JPH0575605U - 表面粗さ形状測定機及び輪郭形状測定機用移動機構 - Google Patents

表面粗さ形状測定機及び輪郭形状測定機用移動機構

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JPH0575605U
JPH0575605U JP1466192U JP1466192U JPH0575605U JP H0575605 U JPH0575605 U JP H0575605U JP 1466192 U JP1466192 U JP 1466192U JP 1466192 U JP1466192 U JP 1466192U JP H0575605 U JPH0575605 U JP H0575605U
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JP
Japan
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feed screw
rotation
motor
stylus
moving
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Pending
Application number
JP1466192U
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English (en)
Inventor
和浩 大木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Seimitsu Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Seimitsu Co Ltd
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Publication date
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は表面粗さ形状測定機及び輪郭形状測
定機用移動機構に関し、簡単な構成で低コストの移動機
構の実現を目的とする。 【構成】 触針11を含む検出部1を係持して移動する
移動部材2と、回転に応じて移動部材2を移動させる送
りねじ3と、送りねじ3に取り付けられた手動回転用つ
まみ4と、送りねじ3を回転駆動するモータ5と、モー
タ5の回転を送りねじ3に伝導し所定以上の負荷に対し
ては滑りを生じて回転を伝導しない伝導部材6とを備え
る。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、表面粗さ形状測定機及び輪郭形状測定機用移動機構に関し、特に測 定位置調整のため手動操作も可能な移動機構を簡単な構造で実現した移動機構に 関する。
【0002】
【従来の技術】
物体表面の凹凸形状を測定する表面粗さ形状測定機や、物体の断面形状を切断 することなしに測定する輪郭形状測定機と呼ばれる測定機が利用されている。こ れらの測定機はいずれも触針を微小圧力で被測定物の表面に接触させた上で表面 に沿って移動させ、その時の上下位置の変化を測定するものである。従って以下 の説明では、表面粗さ形状測定機と輪郭形状測定機をまとめて表面形状測定機と 称することとする。
【0003】 図4は表面形状測定機の基本構成を示す図である。図において、411は触針 であり、被測定物400の表面に微小な接触圧で接触する。412は触針411 の上下方向の位置変化を検出する検知器である。触針411と検知器412は検 出部41に収容されており、被測定物400の表面に沿って移動する。その時の 触針411の上下方向の位置変化が測定値となる。
【0004】 検出部41は移動部材42に係持されている。この移動部材42は、送りねじ 43をモータ45で回転することにより移動する。48は送りねじ43の固定部 材である。移動部材42、送りねじ43、モータ45及び固定部材48で形成さ れる移動機構は、柱402を介して基体401に固定されており、送りねじ43 を回転することにより検出部41が移動する。この移動機構の移動精度は測定精 度に直接影響するため高精度であることが必要である。
【0005】 表面形状測定機で物体の表面形状を測定する時には、触針411を退避させた 状態で被測定物400を設置し、その後触針411をゆっくり測定する表面に接 触させる。そしてモータ45を駆動して測定を行う。検出部41の移動は低速で 行う必要があるため測定にはかなりの時間を要する。 被測定物400を設置して触針411を接触させた場合に、かならず測定した い部分に接触するとは限らず、触針411を接触させた後に測定位置を調整する 必要があるのが一般的である。このような調整を行う時にモータ45を駆動して 検出部41を移動させるのではなく、手動操作により検出部41を移動させられ れば位置調整はより迅速に行える。
【0006】 そこで手動操作により送りねじ43を回転可能にすることが行われる。しかし 送りねじ43にはモータ45が連結されており、しかもモータ45の回転を大幅 に減速するためのギアヘッドが設けられている。そのため送りねじ43を直接回 転してもギアヘッド部の負荷のため容易に回転することはできない。そこで図5 に示すようにモータ55と送りねじ53との連結部に電磁クラッチ56を設け、 モータ駆動時には電磁クラッチを連結し、それ以外の時には電磁クラッチ56を 離してつまみ54で送りねじ53を回転できるようにしている。
【0007】
【考案が解決しようとする課題】
従来表面形状を測定するのは重要な検査等の場合のみであり、測定機も比較的 高価であった。しかし近年生産工程等において表面形状を管理することが求めら れ、そのために測定機もより簡易で低価格なものが必要になってきた。 上記のように手動操作により送りねじを回転可能にするため電磁クラッチが使 用されて来たが、電磁クラッチは高価であり、付属の回路も必要となるため全体 としてはかなりのコストアップ要因となる。又、電磁クラッチによる発熱も測定 精度に影響を及ぼす。
【0008】 本考案は、電磁クラッチを用いずに手動操作可能な表面形状測定機用移動機構 を実現することでより低価格の表面形状測定機を作れるようにすることを目的と する。
【0009】
【課題を解決するための手段】
図1は本考案の表面粗さ形状測定機及び輪郭形状測定機用移動機構の基本構成 を示す図である。図において、100は被測定物であり、その表面に触針11が 微小圧力で接触する。12は触針11の上下方向の位置変化を検出する部分であ り、触針11と共に検出部1に収容されている。測定時にはこの検出部1を被測 定物100の表面に沿って移動させる必要があり、本考案はこのための移動機構 であり、移動部材2と、送りねじ3と、手動回転用つまみ4と、モータ5と、伝 導部材6とを備える。
【0010】 移動部材2は検出部1を係持して移動する。送りねじ3は回転して移動部材2 を移動させる。手動回転用つまみ4は送りねじ3に取り付けられている。モータ 5は送りねじ3を回転駆動する。伝導部材6はモータ5の回転を送りねじ3に伝 導し、所定以上の負荷に対しては滑りを生じて回転を伝導しない。
【0011】
【作用】
モータ5が回転する場合、送りねじ3側の負荷は小さいため伝導部材6はモー タ5の回転をそのまま送りねじ3に伝導し、送りねじ3は回転する。モータ5が 停止している時に、手動回転用つまみ4を回すと、モータ5側の負荷が大きいた め伝導部材6では滑りが生じ送りねじ3はあまり大きくない負荷で容易に回すこ とができる。
【0012】 電磁クラッチを使用した場合には、モータと送りねじの間の連結を完全に切断 することができるため手動回転の場合の負荷は非常に小さく容易に回すことがで きる。これに比べて本考案では伝導部材6の部分で滑りによる負荷があるためそ の分だけ負荷が大きくなるが実用上は問題がない。またモータ5を回転して送り ねじ3を回転する時は測定時であり、この時送りねじ3には大きな負荷はかから ないため、モータ5の回転に応じて送りねじ3が回転する。
【0013】
【実施例】
本考案の実施例を図2に示す。図は検出部21を係持して移動する移動機構2 0の内部を示す図である。移動機構20は基体に対して上下移動できるようにな っているが測定時は固定される。 図において、22は移動部材であり、検出部21を係持している。23は送り ねじであり、この送りねじ23が回転することにより移動部材22が検出部21 と共に移動する。24は手動回転用つまみであり、送りねじ23に直接取り付け られている。25はモータである。26は伝導部材であり、モータ25の回転を 送りねじ23に伝達する部分であり、この部分をより詳しく示したのが図3であ る。
【0014】 図3において、32が移動部材、33が送りねじ、34が手動回転用つまみ、 35がモータ、37はギアボックスであり、36が伝導部材であり、この部分の み断面で示してある。伝導部材36は、モータの回転軸に連結された回転部材3 61と、ばね362と、第一摩擦板363と、送りねじ33に連結された第二摩 擦板364とで構成されている。第一摩擦板363は軸方向に移動可能で、ばね 362によって第二摩擦板364に押し付けられている。第一摩擦板363と第 二摩擦板364との間の摩擦力はばね362の力等で定められ、この摩擦力以下 の負荷であれば回転が伝達される。しかしこの摩擦力以上であれば滑るため、回 転は伝達されない。この摩擦力はばね362を選定することにより適当な値に設 定することが可能である。
【0015】
【考案の効果】
本考案により手動操作による駆動も可能な表面形状測定用移動機構を簡単で低 価格のものにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の表面粗さ形状測定機及び輪郭形状測定
機用移動機構の基本構造を示す図である。
【図2】本考案の実施例を示す図である。
【図3】図2の実施例の伝導部材の詳細を示す図であ
る。
【図4】表面形状測定機の基本構成を示す図である。
【図5】手動での駆動を可能にするため伝導部に電磁ク
ラッチを用いた従来例を示す図である。
【符号の説明】
1…検出部 2…移動部材 3…送りねじ 4…手動操作用つまみ 5…モータ 6…伝導部材 11…触針 100…被測定物

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 触針(11)を被測定物(100)の表
    面に接触させ、前記触針(11)を前記被測定物(10
    0)の表面に沿って移動させた時の接触位置の上下変化
    を検出する表面粗さ形状測定機及び輪郭形状測定機にお
    いて、前記触針(11)を含む検出部(1)を前記被測
    定物(100)に対して移動させる表面形状測定機及び
    輪郭形状測定機用移動機構であって、 前記検出部(1)を係持して移動する移動部材(2)
    と、 回転に応じて該移動部材(2)を移動させる送りねじ
    (3)と、 該送りねじ(3)に取り付けられた手動回転用つまみ
    (4)と、 前記送りねじ(3)を回転駆動するモータ(5)と、 該モータ(5)の回転を前記送りねじ(3)に伝導し、
    所定以上の負荷に対しては滑りを生じて回転を伝導しな
    い伝導部材(6)とを備えることを特徴とする表面粗さ
    形状測定機及び輪郭形状測定機用移動機構。
JP1466192U 1992-03-18 1992-03-18 表面粗さ形状測定機及び輪郭形状測定機用移動機構 Pending JPH0575605U (ja)

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JP1466192U JPH0575605U (ja) 1992-03-18 1992-03-18 表面粗さ形状測定機及び輪郭形状測定機用移動機構

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JPH0575605U true JPH0575605U (ja) 1993-10-15

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018163002A (ja) * 2017-03-24 2018-10-18 株式会社東京精密 表面測定機用手動送り機構
JP2022113678A (ja) * 2017-03-24 2022-08-04 株式会社東京精密 手動送り機構

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018163002A (ja) * 2017-03-24 2018-10-18 株式会社東京精密 表面測定機用手動送り機構
JP2021099357A (ja) * 2017-03-24 2021-07-01 株式会社東京精密 表面測定機用手動送り機構
JP2022113678A (ja) * 2017-03-24 2022-08-04 株式会社東京精密 手動送り機構

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