JPH06249641A - 座標測定機用ロータリテーブルの校正方法 - Google Patents
座標測定機用ロータリテーブルの校正方法Info
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- JPH06249641A JPH06249641A JP4006993A JP4006993A JPH06249641A JP H06249641 A JPH06249641 A JP H06249641A JP 4006993 A JP4006993 A JP 4006993A JP 4006993 A JP4006993 A JP 4006993A JP H06249641 A JPH06249641 A JP H06249641A
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- center
- rotation
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被測定物の固定用治具を除去せずに、ロータ
リテーブルを高精度に校正することを目的とする。 【構成】 ロータリテーブル５０の回転中心近傍に設け
られた第１の基準球５６の回転中心Ｏ4 を求め、次に、
第１の基準球５６と高さの異なる第２の基準球５８の回
転中心Ｏ5 を求める。そして、求められた２つの回転中
心Ｏ4 、Ｏ5 のいずれか一方をロータリテーブル５０の
回転中心と設定し、かつ、２つの回転中心Ｏ4 、Ｏ5 を
通る直線の傾きをロータリテーブルの傾きＶ3 として記
憶する。次いで、ロータリテーブル５０上にワークの固
定治具５４を回避して設けられた基準球５２の回転中心
Ｏ6 を予め求めて記憶する。そして、周囲の温度環境の
変化等でロータリテーブルの新たな校正が必要となった
時、基準球５２の新たな回転中心Ｏ7 を求めて、予め求
められた基準球５２の回転中心Ｏ6 と新たな回転中心Ｏ
7 との座標差を求め、求めた座標差でロータリテーブル
５０の回転中心を補正する。
リテーブルを高精度に校正することを目的とする。 【構成】 ロータリテーブル５０の回転中心近傍に設け
られた第１の基準球５６の回転中心Ｏ4 を求め、次に、
第１の基準球５６と高さの異なる第２の基準球５８の回
転中心Ｏ5 を求める。そして、求められた２つの回転中
心Ｏ4 、Ｏ5 のいずれか一方をロータリテーブル５０の
回転中心と設定し、かつ、２つの回転中心Ｏ4 、Ｏ5 を
通る直線の傾きをロータリテーブルの傾きＶ3 として記
憶する。次いで、ロータリテーブル５０上にワークの固
定治具５４を回避して設けられた基準球５２の回転中心
Ｏ6 を予め求めて記憶する。そして、周囲の温度環境の
変化等でロータリテーブルの新たな校正が必要となった
時、基準球５２の新たな回転中心Ｏ7 を求めて、予め求
められた基準球５２の回転中心Ｏ6 と新たな回転中心Ｏ
7 との座標差を求め、求めた座標差でロータリテーブル
５０の回転中心を補正する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は座標測定機のロータリ
テーブルの校正方法に係り、特にワークの測定値を補正
するために使用されるロータリテーブルの校正用データ
を求める座標測定機のロータリテーブルの校正方法に関
する。
テーブルの校正方法に係り、特にワークの測定値を補正
するために使用されるロータリテーブルの校正用データ
を求める座標測定機のロータリテーブルの校正方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】直交三軸とベーステーブルにロータリテ
ーブルを備えた三次元座標測定機でワーク形状等を測定
する場合、ロータリテーブルの回転中心及び傾きを求め
て、これらのデータをロータリテーブルの校正データと
して使用する。ロータリテーブルの校正は、三次元座標
測定機を初めて使用する時、または周囲温度環境等が変
化した場合に、行われるのが一般的である。
ーブルを備えた三次元座標測定機でワーク形状等を測定
する場合、ロータリテーブルの回転中心及び傾きを求め
て、これらのデータをロータリテーブルの校正データと
して使用する。ロータリテーブルの校正は、三次元座標
測定機を初めて使用する時、または周囲温度環境等が変
化した場合に、行われるのが一般的である。
【０００３】そして、ロータリテーブルの校正データを
求める方法として、以下の２つの方法が知られている。
第１の校正方法を図３に基づいて説明する。先ず、ロー
タリテーブル１０上の所定位置に校正用の基準球１２を
常設し、ロータリテーブル１０を任意の角度に回転させ
た後、基準球１２を測定してその中心座標を求める。次
に、上述した測定をロータリテーブルの回転角度を変え
て複数回行い、複数の中心座標を求める（少なくとも３
つ以上）。このようにして求めた複数の中心座標から、
複数の中心座標を通る平面１４の傾きＶ1 と円１６の中
心座標Ｏ1 を算出する。そして、平面１４の傾きＶ1 と
円１６の中心座標Ｏ1のデータを、ロータリテーブルの
校正データとする。
求める方法として、以下の２つの方法が知られている。
第１の校正方法を図３に基づいて説明する。先ず、ロー
タリテーブル１０上の所定位置に校正用の基準球１２を
常設し、ロータリテーブル１０を任意の角度に回転させ
た後、基準球１２を測定してその中心座標を求める。次
に、上述した測定をロータリテーブルの回転角度を変え
て複数回行い、複数の中心座標を求める（少なくとも３
つ以上）。このようにして求めた複数の中心座標から、
複数の中心座標を通る平面１４の傾きＶ1 と円１６の中
心座標Ｏ1 を算出する。そして、平面１４の傾きＶ1 と
円１６の中心座標Ｏ1のデータを、ロータリテーブルの
校正データとする。
【０００４】尚、求められた中心座標が４点以上の場合
は、最小自乗法で適切な平面１４と円１６の中心座標を
求める。しかしながら、第１の校正方法には以下の欠点
がある。すなわち、三次元測定機には測定誤差要因とな
る機械的運動誤差（いわゆる、ピッチング、ヨーイン
グ、ローリング、真直度、直角度及び指示誤差）があ
り、図３上の基準球１２の中心座標にも自ずと誤差が含
まれ、平面１４の傾きＶ1 と円１６の中心座標Ｏ1 は誤
差を持ったデータとなる。従って、ロータリテーブルの
校正データとしては不正確となる。特に、平面１４の傾
きＶ1 の誤差については、基準球１２の測定高さ近傍で
はその誤差の影響がすくないが、離れた高さ位置では、
その影響が大きい。
は、最小自乗法で適切な平面１４と円１６の中心座標を
求める。しかしながら、第１の校正方法には以下の欠点
がある。すなわち、三次元測定機には測定誤差要因とな
る機械的運動誤差（いわゆる、ピッチング、ヨーイン
グ、ローリング、真直度、直角度及び指示誤差）があ
り、図３上の基準球１２の中心座標にも自ずと誤差が含
まれ、平面１４の傾きＶ1 と円１６の中心座標Ｏ1 は誤
差を持ったデータとなる。従って、ロータリテーブルの
校正データとしては不正確となる。特に、平面１４の傾
きＶ1 の誤差については、基準球１２の測定高さ近傍で
はその誤差の影響がすくないが、離れた高さ位置では、
その影響が大きい。
【０００５】ここで、三次元測定機は比較的狭い運動範
囲では機械的運動誤差が少ないことが一般的である。ま
た、第１の校正方法のように１つの基準球を測定して傾
きと中心座標を求めた場合、校正用基準球を測定した位
置の機械的運動誤差が測定範囲全体に影響する。従っ
て、第２の校正方法は、この影響を防ぐ目的から広い高
さ間隔でロータリテーブルの回転中心近くに配設された
２つの基準球を測定してロータリテーブルの傾きと回転
中心を求めるようにした。
囲では機械的運動誤差が少ないことが一般的である。ま
た、第１の校正方法のように１つの基準球を測定して傾
きと中心座標を求めた場合、校正用基準球を測定した位
置の機械的運動誤差が測定範囲全体に影響する。従っ
て、第２の校正方法は、この影響を防ぐ目的から広い高
さ間隔でロータリテーブルの回転中心近くに配設された
２つの基準球を測定してロータリテーブルの傾きと回転
中心を求めるようにした。
【０００６】以下、第２の校正方法を図４に基づいて説
明する。先ず、ロータリテーブル１０の回転中心近傍
に、高さの異なる第１、第２の基準球２０、２２を配設
する。次に、第１の基準球２０について第１の校正方法
と同様に測定して複数個の測定中心座標から円２０Ａの
中心座標Ｏ2 を求め、次いで、第２の基準球２２につい
て第１の校正方法と同様に測定して複数個の測定中心座
標から円２２Ａの中心座標Ｏ3 を求める。続いて、求め
られた中心座標Ｏ2、Ｏ3 を通る直線の傾きＶ2 を、ロ
ータリテーブル１０の傾きとし、第１、第２の基準球の
中心座標Ｏ2 、Ｏ3 のいずれか一方をロータリテーブル
の回転中心とする。
明する。先ず、ロータリテーブル１０の回転中心近傍
に、高さの異なる第１、第２の基準球２０、２２を配設
する。次に、第１の基準球２０について第１の校正方法
と同様に測定して複数個の測定中心座標から円２０Ａの
中心座標Ｏ2 を求め、次いで、第２の基準球２２につい
て第１の校正方法と同様に測定して複数個の測定中心座
標から円２２Ａの中心座標Ｏ3 を求める。続いて、求め
られた中心座標Ｏ2、Ｏ3 を通る直線の傾きＶ2 を、ロ
ータリテーブル１０の傾きとし、第１、第２の基準球の
中心座標Ｏ2 、Ｏ3 のいずれか一方をロータリテーブル
の回転中心とする。
【０００７】このように、ロータリテーブル１０の回転
中心近くに高さの異なる第１、第２の基準球２０、２２
を配設し、ロータリテーブルの校正データを求めること
により機械的運動誤差の測定範囲全体に対する影響を少
なくすることができる。
中心近くに高さの異なる第１、第２の基準球２０、２２
を配設し、ロータリテーブルの校正データを求めること
により機械的運動誤差の測定範囲全体に対する影響を少
なくすることができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一般に
ロータリテーブルの回転中心近傍には被測定物を固定す
るための固定用治具が取り付けられているので、図４に
示すような位置に２つの基準球を配設するためには固定
用治具を除去する必要がある。従って、ロータリテーブ
ルを校正する度に固定用治具を除去しなければならない
という問題がある。
ロータリテーブルの回転中心近傍には被測定物を固定す
るための固定用治具が取り付けられているので、図４に
示すような位置に２つの基準球を配設するためには固定
用治具を除去する必要がある。従って、ロータリテーブ
ルを校正する度に固定用治具を除去しなければならない
という問題がある。
【０００９】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、固定用治具を除去せずに、ロータリテーブルを
高精度に校正することができる座標測定機用ロータリテ
ーブルの校正方法を提供することを目的とする。
もので、固定用治具を除去せずに、ロータリテーブルを
高精度に校正することができる座標測定機用ロータリテ
ーブルの校正方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、三軸方向に移動自在なプローブが設けられ
ると共に測定テーブルにロータリテーブルが設けられた
座標測定機用ロータリテーブルの校正方法において、ロ
ータリテーブルを回転して、ロータリテーブルの回転中
心近傍に設けられた第１の基準球の回転中心を求め、ロ
ータリテーブルを回転して、ロータリテーブルの回転中
心近傍に設けられた第１の基準球と高さの異なる第２の
基準球の回転中心を求め、第１、第２の基準球の回転中
心のいずれか一方をロータリテーブルの回転中心と設定
し、かつ、第１、第２の基準球の回転中心を通る直線の
傾きをロータリテーブルの傾きと設定し、ロータリテー
ブルを回転して、ロータリテーブル上に被測定物の固定
治具を回避して設けられた第３の基準球の回転中心を予
め求め、記憶する。周囲の温度環境が変化するなどで、
ロータリテーブルの新たな校正が必要となった時、新た
にロータリテーブルを回転して、ロータリテーブル上に
被測定物の固定治具を回避して設けられた第３の基準球
の新たな回転中心を求め、前記予め求められた第３の基
準球の回転中心と第３の基準球の新たな回転中心との座
標差を求め、該求められた座標差で前記求めたロータリ
テーブルの回転中心を補正して新たなロータリテーブル
の回転中心を求め、前記求め記憶したロータリテーブル
の傾き及び新たに求めたロータリテーブルの回転中心を
被測定物測定時のロータリテーブルの校正用データとす
ることを特徴とする。
成する為に、三軸方向に移動自在なプローブが設けられ
ると共に測定テーブルにロータリテーブルが設けられた
座標測定機用ロータリテーブルの校正方法において、ロ
ータリテーブルを回転して、ロータリテーブルの回転中
心近傍に設けられた第１の基準球の回転中心を求め、ロ
ータリテーブルを回転して、ロータリテーブルの回転中
心近傍に設けられた第１の基準球と高さの異なる第２の
基準球の回転中心を求め、第１、第２の基準球の回転中
心のいずれか一方をロータリテーブルの回転中心と設定
し、かつ、第１、第２の基準球の回転中心を通る直線の
傾きをロータリテーブルの傾きと設定し、ロータリテー
ブルを回転して、ロータリテーブル上に被測定物の固定
治具を回避して設けられた第３の基準球の回転中心を予
め求め、記憶する。周囲の温度環境が変化するなどで、
ロータリテーブルの新たな校正が必要となった時、新た
にロータリテーブルを回転して、ロータリテーブル上に
被測定物の固定治具を回避して設けられた第３の基準球
の新たな回転中心を求め、前記予め求められた第３の基
準球の回転中心と第３の基準球の新たな回転中心との座
標差を求め、該求められた座標差で前記求めたロータリ
テーブルの回転中心を補正して新たなロータリテーブル
の回転中心を求め、前記求め記憶したロータリテーブル
の傾き及び新たに求めたロータリテーブルの回転中心を
被測定物測定時のロータリテーブルの校正用データとす
ることを特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明によれば、ロータリテーブルを回転し
て、ロータリテーブルの回転中心近傍に設けられた第１
の基準球の回転中心を求め、次に、ロータリテーブルを
回転して、ロータリテーブルの回転中心近傍に設けられ
た第１の基準球と高さの異なる第２の基準球の回転中心
を求める。そして、求められた第１、第２の基準球の回
転中心のいずれか一方をロータリテーブルの回転中心と
設定し、かつ、第１、第２の基準球の回転中心を通る直
線の傾きをロータリテーブルの傾きと設定して、これら
のデータを記憶する。次いで、ロータリテーブルを回転
して、ロータリテーブル上に被測定物の固定治具を回避
して設けられた第３の基準球の回転中心を予め求めて、
予め求められたデータを記憶する。周囲温度環境が変化
するなどの理由で、新たにロータリテーブルを回転し
て、ロータリテーブル上に被測定物の固定治具を回避し
て設けられた第３の基準球の新たな回転中心を求める。
そして、予め求められた第３の基準球の回転中心と第３
の基準球の新たな回転中心との座標差を求め、求められ
た座標差でロータリテーブルの回転中心を補正する。
て、ロータリテーブルの回転中心近傍に設けられた第１
の基準球の回転中心を求め、次に、ロータリテーブルを
回転して、ロータリテーブルの回転中心近傍に設けられ
た第１の基準球と高さの異なる第２の基準球の回転中心
を求める。そして、求められた第１、第２の基準球の回
転中心のいずれか一方をロータリテーブルの回転中心と
設定し、かつ、第１、第２の基準球の回転中心を通る直
線の傾きをロータリテーブルの傾きと設定して、これら
のデータを記憶する。次いで、ロータリテーブルを回転
して、ロータリテーブル上に被測定物の固定治具を回避
して設けられた第３の基準球の回転中心を予め求めて、
予め求められたデータを記憶する。周囲温度環境が変化
するなどの理由で、新たにロータリテーブルを回転し
て、ロータリテーブル上に被測定物の固定治具を回避し
て設けられた第３の基準球の新たな回転中心を求める。
そして、予め求められた第３の基準球の回転中心と第３
の基準球の新たな回転中心との座標差を求め、求められ
た座標差でロータリテーブルの回転中心を補正する。
【００１２】このように、第３の基準球に基づいて予め
求められた回転中心と、新たに求められた第３の基準球
の回転中心との座標差を求め、この座標差でロータリテ
ーブルの回転中心をを補正することにより、第１、第２
の基準球を使用せずにロータリテーブルを高精度に校正
することができる。
求められた回転中心と、新たに求められた第３の基準球
の回転中心との座標差を求め、この座標差でロータリテ
ーブルの回転中心をを補正することにより、第１、第２
の基準球を使用せずにロータリテーブルを高精度に校正
することができる。
【００１３】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る座標測定
機用ロータリテーブルの校正方法について詳説する。図
１にはロータリテーブルを備えた三次元座標測定機の斜
視図が示されている。同図に示すように三次元座標測定
機３０の本体３２にはＹキャリッジ３４がＹ軸方向に移
動自在に設けられている。Ｙキャリッジ３４の上端部に
はＸ軸ガイド３６が固定されていて、Ｘ軸ガイド３６に
はＸキャリッジ３８が移動自在に設けられている。ま
た、Ｘキャリッジ３８にはＺキャリッジ４０がＺ軸方向
に移動自在に設けられている。Ｚキャリッジ４０の下端
部にはプローブ４２が設けられている。従って、プロー
ブ４２はＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動することができ
るので、プローブ４２でワークの形状等を測定すること
ができる。そして、後述するロータリテーブル５０は三
次元座標測定機３０の測定テーブル３２Ａに設けられて
いる。
機用ロータリテーブルの校正方法について詳説する。図
１にはロータリテーブルを備えた三次元座標測定機の斜
視図が示されている。同図に示すように三次元座標測定
機３０の本体３２にはＹキャリッジ３４がＹ軸方向に移
動自在に設けられている。Ｙキャリッジ３４の上端部に
はＸ軸ガイド３６が固定されていて、Ｘ軸ガイド３６に
はＸキャリッジ３８が移動自在に設けられている。ま
た、Ｘキャリッジ３８にはＺキャリッジ４０がＺ軸方向
に移動自在に設けられている。Ｚキャリッジ４０の下端
部にはプローブ４２が設けられている。従って、プロー
ブ４２はＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動することができ
るので、プローブ４２でワークの形状等を測定すること
ができる。そして、後述するロータリテーブル５０は三
次元座標測定機３０の測定テーブル３２Ａに設けられて
いる。
【００１４】図２には本発明に係る座標測定機用ロータ
リテーブルの校正方法に使用される座標測定機用ロータ
リテーブルの斜視図が示されている。同図に示すように
ロータリテーブル５０には校正用の基準球（第３の基準
球）５２が配設されている。基準球５２は被測定物（図
示せず）を固定するための固定用治具５４を回避してロ
ータリテーブル５０に取り付けられている。
リテーブルの校正方法に使用される座標測定機用ロータ
リテーブルの斜視図が示されている。同図に示すように
ロータリテーブル５０には校正用の基準球（第３の基準
球）５２が配設されている。基準球５２は被測定物（図
示せず）を固定するための固定用治具５４を回避してロ
ータリテーブル５０に取り付けられている。
【００１５】このロータリテーブル５０から固定用治具
５４を除去して、ロータリテーブル５０の回転中心近傍
に、高さの異なる第１、第２の基準球５６、５８を配設
する。そして、ロータリテーブル５０を任意の角度に回
転させた後、第１の基準球５６を測定してその中心座標
を求める。次に、第１の基準球５６について上述した測
定をロータリテーブルの回転角度を変えて複数回行い、
複数の中心座標を求める（少なくとも３つ以上）。この
ようにして求めた複数の中心座標から円６０の中心座標
Ｏ4 を算出する。
５４を除去して、ロータリテーブル５０の回転中心近傍
に、高さの異なる第１、第２の基準球５６、５８を配設
する。そして、ロータリテーブル５０を任意の角度に回
転させた後、第１の基準球５６を測定してその中心座標
を求める。次に、第１の基準球５６について上述した測
定をロータリテーブルの回転角度を変えて複数回行い、
複数の中心座標を求める（少なくとも３つ以上）。この
ようにして求めた複数の中心座標から円６０の中心座標
Ｏ4 を算出する。
【００１６】次いで、第１の基準球５６と同様に第２の
基準球５８について複数の中心座標を求め、求められた
複数の中心座標から円６２の中心座標Ｏ5 を算出する。
続いて、求められた中心座標Ｏ4 、Ｏ5 を通る直線の傾
きＶ3 を、ロータリテーブル５０の傾きとし、第１、第
２の基準球の中心座標Ｏ4 、Ｏ5 のいずれか一方をロー
タリテーブル５０の回転中心とする。そして、この実施
例においては中心座標Ｏ4 をロータリテーブル５０の回
転中心と設定して、これらのデータをロータリテーブル
５０の校正データとして記憶する。
基準球５８について複数の中心座標を求め、求められた
複数の中心座標から円６２の中心座標Ｏ5 を算出する。
続いて、求められた中心座標Ｏ4 、Ｏ5 を通る直線の傾
きＶ3 を、ロータリテーブル５０の傾きとし、第１、第
２の基準球の中心座標Ｏ4 、Ｏ5 のいずれか一方をロー
タリテーブル５０の回転中心とする。そして、この実施
例においては中心座標Ｏ4 をロータリテーブル５０の回
転中心と設定して、これらのデータをロータリテーブル
５０の校正データとして記憶する。
【００１７】続いて、基準球５２について第１、第２の
基準球５６、５８と同様に中心座標Ｏ6 を求める。すな
わち、ロータリテーブル５０を任意の角度に回転させた
後、基準球５２を測定してその中心座標を求める。次
に、上述した測定をロータリテーブル５０の回転角度を
変えて複数回行い、複数の中心座標を求める（少なくと
も３つ以上）。このようにして求めた複数の中心座標か
ら円６４の中心座標Ｏ6を算出して、算出された中心座
標Ｏ6 を記憶する。
基準球５６、５８と同様に中心座標Ｏ6 を求める。すな
わち、ロータリテーブル５０を任意の角度に回転させた
後、基準球５２を測定してその中心座標を求める。次
に、上述した測定をロータリテーブル５０の回転角度を
変えて複数回行い、複数の中心座標を求める（少なくと
も３つ以上）。このようにして求めた複数の中心座標か
ら円６４の中心座標Ｏ6を算出して、算出された中心座
標Ｏ6 を記憶する。
【００１８】記憶完了後、第１、第２の基準球５６、５
８をロータリテーブル５０から除去して、固定用治具５
４を所定位置に取り付ける。この状態で、固定用治具５
４にワークを固定して三次元座標測定機３０のプローブ
４２でワークの形状等を測定する。そして、三次元座標
測定機の周囲の温度環境の変化等でロータリテーブル５
０の新たな校正が必要な場合、ロータリテーブル５０を
任意の角度に回転させた後、基準球５２を測定してその
中心座標を求める。次に、上述した測定をロータリテー
ブル５０の回転角度を変えて複数回行い、複数の中心座
標を求める（少なくとも３つ以上）。このようにして求
めた複数の中心座標から円の新たな中心座標Ｏ7 （図示
せず）を算出する。
８をロータリテーブル５０から除去して、固定用治具５
４を所定位置に取り付ける。この状態で、固定用治具５
４にワークを固定して三次元座標測定機３０のプローブ
４２でワークの形状等を測定する。そして、三次元座標
測定機の周囲の温度環境の変化等でロータリテーブル５
０の新たな校正が必要な場合、ロータリテーブル５０を
任意の角度に回転させた後、基準球５２を測定してその
中心座標を求める。次に、上述した測定をロータリテー
ブル５０の回転角度を変えて複数回行い、複数の中心座
標を求める（少なくとも３つ以上）。このようにして求
めた複数の中心座標から円の新たな中心座標Ｏ7 （図示
せず）を算出する。
【００１９】そして、記憶されている中心座標Ｏ6 と新
たな中心座標Ｏ7 の座標差を求める。次に、ロータリテ
ーブル５０の回転中心Ｏ4 を求められた座標差分シフト
して、シフト後の中心座標をロータリテーブル５０の新
たな回転中心と設定する。この新たな回転中心とロータ
リテーブル５０の傾きＶ3 をロータリテーブル５０の校
正データとする。
たな中心座標Ｏ7 の座標差を求める。次に、ロータリテ
ーブル５０の回転中心Ｏ4 を求められた座標差分シフト
して、シフト後の中心座標をロータリテーブル５０の新
たな回転中心と設定する。この新たな回転中心とロータ
リテーブル５０の傾きＶ3 をロータリテーブル５０の校
正データとする。
【００２０】前記実施例では，基準球を使用して中心座
標を求めたが、これに限らず、基準円筒での代用が可能
である。この場合、基準円筒を円として、円の中心とそ
の時の測定高さを、基準球の中心に置き換えればよい。
標を求めたが、これに限らず、基準円筒での代用が可能
である。この場合、基準円筒を円として、円の中心とそ
の時の測定高さを、基準球の中心に置き換えればよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る座標測
定機用ロータリテーブルの校正方法によれば、第３の基
準球に基づいて予め求められた回転中心と、新たに求め
られた第３の基準球の回転中心との座標差を求め、この
座標差でロータリテーブルの回転中心をを補正すること
により、第１、第２の基準球を使用せずにロータリテー
ブルを高精度に校正することができる。
定機用ロータリテーブルの校正方法によれば、第３の基
準球に基づいて予め求められた回転中心と、新たに求め
られた第３の基準球の回転中心との座標差を求め、この
座標差でロータリテーブルの回転中心をを補正すること
により、第１、第２の基準球を使用せずにロータリテー
ブルを高精度に校正することができる。
【００２２】従って、固定用治具を除去せずに、ロータ
リテーブルを高精度に校正することができる。
リテーブルを高精度に校正することができる。
【図１】本発明に係る座標測定機用ロータリテーブルの
校正方法に使用されるロータリテーブルを備えた三次元
座標測定機の斜視図
校正方法に使用されるロータリテーブルを備えた三次元
座標測定機の斜視図
【図２】本発明に係る座標測定機用ロータリテーブルの
校正方法に使用されるロータリテーブルの斜視図
校正方法に使用されるロータリテーブルの斜視図
【図３】従来の座標測定機用ロータリテーブルの校正方
法に使用されるロータリテーブルの斜視図
法に使用されるロータリテーブルの斜視図
【図４】従来の座標測定機用ロータリテーブルの校正方
法に使用されるロータリテーブルの斜視図
法に使用されるロータリテーブルの斜視図
４２…プローブ ５０…ロータリテーブル ５２…第３の基準球 ５４…固定治具 ５６…第１の基準球 ５８…第２の基準球 Ｏ4 …第１の基準球の回転中心（ロータリテーブルの回
転中心） Ｏ5 …第２の基準球の回転中心 Ｏ6 …予め求められた第３の基準球の回転中心 Ｏ7 …第３の基準球の新たな回転中心 Ｖ3 …ロータリテーブルの傾き
転中心） Ｏ5 …第２の基準球の回転中心 Ｏ6 …予め求められた第３の基準球の回転中心 Ｏ7 …第３の基準球の新たな回転中心 Ｖ3 …ロータリテーブルの傾き
Claims (1)
- 【請求項１】 三軸方向に移動自在なプローブが設けら
れると共に測定テーブルにロータリテーブルが設けられ
た座標測定機用ロータリテーブルの校正方法において、 ロータリテーブルを回転して、ロータリテーブルの回転
中心近傍に設けられた第１の基準球の回転中心を求め、 ロータリテーブルを回転して、ロータリテーブルの回転
中心近傍に設けられた第１の基準球と高さの異なる第２
の基準球の回転中心を求め、 第１、第２の基準球の回転中心のいずれか一方をロータ
リテーブルの回転中心と設定し、かつ、第１、第２の基
準球の回転中心を通る直線の傾きをロータリテーブルの
傾きと設定し、 ロータリテーブルを回転して、ロータリテーブル上に被
測定物の固定治具を回避して設けられた第３の基準球の
回転中心を予め求め、 周囲の温度環境の変化等で、ロータリテーブルの新たな
校正が必要となった時、新たにロータリテーブルを回転
して、ロータリテーブル上に被測定物の固定治具を回避
して設けられた第３の基準球の新たな回転中心を求め、 前記予め求められた第３の基準球の回転中心と第３の基
準球の新たな回転中心との座標差を求め、 該求められた座標差で前記求めたロータリテーブルの回
転中心を補正して新たなロータリテーブルの回転中心を
求め、 前記求めたロータリテーブルの傾き及び新たに求めたロ
ータリテーブルの回転中心を被測定物測定時のロータリ
テーブルの校正用データとすることを特徴とする座標測
定機用ロータリテーブルの校正方法。
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|---|---|---|---|
| JP4006993A JP2904248B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 座標測定機用ロータリテーブルの校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP4006993A JP2904248B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 座標測定機用ロータリテーブルの校正方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06249641A true JPH06249641A (ja) | 1994-09-09 |
| JP2904248B2 JP2904248B2 (ja) | 1999-06-14 |
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| JP4006993A Expired - Fee Related JP2904248B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 座標測定機用ロータリテーブルの校正方法 |
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|---|---|
| JP2904248B2 (ja) | 1999-06-14 |
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