JP4689988B2 - 表面性状測定機の校正標本 - Google Patents
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 18
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 claims description 16
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 39
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
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Description
表面性状測定機は、ワークの表面に当接した状態でワークの表面を走査するスタイラスと、ワーク表面の形状に応じたスタイラス変位を検出する変位検出手段と、を備える。ここで、表面性状測定機によって得られた測定値が真値になるように、得られた測定値を校正するための方法がいくつか知られている(この点に関して、例えば、非特許文献1、2参照)。
ここで、表面性状測定機の測定値を校正する場合には、校正の対象とすべきパラメータが複数あり、例えば、スタイラスの先端径、スタイラスのz方向変位(ワーク法線方向)についての変位検出手段による検出値、スタイラスのx方向変位(ワーク表面に沿った方向)についての変位検出手段による検出値、などである。
従来は、スタイラス先端径やスタイラスのz方向変位についての検出値などの校正対象となるパラメータに応じた校正標本をそれぞれ用意し、一つ一つの標本を測定してみることにより、測定パラメータを校正していた。このような異なるパラメータを校正するための種々の校正標本を組み合わせた一組のセットなどが知られている(非特許文献3)。
また、校正標本のセッティングを何度も行うにあたり、セッティングの誤差が生じる可能性もある。すると、スタイラス先端径の校正を行った後に、校正されたスタイラス先端径に基づいて他のパラメータ、例えば、z方向変位の検出値についての校正を行うなどのように、前に行った校正に基づいて次の校正を行う場合では、途中のセッティング誤差による校正の不正確さが他のパラメータにも及んでしまうという問題につながる。
異なる幾何学的形状が一のライン上に設けられているので、校正標本のセッティングは一回だけでよい。その結果、何度も標本を取り替えるなどの手間が必要なくなり、校正作業を簡単かつ迅速に行うことができる。
また、複数の標本を取り替える作業が必要になると、標本のセッティングの際にセッティング誤差が生じ、この誤差が校正の誤差になる可能性も高くなると考えられるが、この点、本発明では校正標本のセッティングが一度だけでよいので、校正標本のセッティング誤差に起因する校正誤差が生じる可能性を低減することができ、その結果、校正が精密に行われることとなる。
一つの校正標本により各種のパラメータを校正することができるので、複数の標本を保管する場合に比べて校正標本の管理が非常に簡単になる。
メインブロック自体に正弦波部などの凹凸に加えて高精度の平面を形成するのは困難であるところ、高精度平面板をメインブロックとは別部材とすることにより高精度平面板の一面を高精度平面部として高精度に仕上げることができる。
また、例えば、高精度平面部とメインブロックとにて板ばねを挟んで挟持固定すれば、板ばねをメインブロックに固定するための取付部材を別途用意する必要がなく、部品点数を少なくすることができる。
本発明の校正標本に係る一実施形態について説明する。
この校正標本は、ワークの表面粗さ、うねり、輪郭形状、真円度、真直度などの表面性状を測定する表面性状測定機の校正に用いられるものである。
このような表面形状測定機は、ワークの表面に当接した状態でワークの表面を走査するスタイラスと、このスタイラスを移動させる移動機構と、スタイラスの変位(x方向、y方向、z方向の変位)を検出する変位検出手段と、変位検出手段からの検出値を演算処理してワークの形状解析を行う解析部と、を備える構成であればよい。
なお、解析部は、変位検出手段からの検出値を補正するための補正パラメータ(例えば、z方向ゲイン、x方向ゲインの補正パラメータ)や、検出値に含まれるノイズ等を低減するためのフィルタ特性を決めるパラメータ、スタイラスの先端形状の補正パラメータおよび粗さ解析用のフィルタ特性を決めるパラメータなどを記憶しており、このようなパラメータを用いて変位検出手段による検出値を補正(校正)してワークの形状解析を行うものである。
このような表面性状測定機としては、例えば、表面粗さ測定機、輪郭形状測定機、原子間力測定機(AFM)などが例として挙げられる。
図1は、校正標本の斜視図であり、図2は校正標本の分解斜視図であり、図3は校正標本の上面図であり、図4は校正標本の側面図である。
そして、図5は、校正標本の各種の幾何学的形状の特性と、幾何学的形状によって校正されるパラメータを示したテーブルであり、図6は、校正標本の正弦波部の構成を示したテーブルである。
校正標本100は、図2に示されるように、メインブロック200と、高精度平面板300と、板ばね400と、先鋭薄板500と、押え板600と、を備えて構成されている。
メインブロック200は、略直方体形状であって、その一面である上面210に各種の幾何学的形状を備えている。幾何学的形状の一つ一つは上面における短手方向の端から端まで形成され、上面210の長手方向に沿った方向で各種の幾何学的形状が順に配設されている。
メインブロック200に設けられた幾何学的形状としては、上面210の一端側から他端側に向けて順に、平面部1、正弦波部2、溝部3、擬似ランダム波部4、傾斜面部5がある。
メインブロック200の一端側から順に説明する。
メインブロック200の上面210には、平面部1に隣接して正弦波部2が設けられている。この正弦波部2は、振幅および周期が段階的に異なる4つのパターンの正弦波2A〜2Dにより構成されている。
正弦波部2としては、テーブル2に示されるように、パターン2Aとして振幅が10μmで周期(波長)が0.800mmの正弦波と、パターン2Bとして振幅が8μmで周期が0.4mmの正弦波と、パターン2Cとして振幅が5μmで周期が0.250mmの正弦波と、パターン2Dとして振幅が2μmで周期が0.080mmの正弦波と、が設けられている。
この正弦波は、粗さ解析用のフィルタ特性の校正に用いられ、遮断長波長Ac(cut-off long wavelength)および遮断短波長As(cut-off short wavelength)、あるいはカットオフ周波数などを特定し、粗さ解析用のフィルタ特性を校正する目的で用いられるものである。
溝部3は、深さが段階的に異なる3つの溝からなり、パターン3Aとして深さ10μmの溝と、パターン3Bとして深さ2μmの溝と、パターン3Cとして深さ0.5μmの溝と、が設けられている。
溝部3は、表面性状測定機のz方向ゲインを校正するために用いられるものである。なお、z方向とは、上面210の法線方向とする。
擬似ランダム波部4は、形状が既知である凹凸の波形であり、表面粗さを評価するパラメータ(例えば、算術平均粗さRa)の算出精度の校正に用いられるものである。
傾斜面部5は、所定の傾斜角をもって上面210の一端側から他端側に向けて直線的に高くなる斜面である。傾斜面部5は、直線的に高さが増加する斜面を測定した際におけるz方向の変位検出値の直線性(無歪性)を検査することにより、z方向検出精度の直線性を校正するためのものである。
取付面部220は、傾斜面部5の他端側に対して一段低くなった平面である。取付面部220の他端側には、取付面部220からさらに一段低い低面部230が設けられている。低面部230はメインブロック200の上面210の末端であり、低面部230の他端側はメインブロック200の他端側の端面となっている。
板ばね400は、弾性を有する扁平薄板の小片である。板ばね400は、高精度平面板300が取付面部220にねじ止めされる際に、取付面部220と高精度平面板300との間で挟持されてメインブロック200の他端側に固定される。このとき、板ばね400の一端が取付面部220と高精度平面板300とにて挟持される一方、板ばね400の他端が低面部230から所定隙間をもって突き出た自由端となる。板ばね400の自由端側がスタイラスからの測定圧によって弾性的にたわむ弾性片部7となる。弾性片部7は、スタイラスでワークを走査する際の測定圧を校正するためのものである。
先鋭薄板500は、メインブロック200の端面においてメインブロック200と押え板600とにより挟持され、メインブロック200の他端に取付固定される。これにより、先鋭部8は、校正標本の上面において弾性片部7に隣接して配設される。
なお、押え板600は、先鋭薄板500を挟んでメインブロック200とは反対側からねじ610によりメインブロック200にねじ止めされている。
先鋭部8は、この先鋭部8のピークをスタイラスが乗り越える際の変位からスタイラスの先端形状を校正するためのものである。
(1)校正標本100の上面において、各種のパラメータを校正するための種々異なる幾何学的形状(平面部1〜先鋭部8)が順次配設されていることにより、表面性状測定機が単一の軌跡として測定できるラインに各種の幾何学的形状が配列されていることとなる。したがって、この校正標本100を表面性状測定機に一旦セッティングすれば、表面性状測定機が自動的に次々と異なる幾何学的形状を走査する。その結果、一回の測定において異なる幾何学的形状を走査した結果に基づいて、校正対象となるパラメータが総て校正される。
(4)一つの校正標本100により各種のパラメータを校正することができるので、複数の標本を保管する場合に比べて校正標本の管理が非常に簡単になる。
例えば、校正標本100に設けられる各幾何学的形状は、それぞれ特定のパラメータを校正するために用いられるところ、必要に応じて取捨選択し、校正対象となるパラメータを校正するための幾何学的形状だけを配設してもよい。また、幾何学的形状の順番等もパラメータの校正の順序に制限されない限りは変更されてもよい。
上記実施形態において、校正標本100は、メインブロック200とは別体の高精度平面板300、板ばね400、先鋭薄板500等を備えていたが、高精度平面部6、弾性片部7および先鋭部8がメインブロック200に一体的に形成されていてもよい。あるいは逆に、平面部1、正弦波部2、溝部3などがそれぞれ別体のブロックに形成されたのち、これらのブロックを一つに連結することにより一つの校正標本としてもよい。
これによって本校正標本の加工精度などに起因する不確かさを低減することができ、本校正標本による表面性状測定機の校正がさらに高精度に行える。また、校正標本上に走査位置を示す走査マークを表示させてもよい。
Claims (5)
- ワークの表面に当接した状態でワークの表面を所定方向へ走査するスタイラスの変位を検出することによりワークの表面性状を測定する表面性状測定機を校正する際に用いる校正標本であって、
前記表面性状測定機が単一の軌跡として測定できるラインに沿って、異なる幾何学的形状が連続して配設され、
前記幾何学的形状として、
略平坦な平面部と、
所定の周期および振幅を有する正弦波形状に形成された正弦波部と、
所定の深さを有する溝部と、
前記スタイラスの当接圧によって弾性的にしなる弾性片部とが配設されている
ことを特徴とする表面性状測定機の校正標本。 - 請求項1に記載の表面性状測定機の校正標本において、
前記幾何学的形状として、
既知の形状であってランダムな凹凸を有する擬似ランダム波部と、
所定の傾斜角を有する斜面である傾斜面部と、
高精度な平面に仕上げられた高精度平面部と、
既知の高さを有するとともにその先端が先鋭である先鋭部とが配設されている
ことを特徴とする表面性状測定機の校正標本。 - 請求項1に記載の表面性状測定機の校正標本において、
前記正弦波部は、振幅および周期が異なる複数のパターンの正弦波により構成されている
ことを特徴とする表面性状測定機の校正標本。 - 請求項1に記載の表面性状測定機の校正標本において、
前記平面部、前記正弦波部、および前記溝部を一面に備えるメインブロックと、
高精度な平面に仕上られた高精度平面部を有し、前記高精度平面部の反対側の端面が前記メインブロックの前記一面に対向する状態で前記メインブロックに取り付けられる扁平板状の高精度平面板と、
前記弾性片部となる板ばねと、を備え、
前記板ばねは、前記メインブロックの前記一面における端部において一端が固定支持され、他端が自由端となっている
ことを特徴とする表面性状測定機の校正標本。 - 請求項1に記載の表面性状測定機の校正標本において、
前記平面部、前記正弦波部、および前記溝部を一面に備えるメインブロックと、
一辺が先鋭に形成された先鋭薄板と、
前記メインブロックにおける前記一面に略垂直な面との間で、前記先鋭薄板の前記一辺が前記一面から突出した状態で前記先鋭薄板を挟持する押え板と、を備える
ことを特徴とする表面性状測定機の校正標本。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004245329A JP4689988B2 (ja) | 2004-08-25 | 2004-08-25 | 表面性状測定機の校正標本 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004245329A JP4689988B2 (ja) | 2004-08-25 | 2004-08-25 | 表面性状測定機の校正標本 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006064459A JP2006064459A (ja) | 2006-03-09 |
JP4689988B2 true JP4689988B2 (ja) | 2011-06-01 |
Family
ID=36111078
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004245329A Expired - Fee Related JP4689988B2 (ja) | 2004-08-25 | 2004-08-25 | 表面性状測定機の校正標本 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4689988B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006177713A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-07-06 | Kyoto Univ | 形状測定機の検査・校正アーティファクト |
JP4690276B2 (ja) * | 2006-09-13 | 2011-06-01 | 株式会社ミツトヨ | 真円度測定装置の較正方法 |
JP5184046B2 (ja) * | 2007-10-24 | 2013-04-17 | 株式会社ミツトヨ | 基準器 |
JP5464943B2 (ja) * | 2009-08-19 | 2014-04-09 | オリンパス株式会社 | 表面性状を測定する測定機の性能評価に用いられる標準片 |
JP5399934B2 (ja) * | 2010-02-02 | 2014-01-29 | 株式会社小坂研究所 | 複合表面粗さ標準片 |
JP5536572B2 (ja) * | 2010-07-06 | 2014-07-02 | 株式会社ミツトヨ | スタイラス摩耗検出方法および表面性状測定機 |
JP5803050B2 (ja) * | 2011-06-22 | 2015-11-04 | 株式会社東京精密 | 表面粗さ測定装置、及び、その測定待ち時間設定方法、並びに、測定待ち時間設定プログラム |
FR3013115B1 (fr) * | 2013-11-08 | 2020-08-21 | Peugeot Citroen Automobiles Sa | Systeme de verification pour machine de mesure |
DE102016122515A1 (de) | 2015-11-27 | 2017-06-01 | Ulrich Breitmeier | Prüf- und/oder Kalibriernormal |
DE102017113897A1 (de) * | 2017-06-22 | 2018-12-27 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Kalibriernormal und Verfahren zu seiner Herstellung |
DE102020108407B4 (de) | 2020-03-26 | 2023-03-16 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Kalibriernormal zur Geometrieeinmessung eines taktil oder/und optisch arbeitenden Messsystems, Verfahren zur Kalibrierung sowie Koordinatenmessgerät |
CN111678416B (zh) * | 2020-06-18 | 2021-09-14 | 重庆捷尔博模具科技有限公司 | 模具零件检测工艺 |
CN111678417B (zh) * | 2020-06-18 | 2021-09-10 | 重庆捷尔博模具科技有限公司 | 模具零件检测用检具 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2715830A (en) * | 1952-07-12 | 1955-08-23 | Gen Motors Corp | Specimen for calibrating surface roughness measuring apparatus |
US3505861A (en) * | 1968-03-04 | 1970-04-14 | Alloy Casting Inst | Cast surface comparison standard |
JPS58129203A (ja) * | 1982-01-28 | 1983-08-02 | Yamazaki Seiki Kenkyusho:Kk | 電気容量式表面あらさ測定機用標準板 |
JPH04301501A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-26 | Sharp Corp | 基準スケール板とその製造方法 |
JPH06147885A (ja) * | 1992-11-04 | 1994-05-27 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 針状体先端形状計測装置、標準試料、および針状体先端形状計測方法 |
JPH07287023A (ja) * | 1994-04-11 | 1995-10-31 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | プロフィルメータ用の較正標準、製造する方法及び測定方法 |
JPH09329402A (ja) * | 1996-06-07 | 1997-12-22 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 測定機の校正方法及びその装置 |
JPH10267641A (ja) * | 1997-03-25 | 1998-10-09 | Mitsutoyo Corp | 形状測定機の位置精度検査装置 |
JP2000186927A (ja) * | 1998-12-21 | 2000-07-04 | Mitsutoyo Corp | 検出器の評価方法 |
JP2001044252A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-02-16 | United Microelectron Corp | フォトレジスト層の垂直側壁上の周期的な波形を用いた電子顕微鏡のスケールバー調整をする方法 |
JP2001133383A (ja) * | 1999-11-01 | 2001-05-18 | Seiko Instruments Inc | 追従性評価方法および評価装置 |
US6570157B1 (en) * | 2000-06-09 | 2003-05-27 | Advanced Micro Devices, Inc. | Multi-pitch and line calibration for mask and wafer CD-SEM system |
JP2004286457A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機の校正用治具、表面性状測定機の校正方法、表面性状測定機の校正プログラムおよびこの校正プログラムを記録した記録媒体 |
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2004
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Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2715830A (en) * | 1952-07-12 | 1955-08-23 | Gen Motors Corp | Specimen for calibrating surface roughness measuring apparatus |
US3505861A (en) * | 1968-03-04 | 1970-04-14 | Alloy Casting Inst | Cast surface comparison standard |
JPS58129203A (ja) * | 1982-01-28 | 1983-08-02 | Yamazaki Seiki Kenkyusho:Kk | 電気容量式表面あらさ測定機用標準板 |
JPH04301501A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-26 | Sharp Corp | 基準スケール板とその製造方法 |
JPH06147885A (ja) * | 1992-11-04 | 1994-05-27 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 針状体先端形状計測装置、標準試料、および針状体先端形状計測方法 |
JPH07287023A (ja) * | 1994-04-11 | 1995-10-31 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | プロフィルメータ用の較正標準、製造する方法及び測定方法 |
JPH09329402A (ja) * | 1996-06-07 | 1997-12-22 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 測定機の校正方法及びその装置 |
JPH10267641A (ja) * | 1997-03-25 | 1998-10-09 | Mitsutoyo Corp | 形状測定機の位置精度検査装置 |
JP2000186927A (ja) * | 1998-12-21 | 2000-07-04 | Mitsutoyo Corp | 検出器の評価方法 |
JP2001044252A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-02-16 | United Microelectron Corp | フォトレジスト層の垂直側壁上の周期的な波形を用いた電子顕微鏡のスケールバー調整をする方法 |
US6429425B1 (en) * | 1999-06-28 | 2002-08-06 | United Microelectronics Corp. | Method for forming a calibation standard to adjust a micro-bar of an electron microscope |
JP2001133383A (ja) * | 1999-11-01 | 2001-05-18 | Seiko Instruments Inc | 追従性評価方法および評価装置 |
US6570157B1 (en) * | 2000-06-09 | 2003-05-27 | Advanced Micro Devices, Inc. | Multi-pitch and line calibration for mask and wafer CD-SEM system |
JP2004286457A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機の校正用治具、表面性状測定機の校正方法、表面性状測定機の校正プログラムおよびこの校正プログラムを記録した記録媒体 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006064459A (ja) | 2006-03-09 |
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A621 | Written request for application examination |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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