JP3784273B2 - ワーク形状測定センサおよびワーク形状測定装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワーク形状測定センサおよびワーク形状測定装置に係り、詳しくは、ワーク表面にスタイラスを接触させてワークの形状を倣い測定するワーク形状測定センサおよびワーク形状測定装置に関する。
【０００２】
【背景技術】
従来より、ワークの表面形状の測定を行う際に、三次元測定機を用いることが知られている。
三次元測定機によって測定されるワークとしては、たとえば、ねじ穴や、ねじ軸等のねじ部形状を有するワークが挙げられる。このようなワークのねじ部（ねじ穴＝雌ねじ、ねじ軸＝雄ねじ）には、その特性を規定する多様なパラメータ（特性値）が存在し、たとえば、図１０に示すようなねじ穴１００の場合、ねじピッチａ、有効ねじ部長さｂ、不完全ねじ部長さｃおよびねじ穴深さｄ等がある。
【０００３】
上述したようなワークのねじ部を三次元測定機によって測定する際、タッチ信号プローブを使用する場合と、公知の倣いプローブを使用する場合とがある。
タッチ信号プローブを用いた場合、タッチ信号プローブの接触部をねじ部表面に接触させ、このときの接触部の座標値を読み込み、この動作を繰り返して任意の複数の点において座標値を求めることでねじ部形状を測定している。
一方、倣いプローブを用いた場合、倣いプローブの接触部をねじ部表面に一定の測定力で接触させながら、倣いプローブとねじ部とを相対移動させ、このときの接触部の座標値を連続的に求めることでねじ部形状を測定している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような三次元測定機を用いてのねじ部形状の測定には、以下のような問題がある。
タッチ信号プローブを用いた測定では、一点一点において、タッチ信号プローブとねじ部表面とを接触させる必要があり、たとえばねじ穴１００の各パラメータａ〜ｄを得ようとした場合には、多点測定による連続的なデータ収集を行う必要があるため、測定に時間がかかるという問題がある。
一方、倣いプローブを用いた測定では、タッチ信号プローブを用いた測定に比べると、一点一点におけるプローブとねじ部表面との接触離隔動作が必要ないため、短時間で連続的なデータ収集が可能となる。しかしながら、接触部をねじ部表面に一定の測定力で接触させながら接触部の座標値を連続的に検出する機構を備えた倣いプローブはそれ自体が高価である等の問題がある。
【０００５】
本発明の目的は、短時間で連続的なワーク表面形状のデータが収集できるとともに、安価に構成できるワーク形状測定センサおよびワーク形状測定装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のワーク形状測定センサは、上記目的を達成するために、以下の構成を備える。
本発明のワーク形状測定センサは、一端側にワーク表面に接触する接触部を有したスタイラスと、このスタイラスをアダプタを介して保持する本体とを備え、
前記スタイラスの接触部が前記ワーク表面に接触しながら、当該ワークと前記本体とが前記ワークの表面方向へ略沿って相対移動され、
前記アダプタは、前記スタイラスの他端側が取り付けられるスタイラス取付部と、前記本体に取り付けられる本体取付部と、これらスタイラス取付部と本体取付部とを連結しかつ弾性変形可能な連結部と、を含んで構成され、
前記連結部は、前記相対移動の方向に略直交する方向の力によって弾性変形して、前記ワークの表面形状にともなう前記スタイラスおよびスタイラス取付部の前記本体取付部に対する変位を許容し、かつ、前記相対移動の方向に沿った力によっては変形せず、
前記連結部の弾性変形量を検出する変形量検出手段が設けられ、
前記スタイラスの接触部は、前記相対移動方向と略平行な前記連結部の中心線上に配置されている
ことを特徴とするものである。
【０００７】
この発明によれば、ワーク表面にスタイラスの接触部を接触させた状態で、ワークとワーク形状測定センサとをワークの表面方向へ沿って相対移動させる。すると、スタイラスの接触部はワーク表面形状に倣うため、前記相対移動方向と略直交する方向へも変位し、このスタイラスが取り付けられたアダプタのスタイラス取付部も同方向へ変位する。一方、アダプタの本体取付部は、ワークの表面方向へ沿って相対移動する本体へ取り付けられているため、その変位の方向は前記相対移動方向のみとなる。つまり、本体に対して、アダプタのスタイラス取付部は前記相対移動方向と略直交する方向へ変位し、本体取付部は変位しないため、これらスタイラス取付部と本体取付部とを連結する連結部が弾性変形する。従って、スタイラス取付部の変位量、すなわちスタイラスの接触部の変位量は、連結部の弾性変形量によって表すことができる。このような連結部の弾性変形量を変形量検出手段によって連続的に検出すれば、短時間で連続的なワーク表面形状のデータが収集できる。
また、弾性変形することでスタイラスの変位を許容する連結部、すなわち、一定の測定力でスタイラスをワークに接触させる連結部の弾性変形量を検出することでワーク表面形状を求めている。つまり、連結部によって、接触部をワーク表面に一定の測定力で接触させているとともに、連結部によって、接触部の変位を連続的に検出しているため、倣いプローブよりも簡単な機構で安価に構成できる。
スタイラスの接触部が被測定物表面に倣っていくと、通常、接触部と被測定物表面との間にいくらかの摩擦力が生じる。この摩擦力は、接触部にかかる測定力や被測定物の表面粗さ等によって変動するものである。具体的に、図９（Ａ）を参照して説明すると、たとえば略Ｌ字状のスタイラス１１０の一端、つまり接触部１１１を被測定物Ｗの表面に接触させながら、スタイラス１１０を図中白抜き矢印の方向へ移動させる。このとき、接触部１１１には測定力Ｆｖおよび摩擦力Ｆｆが働いており、第１アーム部１１２の長さをＬ１、第２アーム部１１３の長さをＬ２とした場合、スタイラス１１０の他端点１１４に働くモーメントＭ１は、次式で表される。
Ｍ１＝Ｆｖ×Ｌ１＋Ｆｆ×Ｌ２
ここにおいて、アダプタの連結部がスタイラス１１０の他端点１１４に位置する場合、連結部にはモーメントＭ１が働き、連結部が弾性変形する。連結部の弾性変形量は、接触部１１１の変位変化、すなわち被測定物Ｗの表面形状にともなって変化する。従って、この弾性変形量の変化を検出して連続的に記録することで、被測定物Ｗの表面形状を検出している。つまり、連結部の弾性変形量の変化は、接触部１１１の変位変化によってのみ生じることが望ましい。しかしながら、図９（Ａ）にも連結部が接触部１１１から長さＬ２だけオフセットされた他端点１１４（第１アーム部１１２上）に位置していると、変動する摩擦力Ｆｆによって生じるモーメントによっても連結部の弾性変形量に変化が生じてしまう。
ここで、本発明では、たとえば図９（Ｂ）に示すように、スタイラス１１０の接触部１１１が相対移動方向（図中では、白抜き矢印の方向）と略平行な連結部１１５の中心線Ｃ上に配置されている。具体的には、スタイラス１１０の他端点１１４に連結部を配置するのではなく、他端点１１４（第１アーム部１１２）から長さＬ２だけオフセットされた位置に連結部１１５を配置する。なお、連結部１１５の配置は、図中二点鎖線で示すような部材１１６（たとえば、スタイラス取付部１１６）で他端点１１４と連結部１１５とを接続することで行えばよい。これにより、スタイラス１１０を図中白抜き矢印の方向へ移動させた際、接触部１１１に作用する摩擦力Ｆｆが連結部１１５の中心線Ｃ方向と略平行とされているため、連結部１１５には摩擦力Ｆｆによるモーメントが働かず、連結部１１５に働くモーメントＭ２は、次式で表される。
Ｍ２＝Ｆｖ×Ｌ１
従って、接触部１１１にかかる摩擦力Ｆｆは、連結部１１５の前記相対移動方向と略直交する方向への弾性変形量として現れない。これにより、面粗さ等によって変動する摩擦力Ｆｆの影響を排除することができ、スタイラス１１０の前記相対移動方向と略直交する 方向への変位量のみを連結部１１５の弾性変形量に反映させることができる。
【０００８】
本発明のワーク形状測定センサでは、前記スタイラスは、略Ｌ字状に形成され、他端側が前記スタイラス取付部に取り付けられかつ前記ワークの軸方向へ沿う第１アーム部と、この第１アーム部の一端側から略直角に折曲されて形成されかつ一端側に前記接触部を有する第２アーム部とを備えていることが望ましい。
この発明によれば、スタイラスは、スタイラス取付部に取り付けられかつワークの表面方向へ沿う第１アーム部と、この第１アーム部から略直角に折曲されて形成されかつ接触部を有する第２アーム部とを備えているため、スタイラスを容易にねじ穴内に挿入できるとともに、その接触部をねじ穴の谷に確実に接触させることができる。
【００１２】
本発明のワーク形状測定センサでは、前記変形量検出手段は、前記連結部に装着されるひずみゲージを含んで構成されていることが望ましい。
この発明によれば、連結部の弾性変形量を検出する変形量検出手段は、連結部に装着されるひずみゲージを含んで構成されているので、安価に構成できる。
【００１３】
本発明のワーク形状測定センサでは、前記スタイラスは、ピアノ線から形成されていることが望ましい。
この発明によれば、前記スタイラスは、ピアノ線で形成されているため、安価に構成できるうえ、ピアノ線を折曲することでワーク形状に対応した任意の形状のスタイラスを容易に形成することができる。
【００１４】
本発明のワーク形状測定センサでは、前記スタイラスの接触部は、前記ワークに形成されたねじ部の表面に接触されることが望ましい。
このように、本発明のワーク形状測定センサを、ねじ部形状の測定に利用すれば、凹凸形状が連続するねじ部の形状について、連続的な形状データを短時間で収集することができ、本発明の有用性が高い。
【００１５】
本発明のワーク形状測定装置は、上記目的を達成するために以下の構成を備える。
本発明のワーク形状測定装置は、上述したいずれかのワーク形状測定センサを備えたワーク形状測定装置であって、前記ワーク形状測定センサが着脱可能に取り付けられるホルダと、このホルダと前記ワーク表面とを当該ワークの表面方向へ沿って相対移動させる表面方向相対移動機構と、この表面方向相対移動機構を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするものである。
【００１６】
この発明によれば、上述したいずれかのワーク形状測定センサが奏する作用効果と略同様の作用効果を奏するワーク形状測定装置を得ることができる。
つまり、連結部によって、接触部をワーク表面に一定の測定力で接触させているとともに、連結部によって、接触部の変位を連続的に検出しているため、短時間で連続的なワーク表面形状のデータが収集でき、また、安価に構成できる。
【００１７】
一方、本発明のワーク形状測定装置は、スタイラスの接触部がワークのねじ部の表面に接触されるワーク形状測定センサを備えたワーク形状測定装置であって、前記ワーク形状測定センサが着脱可能に取り付けられるホルダと、このホルダと前記ワーク表面とを当該ワークの表面方向へ略沿って相対移動させる表面方向相対移動機構と、この表面方向相対移動機構を制御する制御手段とを備え、前記ホルダには、加工対象物にねじを切って前記ねじ部を形成する加工工具が着脱可能に取り付けられることを特徴とするものであってもよい。
【００１８】
この発明によれば、まず、ホルダにたとえばタップを取り付け、加工対象物にねじ穴を形成した後、ホルダからタップを外し、ねじ部形状測定センサを取り付けてねじ部形状の測定を行う。
ねじ部を最終加工形状に仕上げるねじ切りと、このねじ切り後に必要な測定とを同一の装置で行っているので、被測定物（加工対象物）を移動させる必要がない。これにより、測定のために被測定物等の位置決めや位置の割出しを改めて行う必要がなくなり、測定時間を短縮できる。
【００１９】
このようなワーク形状測定装置では、前記ホルダには、加工対象物に前記ねじ部のねじ下穴を形成する加工工具が着脱可能に取り付けられることが望ましい。
この発明によれば、ねじ部形状の測定とともに、加工対象物にねじ部を形成する一連の加工工程を行うことができる。つまり、ねじ部のねじ下穴の加工から、ねじ切り、ねじ部形状測定までを一連の流れで行うことができ、加工時間および測定時間の短縮をはかることができる。
【００２０】
本発明のワーク形状測定装置では、前記ホルダと前記ワーク表面とを当該ワーク表面と略直交する方向へ相対移動させる表面直交方向相対移動機構を備え、前記制御手段には、前記変形量検出手段から出力される信号が入力されるとともに、前記制御手段は、前記スタイラスの接触部を前記ワーク表面に接触させながら前記ホルダと前記ワーク表面とを当該ワークの表面方向へ略沿って相対移動させる際、前記変形量検出手段からの出力信号が略一定となるように前記表面直交方向相対移動機構を制御することが望ましい。
【００２１】
このような構成によれば、スタイラスの接触部をワーク表面に接触させながら、表面方向相対移動機構により、スタイラスとワークとを相対移動させる、いわゆる倣い測定を行う際、ワーク表面の凹凸形状に応じて接触部が変位してスタイラスの姿勢が変化し、連結部の弾性変形量を検出する変形量検出手段の出力が変化する。ここで、制御手段により、変形量検出手段の出力変化に応じて表面直交方向相対移動機構を制御して、変形量検出手段の出力を所定値に略一定に維持できるように、ワーク表面に対するスタイラスの位置を変化させれば、ワーク表面に対するスタイラスの姿勢を略一定に維持することができるようになる。
そして、このように、接触部をワーク表面に接触させ、かつスタイラスの姿勢を略一定に保ったままの状態で、スタイラスとワークとを当該ワークの表面方向に沿って相対移動させ、このときの表面方向相対移動機構および表面直交方向相対移動機構によるスタイラスの接触部の移動軌跡を求めれば、ワークの表面形状を求めることができる。
上述のように、変形量検出手段の出力を略一定に保ったまま、倣い測定を行えば、スタイラスの接触部をワーク表面に押しつける測定力を略一定に保持でき、測定精度を向上させることができる。
また、本発明では、変形量検出手段の出力、すなわちアダプタの連結部の弾性変形量を略一定に維持した状態で測定を行っているから、ワークの表面形状の起伏が大きい場合であっても、アダプタの連結部が大きく変形することなく、つまり、連結部に弾性限界を超える応力がかかることなく測定を行うことができ、広い測定レンジで本発明のワーク形状測定装置を利用することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１には、本発明の一実施形態に係るワーク形状測定装置１の概略構成図が示されている。このワーク形状測定装置１は、加工対象物にねじ穴１００を形成するとともに形成したねじ穴１００の形状測定を行う装置本体１０と、この装置本体１０を制御するコンピュータ２０と、ねじ穴１００の加工および測定に必要な各種ツール３１〜３３を収納したツールボックス３０とを備えている。
【００２３】
装置本体１０は、被測定物（加工対象物）が載置されるテーブル１１と、このテーブル１１上に立設された門型フレーム１２とを備えている。このうち、門型フレーム１２は、テーブル１１上に立設された一対の支柱１２１を有し、これら支柱１２１間にはブリッジ部１２２が略水平に架け渡され、このブリッジ部１２２には、長手方向へ沿って第１スライダ１３が摺動自在に設けられている。
第１スライダ１３には、第２スライダ１４が昇降可能に設けられ、この第２スライダ１４には、下端にホルダ１５を備えた回転軸（図示せず）が回転可能に設けられている。ホルダ１５には、ドリル３１、タップ３２およびワーク形状測定センサ３３の各種ツール３１〜３３が着脱可能に取り付けられる。
【００２４】
ホルダ１５は、第１スライダ１３および第２スライダ１４によって、水平方向および垂直方向への移動が可能となっており、また、回転軸により回転可能となっている。これらの第１スライダ１３、第２スライダ１４および回転軸は、図示は省略するが、それぞれ駆動系によって駆動され、これらの駆動系は、制御手段としてのコンピュータ２０によって制御されている。つまり、コンピュータ２０に座標値または回転数等を入力設定することで、各駆動系が作動し、ホルダ１５に取り付けられた各ツール３１〜３２が各種動作（水平および垂直方向への移動と、回転）を行うようになっている。なお、本発明の表面方向相対移動機構は、第２スライダ１４と、この第２スライダ１４を垂直方向へ移動させる駆動系とを含んで構成されている。また、本発明の表面直交方向相対移動機構は、第１スライダ１３と、この第１スライダ１３を垂直方向へ移動させる駆動系とを含んで構成されている。
【００２５】
ツールボックス３０に収納されたツール３１〜３３には、加工対象物にねじ穴１００のねじ下穴を形成する加工工具としてのドリル３１と、ねじ下穴のねじ切り（ねじ立て）を行う加工工具としてのタップ３２と、形成されたねじ穴１００の形状測定を行うワーク形状測定センサ３３とがある。このうち、ドリル３１およびタップ３２は、ねじ穴加工に通常用いられるものと同様のものであり、これらドリル３１およびタップ３２には、ホルダ１５に取り付けるための取付部３１１，３２１がそれぞれ設けられている。
【００２６】
ワーク形状測定センサ３３は、図２にも拡大して示すように、一端側にねじ穴１００の内周面に接触する接触部４２Ａを有したスタイラス４０と、このスタイラス４０をアダプタ５０を介して保持する本体６０とを備えている。
スタイラス４０は、ピアノ線を折曲することでＬ字状に形成されている。具体的には、他端側がアダプタ５０に取り付けられた第１アーム部４１と、この第１アーム部４１の一端側から略直角に折曲されて形成されかつ一端側に接触部４２Ａを有した第２アーム部４２とを備えている。
【００２７】
アダプタ５０は、図３にも拡大して示すように、スタイラス４０の第１アーム部４１が取り付けられたスタイラス取付部５１と、本体６０に取り付けられた本体取付部５２と、これらスタイラス取付部５１と本体取付部５２とを連結しかつ弾性変形可能な連結部５３とを含んで構成されており、これらスタイラス取付部５１、本体取付部５２および連結部５３は、たとえばジュラルミンで一体的に形成されている。
【００２８】
スタイラス取付部５１には、スタイラス４０の第１アーム部４１が固定されている。このスタイラス４０のスタイラス取付部５１への固定は、図示は省略するが、たとえばスタイラス取付部５１に形成された挿通孔に第１アーム部４１を挿入して、ねじ等の固着具を用いたり、接着や溶接等することで行われている。
一方、本体取付部５２の本体６０への取り付けも、ねじ等の固着具を用いたり、接着や溶接等することで行われている。
【００２９】
連結部５３は、表裏方向へ弾性変形可能な薄い板状に形成され、対向する一対の端縁がスタイラス取付部５１および本体取付部５２にそれぞれ連結されている。
連結部５３の中心線Ｃ（スタイラス取付部５１から本体取付部５２へ向かう中心線Ｃ）と、スタイラス４０の第１アーム部４１とは、所定間隔あけて平行配置されている。この所定間隔あける方向は、連結部５３の表裏方向とされている。一方、第２アーム部４２は連結部５３の表裏方向と略平行とされ、接触部４２Ａは連結部５３の中心線Ｃ上に配置されている。
連結部５３は、表裏面方向へ弾性変形することで、スタイラス４０およびスタイラス取付部５１の本体取付部５２に対する変位（連結部５３の表裏面方向への変位）を許容している。
【００３０】
また、ワーク形状測定センサ３３には、連結部５３の弾性変形量を検出する変形量検出手段７０が設けられている。
変形量検出手段７０は、アダプタ５０の連結部５３の表裏方向の弾性変形量、すなわち曲げひずみ量を検出するものであり、連結部５３の表裏面にそれぞれ装着された一対のひずみゲージ７１を含んで構成されている。これらひずみゲージ７１は、図示は省略するが、それぞれリード線が接続されて任意のブリッジ回路に組み込まれることで、連結部５３の表裏方向の弾性変形量の検出が可能となっている。
【００３１】
次に、本実施形態の作用を説明する。
まず、加工対象物にねじ穴１００を形成する。
具体的には、加工対象物をテーブル１１上に載せて位置決めした後、ホルダ１５にドリル３１を取り付ける。ここで、ツール３１〜３３の取り付けや交換等は、手作業により行ってもよいし、通常、マシニングセンタ等に用いられる工具交換装置等により自動的に行ってもよい。ドリル３１をホルダ１５に取り付けたら、加工対象物にねじ下穴を加工し（図４参照）、この後、ホルダ１５からドリル３１を外してタップ３２を取り付け、ねじ立てを行って（図５参照）、ねじ穴１００を形成する。
【００３２】
次に、ねじ穴１００を形成した後、このねじ穴１００の形状測定を行い、各パラメータａ〜ｄを求める。
ここで、ワーク形状測定装置１によるワークの形状測定には、第１測定モードおよび第２測定モードの２種類のモードがあり、測定者は、いずれか一方の測定モードをコンピュータ２０上で選択して、ねじ穴１００の形状測定を行う。
（第１測定モードによる測定）
まず、コンピュータ２０上で第１測定モードを選択しておく。
次に、ホルダ１５にワーク形状測定センサ３３を取り付け、この測定センサ３３をねじ穴１００の直上まで移動させる。この後、測定センサ３３を下降させてスタイラス４０をねじ穴１００内に挿入する。次に、連結部５３の中心線Ｃがねじ穴１００の内周面よりも外周側に位置するように、測定センサ３３を水平方向へ、つまりスタイラス４０の接触部４２Ａがねじ穴１００の内周面に接触する方向へ移動させる。これにより、スタイラス４０の接触部４２Ａがねじ穴１００の内周面に接触する。
この状態において、測定センサ３３を上昇させ、このときのスタイラス４０の変位にともなう連結部５３の弾性変形量を変形量検出手段７０で連続的に検出することで、ねじ穴１００の内周面の形状を求める。これにより、ねじピッチａ、有効ねじ部長さｂ、不完全ねじ部長さｃおよびねじ穴深さｄを求めることができる。
【００３３】
具体的に説明すると、図６に示すように、ワーク形状測定センサ３３を図中二点鎖線で示す位置まで上昇させると、スタイラス４０の接触部４２Ａが、ねじ穴１００の内周面に倣いながら上昇してねじ穴１００の溝に配置された状態となる。
スタイラス４０の接触部４２Ａがねじ穴１００の溝に配置されると、ねじ穴１００に対するスタイラス４０の姿勢が変化するとともに、図７に拡大して示すように、連結部５３の弾性変形量が変化する。なお、図７では、連結部５３の弾性変形量の変化が分かるように、ワーク形状測定センサ３３を上昇させる前（実線）と、後（二点鎖線）とで、各連結部５３の位置を一致させた状態で示している。
このように、スタイラス４０の接触部４２Ａの変位は、連結部５３の弾性変形量に反映されることとなるから、連結部５３の弾性変形量を変形量検出手段７０で検出することで、スタイラス４０の接触部４２Ａの変位を求めることができる。
そして、ワーク形状測定センサ３３の上昇に伴って変化する変形量検出手段７０の出力値を連続的に検出することで、ねじ穴１００の形状を求めることができるようになる。
【００３４】
（第２測定モードによる測定）
まず、コンピュータ２０上で第２測定モードを選択しておく。
次に、上述した第１測定モードによる測定と同様に、測定センサ３３を下降させてスタイラス４０をねじ穴１００内に挿入した後、スタイラス４０の接触部４２Ａをねじ穴１００の内周面に接触させる。
このように、接触部４２Ａをねじ穴１００の内周面に接触させた後、変形量検出手段７０の出力値が所定値となるように、第１スライダ１３を水平方向へ移動させて、接触部４２Ａをねじ穴１００の内周面に押しつける（図８の実線で示す状態）。
【００３５】
変形量検出手段７０の出力値が略所定値になったら、この状態のまま、第２スライダ１４を上昇させることによって測定センサ３３をねじ穴１００の内周面にに沿って上昇させる。すると、ねじ穴１００の内周面形状に応じて接触部４２Ａが変位するから、スタイラス４０のねじ穴１００に対する姿勢も変化し、連結部５３の弾性変形量、すなわち変形量検出手段７０の出力値が変化するようになる。
ここで、第２測定モードによる測定では、変形量検出手段７０の出力値の変化をコンピュータ２０で読み取り、変形量検出手段７０の出力値が略一定（つまり、所定値）となるように、第１スライダ１３、すなわち、ワーク形状測定センサ３３を、図８の二点鎖線に示すように、水平方向（ねじ穴１００の内周面と略直交する方向）へ移動させている。これにより、変形量検出手段７０の出力値、すなわち連結部５３の弾性変形量を略一定にできるとともに、スタイラス４０のねじ穴１００に対する姿勢も一定にでき、スタイラス４０を接触部４２Ａをねじ穴１００の内周面に略一定の測定力で接触させることが可能となる。
【００３６】
このようにして、変形量検出手段７０の出力値が略一定となるように、コンピュータ２０で第１スライダ１３の駆動系を制御して、ワーク形状測定センサ３３を水平方向へ移動させながら、第２スライダ１４により、ワーク形状測定センサ３３をねじ穴１００の表面方向（軸方向）に沿って上昇させていく。そして、このときにおける第１スライダ１３および第２スライダ１４の各変位を、座標値データとして図示しない各駆動系のスケール等から連続的に読み取り、コンピュータ２０へ記録、保存する。
ワーク形状測定センサ３３の接触部４２Ａは、前述した公知の倣いプローブと同様に、ねじ穴１００の内周面形状に倣って移動するので、第１スライダ１３および第２スライダ１４の座標値データは、ねじ穴１００の内周面形状を表すこととなる。これにより、ねじピッチａ、有効ねじ部長さｂ、不完全ねじ部長さｃおよびねじ穴深さｄなどの、ねじのパラメータを求めることができる。
【００３７】
上述のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、本実施形態では、第１測定モードによる測定において、ねじ穴１００表面にスタイラス４０の接触部４２Ａを接触させた状態で、ねじ穴１００とワーク形状測定センサ３３とをねじ穴１００の軸方向（上下方向）へ沿って相対移動させる。すると、スタイラス４０の接触部４２Ａはねじ穴１００の内周面形状に倣うため、相対移動方向と略直交する方向へも変位し、このスタイラス４０が取り付けられたアダプタ５０のスタイラス取付部５１も同方向へ変位する。一方、アダプタ５０の本体取付部５２は、ねじ穴１００の軸方向へ沿って相対移動する本体６０へ取り付けられているため、その変位の方向は相対移動方向のみとなる。つまり、本体６０に対して、アダプタ５０のスタイラス取付部５１は相対移動方向と略直交する方向へ変位し、本体取付部５２は変位しないため、これらスタイラス取付部５１と本体取付部５２とを連結する連結部５３が弾性変形する。従って、スタイラス取付部５１の変位量、すなわちスタイラス４０の接触部４２Ａの変位量は、連結部５３の弾性変形量によって表すことができる。このような連結部５３の弾性変形量を変形量検出手段７０によって連続的に検出すれば、短時間で連続的なねじ穴１００の内周面形状のデータが収集できる。
【００３８】
スタイラス４０は、スタイラス取付部５１に取り付けられかつねじ穴１００の軸方向へ沿う第１アーム部４１と、この第１アーム部４１から略直角に折曲されて形成されかつ接触部４２Ａを有する第２アーム部４２とを備えているため、スタイラス４０を容易にねじ穴１００内に挿入できるとともに、その接触部４２Ａをねじ穴１００の内周面に確実に接触させることができる。
【００３９】
スタイラス４０の接触部４２Ａが相対移動方向と略平行な連結部５３の中心線Ｃ上に配置されている。従って、接触部４２Ａにかかる連結部５３の軸線方向への摩擦力は、連結部５３の相対移動方向と略直交する方向への弾性変形量として現れない。これにより、被測定物の面粗さ等によって変動する摩擦力の影響を排除することができ、スタイラス４０の相対移動方向と略直交する方向への変位量のみを連結部５３の弾性変形量に反映させることができる。
【００４０】
連結部５３の弾性変形量を検出する変形量検出手段７０は、連結部５３に装着されるひずみゲージ７１を含んで構成されているので、安価に構成できる。
【００４１】
スタイラス４０は、ピアノ線で形成されているため、安価に構成できるうえ、ピアノ線を折曲することでねじ部形状に対応した任意の形状のスタイラス４０を容易に形成することができる。
【００４２】
まず、ホルダ１５にタップ３２を取り付け、加工対象物にねじ穴１００を形成した後、ホルダ１５からタップ３２を外し、ワーク形状測定センサ３３を取り付けてねじ穴１００の形状測定を行う。
ねじ穴１００を最終加工形状に仕上げるねじ切りと、このねじ切り後に必要な測定とを同一の装置で行っているので、被測定物（加工対象物）を移動させる必要がない。これにより、測定のために被測定物の位置決めや移動を行う必要がなくなり、測定時間を短縮できる。
【００４３】
ねじ穴１００の形状測定とともに、加工対象物にねじ穴１００を形成する一連の加工工程を行うことができる。つまり、ねじ穴１００のねじ下穴の加工から、ねじ切り、ねじ穴１００の形状測定までを一連の流れで行うことができ、加工時間および測定時間の短縮をはかることができる。
測定センサは測定対象（ねじ形状）の形状、大きさによって最適な形状、大きさのセンサに容易に交換できる。
【００４４】
本実施形態では、第２測定モードによる測定において、ねじ穴１００表面にスタイラス４０の接触部４２Ａを接触させた状態で、ねじ穴１００とワーク形状測定センサ３３とをねじ穴１００の軸方向（上下方向）へ沿って相対移動させる際、コンピュータ２０の制御によって、変形量検出手段７０の出力が略一定値となるように第１スライダ１３を略水平方向に移動させている。
すなわち、ねじ穴１００表面の形状に従って相対移動方向（上下方向）と略直交する方向（左右方向＝測定面垂直方向）へ接触部４２Ａが変位すると、アダプタ５０の連結部５３が弾性変形して変形量検出手段７０の出力値が変化するので、当該出力値を前述した所定値に復帰させようと、ワーク形状測定センサ３３が左右方向（水平方向）へ移動される。
従って、スタイラス４０の接触部４２Ａの変位量（上下方向、左右方向）は、第１スライダ１３と第２スライダ１４の変位量によってあらわすことができ、これらの変位量を座標値データとして連続的に検出、収集すれば、短時間で連続的なねじ穴１００の内周面形状のデータが収集できる。
【００４５】
第２測定モードによる測定において、アダプタ５０の弾性変形量が一定に保たれることで、スタイラス４０のねじ穴１００（測定面）に対する姿勢を一定に保持できるから、スタイラス４０の接触部４２Ａと、アダプタ５０の本体取付部５２との間の距離を略一定に維持することができるようになる。つまり、測定中に、接触部４２Ａおよび本体取付部５２間の距離が変動することがなく、スタイラス４０の円弧誤差発生を回避できるから、スタイラス４０の接触部４２Ａの変位を、第１および第２スライダ１３，１４の変位に、より高精度に反映させることができ、測定精度を向上させることができる。
【００４６】
また、本実施形態では、変形量検出手段７０の出力、すなわちアダプタ５０の連結部５３の弾性変形量を略一定に維持した状態で測定を行っているから、ねじ穴１００の表面形状の起伏が大きい場合であっても、アダプタ５０の連結部５３が大きく変形することなく、つまり、連結部５３に弾性限界を超える応力がかかることなく測定を行うことができ、広い測定レンジでワーク形状測定装置を１利用することができる。
【００４７】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良は、本発明に含まれるものである。
たとえば、前記実施形態では、スタイラス４０自体は弾性変形しないケースで説明しているが、スタイラス４０の剛性が低く、ねじ部の形状測定時に弾性変形する場合であっても、同等の測定性能を得ることができる。
具体的に、中心線Ｃ直交方向の接触部４２Ａの変位によって、スタイラス４０と連結部５３との両方が弾性変形した場合、ひずみゲージ７１によって、接触部４２Ａの中心線Ｃ直交方向の変位量を正確に測定することはできないが、変位量は、スタイラス４０および連結部５３の両方の弾性変形によって吸収される。このため、接触部４２Ａが中心線Ｃ直交方向に変位しているかどうか、または、その変位の大小を、ひずみゲージ７１によって検出することができる。求めるねじ穴１００のパラメータは、図１０に示すように、ねじ穴１００の軸方向へ沿った各種パラメータａ〜ｄであるから、接触部４２Ａが中心線Ｃ直交方向に変位しているかどうか、または、その変位の大小が検出できれば、このような場合であっても、ねじ穴１００のパラメータａ〜ｄを正確に求めることができる。
また、スタイラス４０と連結部５３との両方の弾性変形比率を予め測定しておけば、ひずみゲージ７１の検出値から、接触部４２Ａの変位量を校正して求めることもできる。
【００４８】
また、スタイラスとしては、ワークの形状等に応じて適宜な大きさ、形状を有するものを用いればよく、たとえば、径の小さくかつ長さが長いねじ穴の場合は、第１アーム部の長さが長くかつ第２アーム部の長さが短いスタイラスを用いればよい。
【００４９】
前記実施形態では、ワーク形状測定センサ３３が移動することで、ワーク形状測定センサ３３とねじ穴１００とがねじ穴１００の軸方向へ相対移動しているが、これに限らず、測定対象であるねじ穴を移動させてもよく、ワーク形状測定センサとねじ穴との両方を移動させてもよく、要するに、ワーク形状測定センサとねじ穴とを相対移動させればよい。
【００５０】
前記実施形態では、測定対象のねじ部としてねじ穴１００を挙げているが、本発明に係るねじ部はねじ穴に限定されるものではなく、ねじ軸であってもよい。さらに、測定対象はねじ形状に限らず、一般的な二次元形状測定対象や三次元形状測定対象であってもよい。
【００５１】
【発明の効果】
本発明のワーク形状測定センサおよびワーク形状測定装置によれば、短時間で連続的なワークの表面形状のデータが収集できるとともに、安価に構成できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るワーク形状測定装置を示す概略構成図である。
【図２】前記実施形態に係るワーク形状測定センサを一部破断して示す側面図である。
【図３】前記実施形態に係るワーク形状測定センサのアダプタを拡大して示す斜視図である。
【図４】前記実施形態に係るワーク形状測定装置の作用を示す図である。
【図５】前記実施形態に係るワーク形状測定装置の他の作用を示す図である。
【図６】前記実施形態に係るワーク形状測定装置の第１測定モードよる測定を説明するための模式図である。
【図７】図６の要部を示す拡大図である。
【図８】前記実施形態に係るワーク形状測定装置の第２測定モードによる測定を説明するための模式図である。
【図９】本発明の作用を説明するための模式図である。
【図１０】測定対象であるねじ穴を示す模式図である。
【符号の説明】
１ ワーク形状測定装置
１５ ホルダ
２０ 制御手段であるコンピュータ
３１ 加工工具であるドリル
３２ 加工工具であるタップ
３３ ワーク形状測定センサ
４０ スタイラス
４１ 第１アーム部
４２ 第２アーム部
４２Ａ 接触部
５０ アダプタ
５１ スタイラス取付部
５２ 本体取付部
５３ 連結部
６０ 本体
７０ 変形量検出手段
７１ ひずみゲージ
１００ ねじ部であるねじ穴
Ｃ 中心線
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワーク形状測定センサおよびワーク形状測定装置に係り、詳しくは、ワーク表面にスタイラスを接触させてワークの形状を倣い測定するワーク形状測定センサおよびワーク形状測定装置に関する。
【０００２】
【背景技術】
従来より、ワークの表面形状の測定を行う際に、三次元測定機を用いることが知られている。
三次元測定機によって測定されるワークとしては、たとえば、ねじ穴や、ねじ軸等のねじ部形状を有するワークが挙げられる。このようなワークのねじ部（ねじ穴＝雌ねじ、ねじ軸＝雄ねじ）には、その特性を規定する多様なパラメータ（特性値）が存在し、たとえば、図１０に示すようなねじ穴１００の場合、ねじピッチａ、有効ねじ部長さｂ、不完全ねじ部長さｃおよびねじ穴深さｄ等がある。
【０００３】
上述したようなワークのねじ部を三次元測定機によって測定する際、タッチ信号プローブを使用する場合と、公知の倣いプローブを使用する場合とがある。
タッチ信号プローブを用いた場合、タッチ信号プローブの接触部をねじ部表面に接触させ、このときの接触部の座標値を読み込み、この動作を繰り返して任意の複数の点において座標値を求めることでねじ部形状を測定している。
一方、倣いプローブを用いた場合、倣いプローブの接触部をねじ部表面に一定の測定力で接触させながら、倣いプローブとねじ部とを相対移動させ、このときの接触部の座標値を連続的に求めることでねじ部形状を測定している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような三次元測定機を用いてのねじ部形状の測定には、以下のような問題がある。
タッチ信号プローブを用いた測定では、一点一点において、タッチ信号プローブとねじ部表面とを接触させる必要があり、たとえばねじ穴１００の各パラメータａ〜ｄを得ようとした場合には、多点測定による連続的なデータ収集を行う必要があるため、測定に時間がかかるという問題がある。
一方、倣いプローブを用いた測定では、タッチ信号プローブを用いた測定に比べると、一点一点におけるプローブとねじ部表面との接触離隔動作が必要ないため、短時間で連続的なデータ収集が可能となる。しかしながら、接触部をねじ部表面に一定の測定力で接触させながら接触部の座標値を連続的に検出する機構を備えた倣いプローブはそれ自体が高価である等の問題がある。
【０００５】
本発明の目的は、短時間で連続的なワーク表面形状のデータが収集できるとともに、安価に構成できるワーク形状測定センサおよびワーク形状測定装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のワーク形状測定センサは、上記目的を達成するために、以下の構成を備える。
本発明のワーク形状測定センサは、一端側にワーク表面に接触する接触部を有したスタイラスと、このスタイラスをアダプタを介して保持する本体とを備え、
前記スタイラスの接触部が前記ワーク表面に接触しながら、当該ワークと前記本体とが前記ワークの表面方向へ略沿って相対移動され、
前記アダプタは、前記スタイラスの他端側が取り付けられるスタイラス取付部と、前記本体に取り付けられる本体取付部と、これらスタイラス取付部と本体取付部とを連結しかつ弾性変形可能な連結部と、を含んで構成され、
前記連結部は、前記相対移動の方向に略直交する方向の力によって弾性変形して、前記ワークの表面形状にともなう前記スタイラスおよびスタイラス取付部の前記本体取付部に対する変位を許容し、かつ、前記相対移動の方向に沿った力によっては変形せず、
前記連結部の弾性変形量を検出する変形量検出手段が設けられ、
前記スタイラスの接触部は、前記相対移動方向と略平行な前記連結部の中心線上に配置されている
ことを特徴とするものである。
【０００７】
この発明によれば、ワーク表面にスタイラスの接触部を接触させた状態で、ワークとワーク形状測定センサとをワークの表面方向へ沿って相対移動させる。すると、スタイラスの接触部はワーク表面形状に倣うため、前記相対移動方向と略直交する方向へも変位し、このスタイラスが取り付けられたアダプタのスタイラス取付部も同方向へ変位する。一方、アダプタの本体取付部は、ワークの表面方向へ沿って相対移動する本体へ取り付けられているため、その変位の方向は前記相対移動方向のみとなる。つまり、本体に対して、アダプタのスタイラス取付部は前記相対移動方向と略直交する方向へ変位し、本体取付部は変位しないため、これらスタイラス取付部と本体取付部とを連結する連結部が弾性変形する。従って、スタイラス取付部の変位量、すなわちスタイラスの接触部の変位量は、連結部の弾性変形量によって表すことができる。このような連結部の弾性変形量を変形量検出手段によって連続的に検出すれば、短時間で連続的なワーク表面形状のデータが収集できる。
また、弾性変形することでスタイラスの変位を許容する連結部、すなわち、一定の測定力でスタイラスをワークに接触させる連結部の弾性変形量を検出することでワーク表面形状を求めている。つまり、連結部によって、接触部をワーク表面に一定の測定力で接触させているとともに、連結部によって、接触部の変位を連続的に検出しているため、倣いプローブよりも簡単な機構で安価に構成できる。
スタイラスの接触部が被測定物表面に倣っていくと、通常、接触部と被測定物表面との間にいくらかの摩擦力が生じる。この摩擦力は、接触部にかかる測定力や被測定物の表面粗さ等によって変動するものである。具体的に、図９（Ａ）を参照して説明すると、たとえば略Ｌ字状のスタイラス１１０の一端、つまり接触部１１１を被測定物Ｗの表面に接触させながら、スタイラス１１０を図中白抜き矢印の方向へ移動させる。このとき、接触部１１１には測定力Ｆｖおよび摩擦力Ｆｆが働いており、第１アーム部１１２の長さをＬ１、第２アーム部１１３の長さをＬ２とした場合、スタイラス１１０の他端点１１４に働くモーメントＭ１は、次式で表される。
Ｍ１＝Ｆｖ×Ｌ１＋Ｆｆ×Ｌ２
ここにおいて、アダプタの連結部がスタイラス１１０の他端点１１４に位置する場合、連結部にはモーメントＭ１が働き、連結部が弾性変形する。連結部の弾性変形量は、接触部１１１の変位変化、すなわち被測定物Ｗの表面形状にともなって変化する。従って、この弾性変形量の変化を検出して連続的に記録することで、被測定物Ｗの表面形状を検出している。つまり、連結部の弾性変形量の変化は、接触部１１１の変位変化によってのみ生じることが望ましい。しかしながら、図９（Ａ）にも連結部が接触部１１１から長さＬ２だけオフセットされた他端点１１４（第１アーム部１１２上）に位置していると、変動する摩擦力Ｆｆによって生じるモーメントによっても連結部の弾性変形量に変化が生じてしまう。
ここで、本発明では、たとえば図９（Ｂ）に示すように、スタイラス１１０の接触部１１１が相対移動方向（図中では、白抜き矢印の方向）と略平行な連結部１１５の中心線Ｃ上に配置されている。具体的には、スタイラス１１０の他端点１１４に連結部を配置するのではなく、他端点１１４（第１アーム部１１２）から長さＬ２だけオフセットされた位置に連結部１１５を配置する。なお、連結部１１５の配置は、図中二点鎖線で示すような部材１１６（たとえば、スタイラス取付部１１６）で他端点１１４と連結部１１５とを接続することで行えばよい。これにより、スタイラス１１０を図中白抜き矢印の方向へ移動させた際、接触部１１１に作用する摩擦力Ｆｆが連結部１１５の中心線Ｃ方向と略平行とされているため、連結部１１５には摩擦力Ｆｆによるモーメントが働かず、連結部１１５に働くモーメントＭ２は、次式で表される。
Ｍ２＝Ｆｖ×Ｌ１
従って、接触部１１１にかかる摩擦力Ｆｆは、連結部１１５の前記相対移動方向と略直交する方向への弾性変形量として現れない。これにより、面粗さ等によって変動する摩擦力Ｆｆの影響を排除することができ、スタイラス１１０の前記相対移動方向と略直交する 方向への変位量のみを連結部１１５の弾性変形量に反映させることができる。
【０００８】
本発明のワーク形状測定センサでは、前記スタイラスは、略Ｌ字状に形成され、他端側が前記スタイラス取付部に取り付けられかつ前記ワークの軸方向へ沿う第１アーム部と、この第１アーム部の一端側から略直角に折曲されて形成されかつ一端側に前記接触部を有する第２アーム部とを備えていることが望ましい。
この発明によれば、スタイラスは、スタイラス取付部に取り付けられかつワークの表面方向へ沿う第１アーム部と、この第１アーム部から略直角に折曲されて形成されかつ接触部を有する第２アーム部とを備えているため、スタイラスを容易にねじ穴内に挿入できるとともに、その接触部をねじ穴の谷に確実に接触させることができる。
【００１２】
本発明のワーク形状測定センサでは、前記変形量検出手段は、前記連結部に装着されるひずみゲージを含んで構成されていることが望ましい。
この発明によれば、連結部の弾性変形量を検出する変形量検出手段は、連結部に装着されるひずみゲージを含んで構成されているので、安価に構成できる。
【００１３】
本発明のワーク形状測定センサでは、前記スタイラスは、ピアノ線から形成されていることが望ましい。
この発明によれば、前記スタイラスは、ピアノ線で形成されているため、安価に構成できるうえ、ピアノ線を折曲することでワーク形状に対応した任意の形状のスタイラスを容易に形成することができる。
【００１４】
本発明のワーク形状測定センサでは、前記スタイラスの接触部は、前記ワークに形成されたねじ部の表面に接触されることが望ましい。
このように、本発明のワーク形状測定センサを、ねじ部形状の測定に利用すれば、凹凸形状が連続するねじ部の形状について、連続的な形状データを短時間で収集することができ、本発明の有用性が高い。
【００１５】
本発明のワーク形状測定装置は、上記目的を達成するために以下の構成を備える。
本発明のワーク形状測定装置は、上述したいずれかのワーク形状測定センサを備えたワーク形状測定装置であって、前記ワーク形状測定センサが着脱可能に取り付けられるホルダと、このホルダと前記ワーク表面とを当該ワークの表面方向へ沿って相対移動させる表面方向相対移動機構と、この表面方向相対移動機構を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするものである。
【００１６】
この発明によれば、上述したいずれかのワーク形状測定センサが奏する作用効果と略同様の作用効果を奏するワーク形状測定装置を得ることができる。
つまり、連結部によって、接触部をワーク表面に一定の測定力で接触させているとともに、連結部によって、接触部の変位を連続的に検出しているため、短時間で連続的なワーク表面形状のデータが収集でき、また、安価に構成できる。
【００１７】
一方、本発明のワーク形状測定装置は、スタイラスの接触部がワークのねじ部の表面に接触されるワーク形状測定センサを備えたワーク形状測定装置であって、前記ワーク形状測定センサが着脱可能に取り付けられるホルダと、このホルダと前記ワーク表面とを当該ワークの表面方向へ略沿って相対移動させる表面方向相対移動機構と、この表面方向相対移動機構を制御する制御手段とを備え、前記ホルダには、加工対象物にねじを切って前記ねじ部を形成する加工工具が着脱可能に取り付けられることを特徴とするものであってもよい。
【００１８】
この発明によれば、まず、ホルダにたとえばタップを取り付け、加工対象物にねじ穴を形成した後、ホルダからタップを外し、ねじ部形状測定センサを取り付けてねじ部形状の測定を行う。
ねじ部を最終加工形状に仕上げるねじ切りと、このねじ切り後に必要な測定とを同一の装置で行っているので、被測定物（加工対象物）を移動させる必要がない。これにより、測定のために被測定物等の位置決めや位置の割出しを改めて行う必要がなくなり、測定時間を短縮できる。
【００１９】
このようなワーク形状測定装置では、前記ホルダには、加工対象物に前記ねじ部のねじ下穴を形成する加工工具が着脱可能に取り付けられることが望ましい。
この発明によれば、ねじ部形状の測定とともに、加工対象物にねじ部を形成する一連の加工工程を行うことができる。つまり、ねじ部のねじ下穴の加工から、ねじ切り、ねじ部形状測定までを一連の流れで行うことができ、加工時間および測定時間の短縮をはかることができる。
【００２０】
本発明のワーク形状測定装置では、前記ホルダと前記ワーク表面とを当該ワーク表面と略直交する方向へ相対移動させる表面直交方向相対移動機構を備え、前記制御手段には、前記変形量検出手段から出力される信号が入力されるとともに、前記制御手段は、前記スタイラスの接触部を前記ワーク表面に接触させながら前記ホルダと前記ワーク表面とを当該ワークの表面方向へ略沿って相対移動させる際、前記変形量検出手段からの出力信号が略一定となるように前記表面直交方向相対移動機構を制御することが望ましい。
【００２１】
このような構成によれば、スタイラスの接触部をワーク表面に接触させながら、表面方向相対移動機構により、スタイラスとワークとを相対移動させる、いわゆる倣い測定を行う際、ワーク表面の凹凸形状に応じて接触部が変位してスタイラスの姿勢が変化し、連結部の弾性変形量を検出する変形量検出手段の出力が変化する。ここで、制御手段により、変形量検出手段の出力変化に応じて表面直交方向相対移動機構を制御して、変形量検出手段の出力を所定値に略一定に維持できるように、ワーク表面に対するスタイラスの位置を変化させれば、ワーク表面に対するスタイラスの姿勢を略一定に維持することができるようになる。
そして、このように、接触部をワーク表面に接触させ、かつスタイラスの姿勢を略一定に保ったままの状態で、スタイラスとワークとを当該ワークの表面方向に沿って相対移動させ、このときの表面方向相対移動機構および表面直交方向相対移動機構によるスタイラスの接触部の移動軌跡を求めれば、ワークの表面形状を求めることができる。
上述のように、変形量検出手段の出力を略一定に保ったまま、倣い測定を行えば、スタイラスの接触部をワーク表面に押しつける測定力を略一定に保持でき、測定精度を向上させることができる。
また、本発明では、変形量検出手段の出力、すなわちアダプタの連結部の弾性変形量を略一定に維持した状態で測定を行っているから、ワークの表面形状の起伏が大きい場合であっても、アダプタの連結部が大きく変形することなく、つまり、連結部に弾性限界を超える応力がかかることなく測定を行うことができ、広い測定レンジで本発明のワーク形状測定装置を利用することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１には、本発明の一実施形態に係るワーク形状測定装置１の概略構成図が示されている。このワーク形状測定装置１は、加工対象物にねじ穴１００を形成するとともに形成したねじ穴１００の形状測定を行う装置本体１０と、この装置本体１０を制御するコンピュータ２０と、ねじ穴１００の加工および測定に必要な各種ツール３１〜３３を収納したツールボックス３０とを備えている。
【００２３】
装置本体１０は、被測定物（加工対象物）が載置されるテーブル１１と、このテーブル１１上に立設された門型フレーム１２とを備えている。このうち、門型フレーム１２は、テーブル１１上に立設された一対の支柱１２１を有し、これら支柱１２１間にはブリッジ部１２２が略水平に架け渡され、このブリッジ部１２２には、長手方向へ沿って第１スライダ１３が摺動自在に設けられている。
第１スライダ１３には、第２スライダ１４が昇降可能に設けられ、この第２スライダ１４には、下端にホルダ１５を備えた回転軸（図示せず）が回転可能に設けられている。ホルダ１５には、ドリル３１、タップ３２およびワーク形状測定センサ３３の各種ツール３１〜３３が着脱可能に取り付けられる。
【００２４】
ホルダ１５は、第１スライダ１３および第２スライダ１４によって、水平方向および垂直方向への移動が可能となっており、また、回転軸により回転可能となっている。これらの第１スライダ１３、第２スライダ１４および回転軸は、図示は省略するが、それぞれ駆動系によって駆動され、これらの駆動系は、制御手段としてのコンピュータ２０によって制御されている。つまり、コンピュータ２０に座標値または回転数等を入力設定することで、各駆動系が作動し、ホルダ１５に取り付けられた各ツール３１〜３２が各種動作（水平および垂直方向への移動と、回転）を行うようになっている。なお、本発明の表面方向相対移動機構は、第２スライダ１４と、この第２スライダ１４を垂直方向へ移動させる駆動系とを含んで構成されている。また、本発明の表面直交方向相対移動機構は、第１スライダ１３と、この第１スライダ１３を垂直方向へ移動させる駆動系とを含んで構成されている。
【００２５】
ツールボックス３０に収納されたツール３１〜３３には、加工対象物にねじ穴１００のねじ下穴を形成する加工工具としてのドリル３１と、ねじ下穴のねじ切り（ねじ立て）を行う加工工具としてのタップ３２と、形成されたねじ穴１００の形状測定を行うワーク形状測定センサ３３とがある。このうち、ドリル３１およびタップ３２は、ねじ穴加工に通常用いられるものと同様のものであり、これらドリル３１およびタップ３２には、ホルダ１５に取り付けるための取付部３１１，３２１がそれぞれ設けられている。
【００２６】
ワーク形状測定センサ３３は、図２にも拡大して示すように、一端側にねじ穴１００の内周面に接触する接触部４２Ａを有したスタイラス４０と、このスタイラス４０をアダプタ５０を介して保持する本体６０とを備えている。
スタイラス４０は、ピアノ線を折曲することでＬ字状に形成されている。具体的には、他端側がアダプタ５０に取り付けられた第１アーム部４１と、この第１アーム部４１の一端側から略直角に折曲されて形成されかつ一端側に接触部４２Ａを有した第２アーム部４２とを備えている。
【００２７】
アダプタ５０は、図３にも拡大して示すように、スタイラス４０の第１アーム部４１が取り付けられたスタイラス取付部５１と、本体６０に取り付けられた本体取付部５２と、これらスタイラス取付部５１と本体取付部５２とを連結しかつ弾性変形可能な連結部５３とを含んで構成されており、これらスタイラス取付部５１、本体取付部５２および連結部５３は、たとえばジュラルミンで一体的に形成されている。
【００２８】
スタイラス取付部５１には、スタイラス４０の第１アーム部４１が固定されている。このスタイラス４０のスタイラス取付部５１への固定は、図示は省略するが、たとえばスタイラス取付部５１に形成された挿通孔に第１アーム部４１を挿入して、ねじ等の固着具を用いたり、接着や溶接等することで行われている。
一方、本体取付部５２の本体６０への取り付けも、ねじ等の固着具を用いたり、接着や溶接等することで行われている。
【００２９】
連結部５３は、表裏方向へ弾性変形可能な薄い板状に形成され、対向する一対の端縁がスタイラス取付部５１および本体取付部５２にそれぞれ連結されている。
連結部５３の中心線Ｃ（スタイラス取付部５１から本体取付部５２へ向かう中心線Ｃ）と、スタイラス４０の第１アーム部４１とは、所定間隔あけて平行配置されている。この所定間隔あける方向は、連結部５３の表裏方向とされている。一方、第２アーム部４２は連結部５３の表裏方向と略平行とされ、接触部４２Ａは連結部５３の中心線Ｃ上に配置されている。
連結部５３は、表裏面方向へ弾性変形することで、スタイラス４０およびスタイラス取付部５１の本体取付部５２に対する変位（連結部５３の表裏面方向への変位）を許容している。
【００３０】
また、ワーク形状測定センサ３３には、連結部５３の弾性変形量を検出する変形量検出手段７０が設けられている。
変形量検出手段７０は、アダプタ５０の連結部５３の表裏方向の弾性変形量、すなわち曲げひずみ量を検出するものであり、連結部５３の表裏面にそれぞれ装着された一対のひずみゲージ７１を含んで構成されている。これらひずみゲージ７１は、図示は省略するが、それぞれリード線が接続されて任意のブリッジ回路に組み込まれることで、連結部５３の表裏方向の弾性変形量の検出が可能となっている。
【００３１】
次に、本実施形態の作用を説明する。
まず、加工対象物にねじ穴１００を形成する。
具体的には、加工対象物をテーブル１１上に載せて位置決めした後、ホルダ１５にドリル３１を取り付ける。ここで、ツール３１〜３３の取り付けや交換等は、手作業により行ってもよいし、通常、マシニングセンタ等に用いられる工具交換装置等により自動的に行ってもよい。ドリル３１をホルダ１５に取り付けたら、加工対象物にねじ下穴を加工し（図４参照）、この後、ホルダ１５からドリル３１を外してタップ３２を取り付け、ねじ立てを行って（図５参照）、ねじ穴１００を形成する。
【００３２】
次に、ねじ穴１００を形成した後、このねじ穴１００の形状測定を行い、各パラメータａ〜ｄを求める。
ここで、ワーク形状測定装置１によるワークの形状測定には、第１測定モードおよび第２測定モードの２種類のモードがあり、測定者は、いずれか一方の測定モードをコンピュータ２０上で選択して、ねじ穴１００の形状測定を行う。
（第１測定モードによる測定）
まず、コンピュータ２０上で第１測定モードを選択しておく。
次に、ホルダ１５にワーク形状測定センサ３３を取り付け、この測定センサ３３をねじ穴１００の直上まで移動させる。この後、測定センサ３３を下降させてスタイラス４０をねじ穴１００内に挿入する。次に、連結部５３の中心線Ｃがねじ穴１００の内周面よりも外周側に位置するように、測定センサ３３を水平方向へ、つまりスタイラス４０の接触部４２Ａがねじ穴１００の内周面に接触する方向へ移動させる。これにより、スタイラス４０の接触部４２Ａがねじ穴１００の内周面に接触する。
この状態において、測定センサ３３を上昇させ、このときのスタイラス４０の変位にともなう連結部５３の弾性変形量を変形量検出手段７０で連続的に検出することで、ねじ穴１００の内周面の形状を求める。これにより、ねじピッチａ、有効ねじ部長さｂ、不完全ねじ部長さｃおよびねじ穴深さｄを求めることができる。
【００３３】
具体的に説明すると、図６に示すように、ワーク形状測定センサ３３を図中二点鎖線で示す位置まで上昇させると、スタイラス４０の接触部４２Ａが、ねじ穴１００の内周面に倣いながら上昇してねじ穴１００の溝に配置された状態となる。
スタイラス４０の接触部４２Ａがねじ穴１００の溝に配置されると、ねじ穴１００に対するスタイラス４０の姿勢が変化するとともに、図７に拡大して示すように、連結部５３の弾性変形量が変化する。なお、図７では、連結部５３の弾性変形量の変化が分かるように、ワーク形状測定センサ３３を上昇させる前（実線）と、後（二点鎖線）とで、各連結部５３の位置を一致させた状態で示している。
このように、スタイラス４０の接触部４２Ａの変位は、連結部５３の弾性変形量に反映されることとなるから、連結部５３の弾性変形量を変形量検出手段７０で検出することで、スタイラス４０の接触部４２Ａの変位を求めることができる。
そして、ワーク形状測定センサ３３の上昇に伴って変化する変形量検出手段７０の出力値を連続的に検出することで、ねじ穴１００の形状を求めることができるようになる。
【００３４】
（第２測定モードによる測定）
まず、コンピュータ２０上で第２測定モードを選択しておく。
次に、上述した第１測定モードによる測定と同様に、測定センサ３３を下降させてスタイラス４０をねじ穴１００内に挿入した後、スタイラス４０の接触部４２Ａをねじ穴１００の内周面に接触させる。
このように、接触部４２Ａをねじ穴１００の内周面に接触させた後、変形量検出手段７０の出力値が所定値となるように、第１スライダ１３を水平方向へ移動させて、接触部４２Ａをねじ穴１００の内周面に押しつける（図８の実線で示す状態）。
【００３５】
変形量検出手段７０の出力値が略所定値になったら、この状態のまま、第２スライダ１４を上昇させることによって測定センサ３３をねじ穴１００の内周面にに沿って上昇させる。すると、ねじ穴１００の内周面形状に応じて接触部４２Ａが変位するから、スタイラス４０のねじ穴１００に対する姿勢も変化し、連結部５３の弾性変形量、すなわち変形量検出手段７０の出力値が変化するようになる。
ここで、第２測定モードによる測定では、変形量検出手段７０の出力値の変化をコンピュータ２０で読み取り、変形量検出手段７０の出力値が略一定（つまり、所定値）となるように、第１スライダ１３、すなわち、ワーク形状測定センサ３３を、図８の二点鎖線に示すように、水平方向（ねじ穴１００の内周面と略直交する方向）へ移動させている。これにより、変形量検出手段７０の出力値、すなわち連結部５３の弾性変形量を略一定にできるとともに、スタイラス４０のねじ穴１００に対する姿勢も一定にでき、スタイラス４０を接触部４２Ａをねじ穴１００の内周面に略一定の測定力で接触させることが可能となる。
【００３６】
このようにして、変形量検出手段７０の出力値が略一定となるように、コンピュータ２０で第１スライダ１３の駆動系を制御して、ワーク形状測定センサ３３を水平方向へ移動させながら、第２スライダ１４により、ワーク形状測定センサ３３をねじ穴１００の表面方向（軸方向）に沿って上昇させていく。そして、このときにおける第１スライダ１３および第２スライダ１４の各変位を、座標値データとして図示しない各駆動系のスケール等から連続的に読み取り、コンピュータ２０へ記録、保存する。
ワーク形状測定センサ３３の接触部４２Ａは、前述した公知の倣いプローブと同様に、ねじ穴１００の内周面形状に倣って移動するので、第１スライダ１３および第２スライダ１４の座標値データは、ねじ穴１００の内周面形状を表すこととなる。これにより、ねじピッチａ、有効ねじ部長さｂ、不完全ねじ部長さｃおよびねじ穴深さｄなどの、ねじのパラメータを求めることができる。
【００３７】
上述のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、本実施形態では、第１測定モードによる測定において、ねじ穴１００表面にスタイラス４０の接触部４２Ａを接触させた状態で、ねじ穴１００とワーク形状測定センサ３３とをねじ穴１００の軸方向（上下方向）へ沿って相対移動させる。すると、スタイラス４０の接触部４２Ａはねじ穴１００の内周面形状に倣うため、相対移動方向と略直交する方向へも変位し、このスタイラス４０が取り付けられたアダプタ５０のスタイラス取付部５１も同方向へ変位する。一方、アダプタ５０の本体取付部５２は、ねじ穴１００の軸方向へ沿って相対移動する本体６０へ取り付けられているため、その変位の方向は相対移動方向のみとなる。つまり、本体６０に対して、アダプタ５０のスタイラス取付部５１は相対移動方向と略直交する方向へ変位し、本体取付部５２は変位しないため、これらスタイラス取付部５１と本体取付部５２とを連結する連結部５３が弾性変形する。従って、スタイラス取付部５１の変位量、すなわちスタイラス４０の接触部４２Ａの変位量は、連結部５３の弾性変形量によって表すことができる。このような連結部５３の弾性変形量を変形量検出手段７０によって連続的に検出すれば、短時間で連続的なねじ穴１００の内周面形状のデータが収集できる。
【００３８】
スタイラス４０は、スタイラス取付部５１に取り付けられかつねじ穴１００の軸方向へ沿う第１アーム部４１と、この第１アーム部４１から略直角に折曲されて形成されかつ接触部４２Ａを有する第２アーム部４２とを備えているため、スタイラス４０を容易にねじ穴１００内に挿入できるとともに、その接触部４２Ａをねじ穴１００の内周面に確実に接触させることができる。
【００３９】
スタイラス４０の接触部４２Ａが相対移動方向と略平行な連結部５３の中心線Ｃ上に配置されている。従って、接触部４２Ａにかかる連結部５３の軸線方向への摩擦力は、連結部５３の相対移動方向と略直交する方向への弾性変形量として現れない。これにより、被測定物の面粗さ等によって変動する摩擦力の影響を排除することができ、スタイラス４０の相対移動方向と略直交する方向への変位量のみを連結部５３の弾性変形量に反映させることができる。
【００４０】
連結部５３の弾性変形量を検出する変形量検出手段７０は、連結部５３に装着されるひずみゲージ７１を含んで構成されているので、安価に構成できる。
【００４１】
スタイラス４０は、ピアノ線で形成されているため、安価に構成できるうえ、ピアノ線を折曲することでねじ部形状に対応した任意の形状のスタイラス４０を容易に形成することができる。
【００４２】
まず、ホルダ１５にタップ３２を取り付け、加工対象物にねじ穴１００を形成した後、ホルダ１５からタップ３２を外し、ワーク形状測定センサ３３を取り付けてねじ穴１００の形状測定を行う。
ねじ穴１００を最終加工形状に仕上げるねじ切りと、このねじ切り後に必要な測定とを同一の装置で行っているので、被測定物（加工対象物）を移動させる必要がない。これにより、測定のために被測定物の位置決めや移動を行う必要がなくなり、測定時間を短縮できる。
【００４３】
ねじ穴１００の形状測定とともに、加工対象物にねじ穴１００を形成する一連の加工工程を行うことができる。つまり、ねじ穴１００のねじ下穴の加工から、ねじ切り、ねじ穴１００の形状測定までを一連の流れで行うことができ、加工時間および測定時間の短縮をはかることができる。
測定センサは測定対象（ねじ形状）の形状、大きさによって最適な形状、大きさのセンサに容易に交換できる。
【００４４】
本実施形態では、第２測定モードによる測定において、ねじ穴１００表面にスタイラス４０の接触部４２Ａを接触させた状態で、ねじ穴１００とワーク形状測定センサ３３とをねじ穴１００の軸方向（上下方向）へ沿って相対移動させる際、コンピュータ２０の制御によって、変形量検出手段７０の出力が略一定値となるように第１スライダ１３を略水平方向に移動させている。
すなわち、ねじ穴１００表面の形状に従って相対移動方向（上下方向）と略直交する方向（左右方向＝測定面垂直方向）へ接触部４２Ａが変位すると、アダプタ５０の連結部５３が弾性変形して変形量検出手段７０の出力値が変化するので、当該出力値を前述した所定値に復帰させようと、ワーク形状測定センサ３３が左右方向（水平方向）へ移動される。
従って、スタイラス４０の接触部４２Ａの変位量（上下方向、左右方向）は、第１スライダ１３と第２スライダ１４の変位量によってあらわすことができ、これらの変位量を座標値データとして連続的に検出、収集すれば、短時間で連続的なねじ穴１００の内周面形状のデータが収集できる。
【００４５】
第２測定モードによる測定において、アダプタ５０の弾性変形量が一定に保たれることで、スタイラス４０のねじ穴１００（測定面）に対する姿勢を一定に保持できるから、スタイラス４０の接触部４２Ａと、アダプタ５０の本体取付部５２との間の距離を略一定に維持することができるようになる。つまり、測定中に、接触部４２Ａおよび本体取付部５２間の距離が変動することがなく、スタイラス４０の円弧誤差発生を回避できるから、スタイラス４０の接触部４２Ａの変位を、第１および第２スライダ１３，１４の変位に、より高精度に反映させることができ、測定精度を向上させることができる。
【００４６】
また、本実施形態では、変形量検出手段７０の出力、すなわちアダプタ５０の連結部５３の弾性変形量を略一定に維持した状態で測定を行っているから、ねじ穴１００の表面形状の起伏が大きい場合であっても、アダプタ５０の連結部５３が大きく変形することなく、つまり、連結部５３に弾性限界を超える応力がかかることなく測定を行うことができ、広い測定レンジでワーク形状測定装置を１利用することができる。
【００４７】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良は、本発明に含まれるものである。
たとえば、前記実施形態では、スタイラス４０自体は弾性変形しないケースで説明しているが、スタイラス４０の剛性が低く、ねじ部の形状測定時に弾性変形する場合であっても、同等の測定性能を得ることができる。
具体的に、中心線Ｃ直交方向の接触部４２Ａの変位によって、スタイラス４０と連結部５３との両方が弾性変形した場合、ひずみゲージ７１によって、接触部４２Ａの中心線Ｃ直交方向の変位量を正確に測定することはできないが、変位量は、スタイラス４０および連結部５３の両方の弾性変形によって吸収される。このため、接触部４２Ａが中心線Ｃ直交方向に変位しているかどうか、または、その変位の大小を、ひずみゲージ７１によって検出することができる。求めるねじ穴１００のパラメータは、図１０に示すように、ねじ穴１００の軸方向へ沿った各種パラメータａ〜ｄであるから、接触部４２Ａが中心線Ｃ直交方向に変位しているかどうか、または、その変位の大小が検出できれば、このような場合であっても、ねじ穴１００のパラメータａ〜ｄを正確に求めることができる。
また、スタイラス４０と連結部５３との両方の弾性変形比率を予め測定しておけば、ひずみゲージ７１の検出値から、接触部４２Ａの変位量を校正して求めることもできる。
【００４８】
また、スタイラスとしては、ワークの形状等に応じて適宜な大きさ、形状を有するものを用いればよく、たとえば、径の小さくかつ長さが長いねじ穴の場合は、第１アーム部の長さが長くかつ第２アーム部の長さが短いスタイラスを用いればよい。
【００４９】
前記実施形態では、ワーク形状測定センサ３３が移動することで、ワーク形状測定センサ３３とねじ穴１００とがねじ穴１００の軸方向へ相対移動しているが、これに限らず、測定対象であるねじ穴を移動させてもよく、ワーク形状測定センサとねじ穴との両方を移動させてもよく、要するに、ワーク形状測定センサとねじ穴とを相対移動させればよい。
【００５０】
前記実施形態では、測定対象のねじ部としてねじ穴１００を挙げているが、本発明に係るねじ部はねじ穴に限定されるものではなく、ねじ軸であってもよい。さらに、測定対象はねじ形状に限らず、一般的な二次元形状測定対象や三次元形状測定対象であってもよい。
【００５１】
【発明の効果】
本発明のワーク形状測定センサおよびワーク形状測定装置によれば、短時間で連続的なワークの表面形状のデータが収集できるとともに、安価に構成できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るワーク形状測定装置を示す概略構成図である。
【図２】前記実施形態に係るワーク形状測定センサを一部破断して示す側面図である。
【図３】前記実施形態に係るワーク形状測定センサのアダプタを拡大して示す斜視図である。
【図４】前記実施形態に係るワーク形状測定装置の作用を示す図である。
【図５】前記実施形態に係るワーク形状測定装置の他の作用を示す図である。
【図６】前記実施形態に係るワーク形状測定装置の第１測定モードよる測定を説明するための模式図である。
【図７】図６の要部を示す拡大図である。
【図８】前記実施形態に係るワーク形状測定装置の第２測定モードによる測定を説明するための模式図である。
【図９】本発明の作用を説明するための模式図である。
【図１０】測定対象であるねじ穴を示す模式図である。
【符号の説明】
１ ワーク形状測定装置
１５ ホルダ
２０ 制御手段であるコンピュータ
３１ 加工工具であるドリル
３２ 加工工具であるタップ
３３ ワーク形状測定センサ
４０ スタイラス
４１ 第１アーム部
４２ 第２アーム部
４２Ａ 接触部
５０ アダプタ
５１ スタイラス取付部
５２ 本体取付部
５３ 連結部
６０ 本体
７０ 変形量検出手段
７１ ひずみゲージ
１００ ねじ部であるねじ穴
Ｃ 中心線
Claims (9)
- 一端側にワーク表面に接触する接触部を有したスタイラスと、このスタイラスをアダプタを介して保持する本体と、を備え、
前記スタイラスの接触部が前記ワーク表面に接触しながら、当該ワークと前記本体とが前記ワークの表面方向へ略沿って相対移動され、
前記アダプタは、
前記スタイラスの他端側が取り付けられるスタイラス取付部と、前記本体に取り付けられる本体取付部と、
これらスタイラス取付部と本体取付部とを連結しかつ弾性変形可能な連結部とを含んで構成され、
前記連結部は、前記相対移動の方向に略直交する方向の力によって弾性変形して前記ワークの表面形状にともなう前記スタイラスおよびスタイラス取付部の前記本体取付部に対する変位を許容し、かつ、前記相対移動の方向に沿った力によっては変形せず、
前記連結部の弾性変形量を検出する変形量検出手段が設けられ、
前記スタイラスの接触部は、前記相対移動方向と略平行な前記連結部の中心線上に配置されている
ことを特徴とするワーク形状測定センサ。 - 請求項１に記載のワーク形状測定センサにおいて、
前記スタイラスは、略Ｌ字状に形成され、他端側が前記スタイラス取付部に取り付けられかつ前記ワークの軸方向へ沿う第１アーム部と、この第１アーム部の一端側から略直角に折曲されて形成されかつ一端側に前記接触部を有する第２アーム部と、を備えている
ことを特徴とするワーク形状測定センサ。 - 請求項１または請求項２に記載のワーク形状測定センサにおいて、
前記変形量検出手段は、前記連結部に装着されるひずみゲージを含んで構成されている
ことを特徴とするワーク形状測定センサ。 - 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のワーク形状測定センサにおいて、
前記スタイラスは、ピアノ線から形成されている
ことを特徴とするワーク形状測定センサ。 - 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のワーク形状測定センサにおいて、
前記スタイラスの接触部は、前記ワークに形成されたねじ部の表面に接触される
ことを特徴とするワーク形状測定センサ。 - 請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のワーク形状測定センサを備えたワーク形状測定装置であって、
前記ワーク形状測定センサが着脱可能に取り付けられるホルダと、このホルダと前記ワーク表面とを当該ワークの表面方向へ略沿って相対移動させる表面方向相対移動機構と、この表面方向相対移動機構を制御する制御手段と、を備えた
ことを特徴とするワーク形状測定装置。 - 請求項５に記載のワーク形状測定センサを備えたワーク形状測定装置であって、
前記ワーク形状測定センサが着脱可能に取り付けられるホルダと、このホルダと前記ワーク表面とを当該ワークの表面方向へ略沿って相対移動させる表面方向相対移動機構と、この表面方向相対移動機構を制御する制御手段とを備え、
前記ホルダには、加工対象物にねじを切って前記ねじ部を形成する加工工具が着脱可能に取り付けられることを特徴とするワーク形状測定装置。 - 請求項７に記載のワーク形状測定装置において、
前記ホルダには、加工対象物に前記ねじ部のねじ下穴を形成する加工工具が着脱可能に取り付けられる
ことを特徴とするワーク形状測定装置。 - 請求項６ないし請求項８のいずれかに記載のワーク形状測定装置において、
前記ホルダと前記ワーク表面とを当該ワーク表面と略直交する方向へ相対移動させる表面直交方向相対移動機構を備え、
前記制御手段には、前記変形量検出手段から出力される信号が入力されるとともに、
前記制御手段は、前記スタイラスの接触部を前記ワーク表面に接触させながら前記ホルダと前記ワーク表面とを当該ワークの表面方向へ略沿って相対移動させる際、前記変形量検出手段からの出力信号が略一定となるように前記表面直交方向相対移動機構を制御する
ことを特徴とするワーク形状測定装置。
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