JP3335098B2 - 形状測定機の位置精度検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、形状測定機の位置
精度検査装置に係り、さらに詳しくは、形状測定機のス
タイラスを取り付けたアームのその軸線方向移動の位置
精度を検査するための形状測定機の位置精度検査装置に
関する。

【０００２】

【背景技術】形状測定機を含みすべての測定機のトレー
サビリティ体系（基準に忠実で品質の高い製品を供給
し、かつ、ユーザーが使用中の機器についても、その精
度と機能が正しく維持できるような万全の体制）の確立
率が要求されている。ここで、例えば形状測定機は、先
端に被測定物の形状に倣うスタイラスを取り付けたアー
ムを備えて構成されている。また、このアームは駆動装
置により当該アームの軸線方向（Ｘ軸方向）に沿って移
動可能となっているとともに、後端側の一点を支点とし
て上下方向に揺動可能となっている。そして、アームの
移動によるスタイラスの被測定物の形状に倣った上下方
向の変位データは、データ処理部に送られるとともにそ
こで処理されるようになっている。このような形状測定
機においては、スタイラスを取り付けたアームのその軸
線方向移動の位置精度を検査しかつ校正することが行わ
れている。

【０００３】形状測定機のアームのＸ軸方向移動の位置
精度を検査する従来の第１の検査方法として、図９に示
すようなゲージブロック８０を使用することが知られて
いる。このゲージブロック８０は、例えば２５mmピッチ
で、０、２５、５０、７５、１００mmの５ヶ所に形成さ
れたＶ溝８１を有する１００mmストロークに対応するも
のである。各Ｖ溝８１およびＶ溝８１間の上面８２は高
精度の平面度で仕上げられており、溝の形状は片側４５
°斜面となっている。そして、片側斜面と上面との交点
Ｐが形状測定機のスタイラスによる計測点となってい
る。このようなゲージブロック８０では、先端側のＶ溝
面８１と上面８２との交点Ｐ部分を形状測定機にて測定
し座標を算出した後、その手前のＶ溝面８１と上面８２
とも同じく測定し座標の算出を行う。そして、その交点
Ｐ同士の２点間距離をコントレーサソフトから求め、予
めわかっている正値と実測値とを比較して合否を判断す
るようになっている。

【０００４】また、第２の検査方法として、図１０
（Ａ）、（Ｂ）に示すようなゲージブロック９０を使用
することが知られている。このゲージブロック９０は、
ブロック本体９１、測定ブロック９２およびピンゲージ
９３を含んで構成されている。ブロック本体９１は高精
度に平面仕上げされた水平な案内ガイド面９１Ａと、こ
のガイド面９１Ａと直角に形成された基準当て面９１Ｂ
とを有し、測定ブロック９２は、それぞれ高精度に平面
仕上げされた上面９２Ａおよび下面９２Ｂと、片側に上
面から下面外側に４５°の勾配で傾斜する４５°面９２
Ｃとを有する。ピンゲージ９３は高精度に真円度が維持
され、かつ所定の外形寸法を有しており、基準当て面９
１Ｂと測定ブロック９２との間および測定ブロック９２
間に挟まれるものである。そして、測定ブロック９２の
４５°面９２Ｃと上面９２Ａとの交点Ｐが形状測定機の
スタイラスによる計測点となっている。このようなゲー
ジブロック９０では、ピンゲージ９３を基準当て面９１
Ｂに押し当てた後、測定ブロック９２をピンゲージ９３
に接触させ、その状態で測定ブロック９２の４５°面９
２Ｃと上面９２Ａとの交点測定を行う。次に、ピンゲー
ジ９３を介して順次測定ブロック９２と同一仕様の測定
ブロック９２’を追加するとともに、同様の交点測定を
行って交点座標から各ピッチ間距離を算出し、予めわか
っている正値と実測値とを比較して合否を判断するよう
になっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の第１の
検査方法では、検査するＸ軸方向の所定の長さに対応し
たゲージブロック８０を揃え、それぞれに所定のピッチ
でＶ溝８１を高精度に形成しなくてはならず、製作する
ことが大変であった。また、連続して所定のピッチでＶ
溝８１が形成されているので、例えば温度変化等でピッ
チが微妙に変化することも考えられ、高精度な検査結果
を得にくいという問題点がある。

【０００６】また、第２の検査方法では、それぞれに仕
上げられた測定ブロック９２等を使用するので、前記第
１の検査法方での問題点はある程度解消できるが、測定
ブロック９２、ピンゲージ９３を押し付ける際、検査員
によっては力の加え具合が異なり、あるいは複数個の測
定ブロック９２を順次押し付けることによる累積誤差が
生じ、精度誤差がでやすいという問題があった。

【０００７】本発明の目的は、ゲージブロックを容易に
セットできるとともに一定圧で押圧でき、形状測定機の
アームの軸線方向の位置精度を短時間で容易にかつ正確
に検査できる形状測定機の位置精度検査装置を提供する
ことにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の第１発明に係る
形状測定機の位置精度検査装置は、先端に被測定物の形
状に倣うスタイラスを取り付けたアームを当該アームの
軸線方向に沿って移動させ、スタイラスの軸線方向と直
交する上下方向の変位を計測する形状測定機の軸線方向
の位置精度を検査する装置であって、ベース上にアーム
と平行に設けられるガイド部材と、このガイド部材に沿
って軸線方向にスライド自在なスライダと、ガイド部材
の一端部側およびこの一端部側と対向するスライダの端
面に設けられ、複数種の所定寸法に仕上げられたゲージ
ブロックを挟み込む一組の狭持部材と、スライダをゲー
ジブロック側に一定圧で押圧し一組の狭持部材でゲージ
ブロックの狭持を行う定圧発生装置と、スライダに設け
られスタイラスでの計測点を有する計測部材とを備えて
構成されていることを特徴とするものである。

【０００９】本発明の第２発明に係る形状測定機の位置
精度検査装置は、先端に被測定物の形状に倣うスタイラ
スを取り付けたアームを当該アームの軸線方向に沿って
移動させ、スタイラスの軸線方向と直交する上下方向の
変位を計測する形状測定機の前記軸線方向の位置精度を
検査する装置であって、ベース上に傾斜調整機構により
一端を支点としてアームに対して傾斜調整可能かつ旋回
機構により水平面内での位置調整可能に設けられるテー
ブルと、このテーブルにアームと平行に設けられるガイ
ド部材と、このガイド部材に沿って軸線方向にスライド
自在なスライダと、ガイド部材の一方側およびこの一方
側と対向するスライダの端面に設けられ、複数種の所定
寸法に仕上げられたゲージブロックを挟み込む一組の狭
持部材と、スライダをゲージブロック側に一定圧で押圧
し一組の狭持部材でゲージブロックの狭持を行う定圧発
生装置と、スライダに設けられスタイラスでの計測点を
有する計測部材とを備えて構成されていることを特徴と
するものである。

【００１０】第１、２発明において、ガイド部材として
は高精度に平面度、直角度等が出されかつ仕上げられた
角柱であることが好ましいが、例えば円柱を使用しても
よい。この場合、スライダは少なくとも内面を円柱のガ
イド部材と対応させる必要がある。また、一組の狭持部
材としてはゲージブロックを確実に狭持できるものであ
れば、例えば球面アンビル、ゲージブロックの両端面を
平面部で支持するタイプ等どのようなものでもよい。さ
らに、定圧発生装置は、一組の狭持部材でゲージブロッ
クを狭持したとき、そのゲージブロックがずれたり落下
したりしない程度の所定の圧力を有するものであり、角
柱に設けてもよく、ベース側に設けてもよい。また、ス
ライダに設けられる計測部材は、形状測定機のスタイラ
スで上下方向の変位を計測できるものであれば、どのよ
うな形状のものでもよい。また、第２発明において、支
点となる一端はアームの軸線方向の先端側であることが
好ましい。

【００１１】このような第１、２発明では、スライダが
ガイドに沿ってスムーズにスライドできるので、ゲージ
ブロックを容易にセットできるとともに、そのゲージブ
ロックを定圧発生装置によって常に同一圧で押圧できる
ので精度誤差がでにくい。その結果、形状測定機のアー
ムの軸線方向の位置精度を短時間で容易にかつ正確に検
査できるようになり、充分にトレーサビリティ体系に合
致した形状測定機を提供することができる。また、特に
第２発明では、ベース上に設けられたテーブルが、傾斜
調整機構および旋回機構により一端を支点としてアーム
に対して傾斜調整可能かつ水平面内での位置調整可能と
なっているので、アームとスライダ等との上下および水
平方向の平行を正確に出すことができ、より正確に検査
できるようになる。

【００１２】本発明の第３発明に係る形状測定機の位置
精度検査装置は、第１または第２発明における一組の狭
持部材を球面アンビルで形成したことを特徴とするもの
である。以上において、球面アンビルの数は任意でよい
が、一方側に２ヶ所、他方側に１ヶ所の合計３ヶ所設
け、３点支持できることが好ましい。このような本発明
では、ゲージブロックを３点支持できるので、確実にか
つ安定して保持できる。

【００１３】本発明の第４発明に係る形状測定機の位置
精度検査装置は、第１発明〜３発明に記載の計測部材
を、４５°面と水平な上面とを有する傾斜ブロックで形
成し、計測点を４５°面と上面との交点としたことを特
徴とするものである。このような本発明では、アーム先
端のスタイラスが４５°面から上面へとスムーズに移動
でき、アーム等が破損することがない。

【００１４】本発明の第５発明に係る形状測定機の位置
精度検査装置は、第１発明〜第４発明のいずれかに記載
のガイド部材を、軸線方向およびこの軸線方向と水平面
内で直交する直交方向とに移動可能なテーブルを介して
ベース上に設けたことを特徴とするものである。このよ
うな本発明では、検査装置が、軸線方向および直交方向
に移動可能な十文字テーブル５に取り付けられているの
で、形状測定機のアームに対して検査装置を最適位置に
位置合わせすることができ、これにより、セットアップ
が容易となる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の一実施形態を図
面に基づいて説明する。図１、２に示すように、本実施
形態の形状測定機の位置精度検査装置（以下、単に検査
装置という）１は、先端に被測定物の形状に倣うスタイ
ラス５１を取り付けたアーム５２を当該アーム５２の軸
線方向（Ｘ軸方向）に沿って移動させて検査装置１に取
り付けたゲージブロック１００をスタイラス５１で計測
し、この計測結果と比較することによって形状測定機５
０のＸ軸方向の位置精度を検査するものである。そし
て、このような検査装置１は、基台２上にＸ軸ハンドル
３を介してＸ軸方向に移動可能、Ｙ軸ハンドル４を介し
てＹ軸方向（Ｘ軸と水平面内で直交する方向）に移動可
能な四角形状のベース５を備えている。

【００１６】このベース５上には、当該ベース５の幅寸
法（Ｙ軸方向）より小さな寸法に形成された下側傾斜台
６が取り付けられており、この下側傾斜台６の一方側
（アーム５２の軸線方向かつ移動方向先端側）端部には
立ち上がり部６Ａが形成されている。また、下側傾斜台
６の立ち上がり部６Ａと反対側には角ブロック状のブラ
ケット６Ｂが設けられている。このブラケット６Ｂに
は、上端に傾斜調整円盤７を例えば接着等により取り付
けたシャフト８がねじ込まれている。

【００１７】下側傾斜台６の上方には所定寸法の間隔を
あけて上側傾斜台１２とテーブル１３とが設けられてい
る。すなわち、上側傾斜台１２とテーブル１３とは二枚
重ねの状態で配置されるとともに、上側傾斜台１２の一
端と下側傾斜台６の立ち上がり部６Ａの端面とが両端面
間に架けわたされた板ばね１４で連結されて設けられて
いる。この板ばね１４は、上側傾斜台１２とテーブル１
３との幅方向のほぼ全長にわたっている。また、上側傾
斜台１２とテーブル１３との板ばね１４の反対側には、
両者１２、１３を上下方向に挿通するとともに先端が下
側傾斜台６にねじ込み固定されるボルト１５が設けられ
ており、このボルト１５用の両者１２、１３のボルト孔
は、両者１２、１３がボルト１５に対してわずかに水平
面内でずれ得るような大きさとなっている。さらに、ボ
ルト１５によって両者１２、１３が上方向に所定寸法以
上動かないようになっている。

【００１８】上側傾斜台１２のボルト１５側の端部下端
面には、前記傾斜調整円盤７と係合するアンビル９が例
えば接着等により取り付けられている。従って、傾斜調
整円盤７を正方向または逆方向に回転することにより円
盤７が上昇あるいは下降し、これにより、上側傾斜台１
２がテーブル１３とともに板ばね１４を支点として上下
方向にわずかな角度α°揺動することとなる。なお、こ
の角度α°は、例えば１°程度とされている。その結
果、テーブル１３と前記アーム５０との平行度を正確に
出すことができるようになっている。そして、ここにお
いて、前記板ばね１４、傾斜調整円盤７およびアンビル
９を含むシャフト８を備えて傾斜調整機構１８が構成さ
れている。

【００１９】上側傾斜台１２の板ばね１４側かつ幅方向
の中心には、上側傾斜台１２に対してテーブル１３が水
平面内で回動可能なように、上側傾斜台１２からテーブ
ル１３側に突出する回転軸１６が取り付けられている。
また、上側傾斜台１２の回転軸１６の反対側には、傾斜
調整円盤７に隣接してマイクロメータヘッド２０がブラ
ケット２１を介して設けられている。ブラケット２１は
上側傾斜台１２の一側面に取り付けられており、このブ
ラケット２１の内部には、マイクロメータヘッド２０の
先端部が水平方向にねじ込まれている。このマイクロメ
ータヘッド２０の先端部は、その延長上に水平方向に差
し込まれた押しピン２３の頭部と当接可能となってお
り、マイクロメータヘッド２０を回転させることにより
押しピン２３を上側傾斜台１２等の幅方向中心側に押し
付けるようになっている。

【００２０】押しピン２３の先端側には、図６に示すよ
うに、テーブル１３に固定された押当て部材２４が水平
方向にスライド可能に設けられ、さらに、この押当て部
材２４を挟んで押しピン２３の反対側には、一端が押当
て部材２４と当接するとともに他端がボルトで押し付け
られて圧縮コイルばね２５が設けられている。従って、
マイクロメータヘッド２０を回転させて押しピン２３を
前進させると圧縮コイルばね２５に抗して押当て部材２
４が押され、あるいは、押しピン２３を後退させるとコ
イルばね２５の附勢力により戻され、つまりテーブル１
３が回転軸１６を支点にして水平面内で、図２に示すよ
うにわずかな角度α°で回動可能となっている。なお、
この角度α°は、例えば１°程度とされている。ここに
おいて、前記回転軸１６、マイクロメータヘッド２０、
押しピン２３、押当て部材２４および圧縮コイルばね２
５等を含んでテーブル旋回機構２６が構成されている。

【００２１】テーブル１３のＸ軸方向両端には、断面Ｌ
字形状の第１、２の支持部材３０Ａ、３０Ｂがそれぞれ
取り付けられており、これらの支持部材３０Ａ、３０Ｂ
の立ち上がった部位間には、４面の平面度、直角度等が
高精度に仕上げてあるガイド部材である角柱３２が、そ
の一端を第１の支持部材３０Ａで支持され、他端を第２
の支持部材３０Ｂで支持されて水平に、つまり、アーム
５２と平行に架けわたされている。

【００２２】角柱３２には、内部に図示しない滑りガイ
ドを採用したスライダであるスライダ本体３３がＸ軸方
向にスライド自在に設けられている。スライダ本体３３
の上面には傾斜ブロック３５が設けられている。この傾
斜ブロック３５はほぼ四角形状とされ、傾斜ブロック３
５の第２の支持部材３０Ｂ側にのみ４５°面３５Ａが形
成されている。この４５°面３５Ａは傾斜ブロック３５
の上面３５Ｂの一端から外側に下る傾斜となっており、
また、傾斜ブロック３５の４５°面３５Ａの反対面はス
ライダ本体３３の端面と揃えられている。これらの４５
°面３５Ａと上面３５Ｂとは、高精度に平面仕上げされ
ており、また、４５°面３５Ａと上面３５Ｂとの交点Ｐ
が前記検査装置１のスタイラス５１による計測位置とな
っている。

【００２３】第１の支持部材３０Ａの内側およびこの支
持部材３０Ａの内側と対向するスライダ本体３３の端面
とには、角柱３２の上方位置にゲージブロック１００を
挟み込む一組の挟持部材である球面アンビル３７が例え
ば接着等で設けられ、この球面アンビル３７は、固定側
（第１の支持部材３０Ａ側）に２ヶ所、移動側（スライ
ダ本体３３側）に１ヶ所の合計３個設けられており、ゲ
ージブロック１００を３点支持するようになっている。
そして、これらの球面アンビル３７は、角柱３２のＸ軸
方向に対して高精度に直角度が出されている。

【００２４】スライダ本体３３の第２の支持部材３０Ｂ
側には、スライダ本体３３を一定圧力でゲージブロック
１００側に押圧する定圧発生装置４０が設けられてい
る。この定圧発生装置４０は、図４にも示すように、ス
ライダ本体３３に連結されかつ角柱３２に沿ってスライ
ド自在な補助スライダ４２を備えている。この補助スラ
イダ４２の一側面には当該補助スライダ４２を角柱３２
の所定位置に固定するクランプねじ４３が設けられ、さ
らに、補助スライダ４２の上面には支点棒４４により支
持されて水平面内で回動自在にホルダ４５が設けられて
いる。このホルダ４５はブロック状に形成されており、
一側面がスライダ本体３３上面に固定されているストッ
パ３８の側面と当接可能となっている。また、ホルダ４
５の内部にはストッパ３８に向けてほぼ水平にスプリン
グプランジャ４６が設けられ、このスプリングプランジ
ャ４６の先端はストッパ３８の側面と当接可能となって
いる。

【００２５】このようなホルダ４５の前記スライダ本体
３３の反対側には、偏心カム４７Ａを有するクランプ４
７が補助スライダ４２の上面に回り止め４８を介してね
じ込まれている。従って、クランプ４７を所定角度回す
ことにより、偏心カム４７Ａがホルダ４５を支点棒４４
を支点として回動させてストッパ３８側に押すことにな
り、つまり、その時点でホルダ４５の回動を停止するこ
とにより、スライダ本体３３を一定圧で押圧することに
なる。そして、ここにおいて、前記補助スライダ４２〜
クランプ４７に至る連続する符号の部材およびストッパ
３８を含んで、前記定圧発生装置４０が構成されてい
る。

【００２６】次に、本実施形態の作用を図７に基づい
て、Ｘ軸方向の指示された位置精度が例えば１００mmの
場合を例にとって説明する。まず図７（Ａ）に示すよう
に、スライダ本体３３側面と第２支持部材３０Ａとのア
ンビル３７間に１０mmのゲージブロック１００Ａをセッ
トして、スライダ本体３３と補助スライダ４２とを同時
に動かして軽く押し当てる。次いで、補助スライダ４２
のクランプねじ４３（図２参照）を締めて補助スライダ
４２を角柱３２に固定するとともに、クランプ４７を回
してその偏心カム４７Ａで補助スライダ４２を押し、補
助スライダ４２のスプリングプランジャ４６でストッパ
３８、つまりスライダ本体３３を一定圧で押圧し、これ
により、ゲージブロック１００Ａを一定圧で挟み込む。

【００２７】この後、スタイラス５１で傾斜ブロック３
５の４５°面３５Ａと上面３５Ｂとの交点Ｐの座標を計
るとともにそのデータを仮の原点としておく。次いで、
スライダ本体３３等を後退させて１０mmのゲージブロッ
ク１００Ａを外した後、図７（Ｂ）に示すように、上記
と同様の作用により１１０mmのゲージブロック１００Ｂ
をセットし、スタイラス５１で傾斜ブロック３５の４５
°面３５Ａと上面３５Ｂとの交点Ｐの座標を計り、最初
の原点座標と、１１０mmゲージブロック１００Ｂ挟み込
み時の座標間距離計算により２点間の距離を求め、この
計測結果と形状測定機５０のＸ軸方向の位置精度とを比
較することによって形状測定機５０のＸ軸方向の位置精
度を検査する。

【００２８】以後、前述と同様な手順により、各種のゲ
ージブロックを使用して要求されている形状測定機５０
のＸ軸方向の位置精度の検査を順次行う。

【００２９】このような本実施形態によれば、次のよう
な効果がある。 検査装置１のスライダ本体３３は、内部に滑りガイド
を有し角柱３２に沿ってスムーズにスライドできるの
で、ゲージブロック１００等の着脱が迅速、かつ、容易
となるとともに、繰り返し使用しても精度に狂いが生じ
ず、これにより、精度誤差が少なくなる。 検査装置１は、ベース５を介してＸ軸方向およびＹ軸
方向に移動可能なので、形状測定機５０のアーム５２に
対しての最適位置の位置合わせを容易にでき、これによ
り、セットアップが容易となる。

【００３０】検査装置１の定圧発生装置４０は、スラ
イダ本体３３とともに移動する補助スライダ４２を備え
ており、これらを所定位置に移動させるとともにクラン
プねじ４３で固定した後、クランプ４７を所定角度回さ
せれば、偏心カム４７Ａがホルダ４５を回動させてスト
ッパ３８側に押すことにより、スライダ本体３３を一定
圧で押圧することになる。クランプ４７の回転角度によ
り偏心カム４７Ａの位置が異なり、つまりホルダ４５を
押す力の調整ができるので、最適の圧力でスライダ本体
３３を押圧でき、検査員によって異なる力の加え具合、
あるいは累積誤差等が生じなくなり、精度誤差がでにく
い。

【００３１】スライダ本体３３とによるゲージブロッ
ク１００の支持は、固定側２ヶ所、移動側１ヶ所の合計
３ヶ所の球面アンビル３７により行われるので、３点支
持となり確実な支持となる。

【００３２】検査装置１は、傾斜調整機構１８および
テーブル旋回機構２６を備えており、テーブル１３の、
つまりゲージブロック１００の上下方向、水平方向の角
度調整ができるので、アーム５２に対しての上下方向、
水平方向の平行度を容易に出すことができ、これによ
り、セットアップが容易となるとともに、正確な検査を
行うことができる。

【００３３】なお、本発明は、前記実施形態に限定され
るものではなく、本発明の目的を達成できるものであれ
ば、次に示すような変形形態でもよいものである。例え
ば、前記実施形態では、球面アンビル２５は、固定側に
２ヶ所、移動側に１ヶ所の３個設けたが、これに限ら
ず、両者は逆でもよく、つまり、固定側に１ヶ所、移動
側に２ヶ所の３個としてもよい。また、必ずしも３ヶ所
でなくてもよい。そして、このような実施形態でも前記
実施形態の〜の効果と同様の効果を得ることができ
る。

【００３４】また、前記実施形態では、定圧発生装置４
０を、ホルダ４５、偏心カム４７Ａ等で構成したが、こ
れに限らず、例えば図８に示すようにしてもよい。すな
わち、定圧発生装置６０は、角柱３２の外周に沿ってス
ライド可能な固定部材６１を、ねじ部材６７、ばね部材
６６およびボール６５で角柱３２の所定の位置決めノッ
チ３２Ａに固定するとともに、この固定部材６１とスラ
イダ本体３３との間にばね６２を介在させ、このばね６
２の付勢力によりスライダ本体３３を一定圧力で押し付
けるものである。そして、このような実施形態でも前記
実施形態のの効果と同様の効果を得ることがで
きる。

【００３５】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明の形状測
定機の位置精度検査装置によれば、スライダがガイドに
沿ってスムーズにスライドできるので、ゲージブロック
を容易にセットできるとともに、そのゲージブロックを
定圧発生装置によって常に同一圧で押圧できるので精度
誤差がでにくい。その結果、形状測定機のアームの軸線
方向の位置精度を短時間で容易にかつ正確に検査できる
ようになり、充分にトレーサビリティ体系に合致した形
状測定機を提供することができる。

【００３６】また、本発明の他の形状測定機の位置精度
検査装置によれば、スライダがガイドに沿ってスムーズ
にスライドできるので、ゲージブロックを容易にセット
できるとともに、そのゲージブロックを定圧発生装置に
よって常に同一圧で押圧できるので精度誤差がでにく
い。その結果、形状測定機のアームの軸線方向の位置精
度を短時間で容易にかつ正確に検査できるようになり、
充分にトレーサビリティ体系に合致した形状測定機とす
ることができる他、ベース上に設けられたテーブルが、
傾斜調整機構および旋回機構により一端を支点としてア
ームに対して傾斜調整可能かつ水平面内での位置調整可
能となっているので、アームとスライダ等との上下およ
び水平方向の平行をより正確に出すことができ、一段と
正確な検査ができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る形状測定機の位置精
度検査装置を示す全体正面図である。

【図２】図１における平面図である。

【図３】図１におけるＡ矢視図である。

【図４】本実施形態の要部を示す拡大平面図である。

【図５】本実施形態の要部を示す縦断面図である。

【図６】本実施形態の要部を示す縦断面図である。

【図７】本実施形態の形状測定機の位置精度検査装置の
使用状態を示す図である。

【図８】本発明の定圧発生装置の変形形態を示す一部断
面図である。

【図９】本発明の従来の検査装置を示す全体斜視図であ
る。

【図１０】本発明の従来の他の検査装置を示す全体斜視
図である。

【符号の説明】

１ 形状測定機の位置精度検査装置 ５ ベース １３ テーブル １８ 傾斜調整機構 ２６ テーブル旋回機構 ３２ ガイド部材である角柱 ３３ スライダであるスライダ本体 ３５ 計測点を有する計測部材である傾斜ブロック ３７ 一組の挟持部材であるアンビル ４０ 定圧発生装置 ４２ 補助スライダ ４５ ホルダ ４７ クランプ ４７Ａ 偏心カム

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 先端に被測定物の形状に倣うスタイラス
   を取り付けたアームを当該アームの軸線方向に沿って移
   動させ、前記スタイラスの前記軸線方向と直交する上下
   方向の変位を計測する形状測定機の前記軸線方向の位置
   精度を検査する装置であって、 ベース上に前記アームと平行に設けられるガイド部材
   と、 このガイド部材に沿って前記軸線方向にスライド自在な
   スライダと、 前記ガイド部材の一端部側およびこの一端部側と対向す
   る前記スライダの端面に設けられ、複数種の所定寸法に
   仕上げられたゲージブロックを挟み込む一組の狭持部材
   と、 前記スライダを前記ゲージブロック側に一定圧で押圧し
   前記一組の狭持部材で前記ゲージブロックの狭持を行う
   定圧発生装置と、 前記スライダに設けられ前記スタイラスでの計測点を有
   する計測部材とを備えて構成されていることを特徴とす
   る形状測定機の位置精度検査装置。
2. 【請求項２】 先端に被測定物の形状に倣うスタイラス
   を取り付けたアームを当該アームの軸線方向に沿って移
   動させ、前記スタイラスの前記軸線方向と直交する上下
   方向の変位を計測する形状測定機の前記軸線方向の位置
   精度を検査する装置であって、 ベース上に傾斜調整機構により一端を支点として前記ア
   ームに対して傾斜調整可能かつ旋回機構により水平面内
   での位置調整可能に設けられるテーブルと、 このテーブルに前記アームと平行に設けられるガイド部
   材と、 このガイド部材に沿って前記軸線方向にスライド自在な
   スライダと、 前記ガイド部材の一方側およびこの一方側と対向する前
   記スライダの端面に設けられ、複数種の所定寸法に仕上
   げられたゲージブロックを挟み込む一組の狭持部材と、 前記スライダを前記ゲージブロック側に一定圧で押圧し
   前記一組の狭持部材で前記ゲージブロックの狭持を行う
   定圧発生装置と、 前記スライダに設けられ前記スタイラスでの計測点を有
   する計測部材とを備えて構成されていることを特徴とす
   る形状測定機の位置精度検査装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の形状測定機の
   位置精度検査装置において、前記一組の狭持部材は球面
   アンビルであることを特徴とする形状測定機の位置精度
   検査装置。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の形状測
   定機の位置精度検査装置において、前記計測部材は４５
   °面と水平な上面とを有する傾斜ブロックであり、前記
   計測点は前記４５°面と上面との交点であることを特徴
   とする形状測定機の位置精度検査装置。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかに記載の形状測
   定機の位置精度検査装置において、前記ガイド部材は前
   記軸線方向およびこの軸線方向と水平面内で直交する直
   交方向とに移動可能な前記テーブルを介して前記ベース
   上に設けられていることを特徴とする形状測定機の位置
   精度検査装置。