CN1317541C - 载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法 - Google Patents

Abstract

一种载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法，具有载置作为测定或加工的对象的工件的载置面的载置台包括：支承机构，其支承载置台，为使载置台在加工成平面的平台上移动或旋转自如，可将载置台从该平台浮起，或将载置台固定支承在所述平台上；多个基准，其用于测定载置台的多种姿势，检测各姿势下载置台的位置和旋转。

Description

载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法

本申请主张基于其内容在此作为参照采用的2004年4月8日申请的日本特许申请2004-113933的外国优先权。

技术领域

本发明涉及载置作为加工或测定对象的工件的载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法。特别是涉及可以以多种姿势测定工件并综合其测定结果的载置台、表面特性测定机及表面特性测定装置。

背景技术

在通常的测定机中，其可测定范围和测定方向受到限制，这样，不能测定超过测定范围的大型工件或必须从多个方向进行测定的工件。因此，在测定这样的工件时，使用如下方法，使测定机在装配的工件周围移动，进行工件各部分的测定，收集个别数据，并综合这些个别数据(例如，特开平11-6728号公报(下面称为专利文献1))。

记载于专利文献1中的形状测定装置中，在大型的被测物附近预先设置具有预先精密测定的基准点群的测定用规尺，在移动测定机测定被测定物时，也测定好该基准点群。然后，从该基准点群的测定结果求出移动的测定机的位置关系，综合被测定物的坐标数据，把握整体形状。

另外，具有如下发明，通过在移动测定机或被测定物时使用具有气垫的测定用辅助台，可轻快地移动测定机或被测定物(例如特开平7-181031号公报(下面称为专利文献2))。

但是，具有如下问题，对大型工件或必须从多个方向进行测定、加工的工件，在使测定机或加工机沿工件移动，进行测定、加工时，除装配工件的空间之外，还需要移动、设置测定机、加工机的空间，特别是在大型工件的情况下，空间效率不好。

特别是在精密测定、加工工件时，必须将该工件和测定机或加工机双方载置在平台上，使测定机或加工机沿工件的周围移动，进行测定、加工。因此，需要大型的平台，特别是在大型工件的情况下，需要极大型的平台。但是，这样的大型平台价格高，且在维护时需要极大的时间和费用。另外，由于在其整个设置面积上需要进行牢固的基础施工，故需要高昂的费用，且确保大的设置面积本身就很困难。

此时，每次必须与工件配合在其周围设置具有基准点的基准规尺，存在测定程序或加工程序需要大量时间这样的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种载置台、使用该载置台的表面特性测定机及表面特性测定方法，其与相关技术的大型平台相比用小型的平台就可以以不同的姿势、方向测定工件并综合其测定结果，或可为了能以不同的姿势、方向加工工件测定其姿势、方向。

但是，本发明不限于实现上述目的。也可以实现在此未叙述的其它目的。另外，本发明也可以不影响发明的范围而实现未公开的目的。

为实现上述目的，本发明的载置台具有可相对于平台将该载置台浮起或固定的支承机构和多个基准。

在此，所谓在载置台上具有多个基准，除将基准直接设置在载置台上的结构外，还包括将多个基准设置在基准规尺上，并将该基准规尺固定在载置台上的结构、或将多个单一基准设置在工件上的结构。

通过该结构，可在将工件向载置台的载置面载置后的状态下，利用支承机构使载置台自平台浮起，故可轻快地进行载置台的移动。

另外，由于可在平台上旋转载置台，故在进行使用测定机的测定时，容易使工件的测定面与用于测定的检测器相对向。这样，由于可将载置台(即工件)旋转，将其测定面朝向检测器，故与沿工件周围移动测定机的相关技术的装置相比，可减小平台的尺寸。其结果是，由于不仅不需要确保用于测定的宽大的空间，还可利用比相关技术的平台小的小型平台，故可提高费用效率。

另外，由于在载置台上设置多个基准，故不需要每当针对大型工件时在其周围设置具有基准点的基准规尺，可提高测定程序的效率。

另外，通过设置多个基准，在利用测定机进行测定时，通过在测定机可测定的范围配置这些基准，按每个姿势测定该基准，从而即使在进行了载置台的移动或载置台的旋转时，也可以根据这些基准测定数据计算载置台移动后或旋转后的相对位置关系，所以，可高精度地综合各姿势下的测定数据，准确地把握工件的整体图像。

在本发明中，上述基准至少含有基准球或基准板中的任一个。

这样，在基准包括基准球的情况下，由于可通过测定三个位置以上的该基准球的表面计算基准球的中心位置，故可高精度地求出载置台的姿势。

另外，在基准包括基准板的情况下，由于可通过测定基准板上的多个点计算基准板的倾斜状态或位置，故可容易地求出载置台的姿势。

在本发明中，作为上述支承结构使用静压液体轴承。

这样，如果使用静压液体轴承，可通过从形成轴承面的衬垫向平台喷出例如空气使载置台浮起，另一方面，可通过使空气流入的方向反向，从平台侧向衬垫内吸引空气，使该衬垫作为吸附垫起作用，将载置台牢固地固定在平台上，因此，结构变地简单。

在此，作为衬垫的材质可使用公知的材料，也可以使用例如橡胶制或多孔质金属等衬垫。

为实现上述目的，本发明的表面特性测定机包括：底座、测定工件的检测器、移动自如地支承该检测器的检测器支承机构、测定该检测器位置或角度的测定器，在该底座上载置上述载置台。

根据本发明，由于可将载置载置台的平台即底座小型化，故可不必将测定机大型化而测定大型的工件，故可大幅度提高费用、空间效率等。

为实现上述目的，本发明的表面特性测定方法包括：使用上述表面特性测定机使载置了工件的载置台在底座上移动或旋转并定位为规定姿势的定位步骤；以规定的姿势将载置台固定在上述底座上的固定步骤；在规定的姿势下测定可测定的多个基准并收集基准测定数据的基准测定步骤；在规定的姿势下根据需要收集工件的工件测定数据的工件测定步骤；根据需要重复进行定位步骤、固定步骤、基准测定步骤、工件测定步骤的重复步骤；根据基准测定数据计算载置台相对于底座的各姿势的姿势计算步骤；根据载置台各姿势的计算结果连接在各姿势下收集的工件测定数据，生成综合测定结果的工件测定数据综合步骤。

根据本发明，由于可高精度地连接或合成综合以载置台不同的姿势测定的测定数据，故可准确地把握整体形状。

根据本发明，由于可轻快地使载置工件的载置台移动、旋转，故在例如利用测定机进行测定时，即使测定位置超出测定机的测定范围，也可以容易地将测定机的检测器向工件的测定位置相对地定位。

另外，通过使载置台旋转，可使用更小的平台或底座进行工件的测定。

另外，由于可从多个基准测定数据计算使载置台移动、旋转时的载置台的各种姿势(即工件的各种姿势)，故可高精度地连接或合成综合各种姿势下的工件测定数据。其结果可容易准确地把握整体形状。

附图说明

图1是本发明第一不典型性限定的实施例的表面特性测定机的侧面图；

图2是本发明第一不典型性限定的实施例的表面特性测定机的平面图；

图3是本发明第一不典型性限定的实施例的载置台的基准的立体图；

图4是本发明第一不典型性限定的实施例的支承机构的剖面图；

图5是本发明第一不典型性限定的实施例的数据处理装置的方框图；

图6是表示本发明的表面特性测定方法的流程图；

图7是说明本发明第一不典型性限定的实施例的测定步骤的图；

图8是说明本发明第一不典型性限定的实施例的另一测定步骤的图；

图9是本发明第二不典型性限定的实施例的载置台的基准的立体图；

图10是本发明第二不典型性限定的实施例的基准的测定方法的说明图；

图11是本发明第三不典型性限定的实施例的载置台的剖面图；

图12是本发明的第三不典型性限定的实施例的载置台的吸附机构的剖面图；

图13是本发明第四不典型性限定的实施例的载置台的侧面图；

图14是表示本发明第四不典型性限定的实施例的载置台的变形例的侧面图；

图15是表示本发明第四不典型性限定的实施例的载置台的另一变形例的侧面图；

图16是表示本发明第四不典型性限定的实施例的载置台的又一变形例的侧面图。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的最优实施例。

实施例1

图1是表示将本发明第一不典型性限定的实施例的载置台10载置于作为平台的底座1上的表面特性测定机100的侧面图。图2表示其平面图。

载置台10的台主体T的上面构成工件载置面，载置工件W。在台主体T的侧面上部将多个基准R以规定的间隔设置在载置台T的周围，使前端设有基准球Rs的支柱Rt向侧方(图1中纸面的左右方向及纸面垂直方向)突出(参照图3)。该多个基准球Rs的各中心位置的相对位置关系被提前精密地测定。

在台主体T的下面将作为支承机构S的空气轴承设置在台主体T的四角，可利用该空气轴承使载置台10从底座1浮起，或将载置台10固定在底座1上。

图4表示支承机构S，空气轴承部表示其剖面结构。空气轴承部的水平剖面为大致圆形，在其外筒S0的内部内装有衬垫S1、空隙部S2、配管连接部S3。配管连接部S3通过配管S4与压力源S6连接。在配管的中途介装有切换阀S5。

衬垫S1由多孔质材料(多孔金属)形成，设有贯通表背(图4中的上和下)面的无数微小孔。

当压力源S6通过未图示的开关被起动时，其压缩空气通过切换阀S5和配管S4向空隙部S2供给，压缩空气从衬垫S1的微小孔向底座1喷出给予衬垫S1浮升力，使载置台10从底座1浮起。由于在该浮起状态下消除了摩擦力和工件的重力，故可轻快地进行载置台10(即工件W)的移动、旋转。

在规定的位置(姿势)使载置台10定位后，当通过未图示的开关切换压力源S6，使其作为负压源产生负压时，空隙部S2的空气通过配管S4被吸引，故衬垫S1从底座1侧吸引空气。通过该操作，衬垫S1作为吸附垫起作用，将载置台10吸附固定在底座1上。

另外，切换阀S5根据需要将配管S4的内部空气向大气开放。

表面特性测定机100包括：底座1，其上面被加工成平面；测定机构，其设置在底座1的后侧(图1中纸面的左侧)；数据处理装置20(参照图5)。

测定机构包括：检测器2，其前端具有测定工件W的测头3；检测器支承机构4，其支承该检测器使其相对于底座1在正交的三个轴方向(X轴、Y轴、Z轴)移动自如；测定机(直线检测元件)5，其测定检测器的三个正交轴向位置。

在此，检测器支承机构4包括：X轴导向机构40，其设于底座1上；X轴滑块41，其由导向机构40在X轴方向(图1中的纸面垂直方向)导向且移动自如；Z轴滑块42，其沿X轴滑块41被导向Z轴方向(图1中纸面的上下方向)且移动自如；Y轴滑块43，其沿Z轴滑块42被导向Y轴方向(图1中纸面的左右方向)且移动自如。在Y轴滑块43的一端(图1中纸面的右侧)设有检测器2。

由于这些X轴滑块41、Y轴滑块42、Z轴滑块43的位置通过测定机5(X轴直线检测元件、Y轴直线检测元件、Z轴直线检测元件)测定，故检测器2的测头3的位置(球状测头3的中心位置)由测定器5的值被唯一性确定。

图5所示的数据处理装置20从检测器2和测定器5的测定结果综合工件W在各姿势下的测定结果，生成综合测定结果，将其输出。

数据处理装置20包括：基准测定部21，其在载置台10的各种姿势下测定多个基准，存储该基准测定结果；载置台姿势计算部23，根据基准测定结果计算载置台对底座1的各种姿势；工件测定部22，其在载置台10的各种姿势下测定工件W，存储该工件测定结果；工件测定结果综合部24，其根据利用载置台姿势计算部23计算的载置台的姿势将存储于工件测定部22的该姿势下的工件测定结果变换为综合坐标，连接变换为综合坐标的各工件测定结果生成综合测定结果。

利用图6的流程图说明通过这样构成的表面特性测定机100测定工件W的步骤。

在步骤S10的测定步骤开始时，予先测定各基准的相对位置关系，但由于基准固定地设置在载置台10上，故不必在每一次工件时重新测定测定基准相对位置关系。

在步骤S20中，利用支承机构S使载置台10浮起，将载置台10定位为如图2所示的姿势。

其次，在步骤S30中，将支承机构S的衬垫S1切换为吸附状态，将载置台10固定在底座1上，构成第一姿势。

然后，在步骤S40中，分别在三个位置测定该第一姿势下的基准R1、R2、R3的基准球表面，将其结果(基准测定数据)存储到基准测定部21。

其次，在步骤S50中，进行该第一姿势下的工件W的测定，将工件测定结果(工件测定数据)存储到工件测定部22。

然后，在步骤S60中，判断工件W的全部测定是否完成，在尚未完成全部测定时，返回步骤S20。在全部测定完成时，进行步骤70。

从步骤S60返回步骤S20时，在步骤S20和步骤S30中，将工件W定位被固定为第二姿势，图7表示此时的第二姿势。

在该第二姿势中，在步骤S40中进行基准R4、R5的测定，在步骤S50中进行工件W的测定。

下面同样，将载置台10旋转、定位，构成第三姿势、第四姿势，分别进行测定。由于本实施例中所示的工件W为大致长方六面体，故可由从第一到第四的四种姿势的测定完成全部测定，但只要对应工件形状选择必要的姿势，进行从第一到第n的n种姿势的测定即可。

其次，在步骤S70中，计算载置台10的各姿势(例如从第一姿势到第四姿势的各姿势)。在此，由于基准R1～R10的各基准的相互位置关系被子先测定，是已知的，故根据存储于基准测定部21的基准测定结果在载置台姿势计算部23计算载置台相对底座1的各姿势。即，从表面特性测定机100的XYZ坐标系中基准R1～R10的测定结果和各基准已知的相互位置关系求出XYZ坐标系中载置台10的各姿势时的位置和倾斜。

然后，在步骤S80中，由工件测定结果综合部24生成综合测定结果。在该步骤S80的处理中首先确定综合坐标系。该综合坐标系只要是可决定和表面特性测定机的XYZ坐标系的关系(位置、倾斜)的坐标系，则可由XYZ坐标系变换得到，因此，虽然可以是任何坐标系，但在此为说明的方便，说明以表面特性测定机100的XYZ坐标系为综合坐标系的例子。

由于计算出了XYZ坐标系中载置台的姿势(位置、倾斜)，故根据其结果将各姿势下的工件W的测定结果变换为无错位和倾斜的XYZ坐标系。然后，通过合成、连接变化后的各姿势下的各个工件测定结果，生成工件测定结果的综合测定结果。

然后，在步骤S90中，将该综合测定结果输出(显示输出、打印输出、向存储装置存储、向外部输出装置输出等)，完成处理。

在该第一不典型性限定的实施例中以各基准的相对位置关系已知为前提进行了说明，但也可以是各基准的相对位置关系不一定已知。

在各基准的相对位置关系未知时，设置可测定在例如第一姿势和第二姿势中测定的基准两者的中间姿势，在该中间姿势只要可测定由第一姿势测定的至少两个基准和由第二姿势测定的至少两个基准即可。

例如，在第一不典型性限定的实施例中各基准的相对位置关系未知时，可通过在图8所示的中间姿势下测定基准R2、R3、R4、R5，求出第二姿势相对第一姿势的位置和倾斜，故最终可生成工件测定结果的综合测定结果。在该第一不典型性限定的实施例中，同样只要设置可测定在第二姿势和第三姿势测定的基准R4、R5、R6、R7的中间姿势和可测定在第三姿势和第四姿势中测定的基准R7、R8、R9、R10的中间姿势即可。

这种情况下，只要通过可测定在第四和第一姿势测定的基准R9、R10、R1、R2的中间姿势测定这些基准，则可将测定数据的合成、连接中的误差限制在最小限度。

实施例2

下面，利用图9说明本发明第二不典型性限定的实施例的表面特性测定机。

在第一不典型性限定的实施例中所示的载置台10中，在台主体T的侧面上部以规定的间隔在载置台T的周围设置了多个基准R，使在前端设有基准球Rs的支柱Rt向侧方(图1中纸面的左右方向及纸面的垂直方向)突出，但在第二不典型性限定的实施例中，利用图9所示的基准板Rp代替该基准球Rs和支柱Rt，构成基准。

由于其他方面和第一不典型性限定的实施例相同，故省略说明。

基准板Rp为平面被加工后的长方六面体形状，和第一不典型性限定的实施例相同，在台主体T的侧面上部的多个位置设置该基准板Rp。

作为一例，基准板Rp3的作为基准的位置可设定成图9所示的三个棱线交点Rep3。此时，通过在三个面进行每三个位置的测定，确定各面，求出其交点，可求出基准位置Rep3。

这样，即使使用基准板Rp，也可以和使用基准球Rs时相同，生成工件测定结果的综合测定结果。

在此，作为变形例，通过图10说明简单的基准的测定方法。

载置台10固定在作为平台的底座1上，测定工件W，但由于通常底座1为平面，且与表面特性测定机100的XYZ坐标系的XY平面平行，故在进行各基准的测定时，往往可以简单地测定Z轴坐标值。在这样的情况下，Z轴方向的基准坐标值可代替基于各基准的测定，测定载置台10的载置面的Z轴坐标。

此时，在进行各姿势下的各基准的测定时，只要可以测定XY平面内的载置台10的位置和倾斜即可。在图10所示的例中，通过测定例如基准板Rp3的第一面中的点p1和p2，并测定基准板Rp2的第二面中的点p3和载置台的载置面的上面，可确定基准板Rp3的基准位置Rep3。图10所示的基准板Rp4也相同。

其结果可分别求出基准板Rp3设置面的方向d3和基准板Rp4设置面的方向d4，它们的交角也可以求出。

这样，由于可求出各基准的位置和倾斜，故即使在进行该简易测定的变形例中，也可以同样生成工件测定结果的综合测定结果。

另外，这里显示了计算方向d1时使用基准板Rp3侧面的点p1和p2的测定结果的例子，但也可以取而代之，从基准板Rp1、Rp2等的侧面的点求出。

实施例3

下面，利用图11说明第三不典型性限定的实施例的表面特性测定机。

在第一不典型性限定的实施例中所示的载置台10中，在其上部仅具有载置工件W的载置面，但在第三不典型性限定的实施例中，在载置台30的载置面上具有吸附工件W的吸附机构。

由于其它方面和第一不典型性限定的实施例相同，故省略说明。

图11表示载置台30的剖面，载置台30的台主体T上部具有吸附机构C。

图12表示吸附机构C的剖面。吸附机构C的水平剖面为大致四方形，其外筒C0的内部装有吸附垫S1、空隙部C2、配管连接部C3。配管连接部C3通过配管C4与负压源C6连接。在配管的中途装有切换阀C5。

衬垫C1由多孔质材料(多孔金属)形成，设有贯通表背面(图12中的上和下)的无数微小孔。

当利用未图示的开关启动负压源C6时，介由配管C4吸引空隙部C2的空气，故衬垫C1从大气吸引空气。通过该操作衬垫C1作为吸附垫起作用，将工件W吸附固定在载置台10的载置面上。

另外，切换阀C5根据需要会将配管C4内部和大气连通。

实施例4

下面，利用图13说明第四不典型性限定的实施例的表面特性测定机。

在第一不典型性限定的实施例中所示的载置台10中，在其上部仅具有载置工件W的载置面，但在第四不典型性限定的实施例中，载置台40包括台主体T1、设置载置面T2和多个基准R的设置部T3和未图示的倾斜机构。设置部T3通过该倾斜机构可和载置面T2成一体相对于台主体T1倾斜。在该图13中表示沿左右方向倾斜之一例，但设置部T3也可以为沿前后方向倾斜的结构。该倾斜机构可进行粗动或微动，可将工件W定位于最佳倾斜位置。

另外，由于作为倾斜机构可采用公知的各种机构，故省略详细说明。由于其它方面和第一不典型性限定的实施例相同，故省略说明。

图14显示作为变形例的载置台50，该载置台50包括台主体T1、设置载置面T2和多个基准R的设置部T3和未图示的移动机构。设置部T3通过该倾斜机构可和载置面T2成一体相对于台主体T1移动。在该图14中表示沿左右方向移动之一例，但设置部T3也可以为沿前后方向移动的结构。该移动机构可进行粗动或微动，可将工件W向最佳位置定位。

由于作为移动机构可采用公知的各种机构，故省略详细说明。由于其它方面和第一不典型性限定的实施例相同，故省略说明。

图15表示作为变形例的载置台60，该载置台60包括台主体T1、设置载置面T2和多个基准R的设置部T3及未图示的升降机构，设置部T3利用该升降机构可和载置面T2成一体相对于台主体T1升降。该升降机构可进行粗动或微动，可将工件W向最佳位置定位。

另外，由于作为升降机构可采用公知的各种机构，故省略详细说明。由于其它方面和第一不典型性限定的实施例相同，故省略说明。

图16表示作为变形例的载置台70，该载置台60包括台主体T1、设置载置面T2和多个基准R的设置部T3及未图示的旋转机构，设置部T3利用该旋转机构可和载置面T2成一体相对于台主体T1旋转。该升降机构可进行粗动或微动，可将工件W向最佳位置旋转定位。

另外，由于作为旋转机构可采用公知的各种机构，故省略详细说明。由于其它方面和第一不典型性限定的实施例相同，故省略说明。

本发明不限于这些实施例。

例如，各实施例中显示了测定大型工件的情况，但即使为小型工件也可根据本发明实现比相关技术的测定机更小型的测定机，因此是极其经济的。

另外，在第一不典型性限定的实施例中显示了使用具有正交坐标系的横型三维测定机作为表面特性测定机之例子，但不限于此，可以使用任何测定机。例如也可以使用表面粗糙度测量仪，轮廓形状测定机，还可以使用具有极坐标系的多关节臂型测定机等，另外，还可以使用复合采用圆筒坐标系及各种坐标系的测定机。也可以介由延长臂安装检测器2或测头3，还可以是可更换检测器2或测头3的测定机。

另外，检测器2除进行接触式测定的之外，也可以是使用激光、静电电容、图像等进行非接触式测定的检测器，除采用点式测定探头外、也可以采用仿形测定探头。

在第一不典型性限定的实施例中显示了载置台的支承机构S在载置台的下面四角设置了四个的结构，但根据承载重量等可以设置一个以上，其数量没有限制。

在第一不典型性限定的实施例中显示了载置台的载置面为平面的结构，但根据工件W的形状，也可以为各种形状。即只要能稳定地载置工件W即可。

另外，也可以使用各种工件的固定夹具。

在第一不典型性限定的实施例(图3)和第二不典型性限定的实施例(图9)中显示了设于载置台上的基准是具有基准球Rs或基准板Rp的基准，但不限于此，只要是可确定位置的基准，则可为任何基准。例如，第一不典型性限定的实施例中，也可以不使用支柱Rt，而将基准球Rs直接固定或埋入台主体。

另外，基准可以为槽部、凸部等，还可以为十字槽部、十字凸部等。

还可以为着色指示器等。

在第一不典型性限定的实施例(图3)和第二不典型性限定的实施例(图9)显示了载置台的侧面具有基准的结构，但不限于此，也可以在载置台的上面具有基准。

也可以为在载置台的上面设置颚部，在该颚部下面设置基准的结构。

另外，以防尘、防锈、防冲击造成的破损等为目的，也可以在这些多个基准的局部或全部上设置罩。

也可以具有用于维持这些基准清净的清洗机构。

在第一不典型性限定的实施例中显示了在载置台上具有多个基准的结构，但不限于此，也可以为在规尺上设置多个基准，并将该规尺固定在载置台上的结构。

也可以为将设有多个基准的规尺固定在工件W上的结构。

另外，也可以为将多个单一的基准固定在工件上的结构。

在第一不典型性限定的实施例中作为载置台的支承机构显示了空气轴承，显示了在固定载置台时将空气轴承的衬垫座放在平台(底座)上的结构，但不限于此，也可以设置和衬垫不同的可上下进退的固定脚，采用在固定载置台时使该固定脚进出而固定在平台上的结构。

在第三不典型性限定的实施例(图11)中显示了设置一个吸附装置的结构，但不限于此，根据需要也可以具有多个吸附机构。另外，作为将吸附垫分割为多个的结构，也可以是使用通用的负压源的结构。

在第四不典型性限定的实施例及其变形例(图13～16)中显示了使设置部T相对于台主体T1倾斜、移动、旋转、升降的结构，但不限于此，也可以是使第一不典型性限定的实施例的载置台10相对于底座1倾斜、移动、旋转、升降的结构。

例如，也可以在载置台的支承机构S包括这些倾斜、移动、旋转、升降结构。

在各实施例中显示了长方六面体，但工件形状是任意的。

实施例中表示的载置台显示了载置工件进行测定的情况，但也可以适用于加工载置的工件的情况。

此时，由于可利用加工机具有的测定机测定载置台的基准，从而测定载置台各姿势的位置和倾斜，故可相对于加工机的加工程序进行坐标变换，从而进行加工处理。

上面详细地参照特定的实施例说明了本发明，但本领域人员可在不脱离本发明的精神和范围的基础上进行各种变更或修正。

如上所述，根据本发明的载置台，可轻快地移动、旋转载置有工件的载置台，故例如在利用测定机进行测定时，即使测定位置超出测定机的测定范围，也可以容易地向工件的测定位置相对地定位测定机的检测器，故测定的自由度提高，同样，加工的自由度也提高。

另外，通过使载置台旋转，可使用更小型的平台或底座进行工件的测定，因此是极其经济的。

另外，由于可从多个基准测定数据计算移动、旋转载置台后的载置台的各姿势(即工件的各姿势)，故可高精度地连接或合成从而综合各姿势下的工件测定数据。其结果可容易地正确把握整体的形状，故即使是需要从多方向测定复杂的工件的复杂形状的工件，也可以高效地进行测定。

根据使用该载置台的表面特性测定机，可实现省空间型的测定机，故是极其经济的。另外根据表面特性测定方法，即使是复杂的工件形状，也可以从最佳的方向进行测定，高精度地综合这些测定结果，故可提高测定效率。

如上所述，本发明可极其有效地在测定、加工领域实施。

Claims (15)

1、一种载置台，具有载置作为测定或加工的对象的工件的载置面，其特征在于，包括：支承机构，其支承载置台，为使载置台在平台上移动、旋转自如，可将所述载置台从所述平台浮起，或将所述载置台固定支承在所述平台上；多个基准，其用于测定所述载置台的多种姿势。

2、如权利要求1所述的载置台，其特征在于，所述多个基准至少包括基准球或基准板中的任一种。

3、如权利要求1所述的载置台，其特征在于，所述多个基准中的各基准的相对位置或相对角度已知。

4、如权利要求1所述的载置台，其特征在于，所述多个基准以规定间隔设置在所述载置台的周围。

5、如权利要求1所述的载置台，其特征在于，所述支承机构是静压流体支承，其具有衬垫，从所述衬垫相对于平台至少喷出或吸引流体。

6、如权利要求1所述的载置台，其特征在于，在所述载置面上还具有包括吸附所述工件的吸附垫的吸附机构。

7、如权利要求5所述的载置台，其特征在于，所述衬垫由多孔质材料构成。

8、如权利要求6所述的载置台，其特征在于，所述吸附垫由多孔质材料构成。

9、如权利要求1所述的载置台，其特征在于，所述载置台包括台主体和设置所述多个基准的设置部，所述载置面和所述设置部可成一体相对于所述台主体至少进行倾斜、移动、旋转、升降中的任一种。

10、一种表面特性测定机，其特征在于，包括：底座，其上面为平面；检测器，其具有测定工件的测头；检测器支承机构，其支承所述检测器使其相对于所述底座移动自如；测定器，其测定所述检测器的至少位置或角度；权利要求1中所述的载置台，其中，在作为所述平台的所述底座上载置所述载置台。

11、如权利要求10所述的表面特性测定机，其特征在于，所述检测器在所述载置台的多种姿势的各姿势下进行所述基准的测定，同时，根据需要进行所述工件的测定，并收集这些测定结果。

12、如权利要求11所述的表面特性测定机，其特征在于，还具有数据处理装置，其根据所述基准的测定结果计算所述载置台相对于所述底座的各姿势，并根据其结果连接在所述各姿势下收集的所述工件的测定结果，生成综合测定结果。

13、如权利要求10所述的表面特性测定机，其特征在于，所述多个基准被直接设置在所述载置台上。

14、一种表面特性测定方法，其特征在于，其使用权利要求10中所述的表面特性测定机测定所述工件的表面特性，包括：使载置有所述工件的所述载置台在所述底座上移动或旋转，并将其定位为规定姿势的定位步骤；以所述规定的姿势将所述载置台固定在所述底座上的固定步骤；测定在所述规定的姿势下可测定的所述多个基准，收集基准测定数据的基准测定步骤；在规定的姿势下根据需要收集所述工件的工件测定数据的工件测定步骤；根据需要重复进行所述定位步骤、所述固定步骤、所述基准测定步骤、所述工件测定步骤的重复步骤；根据所述基准测定数据计算所述载置台相对于所述底座的各姿势的姿势计算步骤；根据所述载置台的各姿势的计算结果连接在所述各姿势下收集的工件测定数据，生成综合测定结果的工件测定数据综合步骤。

15、如权利要求14所述的表面特性测定方法，其特征在于，所述定位步骤包括，利用所述支承机构使所述载置台相对于所述底座浮起，并在浮起的状态下使所述载置台移动或旋转，使其形成规定的姿势，并在该规定的姿势下利用所述支承机构将所述载置台吸附在所述底盘上的步骤。

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