JP2004144682A - 変位測定器の測定子駆動機構 - Google Patents

変位測定器の測定子駆動機構 Download PDF

Info

Publication number
JP2004144682A
JP2004144682A JP2002311802A JP2002311802A JP2004144682A JP 2004144682 A JP2004144682 A JP 2004144682A JP 2002311802 A JP2002311802 A JP 2002311802A JP 2002311802 A JP2002311802 A JP 2002311802A JP 2004144682 A JP2004144682 A JP 2004144682A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
motor
output
scale
work
power
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002311802A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3850364B2 (ja
Inventor
Masashi Tsuboi
坪井 雅士
Hiroshi Yamashiro
山城 弘志
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp, Mitsutoyo Kiko Co Ltd filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP2002311802A priority Critical patent/JP3850364B2/ja
Priority to US10/687,836 priority patent/US7024273B2/en
Priority to EP03023865.3A priority patent/EP1413849B1/en
Publication of JP2004144682A publication Critical patent/JP2004144682A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3850364B2 publication Critical patent/JP3850364B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012Contact-making feeler heads therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/003Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Abstract

【課題】モータ回転検出用のロータリーエンコーダやタコジェネレータを追加することなく、安定した定速送りを可能とする。
【解決手段】モータ18に与えたパワーに応じてスケール20の出力が変化している時は、該スケール20の出力に応じてモータ18に与えるパワーを制御し、モータ18に同じパワーを与え続けているにも拘らず、スケール20の出力変化が小さくなった時は、測定子12がワーク8に接触したと判定して、モータ18に与えるパワーを小さくし、ワークセンサ26の出力が変化した時は、スケール出力とワークセンサ出力のうち、速度変化の大きい方に合わせてモータ18に与えるパワーを制御する。
【選択図】   図3

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、変位測定器の測定子駆動機構に係り、特に、ゴムやばね等の軟質ワークの測定に用いるのに好適な、ワークの変形を抑えつつ、該ワークの変位を測定するための変位測定器の測定子駆動機構の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
比較的大きな測定範囲を有し、且つ、簡便にワークの寸法等を測定し得る変位測定器として、例えば特許文献1、特許文献2等に記載されているように、測定子を、モータによって移動させてワークの表面に所定圧で当接させ、測定子の移動量を検知する形式の変位測定器が知られている。
【0003】
【特許文献1】
特公昭58−10681号公報
【特許文献2】
特公昭59−19283号公報
【0004】
このような変位測定器を改良し、均一、且つ、微小な測定圧で、高精度に測定し得る変位測定器として、出願人は、特許文献3で、モータと連動して往復動し得るスライダに平行リンク機構を設けると共に、この平行リンク機構の一端部に測定子を、他端部に重錘を設け、スライダの測定子側と重錘側との重量バランスにより、測定子を介して所定の測定圧をワークに与えることが可能な変位測定器を提案している。
【0005】
【特許文献3】
特公平7−78403号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来は、モータの回転数を、その逆起電力を利用して検出していたため、逆起電力が小さい低速での制御で検出回路の増幅度を大きくしなければならず、検出された逆起電力に応じて例えばパルス幅制御を行なうためのボリューム調整が難しく、安定度に欠けるという問題点を有していた。
【0007】
一方、モータの逆起電力を使用せず、ロータリーエンコーダやタコジェネレータ等の検出器を別に設けることも考えられるが、新たに検出器を付加しなければならず、コストアップや形状が肥大化するという問題がある。
【0008】
更に、位置測定用のスケールは、ワークに接触した時点で基本的に動作を停止するので、スケール出力のみによって、バランス平衡までのモータ制御を行うことは不可能である等の問題点を有していた。
【0009】
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなれされたもので、新たな機構を付加せずに、低速送りの安定化を図り、低測定力での測定を可能にして、組立時の無調整化、及び、低コスト・小型化を図ることを課題とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ワークの変形を抑えつつ、該ワークの変位を測定するための変位測定器の測定子駆動機構において、測定子を駆動するためのモータと、測定子の変位を検出するためのスケールと、測定子がワークに接触したことを検出するためのワークセンサと、前記モータに与えたパワーに応じてスケールの出力が変化している時は、該スケールの出力に応じてモータに与えるパワーを制御し、モータに同じパワーを与え続けているにも拘らずスケールの出力変化が小さくなった時は、測定子がワークに接触したと判定して、モータに与えるパワーを小さくし、ワークセンサの出力が変化した時は、スケール出力とワークセンサ出力の内、速度変化の大きい方に合わせてモータに与えるパワーを制御する手段と、を備えるようにして、前記課題を解決したものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【0012】
本実施形態は、図1(機械的構成)及び図2(回路構成)に示す如く、上下方向(矢印A方向)に変位可能なスピンドル10の先端(図の下端)に配設された測定子12と、前記スピンドル10が固定されたホルダ22を一辺に含むと共に、スピンドル10と反対側に測定圧を軽減するための重錘24が配設された平行リンク機構20と、該平行リンク機構20を上下方向に移動自在に支持するためのスライダ26と、動力伝達機構30を介して該スライダ26を図の上下方向に駆動するためのモータ32と、前記測定子12の上下方向変位を検出するための、前記ホルダ22の上部に配設された、例えば光電式のスケール40と、矢印B方向に回動可能な、前記平行リンク機構20のリンク部材20Aが所定角度になったことから測定子12がワーク8に接触したことを検出するための角度センサである、例えばフォトカプラでなるワークセンサ42と、前記モータ32に与えたパワーに応じてスケール40の出力が変化している時は、該スケール40の出力に応じてモータ32に与えるパワーを制御し、モータ32に同じパワーを与え続けているにも拘らずスケール40の出力変化が小さくなった時は、測定子12がワーク8に接触したと判定して、モータ32に与えるパワーを小さくし、ワークセンサ42の出力が変化した時は、スケール出力とワークセンサ出力のうち、速度変化の大きい方に合わせてモータ32に与えるパワーを制御するための制御回路を含むメイン基板50(図2)と、角度基板52と、アナログ基板54と、LED表示器56A及びキースイッチ56Bを含む表示基板56とを主に備えている。
【0013】
なお、機械的構成の詳細は特許文献3とほぼ同じである。
【0014】
前記スケール40は、例えば光電式とされ、スピンドル10の上部に固定された、前記平行リンク機構20の一部を構成するホルダ24に下端が固定されたメインスケール40Aと、該メインスケール40Aの上下方向の変位を検出するための変位検出器40Bとを含んで構成されている。
【0015】
前記角度基板52には、前記ワークセンサ42の出力により角度検出を行う回路52Aが搭載されている。
【0016】
前記アナログ基板54には、図2に詳細に示す如く、前記変位検出器40Bのドライバ54Aと、スピンドル10の上限位置を検出してリミットをかけるための上点検出回路54Bと、過電流からモータ32を保護するためのモータ電流検出回路54Cとが搭載されている。
【0017】
前記メイン基板50には、前記ドライバ54Aの出力を受けるレシーバ50Aと、モータ32のドライバ50Bと、A/Dコンバータ、ROM、RAM、パルス幅変調器(PWM)を含むマイクロコンピュータ50Cと、そのEEROM50Dと、I/Oバッファ50Eと、I/Oドライバ50Fと、例えばRS232Cによる通信を行なうための通信用ドライバ50Gと、表示基板56のLED表示器56Aを駆動するためのLEDドライバ50Hと、同じく表示基板56上のキースイッチ56Bを駆動するためのキー(KEY)バッファ50Iとを含んでいる。
【0018】
前記マイクロコンピュータ50Cにおけるモータ制御は、図3に示すようなアルゴリズムに従って行なわれる。即ち、ポジションメモリ(PM)に記憶された目標到達位置と現在位置の差に応じたPM速度指令による制御と、スケール40出力のデータとワークセンサ42出力のデータによる制御を状況により切換えながら、モータ制御を行なう。
【0019】
具体的には、金属ブロック等の硬質ワークの場合には、図4に示す如く、ワークセンサ42の出力変化によりワーク接触が検知されるまでは、通常のスケール40の出力による速度制御(スケール速度制御と称する)を行ない、ワーク8との接触によりワークセンサ42の出力が変化し始めたときは、スケール40とワークセンサ42のうち速度変化の大きい方に合わせて制御を行なう(スケール+センサ)。
【0020】
一方、ゴムやプラスチック等の軟質ワークの場合、ワークが変形し易いため、ワークに接触してもワークセンサ42の出力が変化しない期間が存在する。そこで、図5に示す如く、スケール速度制御領域と同じパワーをモータ32にかけているにも拘らず、スケール40の速度が落ち始めたとき、ワーク8に接触したと判断し、速度目標値を微速度に設定し直して、モータへのパワーコントロールを行なう(スケール微速度制御)。そして、ワークセンサ42の出力が変化し始めたときには、スケール出力とワークセンサ出力のうち、速度変化の大きい方に合わせて制御を行なう(スケール+センサ)。
【0021】
本実施形態によれば、図6に示す如く、ワークセンサ42の出力を使用した測定値の自動ホールドや自動退避も可能である。即ち、図6(A)に示す如く、測定子12を下降して図6(B)でワーク8に接触したことがワークセンサ42の出力により検出された時は、データを取り込んで表示値をホールドすると共に、図6(C)に示す如く測定子12を上方に退避させる。このようにして、ワーク8の変形を最小に抑えた自動測定が可能になる。
【0022】
又、図7に示す如く、ワークセンサ42の出力を使用した複数ワークの自動最大・最小測定も可能である。即ち、図7に最大測定の場合で例示する如く、ワーク8A、8B、8Cと順次測定していき、測定子12を下降した時にワーク8に早く接触した時のみピーク値を更新していけば、複数ワークの最大値が測定できる。逆に、ワークに遅く接触した時のみピーク値を更新していけば、最小値を測定することができる。
【0023】
又、例えば3つ迄のスピンドル位置を記憶可能としたポジションメモリ(PM)の値を利用して、図8に示す如く、高い位置再現性(例えば表示値に対して±1μm)で、設定高さPM1までは高速、それ以下は低速として、低速でワーク表面に接触するように制御することもできる。
【0024】
このようにすれば、シーケンサや専用のマイクロコンピュータを用いることなく、変位測定器のみで自立した自動測定が可能になる。
【0025】
本実施形態においては、スケール40として光電式スケールを用いているので、非接触且つ高精度で測定子12の上下方向位置を測定することができる。なお、スケールの種類は光電式に限定されず、静電容量式等の他の直線型スケール、あるいはロータリースケールを用いることも可能である。
【0026】
又、本実施形態においては、ワークセンサ42としてフォトカプラを用いているので、非接触でリンク部材20Aの変位を検出することができる。なお、ワークセンサの種類はフォトカプラに限定されず、歪みケージや電気マイクロゲージ等を用いることも可能である。
【0027】
モータ32の種類も通常の回転モータに限定されず、リニアモータ、リニアアクチュエータ、ピエゾ、超音波、ロータリー等、他のモータを用いることも可能である。
【0028】
測定子12を低い測定圧で保持する機構も平行リンク機構20に限定されず、平行板ばねやリニアガイドを用いることも可能である。
【0029】
【発明の効果】
本発明によれば、モータ回転検出用のロータリーエンコーダやタコジェネレータ等の新たな機構を付加せずに低速送りを安定化して、低測定力での測定が可能となる。従って、例えばパルス幅制御用のボリュームを廃止して、組立時の無調整化を図ると共に、低コスト・小型化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る変位測定器の実施形態の機械的構成を示す断面図
【図2】同じく電気回路の構成を示すブロック図
【図3】同じくモータ制御のアルゴリズムを示す流れ図
【図4】同じく硬質ワーク測定時の制御方法を示すタイムチャート
【図5】同じく軟質ワーク測定時の制御方法を示すタイムチャート
【図6】同じく測定アルゴリズムの1つであるワークセンサを使用した測定値の自動ホールド/自動退避の様子を示す正面図
【図7】同じくワークセンサを使用した複数ワークの自動最大測定の様子を示す正面図
【図8】同じくポジションメモリを利用した測定状態を示す正面図
【符号の説明】
8、8A、8B、8C…ワーク
10…スピンドル
12…測定子
20…平行リンク機構
20A…リンク部材
22…ホルダ
24…重錘
30…動力伝達機構
32…モータ
40…スケール
40A…メインスケール
40B…変位検出器
42…ワークセンサ
50…メイン基板
50C…マイクロコンピュータ
52…角度基板
54…アナログ基板
56…表示基板

Claims (1)

  1. ワークの変形を抑えつつ、該ワークの変位を測定するための変位測定器の測定子駆動機構において、
    測定子を駆動するためのモータと、
    測定子の変位を検出するためのスケールと、
    測定子がワークに接触したことを検出するためのワークセンサと、
    前記モータに与えたパワーに応じてスケールの出力が変化している時は、該スケールの出力に応じてモータに与えるパワーを制御し、モータに同じパワーを与え続けているにも拘らずスケールの出力変化が小さくなった時は、測定子がワークに接触したと判定して、モータに与えるパワーを小さくし、ワークセンサの出力が変化した時は、スケール出力とワークセンサ出力の内、速度変化の大きい方に合わせてモータに与えるパワーを制御する手段と、
    を備えたことを特徴とする変位検出器の測定子駆動機構。
JP2002311802A 2002-10-25 2002-10-25 変位測定器の測定子駆動機構 Expired - Fee Related JP3850364B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002311802A JP3850364B2 (ja) 2002-10-25 2002-10-25 変位測定器の測定子駆動機構
US10/687,836 US7024273B2 (en) 2002-10-25 2003-10-20 Probe driving mechanism for displacement measuring apparatuses
EP03023865.3A EP1413849B1 (en) 2002-10-25 2003-10-21 Probe system for coordinate measuring machines

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002311802A JP3850364B2 (ja) 2002-10-25 2002-10-25 変位測定器の測定子駆動機構

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004144682A true JP2004144682A (ja) 2004-05-20
JP3850364B2 JP3850364B2 (ja) 2006-11-29

Family

ID=32064389

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002311802A Expired - Fee Related JP3850364B2 (ja) 2002-10-25 2002-10-25 変位測定器の測定子駆動機構

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7024273B2 (ja)
EP (1) EP1413849B1 (ja)
JP (1) JP3850364B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007024895A (ja) * 2005-07-20 2007-02-01 Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg 測定器を保持するための測定スタンド
JP2007033417A (ja) * 2005-07-21 2007-02-08 Dyadic Systems Co Ltd 量産用機械加工部品寸法検査装置

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009216548A (ja) * 2008-03-11 2009-09-24 Mitsutoyo Corp 測定装置
US8745889B2 (en) * 2009-03-18 2014-06-10 Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik Measurement stand and method of its electrical control
KR101664203B1 (ko) * 2009-05-12 2016-10-10 삼성전자 주식회사 태양전지를 구비하는 휴대 단말기의 충전 정보 제공 방법 및 장치
DE112014002974T5 (de) 2013-06-24 2016-06-09 Dcg Systems, Inc. Sondenbasierendes Datensammelsystem mit adaptiver Sonden-Untersuchung gesteuert durch lokale Eigenschaften der Probe
KR102352023B1 (ko) 2014-06-25 2022-01-14 디씨지 시스템스 인코포레이티드 반도체 웨이퍼 상에서 인-라인 나노프로빙을 수행하기 위한 시스템 및 반도체에서 디바이스들의 전기적 테스팅을 수행하는 방법

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3633011A (en) * 1968-08-29 1972-01-04 Ibm Method and apparatus for precisely contouring a workpiece imprecisely positioned on a supporting fixture
JPS5810681B2 (ja) 1974-03-09 1983-02-26 カブシキガイシヤ ミツトヨセイサクシヨ テイソクテイアツオアタエル ソクテイキ
JPS5919283B2 (ja) 1977-11-14 1984-05-04 株式会社三豊製作所 寸法測定器
US4428055A (en) * 1981-08-18 1984-01-24 General Electric Company Tool touch probe system and method of precision machining
US4882848A (en) * 1987-07-30 1989-11-28 Carl-Zeiss-Stiftung, Heidenheim/Brenz Probe head for a coordinate-measuring instrument
DE3728578A1 (de) * 1987-08-27 1989-03-09 Zeiss Carl Fa Tastsystem fuer koordinatenmessgeraete
JPH0778403B2 (ja) 1989-02-22 1995-08-23 株式会社ミツトヨ 寸法測定機
DE4245012B4 (de) * 1992-04-14 2004-09-23 Carl Zeiss Verfahren zur Messung von Formelementen auf einem Koordinatenmeßgerät
DE4420137A1 (de) * 1994-06-09 1995-12-14 Zeiss Messgeraetebau Gmbh Meßgerät zur Überprüfung der Abmessungen von zylindrischen Werkstücken
JPH08122045A (ja) * 1994-10-19 1996-05-17 Nippon Thompson Co Ltd 物品計測装置
JPH09189502A (ja) 1996-01-08 1997-07-22 Tokyo Seimitsu Co Ltd 外形寸法測定装置
US5822877A (en) * 1996-06-20 1998-10-20 Brown & Sharpe Manufacturing Company Multi-probe system for dimensional metrology
JPH10307305A (ja) 1997-03-07 1998-11-17 Toshiba Corp アレイ基板、液晶表示装置及びそれらの製造方法
JP3474402B2 (ja) * 1997-07-17 2003-12-08 株式会社ミツトヨ 測定器
JP3696432B2 (ja) * 1999-04-13 2005-09-21 株式会社ミツトヨ 一次元測定機
TW478014B (en) 1999-08-31 2002-03-01 Semiconductor Energy Lab Semiconductor device and method of manufacturing thereof
JP3799943B2 (ja) 2000-03-17 2006-07-19 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置およびプロジェクタ
KR100481593B1 (ko) 2000-04-21 2005-04-08 세이코 엡슨 가부시키가이샤 전기 광학 장치
WO2001091664A1 (fr) * 2000-05-29 2001-12-06 Kabushiki Kaisya Advance Systeme de mesurage/usinage s'appliquant a la dentisterie
JP3731447B2 (ja) 2000-06-15 2006-01-05 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及びその製造方法
JP2002131778A (ja) 2000-10-23 2002-05-09 Seiko Epson Corp 電気光学装置用基板およびこれを備えた電気光学装置並びに電子機器
JP3849434B2 (ja) 2001-02-14 2006-11-22 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及び投射型表示装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007024895A (ja) * 2005-07-20 2007-02-01 Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg 測定器を保持するための測定スタンド
JP2007033417A (ja) * 2005-07-21 2007-02-08 Dyadic Systems Co Ltd 量産用機械加工部品寸法検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20040133300A1 (en) 2004-07-08
US7024273B2 (en) 2006-04-04
JP3850364B2 (ja) 2006-11-29
EP1413849A3 (en) 2004-07-21
EP1413849A2 (en) 2004-04-28
EP1413849B1 (en) 2014-05-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1152209B1 (en) Form measuring sensor and form measuring instrument
EP1760422B1 (en) Surface profile measuring instrument
EP1503174B1 (en) Acceleration compensated scanning probe
US7788820B2 (en) Method and device for contacting a surface point on a workpiece
JP3834817B2 (ja) 測定ヘッド
EP1382934A3 (en) Surface profile measuring instrument and surface profile measuring method
US6194811B1 (en) Drive apparatus
EP2141445B1 (en) Measuring instrument
JP2004144682A (ja) 変位測定器の測定子駆動機構
EP1090699B1 (en) Bending machine and its operation method
JP4892736B2 (ja) 卵殻強度測定方法および装置
JP4034906B2 (ja) 表面性状測定機
JP5199582B2 (ja) 接触式プローブの倣い制御方法及び接触式測定機
JP3784273B2 (ja) ワーク形状測定センサおよびワーク形状測定装置
JP2006218481A (ja) 圧痕加工装置及び圧痕加工方法
JP3696431B2 (ja) 一次元測定機
JP4141602B2 (ja) 硬さ試験機
JP2003202359A (ja) 接触子の接触圧力制御装置
JP2600376Y2 (ja) プロッタにおける用紙検出装置
JPH0236086Y2 (ja)
SU1392343A1 (ru) Устройство дл измерени размеров
JP3071629B2 (ja) 自動寸法測定器
JP3144239U (ja) 変位センサ
JP2021032688A (ja) 形状測定装置
CN108871255A (zh) 接触式直径自动测量仪

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050726

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060525

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060606

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060621

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060822

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060829

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3850364

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120908

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120908

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150908

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees