JP3887188B2 - プローブのアライメント調整装置、その装置を備えた測定機およびプローブのアライメント調整方法 - Google Patents
プローブのアライメント調整装置、その装置を備えた測定機およびプローブのアライメント調整方法 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、深穴や深ねじ穴等の形状を測定する際等に用いられるプローブの角度を、測定前に調整するアライメント調整装置、その装置を備えた測定機およびプローブのアライメント調整方法に関する。
【0002】
【背景技術】
従来、接触式のタッチ信号プローブを使用する例として、特許第2902285号公報の三次元位置制御システムが知られている。
この公報の三次元位置制御システムでは、設置位置と形状偏差が既知の基準球を、被校正プローブで測定し、求めた基準球の中心座標から被校正プローブの誤差を求めている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
前記公報の被校正プローブでは、プローブ先端の測定球の位置誤差を求めるためのものであるが、タッチ信号プローブでは、前記のような位置測定に限らず、ねじ穴や深穴等の穴の側面形状や、円筒度を測定することが行われる。この場合、穴の奥までプローブを挿入しなければ測定することができない。
しかし、プローブが長いと、そのプローブの軸心が傾いた状態でプローブが設置される可能性がある。そのため、例えば深穴センサ用プローブでは、その先端部は校正できたとしても、プローブが傾いていると、そのプローブを深穴に挿入しようとしたときに、途中で深穴の壁部分と干渉し、それ以上入っていかないという問題がある。この場合、わずかな干渉に気づかずに挿入しようとすると、センサが破損するおそれがある。
【0004】
本発明の目的は、プローブの角度と穴の角度とを正確に一致させることができ、プローブの破損を防止することができるプローブのアライメント調整装置、その装置を備えた測定機およびプローブのアライメント調整方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、被計測部の形状を測定するプローブの角度を測定の前に調整するプローブのアライメント調整装置であって、前記プローブの角度が基準となる軸線に沿うように当該プローブの角度を調整可能な角度調整手段と、前記プローブを前記被計測部に対して移動させるスライダに設けられ前記基準となる軸線と対応する基準線を構成する予め正確に調整されたエッジ面を有する標準体と、この標準体のエッジ面と対比可能な対比基準線が表示された表示体と、この表示体が回動可能に設けられるとともに前記エッジ面を観察する観察手段とを備えて構成され、前記表示体が回動されて前記エッジ面と一致した前記表示体の対比基準線が、前記角度調整手段によるプローブの角度を調整する際の基準となることを特徴とするプローブのアライメント調整装置である。
【0006】
このような本発明によれば、プローブの角度が基準となる軸線と異なっている際には、角度調整手段により、プローブの角度は基準となる軸線に沿うように調整される。プローブの角度と基準となる軸線とは、測定の前に常に一致した状態とされるので、測定に際して、プローブの角度と穴の角度とを正確に一致させることができる。そのため、深穴等に挿入させてもその側面に干渉することなく、プローブの破損を防止することができる。また、観察手段に設けられた表示体の対比基準線が、基準となる軸線と対応するエッジ面に一致するように調整され、この対比基準線に基づいてプローブの角度が調整される。観察手段で対比基準線とプローブとを対比しながら調整できるので、調整が容易となる。
【0007】
以上の本発明において、基準の軸線は、水平、垂直および斜め等、どの方向の軸線であってもよい。また、角度調整手段は、プローブの角度を基準となる軸線に沿うように調整可能であれば、どのような構造のものであってもよい。例えば、プローブを装着した部材にハンドルを設けておいてそのハンドルを適宜回すことにより、前記部材とともにプローブの角度を調整するようにしたもの、ねじ部材を利用してプローブの角度を調整するようにしたもの、あるいは、ねじ部材に替えてマイクロメータヘッド等を利用してプローブの角度を調整するようにしたもの等、が適用できる。
【0008】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のプローブのアライメント調整装置において、前記角度調整手段は、前記プローブにおける第1平面内の角度の微調整を可能とする第1マイクロメータヘッドおよび前記プローブにおける第2平面内の角度の微調整を可能とする第2マイクロメータヘッドを備えて構成されていることを特徴とするものである。
【0009】
このような本発明によれば、プローブの第1平面内の角度は第1マイクロメータヘッドにより微調整され、プローブの第2平面内の角度は第2マイクロメータヘッドにより微調整される。2平面内の角度の微調整が、それぞれマイクロメータヘッドにより行われるので、きわめて小さな誤差でも基準線に合わせることができ、正確なアライメント調整が可能となる。
なお、通常は第1平面と第2平面とは直交するように選択する。
【0012】
請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載のプローブのアライメント調整装置において、前記観察手段は、焦点位置に置かれた前記標準体のエッジ面または前記プローブを観察可能な顕微鏡で構成されるとともに、前記表示体は前記顕微鏡の接眼レンズ近傍に設けられるレチクルで構成され、前記顕微鏡は、前記第1平面に直交する第1方向または前記第2平面に直交する第2方向のいずれかの方向から観察可能となっていることを特徴とするものである。
【0013】
このような本発明によれば、顕微鏡で見ながらレチクルとエッジ面とが調整され、次いで、レチクルに合わせてプローブが調整される。しかも、レチクルに合わせてのプローブの調整は、2方向からの観察に基づいて行われるので、より正確な調整が可能となる。
【0014】
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載のプローブのアライメント調整装置において、前記顕微鏡は、取付台にアームを介して前記第1方向、第2方向の2方向に回動可能に設けられていることを特徴とするものである。
このような本発明によれば、顕微鏡は取付台に設けられ第1方向、第2方向の2方向に回動可能となっており、アームを回動させれば顕微鏡も一体的に回動するので、2方向への移動が容易である。
【0015】
請求項5に記載の発明は、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のプローブのアライメント調整装置において、前記プローブのアスペクト比は20以上であることを特徴とするものである。
このような本発明によれば、深穴に対して細長のプローブを挿入して測定する場合に、プローブの軸線を基準軸に容易に一致させることができるので、プローブの取付姿勢の誤差によって被測定物の被計測部とプローブの不慮の干渉発生を未然に防止することができる。これによって被測定物やプローブの破損防止が図れる。また、干渉によるプローブの変形によって、測定の信頼性が低下することも防止できる。
【0016】
請求項6に記載の発明は、請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のプローブのアライメント調整装置を備えて構成されていることを特徴とする測定機である。
このような本発明によれば、測定機がアライメント調整装置を備えて構成され、このアライメント調整装置は、被計測部の測定前にプローブの角度を微調整できるので、深穴等の測定を行う際、プローブの角度を深穴等に一致させてから行える。従って、プローブの破損を防止できる測定機とすることができる。
【0017】
請求項7に記載の発明は、被計測部の形状を測定するプローブの角度を測定の前に調整するプローブのアライメント調整方法であって、前記プローブを前記被計測部に対して移動させるスライダに設けられた標準体の予め正確に調整されたエッジ面により基準線が構成され、このエッジ面または前記プローブを観察する観察手段に、前記エッジ面と対比可能な対比基準線が表示された表示体を回動可能に設け、所定位置におかれた前記エッジ面に対して前記表示体の対比基準線が一致するように表示体を回動させ、その後、前記所定位置におかれたプローブに対して前記観察手段により表示体の対比基準線を対比させ、前記プローブの角度が前記対比基準線と異なるとき、前記プローブの角度を前記対比基準線に沿うように角度調整手段により調整することを特徴とするプローブのアライメント調整方法である。
【0018】
このような本発明によれば、プローブの角度が基準となる軸線と異なっている際には、角度調整手段により、プローブの角度は基準となる軸線に沿うように調整される。プローブの角度と基準となる軸線とは、測定の前に常に一致した状態とされるので、測定に際して、プローブの角度と穴の角度とを正確に一致させることができる。そのため、深穴等に挿入させてもその側面に干渉することなく、プローブの破損を防止することができる。また、観察手段で対比基準線とプローブとを対比しながら調整できるので、調整が容易となる。
【0019】
請求項8に記載の発明は、請求項7に記載のプローブのアライメント調整方法において、前記所定位置におかれたプローブに対して前記観察手段により表示体の対比基準線を対比させ、この対比基準線と前記プローブの第1平面内および第2平面内の少なくともいずれかの角度とがずれているとき、前記角度調整手段を構成するとともに、前記第1平面内の角度の微調整を行う第1マイクロメータヘッドおよび第2平面内の角度の微調整を行う第2マイクロメータヘッドの少なくともいずれかにより前記プローブの角度を前記対比基準線に合わせて調整することを特徴とするものである。
【0020】
このような本発明によれば、2平面内の角度の微調整が、それぞれマイクロメータヘッドにより行われるので、きわめて小さな誤差でも基準線に合わせることができ、正確なアライメント調整が可能となる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図1には、深穴や深ねじ穴等の形状を測定する測定機1が示されている。この測定機1は、測定対象物Wを載置するテーブル2と、このテーブル2を三次元方向へ相対移動させる相対移動手段3と、プローブのアライメント調整装置(以下、単に調整装置という)10とを備えて構成されている。
そして、このような測定機1は、調整装置10によって、測定対象物Wの測定の前に、プローブ22の角度を基準軸に一致させる調整、すなわちアライメント調整を行った後、そのプローブ22によって、測定対象物Wの形状、例えば図10に示すようなねじ穴の形状等を計測するようになっている。
【0022】
相対移動手段3は、テーブル2を前後方向(第2方向であるY軸方向)へ移動可能に支持したベース4と、このベース4の両側にわたって立設された門形フレーム5と、この門形フレーム5の水平ビーム5Aに左右方向(第1方向であるX軸方向)へ移動可能に支持されたXスライダ6と、このXスライダ6に上下方向(基準となる軸線であるZ軸方向)へ昇降可能に支持されたZスライダ7とを含み構成され、このZスライダ7の下端には、表示体であるターゲット19および調整装置10を構成する角度調整手段21が装着されている。
【0023】
ターゲット19は、図4にも示すようにZスライダ7に設けられ、その先端には、基準面となるエッジ面19Aが形成されている。このエッジ面19Aは、直交する2面を備え、その各々の面は、正確に基準となる第1平面であるXZ平面及び第2平面であるYZ平面と平行に仕上げられ、後述するレチクル18の対比基準線の基準となるものである。言い換えれば、レチクル18の対比基準線をエッジ面19Aに合わせることで、プローブ22のZ軸方向を正確に位置決めするときの基準となるものである。ターゲット19は、図示しないジョイスティック等で所定の位置に移動されるようになっている。
なお、XZ平面とはX軸とZ軸とを含む平面で、YZ平面とはY軸とZ軸とを含む平面である。
【0024】
調整装置10は、図2,3にも示すように、テーブル2に設けられたプローブ観察手段11と、Zスライダ7に設けられた前記角度調整手段21とを備えて構成されている。
プローブ観察手段11は、テーブル2に固定される取付けプレート12と、この取付けプレート12に回動部13Aを介して回動可能、かつ、取付けプレート12から離れる方向に水平方向に延びる支持アーム13と、この支持アーム13の回動部13Aとは反対側端部に立設された支柱14と、この支柱14に支持アーム13に沿い、かつ、取付けプレート12側に向かって設けられた取付台15と、この取付台15に取付けられた顕微鏡16とを備えて構成されている。
【0025】
回動部13Aの中心と顕微鏡16の焦点位置Fとは、同一垂直面上に位置しており、また、顕微鏡16の軸線と支持アーム13の軸線とは、同一垂直面上に重なるように配置されている。従って、顕微鏡16と支持アーム13とは、焦点位置Fを中心に水平面内で、X軸とY軸との2方向に90°回動可能となっており、その結果、2方向からの観察が可能となっている。
【0026】
取付けプレート12上には、互いに直交する面を有する2つのストッパ17が設けられ、これらのストッパ17の面に、回動する支持アーム13の対向する側面が接触可能となっており、これにより、支持アーム13は90°以上回転しないように構成されている。
【0027】
顕微鏡16は、焦点位置Fと対向する光軸が水平な対物レンズ部16Aと、この対物レンズ部16Aに対して、α°の角度で立ち上がった筒部の先端に設けられた接眼レンズ部16Bとを備えて構成されている。
顕微鏡16の接眼レンズ部16Bの近傍には、表示体であるレチクル18が設けられている。レチクル18には、図5(A)、(B)に示すように、対比基準線Cが記入されており、また、レチクル18は、顕微鏡16の筒部に対して回動可能、かつ、所定位置で固定可能となっている。
【0028】
前記角度調整手段21は、図6〜9に示すように、前記Zスライダ7の下端に取付けられるプローブユニット23および、このプローブユニット23に設けられる第1マイクロメータヘッド25、第2マイクロメータヘッド26を含んで構成され、第1マイクロメータヘッド25は、プローブ22のXZ平面内の角度を微調整可能となっており、第2マイクロメータヘッド26は、プローブ22のYZ平面内の角度を微調整可能となっている。
【0029】
プローブユニット23は、Zスライダ7に取付けられる取付け枠体28を備え、この取付け枠体28の下方には、断面L字状の支持部材29が固着され、この支持部材29の下方には固定部材30が固着されている。固定部材30には、図6に示すように、水平プレート部の一端側、かつ、図7に示すように、固定部材30の幅方向両端部に、下方に突出する2枚の突出プレート30Aが設けられており、この突出プレート30Aの部位では、図7に示すように断面コ字状となっている。なお、突出プレート30Aは、Y軸方向に沿って配置されている。
【0030】
固定部材30には、揺動部材31が第2軸受32によって連結されており、この揺動部材31には、上面に凸状部31Aが形成されるとともに、下面に凹状部31Bが形成されている。揺動部材31は、固定部材30とほぼ等しい平面大きさを有し、また、凸状部31Aは、固定部材30の突出プレート30Aの幅寸法に対応し、かつ、コ字状部に挟み込まれており、両者30A、31Aの間には、図7に示すように上記第2軸受32が設けられている。
【0031】
第2軸受32は、2組のピボット軸受で構成され、突出プレート30Aに円錐部を有する軸受部を設け、凸状部31Aに円錐部を有する軸部を設けた構造となっており、一方側の突出プレート30Aの軸受部は押え部材33で押えられている。また、凸状部31Aの上面と固定部材30のプレート部の下面との間には、所定寸法の隙間K(図9参照)があけられている。
以上のように、凸状部31Aが固定部材30の突出プレート30A間に挟み込まれ、両者30A、31Aが第2軸受32によって連結されているため、また、凸状部31Aの上面と固定部材30のプレート部の下面との間に隙間Kがあけられているため、揺動部材31は、YZ平面内に揺動可能となっている。
【0032】
揺動部材31の下方には、上部に凸状部34Aを有するプローブ取付け部材34が第1軸受35を介してXZ平面内に揺動可能に連結されている。
すなわち、プローブ取付け部材34は、揺動部材31に連結される第1部材34Bと、この第1部材34Bと一体的に下方に延びて固着され、かつ、プローブ22を装着する第2部材34Cとを含み構成されている。プローブ22は、第2部材34Cの先端にプローブ装着部34Dを介して装着される。プローブ取付け部材34の凸状部34Aは、揺動部材31の下部の凹状部31B内に挟み込まれるとともに、両者34A、31Bにわたって設けられた第1軸受35により連結されている。
【0033】
第1軸受35は、第2軸受32と同様、2組のピボット軸受で構成され、凹状部31Bに円錐部を有する軸受部を設け、凸状部34Aに円錐部を有する軸部を設けた構造となっており、一方側の凹状部31Bの軸受部は前記押え部材33で押えられている。また、凸状部34Aの上面と揺動部材31のプレート部の下面との間には、前記所定寸法の隙間K(図7参照)があけられている。
以上のように、凸状部34Aが凹状部31B間に挟み込まれ、両者34A、31Bが第1軸受35によって連結されているため、また、凸状部34Aの上面と揺動部材31のプレート部の下面との間に隙間Kがあけられているため、プローブ取付け部材34は、XZ平面内に揺動可能となっている。
【0034】
そして、以上の取付け枠体28、支持部材29、固定部材30、揺動部材31、第2軸受32、プローブ取付け部材34、第1軸受35を含んで前記プローブユニット23が構成されている。
第2部材34Cの先端に装着される前記プローブ22は、例えば、図10に示すような深ねじ穴100を計測することができるように形成されている。
【0035】
前記プローブ取付け部材34の第1部材34Bには、プローブ22のXZ平面内の角度を微調整する第1マイクロメータヘッド25が設けられ、また、揺動部材31には、プローブ22のYZ平面内の角度を微調整する第2マイクロメータヘッド26が設けられている。
【0036】
すなわち、第1マイクロメータヘッド25は、第1部材34Bの他端(第1軸受35を挟んで第2部材34Cの反対側)上方にヘッド部25Aが突出し、下方に目盛部25Bが位置するように、クランプ25Cが、第1部材34Bの薄板部を挟み込んで取付けられている。そして、目盛部25Bを回すことによりヘッド部25Aを前進させたとき、その先端は、揺動部材31の下面に接触可能となっている。
【0037】
また、第1部材34Bと揺動部材31との間、かつ、第1マイクロメータヘッド25を挟んだ両側位置に第1ばね37が架けわたされている。これらの第1ばね37のコイル先端部は、第1部材34Bと揺動部材31とに埋め込まれた固定ピン38にそれぞれ引っかけられ、両部材34B,31の第1マイクロメータヘッド25側同士を常時近づける方向に付勢している。
【0038】
従って、第1マイクロメータヘッド25の目盛部25Bを所定方向に回し、その先端で揺動部材31の他端側の下面を突き上げれば、その力が第1軸受35から凸状部34Aを経由して第1部材34B、つまりプローブ取付け部材34に伝わり、図7においてプローブ取付け部材34をXZ平面内において反時計回り方向へ回転させることができるようになっている。
これに対して、第1マイクロメータヘッド25を反対方向に回すと、第1ばね37の作用により、図7においてプローブ取付け部材34をXZ平面内において時計回り方向へ回転させることができるようになる。このように、目盛部25Bを回す量の調整をすることでプローブ22のXZ平面内回転角度の微調整を行うことができる。
【0039】
第2マイクロメータヘッド26は、前述のように、揺動部材31の他端(第2軸受32の反対側)に設けられている。
第2マイクロメータヘッド26は、揺動部材31の上方にヘッド部26Aが突出し、下方に目盛部26Bが位置するように、クランプ26Cが揺動部材31の薄板部を挟み込んで取付けられている。そして、目盛部26Bを回すことによりヘッド部26Aを前進させたとき、その先端は、固定部材30の水平プレート部の下面に接触可能となっている。
【0040】
また、揺動部材31と固定部材30との間、かつ、第2マイクロメータヘッド26を挟んだ位置には、図6に示すように第2ばね40が架けわたされている。これらの第2ばね40のコイル先端部は、揺動部材31と固定部材30とに埋め込まれた前記固定ピン38にそれぞれ引っかけられ、両部材31,30の第2マイクロメータヘッド26側同士を常時近づける方向に付勢している。
【0041】
従って、第2マイクロメータヘッド26の目盛部26Bを所定方向に回し、その先端で固定部材30の他端側の下面を突き上げれば、その力が第2軸受32から凸状部31Aを経由して揺動部材31Bに伝わり、図8においてプローブ取付け部材34をYZ平面内において反時計回り方向へ回転させることができるようになっている。
これに対して、第2マイクロメータヘッド26を反対方向に回すと、第2ばね40の作用により、図8においてプローブ取付け部材34をYZ平面内において時計回り方向へ回転させることができるようになる。このように、目盛部26Bを回す量の調整をすることでプローブ22のYZ平面内回転角度の微調整を行うことができる。
【0042】
次に、以上のような構成の測定機1により、深ねじ穴100の測定を行う手順を説明する。
まず、プローブ22がZ軸方向、つまり深ねじ穴100の方向と一致するように正確に取付けられているか否かを調整装置10により調整する。この際、まず、Zスライダ7に取付けられているターゲット19のエッジ面19Aを焦点位置Fに移動させる。
次いで、顕微鏡16の軸線を例えばX軸に沿った方向に角度を設定するとともに、接眼レンズで、焦点位置Fに設定されているエッジ面19Aを覗き、レチクル18の対比基準線Cをエッジ面19Aに重ね合わせて、両者が一致するまでレチクル18を回し、レチクル18の調整を完了する。調整完了のレチクル18を顕微鏡16に対してその状態を維持して固定する。
【0043】
この後、ターゲット19を焦点位置Fから離すとともに、Zスライダ7に取付けられている角度調整手段21のプローブ22を焦点位置Fに合わせる。
次いで、顕微鏡16をX軸方向から覗き、レチクル18の対比基準線Cをプローブ22に重ね合わせ、両者のずれを観察する。プローブ22の角度が正確にレチクル18の対比基準線Cと一致していれば、今度はプローブ22の角度をY軸方向から観察するために、顕微鏡16を水平面内で90°回動させ、レチクル18の対比基準線Cをプローブ22に重ね合わせ、両者のずれを観察する。Y軸方向のずれも発見されなかったら、相対移動手段3の駆動によりテーブル2上に載置された測定対象物を適宜移動させた後固定し、深ねじ穴100にプローブ22を挿入して形状測定を行う。
【0044】
顕微鏡16による観察でレチクル18の基準軸に対してプローブ22の角度がY軸方向から見て一致していないときは、第1マイクロメータヘッド25の目盛部25Bを所定方向に回し、その先端で揺動部材31の他端側下面の突き上げ量を変化させる。そうすると、第1軸受35を支点として、揺動部材31の凹状部31A側がXZ平面内で所定寸法分だけ回転する。プローブ22のXZ平面内の角度がレチクル18の対比基準線Cに一致するまで目盛部25Bを回し、角度の微調整が行われる。
【0045】
顕微鏡16による観察でレチクル18の基準軸に対してプローブ22の角度がX軸方向からみて一致していないときは、第2マイクロメータヘッド26の目盛部26Bを所定方向に回し、その先端で固定部材30の他端側下面の突き上げ量を変化させる。そうすると、第2軸受32を支点として、固定部材30の突出プレート30A側がYZ平面内で所定寸法だけ回転する。プローブ22のYZ平面内の角度がレチクル18の対比基準線Cに一致するまで目盛部26Bを回し、角度の微調整が行われる。
そして、プローブ22のZ軸において、X軸方向およびY軸方向の角度がレチクル18の対比基準線Cに対して一致したら、前述のように、そのプローブ22を深ねじ穴100に挿入させて形状等の測定を行う。
【0046】
このような本実施形態によれば、次のような効果を得ることができる。
(1)プローブ22の角度が深ねじ穴100の基準線、つまりZ軸と異なっている際に、測定前の段階で、角度調整手段21により、プローブ22の角度をZ軸においてX軸方向およびY軸方向に調整して、深ねじ穴100の方向と一致させることができる。そのため、プローブ22を穴100の側面に干渉させることなく奥まで挿入させることができ、これにより、プローブ22の破損を防止できるとともに、正確な測定が可能となる。
【0047】
(2)プローブ22の角度を調整するための基準となるレチクル18の対比基準線Cは、顕微鏡16を覗きながら、Z軸に対応して予め正確に調整されたターゲット19のエッジ面19Aに合わせることで設定することができるので、対比基準線Cの調整が容易となる。
(3)プローブ22の角度調整は、顕微鏡16を覗きながら、レチクル18の対比基準線Cをプローブ22に重ね合わせて、互いに一致するまで角度調整手段21により調整すればよく、プローブ22をその都度、深ねじ穴100等に沿わせる必要もなくできるので、角度調整の効率がよい。また、目視による角度のずれが困難なプローブでも、顕微鏡16を覗きながら、レチクル18の対比基準線Cをプローブに重ね合せればよいので、容易に角度の調整ができる。
【0048】
(4)角度調整手段21は、第1マイクロメータヘッド25および第2マイクロメータヘッド26を備えており、プローブ22のXZ平面内の角度を第1マイクロメータヘッド25で、プローブ22のYZ平面内の角度を第2マイクロメータヘッド26で調整することができる。2軸方向の角度の調整が、それぞれマイクロメータヘッド25,26により行われるので、きわめて小さな誤差の角度でも深ねじ穴100の方向に合わせることができ、その結果、正確なアライメント調整が可能となる。
【0049】
(5)プローブ22のXZ平面内、YZ平面内の回動をスムーズにするための第1軸受35、第2軸受32は、摩擦係数の少ない構造のそれぞれ2組のピボット軸受で構成されているので、第1マイクロメータヘッド25および第2マイクロメータヘッド26によるわずかな力の伝達にもバックラッシュもなく敏感に対応し、これにより、プローブ22の角度の微調整が容易となる。
【0050】
(6)第1部材34Bと揺動部材31との間、かつ、第1マイクロメータヘッド25を挟んだ両側位置に第1ばね37が架けわたされ、揺動部材31と固定部材30との間、かつ、第2マイクロメータヘッド26を挟んだ位置には第2ばね40が架けわたされており、これらは、第1部材34Bと揺動部材31、揺動部材31と固定部材30とを常時近づける方向に付勢している。そのため、各マイクロメータヘッド25,26のヘッド部25A,26Aを前進させたときの反対方向にプローブ22を変位させることができ、プローブ22をより正確に調整することができる。
【0051】
(7)アスペクト比(長さ/径)が大きな、例えば20を超えるようなプローブでは、プローブを基準軸に対する角度誤差なく取り付けることは困難であって、このようなプローブを用いて深穴を測定する場合に、被計測部とプローブとの干渉を防ぐためにプローブ取付姿勢をチェックすることは困難を極めたが、本発明によって、プローブの取付姿勢(基準軸に対する取付角度)を容易に確認することが出来、さらに取付姿勢の修正も容易となる。
【0052】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できるものであれば、次に示すような変形形態も適用されるものである。
例えば、前記実施形態では、角度調整手段21のXZ平面内、YZ平面内の回転の支点となる第1軸受35、第2軸受32は、それぞれピボット軸受で構成してあるが、これに限らず、通常に使用されるボールベアリングで構成してもよい。
【0053】
また、前記実施形態では、第1マイクロメータヘッド25側に第1ばね37、第2マイクロメータヘッド26側に第2ばね40がそれぞれ架けわたされており、第1ばね37は、第1部材34Bと揺動部材31を、第2ばね40は、揺動部材31と固定部材30とを常時近づける方向に付勢しているが、各ばねの配置はこれに限らない。要は、各マイクロメータヘッド25、25のヘッド部25A,26Aを前進させたときとは反対方向にプローブ22を変位させることができるものであればよい。例えば、第1部材34Bと揺動部材31とにおいて、第1マイクロメータヘッド25の反対側に、常時、第1マイクロメータヘッド25側を近づける方向に突っ張るタイプのばね(圧縮ばね)等を設けてもよい。第2マイクロメータヘッド26の場合も同様である。
【0054】
さらに、前記実施形態では、測定前に角度調整されるプローブ22は、深ねじ穴100の測定用に用いられているが、本発明の調整装置10は、例えば、水平穴の測定にも用いることができる。この場合、水平に取り付けられたプローブに対して、レチクル18の直交する対比基準線Cの一方にプローブを重ね合わせて観察し、調整すればよい。
【0055】
また、前記実施形態では、測定前に角度調整されるプローブ22は、深ねじ穴100を測定するものであったが、これに限らない。例えば、ミクロン単位の径の細小穴プローブを用い、この細小穴プローブ径に対するクリアランスが極端に小さい細小穴を測定する際にも適用することができる。この場合、通常は困難な目視による細小穴プローブの観察、調整が、顕微鏡16、レチクル18等による観察なので、容易となり、正確な角度のアライメント調整ができ、その結果、細小穴プローブであっても、そのプローブを破損させることなく測定に使用できる。
【0056】
また、前記実施形態では、プローブ22の角度を微調整するために、第1マイクロメータヘッド25および第2マイクロメータヘッド26を使用しているが、これらのマイクロメータヘッド25,26に替えて、例えばねじ部材を利用してもよい。すなわち、ねじ部材を回すことにより、固定部材30または揺動部材31を揺動させ、それにより、プローブ22を変位させるようにしてもよい。ただし、この場合、各マイクロメータヘッド25,26を利用する場合に比べて正確度が低く、また、操作がしにくいという問題がある。
【0057】
さらに、前記実施形態における測定の手順では、まず、X軸方向(第1方向)からターゲット19のエッジ面19Aを観察してレチクル18の対比基準線Cを調整した後、プローブ22をX軸方向から見ながらレチクル18の対比基準線Cと比較してYZ平面内の角度誤差を修正し、その後、顕微鏡16を水平面内で90°回転させて、そのままプローブ22をY軸方向(第2方向)を見ながらレチクル18の対比基準線Cと比較してXZ平面内の角度誤差を修正したが、このXZ平面内の角度誤差修正に先立って、Y軸方向から再度ターゲット19のエッジ面19Aを観察してレチクル18の対比基準線Cを調整すれば、さらに高い精度で角度誤差の修正ができる。
【0058】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明のプローブのアライメント調整装置によれば、プローブの角度が基準となる軸線と異なっている際には、角度調整手段により、プローブの角度は基準となる軸線に沿うように調整される。プローブの角度と基準となる軸線とは、測定の前に常に一致した状態とされるので、測定に際して、プローブの角度と穴の角度とを正確に一致させることができる。そのため、深穴等に挿入させてもその側面に干渉することなく、プローブの破損を防止することができる。また、観察手段に設けられた表示体の対比基準線が、基準となる軸線と対応するエッジ面に一致するように調整され、この対比基準線に基づいてプローブの角度が調整される。観察手段で対比基準線とプローブとを対比しながら調整できるので、調整が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る測定機を示す全体斜視図である。
【図2】前記実施形態のプローブアライメント装置の要部を示す側面図である。
【図3】図2のIII矢視図である。
【図4】前記実施形態のエッジ面を有するターゲットを示す側面図である。
【図5】前記実施形態のレチクルとターゲットおよびレチクルとプローブとの関係を示す図である。
【図6】前記実施形態の角度調整手段を示す正面図である。
【図7】図6において第2マイクロメータヘッドを取り除いた状態の一部を断面した図である。
【図8】図6におけるVIII矢視図である。
【図9】図6におけるIV矢視図である。
【図10】前記実施形態のプローブによる深ねじ穴の測定状態を示す図である。
【符号の説明】
1 測定機
7 Zスライダ
10 プローブのアライメント調整装置
11 プローブ観察手段
16 顕微鏡
18 表示体であるレチクル
19 標準体であるターゲット
21 角度調整手段
22 プローブ
25 第1マイクロメータヘッド
26 第2マイクロメータヘッド
Claims (8)
- 被計測部の形状を測定するプローブの角度を測定の前に調整するプローブのアライメント調整装置であって、
前記プローブの角度が基準となる軸線に沿うように当該プローブの角度を調整可能な角度調整手段と、前記プローブを前記被計測部に対して移動させるスライダに設けられ前記基準となる軸線と対応する基準線を構成する予め正確に調整されたエッジ面を有する標準体と、この標準体のエッジ面と対比可能な対比基準線が表示された表示体と、この表示体が回動可能に設けられるとともに前記エッジ面を観察する観察手段とを備えて構成され、前記表示体が回動されて前記エッジ面と一致した前記表示体の対比基準線が、前記角度調整手段によるプローブの角度を調整する際の基準となることを特徴とするプローブのアライメント調整装置。 - 請求項1に記載のプローブのアライメント調整装置において、前記角度調整手段は、前記プローブにおける第1平面内の角度の微調整を可能とする第1マイクロメータヘッドおよび前記プローブにおける第2平面内の角度の微調整を可能とする第2マイクロメータヘッドを備えて構成されていることを特徴とするプローブのアライメント調整装置。
- 請求項1または請求項2に記載のプローブのアライメント調整装置において、前記観察手段は、焦点位置に置かれた前記標準体のエッジ面または前記プローブを観察可能な顕微鏡で構成されるとともに、前記表示体は前記顕微鏡の接眼レンズ近傍に設けられるレチクルで構成され、前記顕微鏡は、前記第1平面に直交する第1方向または前記第2平面に直交する第2方向のいずれかの方向から観察可能となっていることを特徴とするプローブのアライメント調整装置。
- 請求項3に記載のプローブのアライメント調整装置において、前記顕微鏡は、取付台にアームを介して前記第1方向、第2方向の2方向に回動可能に設けられていることを特徴とするプローブのアライメント調整装置。
- 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のプローブのアライメント調整装置において、前記プローブのアスペクト比は20以上であることを特徴とするプローブのアライメント調整装置。
- 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のプローブのアライメント調整装置を備えて構成されていることを特徴とする測定機。
- 被計測部の形状を測定するプローブの角度を測定の前に調整するプローブのアライメント調整方法であって、
前記プローブを前記被計測部に対して移動させるスライダに設けられた標準体の予め正確に調整されたエッジ面により基準線が構成され、このエッジ面または前記プローブを観察する観察手段に、前記エッジ面と対比可能な対比基準線が表示された表示体を回動可能に設け、所定位置におかれた前記エッジ面に対して前記表示体の対比基準線が一致するように表示体を回動させ、その後、前記所定位置におかれたプローブに対して前記観察手段により表示体の対比基準線を対比させ、前記プローブの角度が前記対比基準線と異なるとき、前記プローブの角度を前記対比基準線に沿うように角度調整手段により調整することを特徴とするプローブのアライメント調整方法。 - 請求項7に記載のプローブのアライメント調整方法において、前記所定位置におかれたプローブに対して前記観察手段により表示体の対比基準線を対比させ、この対比基準線と前記プローブの第1平面内および第2平面内の少なくともいずれかの角度とがずれているとき、前記角度調整手段を構成するとともに、前記第1平面内の角度の微調整を行う第1マイクロメータヘッドおよび第2平面内の角度の微調整を行う第2マイクロメータヘッドの少なくともいずれかにより前記プローブの角度を前記対比基準線に合わせて調整することを特徴とするプローブのアライメント調整方法。
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