ 表面粗さ測定装置、真円度測定機、三次元側′Ａヒ機等
の、移動手段の作動によって被測定物と測定手段との相
対位置を移動させて測定をおこなう測定装置では、従来
、移動手段自体が固有に持つ移動の作動に関する特性を
補正することなく測定結果に取込んでいた。そのために
、測定によって得られる測定結果に十分な信頼を置くこ
とができないという問題があった。

又、上述した特性は移動手段ごとに固有に穴なっており
、従って測定装置ごとで特性が異なるために複数個の測
定装置からの測定結果を一律に同様な補正をおこなうと
いったことができず、簡便に測定結果の補正が得にくい
という問題があった。

殊に、今日のハイテクノロシイ時代においては、より高
い精度の測定が求められ、問題はより深刻であった。

この発明は上記の２３１情に鑑みてなされたものであり
、移動手段の作動によって被測定物と測定手段との相対
位置を移動させて測定をおこなう際に、移動手段が移動
の作動に関して固有に持っている特性から測定結果が影
響を受けることのない測定装置を提供するものである。

［課題を解決するための手段］ この発明は、移動手段が移動の作動に関して持っている
固有の特性を記憶する記憶手段と、その記憶手段に記憶
されている移動手段の特性に姑づき測定手段で得られた
測定結果を補正する補正手段を備えてなる測定装置であ
る。

その詳細な構成は、測定手段と、そのａｔ＋＋定手段定
接段定物との相対位置を移動させる移動手段を備え、そ
の移動手段の移動の作動によって被測定物に対して測定
手段を相対移動させることによって測定がおこなわれる
測定装置であって、上記測定手段との相対移動をおこな
わせると、その相対移動が所定通りの移動とさせ得るマ
スターピアスを被測定物として、移動手段を作動させて
測定する際に、被測定物と測定手段との所定通りの移動
に対し、その移動手段自体が示す固有の特性を記憶する
記憶手段と、その記憶手段に記憶されている移動手段自
体の固有の特性に基づき、測定手段が測定して得た測定
結果を、移動手段が所定通りに測定手段と被測定物との
相対位置を移動させた際に得られる値に補正する補正手
段を設けてなる測定装置である ［作用］ 測定手段からの測定結果は移動手段の特性を含んだまま
で得られるが、その測定結果を補正手段。

は記憶手段に記憶されている移動手段の特性に基づき補
正する。

［実施例］ この発明を、第１〜２図に示す実施例に基づき詳述する
。しかし、この実施例によってこの発明が限定されるも
のではない。

測定装置である表面粗さ測定装置１は第１図に示すよう
に、基台２と、基台２に乗直に立設された支柱３と、被
測定物２１の表面粗さを測定する接触式の測定手段４と
、測定手段４を上下方向（矢印Ｂ方向）にスライドさせ
るためのスライド手段５と、測定手段４を前後方向（矢
印六方向）に移動させるための移動手段６と、測定手段
４からの測定結果を演算して表示する演算表示手段７が
備えられている。

被測定物２１は、基台２の上に配置した姿勢補正装置ｉ
！８　（特願平１−７２２８８号を参照）に載置支持さ
れ、被測定面が測定手段４の移動方向と平行になるよう
に構成されている。

スライド手段５は、ボールネジ９と、ボールネジ９を正
逆方向に回転駆動する駆動モータ１０と、ボールネジ９
のナツトと一体化されていてスライドするスライダ１１
から主に構成されている。

移動手段６は、ボールネジ１２と、ボールネジ１２を正
逆方向に回転駆動する駆動モータ１３と、ボールネジ１
２のナツト１４と一体化されていてスライド移動するス
ライダ１５と、スライダ１５のスライド方向を案内する
案内棒１６と、スライダ１５と一体化されていて測定手
段４を保持するホルダ１７から主に構成されている。

演算表示手段７は、表示部として液晶表示部１８とプリ
ンタ１９が備えられている。演算表示部７は、上面が表
面粗さ測定装置１を作動させるための操作パネル２０と
なっている。

加えて、表面粗さ測定装置１には、移動手段６自体が有
する移動作用に関わる特性を補正するための手段が備え
られている。つまり、例えば被測定面がオプティカルフ
ラットである被測定物のように、移動手段６を作動させ
て測定手段４で測定すると、測定手段４の移動が上下に
波打つことなく、直線状に移動させうる被測定物を測定
した際に、移動が所定通りである直線状の移動に対して
上下方向に位置ズレする移動手段６自体の同右の特外を
記憶する記憶手段２２と、測定手段４及び移動手段６を
作動させて測定し、その測定で得た結果を記憶手段２２
に記憶されている移動手段６の特性に基づき補正する補
正手段２３が設けられて構成されている。

第２図に、この補正のための手段の構成を示す。

尚、位置検出手段２４は、移動手段６のケース２５側に
取付けられたメインスケール２６と、スライダ１５に取
付けられ、インデックススケール、信号処理回路等を備
えた検出部２７とから構成され、検出手段４の矢印Ａ方
向の位置を検出する。

補正データ記憶手段２８は、測定手段４によって検出さ
れて得た測定結果が更に補正手段２３によって補正され
て得られる補正データを記憶するものである。制御部２
９は、表面粗さ測定装置１の測定作用の制御をおこなう
ものである。

以下において、表面粗さ測定装置１の使用を説明する。

まず、姿勢補正装置８に、被１ｉｉＩＪ定面がオプティ
カルフラットである被測定物を載置し、測定手段４、移
動手段６及び姿勢補正装置８を作動させて前記被測定物
のオプティカルフラットの面を移動手段６の移動方向に
平行な状態にする。ここで、操作パネル２０を操作して
、移動手段６の移動によってマスターピースとなる被測
定物を測定するようにセットする。この操作によって、
制御部２９から測定手段４、移動手段６、記憶手段２２
、及び位置検出手段２４にそれぞれ作動の信号を送る。

測定手段４及び移動手段６が作動して被測定面であるオ
プティカルフラットを矢印穴方向に測定すると、測定手
段４は移動手段６の矢印Ａ方向の位置に対する上下方向
の位置ズレを検出し、その測定結果を記憶手段２２に信
号で送る。位置検出手段２４は、測定手段４の矢印穴方
向の位置を検出し、その値を記憶手段２２に信号で送る
。ここで、記憶手段２２はこれら二つの信号を受けると
、測定手段４の矢印穴方向の位置とその位置に対応する
移動手段６の上下方向の位置ズレの値（特性値）のベア
を順次記憶する。尚この時、測定者は所望により、移動
手段６の矢印穴方向の移動における上下方向の位置ズレ
の特性を液晶表示部１８及びプリンタ１９から知ること
ができる。

次に、姿勢補正手段８に測定すべき被測定物２１を載置
し、操作パネル２０を操作してスライド手段５及び姿勢
補正手段８に作動の信号を送ると、スライド手段５は被
測定物２１の被測定面に対する測定手段４の高さを、姿
勢補正手段８は移動手段６による測定手段４の矢印Ａ方
向に対する被測定物２１の被測定面の傾きをそれぞれ補
正する。更に、操作パネル２０で測定のための操作をお
こなうと、制御部２９から測定手段４、移動手段６、位
置検出手段２４、補正データ記憶手段２８、及び補正手
段２３に作動の信号が送られる。

測定手段４は被測定物２１の被測定面と移動手段６の特
性との合わさったものを検出し、その測定結果を信号で
補正手段２３に送る。又、位置検出手段　２４は、測定
手段４の矢印穴方向の位置を示す信号を補正手段２３に
順次送る。ここで、補正手段２３はこれら二つの信号を
測定手段４の矢印Ａ方向の位置とその位置に対応する測
定結果とのベアとして受取る。補正手段２３は、このベ
アの測定結果と、記憶手段２２に記憶されている、被測
定面がオプティカルフラットである場合の測定手段４の
矢印穴方向の位置とその位置に対応する測定結果（特性
値）とのベアとを、測定手段４の共通の位置毎に対応さ
せて、記憶手段２２からの特性に基づき被測定物２１の
測定結果の補正を位置毎に順次おこなう。更に補正手段
２３は、補正して得た結果を測定手段４の矢印Ａ方向の
位置の順に補正データ記憶手段２８に信号で送る。補正
データ記憶２８に入った補正後の結果は、この手段に記
憶される。測定者は、移動手段６の特性について補正さ
れた測定結果を、所望により液晶表示部１８に表示し、
又プリンタ１９にプリントして得ることができる。

ここで得られる測定結果は、矢印Ａ方向の移動に対して
移動手段６自体が固有に何している特性である上下方向
の位置ズレを除去するように補正された値であるから、
十分に信頼することができる。特に、より粕度の高い測
定においては、補正による効果はより一層大きい。又、
移動手段はそのもの毎で上下方向の位置ズレの特性が異
なるが、上述した構成により移動手段毎に依らず一様に
移動手段の上下方向の位置ズレの特性を除去した補正測
定結果を得ることができる。

表面粗さ測定手段１において測定手段４は接触式である
が、非接触式のものであってもよい。

表面粗さ測定装置１おいて測定手段４と被測定物２１と
の相対移動をおこなわせる移動手段６は測定手段４側を
移動する構成になっているが、被測定物２１側を移動す
る構成、或いは測定手段４側と被測定物２１側の二つを
移動する構成であってもよい。

上述した実施例では、測定装置として表面粗さ測定装置
を挙げている。しかし、この発明は、移動手段が測定手
段と被測定物とを円状に相対移動させ、且つ基準半球を
マスターピースとする真円度測定装置や、被測定物の輪
郭を測定する三次元測定装置等に適応することができる
。

この発明は更に、記憶手段にマスターピースの測定結果
を記憶させ、且つそのマスターピースに模して製作した
ものを被測定物として測定することによって、その製作
物のマスターピースに対する誤差を求めることができる
。

［発明の効果］ この発明は、測定手段と、測定手段と被測定物との相対
位置を移動させるための移動手段に加えて、その移動手
段自体が特有に有している移動に関わる特性を記憶する
記憶手段と、その記憶手段に記憶されている移動手段自
体の特性に基づき測定結果を補正する補正手段を備えて
構成したことにより、移動手段自体が固有に有する特性
を最終の測定結果が含まず、従ってより信頼できる測定
結果が得られる測定装置である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の６１視図、第２図はこの
実施例の移動手段に関わる特性を補正する手段の機能を
示す構成説明図である。 １・・・表面粗さ測定装置（測定装置）、４・・・測定
手段、　　　　６・・・移動手段、２１・・・被測定物
、　　　２２・・・記憶手段、２３・・・補正手段、　
　　２４・・・位置検出手段、２８・・・補正データ記
憶手段、　２９・・・制御部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、測定手段と、その測定手段と被測定物との相対位置
   を移動させる移動手段を備え、その移動手段の移動の作
   動によって被測定物に対して測定手段を相対移動させる
   ことによって測定がおこなわれる測定装置であって、 上記測定手段との相対移動をおこなわせると、その相対
   移動が所定通りの移動とさせ得るマスターピースを被測
   定物として、移動手段を作動させて測定する際に、被測
   定物と測定手段との所定通りの移動に対し、その移動手
   段自体が示す固有の特性を記憶する記憶手段と、その記
   憶手段に記憶されている移動手段自体の固有の特性に基
   づき、測定手段が測定して得た測定結果を、移動手段が
   所定通りに測定手段と被測定物との相対位置を移動させ
   た際に得られる値に補正する補正手段を設けてなる測定
   装置。