JP2014081324A - 表面粗さ測定ユニット、三次元測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明にかかる表面粗さ測定ユニット1は、スキッド11の貫通孔19から出没可能に設けられているとともにワークW表面に沿って倣い移動する触針12、およびワーク表面に垂直な方向における前記触針12の変位を検出する変位検出部16、を有する触針ユニット3と、前記触針ユニット3をワークW表面に沿って進退させる駆動部4と、前記触針ユニット3および前記駆動部4と三次元測定システム100の測定ヘッド保持部に連結するためのジョイント部40と、を備えた表面粗さ測定ユニット1であって、前記スキッド11がワークW表面に当接したことを検出する接触検出部15を備えていることを特徴とする。
【選択図】図3
Description
プローブヘッドとしては、接触球がワークに対して所定量押し込まれたときにタッチ信号を出力するタッチプローブなどが知られている。
特許文献2(特開平11−190621号公報)には、表面性状測定機が記載されている。特許文献2に記載の表面性状測定機は、ワーク表面に対して垂直な方向に変位可能に設けられた触針を有する触針ユニットと、この触針ユニットをワーク表面に沿って進退させる駆動部と、を備える。
この場合、ワークの表面粗さ測定に必要な分解能を考慮すると、測定結果は、三次元測定機の移動機構により生じたぶれによる誤差なのか、表面粗さなのか、区別できない可能性が高い。
すなわち、触針ユニットがワーク表面の粗さ測定を行うときには、三次元測定機の移動機構と触針ユニットとを切り離す必要がある。よって、三次元測定機の移動機構を表面粗さ測定機の駆動部として利用することには無理がある。
さらなる問題点として、表面粗さを測定するときには、まず、三次元測定機の移動機構を使って、触針ユニットをワークの所定の位置に正しくセットしなければならないが、触針ユニットがワーク表面に接触したとしても、ワーク表面に対して正しくセットされたか否か検出することができず、表面粗さ測定を適切に実施できないという問題があった。
以上より、単純に三次元測定機のZスピンドルの先端に触針ユニットを装着しただけでは、表面粗さ測定は実現しないのである。
ワークWを載置する定盤121と、
ワークWの輪郭形状を倣い測定する測定ヘッド122と、
この測定ヘッド122をX、YおよびZ方向に三次元的に移動させる移動機構130と、を備えている。
X方向は図1において左右方向であり、Y方向は図1中において紙面の奥から手前の方向であり、Z方向は上下方向である。
門型フレーム131は、X軸方向に横架された水平ビーム132を有するとともに、Y軸方向に移動可能に設けられている。
Z軸スピンドル134は、Xスライダ133の内部に挿入され、Z軸方向に摺動可能に設けられている。
三次元測定機120は、移動機構130で測定ヘッド122を移動させ、接触球127をワークWに接触させることで、ワークWの形状を測定する。
本発明の第1実施形態にかかる表面粗さ測定ユニットを説明する。
表面粗さ測定ユニットは、タッチセンサプローブに代えて、三次元測定システム100の移動機構130に連結させて使用可能なものである。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図2(b)は、表面粗さ測定ユニット1の上面図である。
図2(c)は、表面粗さ測定ユニット1の正面図である。
表面粗さ測定ユニット1は、ジョイント部40によって移動機構130(具体的にはZ軸スピンドルの下端)に連結される。(なお、第2支持部6はジョイント部40と繋がっており、触針ユニット3および駆動部4をジョイント部40に連携させるものであるが、詳しくは第2実施形態として後述する。)
ケース体18は、略直方体の胴部と、この胴部の先端から突き出たノーズ部17と、有し、さらに、ノーズ部17の先端にはスキッド11が設けられている。
(説明の都合上、表面粗さ測定ユニット1の上下方向を、図2a、図3〜図6において紙面上に表された通りに上下を規定して表現する。また、紙面の左側を表面粗さ測定ユニット1の前方、紙面の右側を表面粗さ測定ユニット1の後方と表現する。)
触針レバー20は、胴部からノーズ部17にかけて挿通され、先端の触針12がスキッド11の下端開口から外部に臨むように配設されている。
触針レバー20は、その中間部において板ばね21によって胴部の内部空間に取り付けられている。
板ばね21は、触針レバー20の揺動支点となっているとともに、触針12がスキッド11の下面からわずかに突出した状態でバランスが取れるように触針レバー10を弾性的に支持している。
変位検出部16は、フェライト板22と、インダクタンス検出器23と、を有する。
図3は、駆動部4の機構を示す図である。
駆動部4は、
第1支持部7と、
動力機構部24と、
接触検出部15と、を備える。
なお、駆動ケース5を点線で表示している。
図3でいうと、触針ユニット3の先端部(すなわちスキッド11)が触針ユニット3の後端よりも下に下がるように傾いていることがわかるであろう。
部材25aの上面に設けられた軸受27aと27bの穴に、ガイドシャフト27が貫通している。
部材25bの下端面には、送りねじ29に螺合するねじ受けナット30が設けられる。送りネジ29がガイドシャフト27と平行に設けられているのはもちろんである。
図5は、スキッド11(さらには触針12)がワークWに接触する際の図である。
接触検出部15は、具体的には、フォトセンサ151と、遮蔽板152と、で構成される。
発光部151aは光を発射し、受光部151bは前記光を受光する。受光部151bで光を受光できなくなれば、発光部151aと受光部151bとの間に遮蔽物が存在していることを検出することができるようになっている。
そして、遮蔽板152は、触針ユニット3のケース体18の上面でフォトセンサ151と向かい合う位置に配設されている。
これに対し、スキッド11がワークWの測定面と接触すると、スキッド11が測定面により押し上げられ、これにより、触針ユニット3が押し上げられる。すると、触針ユニット3の上面と部材25aの下面とが接近し、遮蔽板152がフォトセンサ151の光を遮断する。
このようにして、スキッド11がワークWに接触したことによる、触針ユニット3のわずかな傾きの変化をフォトセンサ151で検出する。
表面粗さ測定ユニット1は、接触検出部15でスキッド11がワークWに接触したことを検出すると、この検出結果を出力する。
この検出結果を受けると、移動機構130は、ワークに接近する方向への移動を停止する。そして、表面粗さ測定ユニット1は、ワークWの表面粗さ測定を開始する。すなわち、モータ28を回転駆動させて触針ユニット3をワークW表面に沿って進退させる。
したがって、三次元測定機120の移動機構130の駆動精度だけで触針ユニット3をワークW表面に対して適切な位置にセッティングするのは困難であるが、接触検出部15からの検出信号を用いることにより、スキッド11(さらには触針)を適切にワークWに接触させることが可能になる。
また、接触検出部15でスキッド11とワークWとの接触が検出されたときには移動機構130による表面粗さ測定ユニット1の移動を停止させるため、スキッド11等の精巧な部品が破損してしまうような事故を防止することができる。
さらに、接触検出部15によってワークWとスキッド11との接触を正確に検出可能であるので、事故回避のために表面粗さ測定ユニット1をワークWにわざとゆっくり近づけるような必要もなく、測定効率のさらなる向上を図ることができる。
ここで、接触検出部15として、触針12の変位により触針ユニット3がワークWに接触したことを検出する構成も考えられるはする。しかし、触針ユニット3の変位検出部16の測定レンジや分解能を考慮すると、ワークに対して触針ユニット3を相当ゆっくり近づけていかなければならないだろう。この点、本実施形態にかかる触針ユニットは、表面粗さ測定ユニット1をワークWにわざとゆっくり近づけるような必要もなく、測定効率のさらなる向上を図ることができる。
さらにまた、本実施の形態にかかる測定ユニット1は、スキッド11を駆動させる駆動部4を備えているために、表面粗さを測定するときに、移動機構130の駆動を停止することができるため、移動機構130の駆動による、表面粗さの測定結果のぶれが発生しない。このため、本実施の形態にかかる測定ユニット1は、正確に表面粗さを検出することができる。また、三次元測定機の駆動機構130を、表面の粗さ測定は使用しないために、他の装置、例えばロボットや工作機械等でも装着することが可能である。
本発明にかかる表面粗さ測定ユニット1は、第1実施形態で説明した接触検出部に加えて、さらに衝突検知部50を備える。衝突検知部50は、スキッド11ではなく、表面粗さ測定ユニット1自体が意図しない障害物に衝突したことを検出するものである。
例えば、図2に示すように、スキッド11の下端と駆動ケース5との下面とがほぼ面一になることが多い。ここで、例えば加工漏れ等でワークWの表面に凹凸や突起が残ってしまっている場合、スキッド11をワークW表面に接触させるつもりで表面粗さ測定ユニット1をワークW表面に接近させると、スキッド11よりも先に駆動ケース5の下面など表面粗さ測定ユニット1自体が突起等に当たってしまう可能性がある。
第2支持部6は、外カバー6aの内部に設けられる。
フォトセンサ55と遮蔽板56とにより衝突検知部50が構成されている。
下板51bに設けられた穴51dには、触針ユニット3の駆動ケース5を支持板53に接続する接続部材54が挿通される。
下板51bの上面には、それぞれの鋼球57を受けるための複数の受け穴58を有する。受け穴58は、鋼球57が転がらないように設けられるものであり、ここでは円錐形に凹んだ形状となっている。
また、上板51aの下面と、支持板53の上面と、にはそれぞれコイルばね52が挿入されるための凹部が設けられている。
ここに、下板51bが座部となり、支持板53が支持部となり、支持板53が下板51bに着座するようになっている。
遮蔽板56は、壁面部51cのフォトセンサ55が設けられた位置と向かい合う位置の支持板53の側面に配設される。遮蔽板56は、支持板53と下板51bとが平行な状態であるときには、フォトセンサ55の発光部55aと受光部55bとの間に挿入されるように設けられる。
図6(b)は、駆動ケース5が障害物と接触した状態を示す図である。駆動ケース5の先端部付近の下面から障害物が接触すると、駆動ケース5の先端部分が持ち上げられて、駆動ケース5が傾く。
駆動ケース5が傾くのと同時に、接続部材54で駆動ケース5と連結された支持板53が傾く。すると、フォトセンサ55の間に挿入されていた遮蔽板56がずれ、フォトセンサ55の検出状態が変化する。これにより、駆動ケース5が外部の障害物に接触したことを検出可能である。
これにより、本実施の形態にかかる表面粗さ測定ユニット1は、測定面以外に外部の障害物が接触したことを検出することが可能である。
そして、このように、意図しない障害物に表面粗さ測定ユニット1が衝突したことを衝突検知部50で検知した際には、移動機構130による表面粗さ測定ユニット1の移動を停止させる。
これにより、意図しない障害物への衝突によって表面粗さ測定ユニット1が破損するなどの事故を防ぐことができる。
次に、表面粗さ測定ユニット1を三次元測定システム100に取り付けて使用する際の校正について説明する。
図7は、表面粗さ測定ユニット1と基準球200とを示す図である。
表面粗さ測定ユニット1を使用するにあたっては、表面粗さ測定ユニット1を移動機構130に連結したあと、ワークWの形状を測定する前に、基準球200を用いてのオフセット校正を行う。
これは次の理由による。
表面粗さ測定ユニット1で直接基準球200を測定することも可能なのであるが、表面粗さ測定ユニット1のスキッド11の形状は球体ではないため、基準球200の表面上の複数の点にスキッド11を接触させても正しく基準球200を測定することができず、オフセットの値もバイアスがかかってしまう。
バイアスがかかったオフセットの値を含めて校正することも可能であるが、バイアスは基準球200や基準球200の測定ポイントにより異なることが予測されるために、望ましい方法ではない。
そこで、校正にあたっては、接触球127を先端に有するオフセット校正用ヘッド300を用いることが好ましいのである。
接触球127で測定した基準球200の中心点の座標と、基準のデータとしてコンピュータ端末140内に格納された基準球200の中心点の座標と、の差分を計算して、表面粗さ測定ユニット1のオフセット量を校正する。
なお、オフセット校正用ヘッド300の接触球127と触針ユニット3のスキッド11との間にも寸法差があるが、この寸法差は設計値を用いて校正すればよい。
例えば、門型のフレームを有する三次元測定機について説明したが、移動機構が多関節型のものであっても、本実施の形態にかかる表面粗さ測定ユニットが適用可能であることはもちろんである。
(多関節型三次元測定機は、例えば特開2007−47014号公報に開示されている。)
また、例えば触針と触針レバーとが直角の構成有する表面粗さ測定ユニットについて記載したが、触針と触針レバーとがまっすぐに連結されている構成など、触針ユニットの内部構造自体が限定されるものではない。
またさらに、本発明にかかる表面粗さ測定ユニットは、例えばロボットや工作機械などに装着して使用することも可能である。
接触検出部15や衝突検知部50としてはフォトセンサを例示したが、メカニカルな接点スイッチとしてもよいことはもちろんであり、具体的な構成が実施形態の例示に限定されないのはもちろんである。
Claims (10)
- スキッドの貫通孔から出没可能に設けられているとともにワーク表面に沿って倣い移動する触針、および、ワーク表面に垂直な方向における前記触針の変位を検出する変位検出部、を有する触針ユニットと、
前記触針ユニットをワーク表面に沿って進退させる駆動部と、
前記触針ユニットおよび前記駆動部と三次元測定機の測定ヘッド保持部に連結するためのジョイント部と、を備えた表面粗さ測定ユニットであって、
前記スキッドがワーク表面に当接したことを検知する接触検出部を備えている
ことを特徴とする表面粗さ測定ユニット。 - 請求項1に記載の表面粗さ測定ユニットにおいて、
前記接触検出部は、
前記スキッドがワーク表面に当接したときに、前記触針ユニットが前記駆動部に対してワーク表面に垂直な方向で相対変位したことを検出する
ことを特徴とする表面粗さ測定ユニット。 - 請求項2に記載の表面粗さ測定ユニットにおいて、
前記駆動部は、ガイドシャフトにガイドされた状態でモータの動力にて前記ガイドシャフトに沿って進退可能に設けられたフレームを有し、
前記接触検出部は、
前記触針ユニットおよび前記駆動部のいずれか一方に設けられた第1センサ手段と、
前記触針ユニットおよび前記駆動部のいずれか他方において前記第1センサ手段に対向する位置に配設された第2センサ手段と、を有し、
前記第1センサ手段は、前記第2センサ手段との接近または当接を検出する
ことを特徴とする表面粗さ測定ユニット。 - 請求項3に記載の表面粗さ測定ユニットにおいて、
前記第1センサ手段はフォトセンサであり、
前記第2センサ手段は、フォトセンサの発光部と受光部との間に出入可能に設けられた遮蔽板である
ことを特徴とする表面粗さ測定ユニット。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の表面粗さ測定ユニットにおいて、
前記触針が前記スキッドの前記貫通孔から出る方向を第1方向と規定するとき、
前記触針ユニットを前記第1方向へ付勢する付勢手段を備えている
ことを特徴とする表面粗さ測定ユニット。 - 請求項5に記載の表面粗さ測定ユニットにおいて、
前記駆動部は、ガイドシャフトにガイドされた状態でモータの動力にて前記ガイドシャフトに沿って進退可能に設けられたフレームを有し、
前記触針ユニットは、連結手段によって前記フレームに片持ち支持されている
ことを特徴とする表面粗さ測定ユニット。 - 請求項6に記載の表面粗さ測定ユニットにおいて、
前記連結手段は、板バネであって、前記触針ユニットを前記第1方向に付勢している
ことを特徴とする表面粗さ測定ユニット。 - 請求項1から請求項7のいずれかに記載の表面粗さ測定ユニットにおいて、
表面粗さ測定ユニットのハウジングに固定的に設けられた座部と、
前記座部に対して着座および離隔可能に設けられた支持部と、をさらに備え、
前記駆動部は前記支持部に固定的に連結され、
前記触針が前記スキッドの前記貫通孔から出る方向を第1方向と規定するとき、
前記支持部は、第2付勢手段で前記第1方向に向けて付勢されることにより前記座部に着座し、前記駆動部が前記第1方向とは反対の方向から力を受けたときには前記座部から離隔する
ことを特徴とする表面粗さ測定ユニット。 - 請求項8に記載の表面粗さ測定ユニットにおいて、
前記支持部が前記座部に着座している状態または前記支持部が前記座部から離隔した状態と検出するセンサ手段をさらに備える
ことを特徴とする表面粗さ測定ユニット。 - 請求項1乃至9のいずれかに記載の表面粗さ測定ユニットと、
測定ヘッドとして前記表面粗さ測定ユニットを連結した三次元測定機と、を具備する三次元測定装置。
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