JP2018163002A - 表面測定機用手動送り機構 - Google Patents
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Abstract
Description
<構成>
図1は第一実施形態に係る手動送り機構の全体構成図である。図1に示した手動送り機構10は、手動つまみ12、ノンバックラッシュ減速機14、摩擦板16、回転軸18、摩擦板付勢機構20、減速機移動機構22、エアシリンダ24、及びソレノイドバルブ26を備えている。
図2はノンバックラッシュ減速機と回転軸との連結状態を示す模式図である。図2に示すように、ソレノイドバルブ26の排気側を開放した場合、エアシリンダ24のピストン24Aはエアシリンダ24から突出する方向へ動作する。ソレノイドバルブ26の排気側の開放の例として、図1に示した第一配管28と第三配管32との連通状態が挙げられる。
第一実施形態に係る手動送り機構10によれば、ノンバックラッシュ減速機14と回転軸18との連結は、摩擦板16と回転軸18との間に作用する摩擦力が用いられる。これにより、ノンバックラッシュ減速機14と回転軸18との連結、及び離間の際に歯車の噛み合わせによるバックラッシュが発生せず、移動ステージ36の高精度の位置決めが可能である。
<構成>
図4は第二実施形態に係る手動送り機構の全体構成図である。以下、主として、第一実施形態と第二実施形態との相違点について説明する。
図5はノンバックラッシュ減速機と回転軸との連結状態を示す模式図である。ソレノイドバルブ26の排気側を開放した場合、エアシリンダ24のピストン24Aはエアシリンダ24から突出する方向へ動作する。ソレノイドバルブ26の排気側を開放した場合、摩擦板付勢板40は、エアシリンダ24のピストン24Aの移動方向に沿って、エアシリンダ24と反対の側へ移動する。
第二実施形態に係る手動送り機構10Aによれば、第一実施形態に係る手動送り機構10と同様の作用効果を得ることが可能となる。また、第一実施形態に係る手動送り機構10と比較して、摩擦板16を移動させる構成の簡素化が可能である。
<構成>
図7は第三実施形態に係る手動送り機構の全体構成図である。以下、主として、第一実施形態、及び第二実施形態と第三実施形態との相違点について説明する。
図8はノンバックラッシュ減速機と回転軸との連結状態を示す模式図である。図8に示した電磁クラッチ50は、無励磁作動型とする。無励磁作動型の電磁クラッチ50は、制御信号が非入力の場合にノンバックラッシュ減速機14と回転軸18とを連結させる。また、制御信号が入力された場合に、ノンバックラッシュ減速機14と回転軸18とを離間させる。
第三実施形態に係る手動送り機構10Bによれば、第一実施形態に係る手動送り機構10と同様の作用効果を得ることが可能となる。また、第一実施形態に係る手動送り機構10と比較して構造が簡素化され、手動送り機構10Bの省スペース化が可能である。
<波動歯車減速機の構造>
図9はノンバックラッシュ減速機の構成例を示す波動歯車減速機の内部構造図である。図9に示した波動歯車減速機14Bは、固定歯車100、回転歯車102、及びカム104を備えている。
図9に示した入力軸104Cを回転させると、カム104の形状に応じて回転歯車102は楕円状に弾性変形する。そうすると、回転歯車102の歯102Aと固定歯車100の歯100Aとが噛み合う位置は、固定歯車100の内周に沿って移動する。
なお、dsの単位はラジアンである。
図9に示した波動歯車減速機14Bは、固定歯車100の複数の歯100Aと、回転歯車102の複数の歯102Aとが同時に噛み合わせられる。また、波動歯車減速機14Bは、180度対称の二か所において、固定歯車100の複数の歯100Aと、回転歯車102の複数の歯102Aとが噛み合わせられる。
図10はノンバックラッシュ減速機の他の構成例を示す遊星歯車減速機の構造図である。図10に示した遊星歯車減速機14Cは、外歯車120、中間歯車122、及び内歯車124を備えている。
各中間歯車122は、それぞれ一か所の噛み合わせ位置において、内歯車124と噛み合わせられる。内歯車124は入力軸124Cが取り付けられる。
図10に示した入力軸124Cを回転させると、内歯車124が回転する。内歯車124が回転すると、複数の中間歯車122が回転する。複数の中間歯車122が回転すると、外歯車120が回転し、外歯車120に取り付けられた出力軸120Dが回転する。
図10に符号124Dを付した矢印付き曲線は、入力軸124Cの回転方向を表している。符号120Eを付した矢印付き曲線は、出力軸120Dの回転方向を表している。なお、入力軸124Cの回転方向が逆転した場合、出力軸120Dの回転方向も逆転する。
<リニアモータを用いた直線移動機構>
図11は直線移動機構の構成例を示す直線移動機構の概略構成図である。図11には、リニアモータ200を用いた直線移動機構を示す。図11に示したリニアモータ200は、本体ベース202、ガイドレール204、コイルベース206、スライダー208、マグネット210、及び移動ステージ212を備えている。
図12は直線移動機構の他の構成例を示す直線移動機構の概略構成図である。図12は、ボールねじ240を用いた直線移動機構を示す。図12に示したボールねじ240は、ねじ242、ナット244、移動ステージ246、ねじ支持部材248を備えている。
本明細書に示した手動送り機構は、表面形状測定機用手動送り機構として適用可能である。また、粗さ測定機、輪郭測定機、及び真円度測定機などの表面測定機用手動送り機構として適用可能である。
図1に示した手動送り機構10を用いて、表面形状測定機に具備されるスタイラスのX軸方向、Y軸方向、及びZ軸方向における位置の微調整が可能である。スタイラス318は、移動ステージ36に取り付けられている。
Claims (8)
- 操作部と、
前記操作部と連結されるノンバックラッシュ減速機と、
被移動体を任意の一方向に沿って移動させる直線移動機構と、
前記ノンバックラッシュ減速機の回転動作を前記直線移動機構に備えられる回転軸へ伝達するギア動作伝達部と、
を備え、
前記操作部は、操作に応じて回転する操作軸を備え、
前記操作軸は、前記ノンバックラッシュ減速機の入力軸と連結され、かつ、前記操作軸、及び前記入力軸は同一の直線上に配置され、
前記ノンバックラッシュ減速機の出力軸は、前記ギア動作伝達部に備えられる摩擦板と連結され、かつ、前記回転軸、及び前記出力軸は同一の直線上に配置され、
前記ギア動作伝達部は、前記摩擦板の位置を前記回転軸の側へ移動させることにより、前記摩擦板と前記回転軸とを押圧当接させて、前記ノンバックラッシュ減速機と前記回転軸とを連結させ、かつ、前記ギア動作伝達部は、前記摩擦板の位置を前記回転軸の反対の側へ移動させることにより、前記摩擦板と前記回転軸とを離間させて、前記ノンバックラッシュ減速機と前記回転軸との連結を解除させる表面測定機用手動送り機構。 - 前記ノンバックラッシュ減速機は、前記入力軸、及び前記出力軸が同一の直線上に配置される請求項1に記載の表面測定機用手動送り機構。
- 前記ノンバックラッシュ減速機の減速比は、400分の1以上20分の1以下である請求項1又は2に記載の表面測定機用手動送り機構。
- 前記ノンバックラッシュ減速機は、リング状の第一歯車と、
前記第一歯車に内挿される第二歯車と、
を備え、
前記第一歯車は内周に第一歯を有し、
前記第二歯車は前記第一歯と噛み合わせる第二歯を外周に有し、前記第二歯の歯数は、前記第一歯の歯数未満であり、
前記入力軸は前記第二歯車に取り付けられ、前記出力軸は前記第一歯車に取り付けられる請求項1から3のいずれか一項に記載の表面測定機用手動送り機構。 - 前記ギア動作伝達部は、
前記摩擦板を前記回転軸に付勢させる摩擦板付勢機構と、
前記摩擦板が連結された前記ノンバックラッシュ減速機を移動させる減速機移動機構と、
前記ノンバックラッシュ減速機の移動方向を切り替える移動方向切替機構と、
を備えた請求項1から4のいずれか一項に記載の表面測定機用手動送り機構。 - 前記移動方向切替機構は、制御信号に基づいて前記摩擦板の移動方向の切り替えを行い、前記制御信号が非入力の場合に、前記摩擦板を前記回転軸の側へ移動させる請求項5に記載の表面測定機用手動送り機構。
- 前記直線移動機構は、磁力を駆動源として被移動体を移動させるリニアモータと、
前記被移動体と連結される無端状のベルトと、
前記無端状のベルトが巻き掛けられる複数のローラと、
を備え、
前記回転軸は、前記複数のローラのいずれか、又は前記複数のローラのいずれかと連結されるローラである請求項1から6のいずれか一項に記載の表面測定機用手動送り機構。 - 前記直線移動機構は、回転軸の回転を前記被移動体の任意の一方向への直線移動に変換するねじ部を備え、
前記回転軸は、ねじ部の端に連結される請求項1から6のいずれか一項に記載の表面測定機用手動送り機構。
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