CH425249A - Appareil pour mesurer ou indiquer un défaut de planéité de surface - Google Patents

Appareil pour mesurer ou indiquer un défaut de planéité de surface

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CH425249A
CH425249A CH852763A CH852763A CH425249A CH 425249 A CH425249 A CH 425249A CH 852763 A CH852763 A CH 852763A CH 852763 A CH852763 A CH 852763A CH 425249 A CH425249 A CH 425249A
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CH
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feeler
mirror
reference surface
rod
housing
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CH852763A
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Edmund Reason Richard
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Rank Precision Ind Limited Tra
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    • GPHYSICS
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    • G02B23/02Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices involving prisms or mirrors
    • G02B23/10Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices involving prisms or mirrors reflecting into the field of view additional indications, e.g. from collimator

Description


  
 



  Appareil pour mesurer ou indiquer un défaut de planéité de surface
 La présente invention a pour objet un appareil pour mesurer ou indiquer un défaut de planéité de surface, comportant un organe tâteur pour se déplacer sur la surface à tester, cet organe tâteur étant monté pour effectuer un déplacement dans une direction approximativement perpendiculaire à ladite surface.



   On connaît un appareil de contrôle de surface pour indiquer un défaut de planéité dans lequel une surface de référence est montée sur la surface à tester et les variations dans la séparation de ces deux surfaces sont déterminées par un transducteur électrique comportant un stylet venant en prise avec la surface à tester et un patin directement au-dessus du stylet en prise avec la surface de référence, le transducteur étant déplacé entre les deux surfaces.

   Cette disposition connue est désavantageuse en ce que la position relative nécessaire entre le stylet et le patin limite de façon considérable les possibilités de l'appareil et en ce qu'il est difficile de maintenir une sensibilité et une exactitude en raison de la poussière ou de la saleté se trouvant sur la surface de référence, la disposition ne permettant pas de protéger facilement cette surface pour éviter cet inconvénient.



   Un but de la présente invention est de fournir un appareil pour tester la planéité, de haute sensibilité et exactitude, permettant d'éviter les désavantages de la disposition connue et qui utilise de manière connue en soi un système optique de détection comprenant un élément optique porté par un organe qui supporte le tâteur et coopère avec la surface de référence de telle manière que cet élément optique est soumis à des mouvements dépendant des déplacements du tâteur.



   L'appareil selon l'invention comprend un organe de référence monté de telle manière qu'une surface de référence sur cet organe s'étend sensiblement parallèle à la surface à tester, un organe portant le tâteur et coopérant avec la surface de référence de sorte que cette surface agit comme un repère pour les déplacements du tâteur pendant son mouvement et un système optique de détection comprenant un élément optique porté de telle manière par l'organe de support du tâteur qu'il subit des déplacements dépendant des déplacements du tâteur.



   L'appareil selon l'invention est caractérisé en ce que l'organe de référence est monté dans un boîtier, et l'organe de support du tâteur est constitué par une tige s'étendant vers l'avant à travers une ouverture ménagée dans la paroi du boîtier dans une direction générale parallèle à la surface de référence et est monté pour se déplacer longitudinalement en vue d'effectuer le mouvement du tâteur qui est monté sur l'extrémité avant de la tige de sorte qu'à l'usage, la surface de test est placée devant le boîtier en avant de la surface de référence qui s'y trouve, l'extrémité arrière de la tige étant supportée dans le boîtier par des moyens de guidage coopérant avec la surface de référence et en ce que le système optique de détection comprend un système auto collimateur qui présente des moyens photo-électriques et agit conjointement avec un miroir monté sur la tige,

   adjacent à l'extrémité arrière de celle-ci pour fournir pendant le mouvement du tâteur un signal de sortie continu représentant les déplacements de basculement de la tige qui dépendent des déplacements du tâteur.  



   Le miroir, en réponse au déplacement du tâteur, s'incline de préférence autour de l'axe perpendiculaire à l'axe optique du système optique de détection à partir de la position zéro dans laquelle le plan du miroir est perpendiculaire à cet axe optique. Le système de détection peut être agencé de différentes manières, mais un système auto collimateur spécialement stable d'un usage particulier dans le présent appareil, est celui décrit dans le brevet suisse
No 425265.

   Un tel système optique de détection comprend des moyens de réflexion s'étendant dans un plan qui est incliné sur l'axe optique et coupe un plan perpendiculaire à cet axe suivant une ligne parallèle à l'axe d'inclinaison du miroir, ces moyens de réflexion ne s 'étendant que sur une partie de l'aire utile dans ce plan incliné de manière à définir deux bords entre des aires de transmission et de réflexion de lumière, ces bords s'étendant au moins approximativement parallèles à l'axe d'inclinaison du miroir, une source à partir de laquelle de la lumière passe vers les moyens de réflexion et de là sur le miroir et une lentille de collimateur entre les moyens de réflexion et le miroir mis au point sur la partie centrale de l'aire utile dans le plan incliné de manière à former un faisceau collimaté qui passe vers le miroir et réfléchit par celui-ci,

   de sorte que dans la position 0 du miroir, le faisceau réfléchi produit une image du premier des deux bords superposés sur le second bord et du second bord superposé sur le premier, les moyens photo-électriques étant sensibles à la lumière réfléchie du miroir et incidente sur le plan incliné sur un côté ou l'autre de l'aire entre les deux bords.



   Les moyens photo-électriques peuvent comprendre deux cellules photo-électriques, placées de telle manière que l'une reçoive de la lumière incidente sur le plan incliné sur un côté de l'aire entre les deux bords et l'autre reçoit la lumière incidente sur l'autre côté de cette aire.



   Le dessin annexé représente, à titre d'exemple, une forme d'exécution de l'appareil faisant l'objet de l'invention.



   La fig. 1 montre une vue en élévation frontale d'un support pour l'appareil dont les parties principales sont logées dans un boîtier mobile verticalement.



   La fig. 2 montre l'appareil en vue latérale, la paroi latérale étant enlevée.



   La fig. 3 est une coupe de la partie inférieure par la ligne 3-3 de la fig. 2.



   La fig. 4 est une vue de détail en perspective des fig. 2 et 3.



   La fig. 5 est un diagramme des rayons du système optique de la disposition préférée.



   La fig. 6 est un circuit de sortie pour les moyens photo-électriques du système optique.



   Les fig. 7 et 8 sont d'autres détails de la fig. 2.



   La fig. 9 est une variante du montage du tâteur.



   La fig. 10 est une variante des moyens indicateurs pour le système optique et comprennent un disque ajouré représenté vu en bout.



   La fig. 11 montre le disque ajouré de la fig. 10 en plan.



   La fig. 12 est un système optique modifié destiné à être utilisé dans l'appareil.



   La fig. 13 indique schématiquement une modification des moyens pour charioter le tâteur.



   Comme représenté aux fig. 1 et 2, un tâteur A présentant une pointe arrondie pour venir en prise avec la surface à tester fait saillie vers le bas à partir de l'extrémité frontale d'un bras de support   At    qui s'étend horizontalement et vers l'avant à travers un trou B2 pratiqué dans la paroi frontale   Bl    du boîtier
B à proximité du bord inférieur d'une telle paroi.



   Le boîtier B est monté comme représenté à la fig. 1 pour se déplacer sur la colonne verticale C d'un stand, la base de ce poste constituant une table de travail   C1    sur laquelle la pièce à travailler portant la surface à tester peut être placée. Le boîtier B peut être soulevé ou abaissé au moyen d'un volant à main
C2 pour amener le tâteur A en ou hors d'engagement avec la surface à tester et une vis de serrage   C3    est montée pour bloquer le boîtier dans la position choisie de réglage vertical.



   Comme représenté aux fig. 2 et 3, le bras de support du tâteur   Al    est porté par un chariot D dépla çable sur des pieds le long d'une paire de barres de référence E espacées latéralement, et s'étendant de l'avant à l'arrière du boîtier B. La forme de ce chariot D est représentée en perspective à la fig. 4. Ce chariot D comprend une partie   Dt    en forme de U renversé s'étendant vers le bas entre les barres de référence E dans un plan transversal à la longueur de ces barres et sur chaque côté de la traverse de cette partie en U deux parties allongées D2 et   D3    portant sur leur côté inférieur des pieds pour se déplacer sur les faces supérieures des barres de référence
E.

   La partie D2 de section rectangulaire comprend un seul pied D4 pour se déplacer sur une barre de référence E tandis que l'autre partie   D3    de section en
L comprend deux pieds D5 pour se déplacer sur l'autre barre de référence E. De plus, la partie   D3    comporte une paire de pieds DO pour venir en prise avec le côté d'une barre de référence E, une pince élastique   D7    étant prévue pour maintenir un engagement correct entre les pieds D6 et la barre de référence E diminuant par là le déplacement latéral du chariot D pendant le mouvement de celui-ci le long des barres de référence E. Ces barres sont en verre meulé et poli de façon extrêmement précise de sorte que leurs faces supérieures fournissent une surface de référence rectiligne précise le long de laquelle se déplace le chariot D.

   Dans la fig. 4, les lettres de référence d4, d5 et dÛ indiquent les points d'ajustage sur le chariot D des pieds D4, D5 et D6.



   Un dispositif de fixation F est placé entre les bras de la partie   Dt    du chariot D, ce dispositif étant relié auxdits bras au moyen d'une paire de liaisons ou joints à charnière F1. Ces charnières permettent un mouvement pivotant du dispositif F par rapport au chariot D autour d'un axe parallèle à la surface de  référence et à angle droit par rapport à la direction du déplacement du chariot le long de la surface de référence. Ce dispositif présente à son bord inférieur une douille F2 faisant saillie en avant et destinée à recevoir l'extrémité arrière du bras de support de tâteur   At,    ce bras s'engageant rigidement mais de façon détachable dans la douille F2. Un ressort   F3    agit pour maintenir le bras   At    contre l'intérieur de la douille F2.

   Au-dessus de cette douille, c'est-à-dire entre les bras de la partie   D1    du chariot D, le dispositif F forme un support pour un miroir plan G regardant vers   l'arrière.   



   Avec cette disposition, lorsque le chariot D est déplacé le long des barres de référence E, le tâteur A se déplace le long de la surface à tester. En supposant que la surface de référence est parallèle à la surface à tester et que cette surface de référence est exactement rectiligne, le tâteur A a un déplacement actif pendant le chariotage dans une direction approximativement perpendiculaire à la surface à tester selon le défaut de planéité de cette surface, les charnières   F1    reliant le dispositif F au chariot D réfléchissant pour permettre à ce déplacement actif de se faire. Un arrêt F4 empêche un trop grand mouvement pivotant du dispositif F par rapport au chariot D.



   L'indication du déplacement du tâteur A est effectuée par un système autocollimateur optique travaillant conjointement avec le miroir G décrit ci-dessus, porté par le dispositif F et basculé par celui-ci suivant le déplacement du tâteur autour du pivot du dispositif F défini par les charnières F1. L'usage d'un autocollimateur permet d'obtenir une sensibilité constante indépendamment du déplacement du miroir G le long de la surface de référence pendant le chariotage.



   Le déplacement du chariot D est effectué au moyen d'un moteur réversible H monté sur la partie supérieure du boîtier B à l'avant de celui-ci et couplé par l'intermédiaire d'une courroie d'entraînement ou d'une boîte à engrenages appropriée à un arbre d'entraînement   Ht    s'étendant vers le bas à l'intérieur du boîtier. A son extrémité inférieure, l'arbre d'entraînement H1 porte un tambour H2 pour un câble d'entraînement H3 qui passe autour de deux paires de poulies H4, une paire de poulies espacées verticalement à l'avant du boîtier B et une paire de poulies espacées   verticalement t à l'arrière du boîtier B. Entre les deux    poulies inférieures, le câble H3 est fixé au chariot B aussi près que possible vers le centre d'action des forces de frottement agissant sur ce chariot dues aux pieds coulissants D4, D5 et D6.

   L'élément de fixation sur le chariot B pour la liaison du câble d'entraînement   H8    est indiquée en D2 à la fig. 3. Un disque
H5 présentant un bord molleté faisant saillie à travers une fente ménagée dans la paroi latérale B3 du boîtier B est associé au tambour H2. Ce disque   H5    permet au chariot D d'être déplacé à la main le long des barres de référence E, et si on le désire, le disque
H5 peut venir en prise avec l'arbre d'entraînement   Hl    par l'intermédiaire d'un embrayage à friction (non représenté) de manière à être rendu inopérant lorsque le chariotage est effectué au moyen du moteur.



   Un système autocollimateur spécialement sensible pour l'indication du déplacement actif du tâteur A est décrit dans le brevet suisse No 425265.



   Un tel système autocollimateur comprend une source de lumière J dans une enveloppe   Jt    sur la partie supérieure du boîtier B à l'arrière de celui-ci, la lumière provenant de cette source J étant mise au point vers le bas sur un axe optique vertical traversant la paroi supérieure D4 du boîtier au moyen d'un condenseur J2 sur une fente K1 ménagé dans un réflecteur plan K situé dans un plan incliné à   45o    sur l'axe optique et la longueur de la fente   K1    étant parallèle à l'axe de basculement du miroir G sur le chariot
D.

   Le faisceau lumineux provenant de la fente   K1    passe sur un miroir L de réflexion totale à   450    dans l'angle arrière inférieur du boîtier B où l'axe optique est tourné de 900, le faisceau étant réfléchi en avant jusqu'à une lentille de collimation M qui produit un faisceau collimaté pour le miroir inclinable G. En supposant que l'axe du faisceau collimaté soit exactement parallèle à la surface de référence, le miroir basculable G a une position zéro sur tout le chariotage dans laquelle il s'étend dans un plan perpendiculaire à l'axe optique.

   La lentille M est mise au point de façon précise sur la fente K1 dans le réflecteur incliné
K de sorte que dans la position zéro du miroir G cette lentille de collimateur agit sur le faisceau réfléchi pour former une image de la fente inversée latéralement, superposée exactement sur la fente réelle.



  Cependant, lorsque pendant le chariotage, le miroir G s'écarte de sa position zéro conformément au déplacement actif du tâteur A, le faisceau réfléchi à partir du miroir incliné est dévié latéralement par rapport au faisceau incident et l'image de la fente   Ki    est déplacée par rapport à la fente réelle, de sorte que la lumière tombe sur le réflecteur K sur   l'un    ou l'autre des côtés de cette fente.



   La fig. 5 est un diagramme des rayons du système autocollimateur avec axe optique a-a et montrant le faisceau b provenant de la source J, le faisceau convergent c provenant du condenseur J2, les
 deux faisceaux d et e entre les bords de la fente   Kt    dans le réflecteur incliné K et la lentille de collimation M et le faisceau collimaté f entre la lentille M et le miroir G qui est supposé être dans sa position zéro. Le faisceau d ou e peut être pris comme faisceau divergent provenant d'un bord de la fente   Kt    jusqu'à la lentille M dans quel cas l'autre faisceau e ou d représente le faisceau de retour convergent correspondant de la lentille de collimation jusqu'à l'autre bord de la fente.

   On peut mentionner que dans cette figure les dimensions et positions relatives des diver
 ses parties du système ont été modifiées pour la clarté du dessin.



   Dans une construction préférée, le réflecteur incliné K consiste en une plaque de verre ayant un enduit métallisé réfléchissant la lumière, recouvrant la face de cette plaque plus rapprochée de la len  tille M à l'exception d'une partie de forme rectangulaire allongé formant la fente K.



   La pupille de limitation du système est constituée de préférence par le miroir inclinable G, la lentille de collimation M ayant un diamètre dégagé pour recevoir toute la lumière qui lui est retournée à partir de ce miroir dans toutes les positions de celui-ci.



   La lumière incidente sur le réflecteur incliné K sur   l'un    ou l'autre des côtés de la fente K1 est réfléchie vers l'avant sur   l'un    ou l'autre des côtés du sommet d'un double prisme N sur la face avant duquel est collée une lentille de champ N1. Une paire de cellules photo-électriques N2 sont disposées au-delà du doublet N, N1 pour recevoir la lumière réfléchie à partir d'un côté seulement de la fente K1. Le double N, N1 agit pour former vers chaque cellule photoélectrique une image de la lentille de collimateur M ou du miroir inclinable G de sorte qu'une aire sensiblement constante de la cellule N2 recouvrant la majeure partie de l'aire sensible de celle-ci est illuminée uniformément assurant par là que cette cellule agisse avec le maximum de sensibilité et de précision.



   Avec la disposition décrite, le courant de sortie de chaque cellule   N2    est nul dans la position zéro du miroir G, à l'exception des effets de diffraction et d'aberration. Néanmoins, on obtient une caractéristique linéaire du courant de sortie pour la position zéro à condition que les deux cellules photo-électriques soient connectées de façon différentielle dans le circuit électrique de sortie.



   Dans le diagramme de la fig. 5, des faisceaux divergents allant aux cellules photo-électriques N2 provenant des parties du réflecteur incliné K immédiatement adjacent à la fente K1 sont indiqués en g, et   gs.    Puisque le miroir inclinable G est supposé dans le dessin être dans sa position zéro, ces faisceaux   g1    et g2 devraient être considérés comme ne provenant que des effets de diffraction et d'aberration.



   Un simple circuit de sortie pour les deux cellules
N2 est représenté à la fig. 6. Une différence de potentiel de sortie est développée sur les résistances   N3    et amenée à un amplificateur N4 à courant continu. Le signal amplifié est amené à un instrument enregistreur N5 donnant une mesure directe de l'angle de variation de l'inclinaison du miroir G lorsque celle-ci varie pendant le chariotage et ainsi une mesure du déplacement du tâteur A.



   Dans le système autocollimateur décrit, la surface frontale (éloignée du miroir inclinable) de la lentille de collimation M et également la surface de contact supérieure de celle-ci, étant donné que   l'on    utilise de préférence un doublet pour la collimation, tend à fournir des images virtuelles comme indiqué en x à la fig. 5. Ces images virtuelles peuvent donner lieu à des erreurs de mesure lorsque pendant le chariotage le miroir G traverse la zone dans laquelle de telles images virtuelles sont formées. Pour éviter des erreurs possibles se produisant ainsi, les deux surfaces en question de la lentille M sont revêtues pour réaliser une réflexion minimum et la partie centrale du miroir
G est masquée comme indiqué en G1 à la fig. 5 de manière à être non réfléchissante.

   De plus, les extrémités de la zone de déplacement sont déterminées par un interrupteur de limite ayant un élément mobile
H6 sur le tambour H2 pour le câble d'entraînement   H3    et une partie fixe H7 qui lui est adjacente, empêchant le miroir G de s'approcher de trop près de la lentille de collimation M.



   Dans l'appareil décrit, les moyens de réglage de niveau sont agencés pour régler les barres de référence E par rapport au boîtier B pour s'assurer que la surface de référence s'étend parallèlement à la surface à tester. Les barres de référence E sont fixées en position latéralement à leurs extrémités avant et arrière par des pinces   El    en forme de U portées par des organes de châssis B5 fixes s'étendant vers le bas à l'intérieur du boîtier B à partir de la paroi supérieure B4 de celui-ci. Chaque barre de référence E repose sur une paire de saillies de support E2 l'une près de l'extrémité avant et l'autre près de l'extrémité arrière de la barre.

   Les deux saillies   E2    pour les extrémités avant des barres E sont formées sur les côtés opposés d'un levier plat   E3    en forme de L dont le bord libre de la partie plate horizontale est relié à pivot au moyen d'une liaison articulée E4 à l'organe de châssis   B5    adjacent. Le bras vertical du levier   E3    s'étend vers le haut entre les barres E. La paire de saillies de support   E2    pour les extrémités arrière des barres E est formée sur un levier   E3    semblable relié à pivot par l'intermédiaire d'une liaison à charnière
E4 à l'organe de châssis   B5    adjacent.

   Au-dessus des barres E sont reliées les extrémités supérieures des deux bras verticaux des leviers   E3    par un bras d'accouplement   E5    horizontal dont les extrémités sont reliées par des liaisons à charnière E6 auxdites extrémités supérieures du bras. Les barres E font ainsi partie d'un système articulé à côtés parallèles et le réglage pour effectuer l'inclinaison des deux barres E est réalisé simultanément au moyen d'une vis E7 traversant la paroi arrière B6 du boîtier et l'organe de châssis   B5    adjacent pour venir en prise avec le boîtier   E3    à son extrémité supérieure. Un ressort E8 maintient le levier   E3    en prise avec la vis E7.

   Lorsque la vis E7 est actionnée l'inclinaison des barres E est effectuée autour d'un axe horizontal transversal par rapport à la direction de chariotage pour amener la surface de référence parallèlement à la surface à tester. Pour la clarté du dessin, l'élément   E3    à l'arrière du boîtier est représenté en perspective à la fig. 7, le point de liaison des articulations E4 et E6 étant indiqué en e4 et e6.
   qn    notera qu'avec cette disposition la hauteur du chariot D par rapport à la surface à tester n'est pas influencée par le réglage de la barre de référence lorsque ce chariot est placé dans une position intermédiaire particulière de la longueur des barres E.

   Pour être utilisée conjointement avec un autre réglage décrit plus loin, cette position intermédiaire particulière est marquée, par exemple par un repère sur le bras   At     du tâteur, un index pour la lecture se trouvant sur la paroi frontale B2 du boîtier B ou par une marque sur le chariot D ou sur le tambour d'enroulement du câble H2, ces marques étant lues par rapport à un index vu à travers une fenêtre ménagée dans le boîtier B.



   Le tâteur A est amené initialement en prise avec la surface à tester en abaissant le boîtier B sur la colonne C. Cependant, le réglage de la colonne au moyen du volant à main C2 est plutôt grossier et la position verticale dans laquelle le boîtier B est fixé sur la colonne C peut être telle que le bras de support du tâteur soit basculé à partir de la position associée à la position zéro du miroir G qui s'incline avec ce bras. Ainsi, grâce au réglage initial de la hauteur, le courant de sortie amplifié des cellules photo-électriques N2 peut être en dehors de l'échelle de lecture de l'instrument enregistreur N5. Effectivement, pour produire un réglage fin en hauteur, des moyens sont agencés pour ajuster la position du système autocollimateur optique décrit ci-dessus par rapport au boîtier B.

   Dans ce but, les éléments du système autocollimateur autres que la source J et la lentille de condensateur J2 sont montés dans le boîtier B sur un châssis P s'étendant à proximité de la partie supérieure jusque près du fond du boîtier vers l'extrémité arrière de celui-ci. Ainsi, ce châssis P porte la lentille de collimation M et le miroir incliné adjacent L comme une unité   Pi    à son extrémité inférieure et le réflecteur incliné K ayant la fente K1, le double prisme combiné N et la lentille de champ N1 et les cellules photo-électriques   N8    comme une unité
P2 à son extrémité supérieure.

   Juste au-dessus de l'unité inférieure   Pt,    le châssis B est pivoté à l'organe de châssis B7 fixé par rapport au boîtier B au moyen de la liaison articulée P3, l'axe de pivotement étant disposé suivant une direction générale horizontale et transversale par rapport à la direction de chariotage.



  Ainsi, par un léger mouvement du châssis P autour de son pivot P3, l'axe du système auto-collimateur peut être incliné pour amener l'axe du faisceau collimaté plus exactement à angle droit par rapport au plan du miroir inclinable G ce qui constitue l'équivalent d'un réglable fin de la hauteur. A l'usage, ce réglage ainsi que le réglage du niveau des barres de référence E sont effectués successivement. Ainsi, en tout premier lieu, en ajustant l'appareil, le chariot D est déplacé de la position dans laquelle le réglage de la barre de référence n'a pas d'effet sur la hauteur du chariot par rapport à la surface à tester. Un fin réglage en hauteur est ensuite réalisé pour obtenir une lecture sensiblement zéro sur l'instrument enregistreur. Dans ces conditions, le miroir inclinable G réfléchit le faisceau collimaté le long de l'axe optique.

   Le chariot D est ensuite déplacé le long de la surface de référence soit à la main, soit par enclenchement du moteur d'entraînement H, et du courant de sortie obtenu à l'instrument d'enregistrement. Si, par exemple, dans le cas d'un enregistreur électrique à plume, la plume trace une ligne inclinée dépassant la partie supérieure ou le bas de la carte, on sait alors que la surface de référence n'est pas parallèle à la surface à tester ce qui est corrigé par le réglage du niveau des barres de référence E, ce réglage n'ayant pas de réaction sur le réglage de hauteur effectué pour la position intermédiaire particulière du chariot.



   Le montage pivotant du système auto-collimateur est également utilisé dans un autre but, celui de corriger une toute petite erreur de rectitude des barres de référence E. Pour cette correction, l'arbre d'entraînement H1 du rouleau H2 porte à proximité de son extrémité supérieure un disque de came H8 au moyen duquel de petites variations d'inclinaison du châssis
P portant le système auto-collimateur sont effectuées pendant le chariotage pour compenser les petites erreurs de rectitude des barres de référence E. La came H8 peut être un organe flexible réglable par des vis de poussée et de traction ou elle peut être rigide et formée à partir de l'enregistrement du courant de sortie obtenu lorsque le tâteur A est déplacé à travers une surface de référence connue pour être absolument droite.



   Les moyens permettant d'effectuer le basculement du châssis P pour le réglage fin en hauteur et pour la correction des erreurs des barres de référence sont représentés à la fig. 8. Ainsi, l'extrémité supérieure du châssis P est reliée au moyen d'une liaison horizontale P4 l'extrémité arrière d'un bras plat horizontal   pI    qui porte à son extrémité avant un bouton   H9    faisant saillie vers le bas et venant en prise avec le disque de came   H5.    L'extrémité arrière du bras P5 est également reliée par une paire de liaisons horizontales   pG    à une paire de bras d'accouplement P7 s'étendant vers l'arrière de chaque côté de l'extrémité supérieure du châssis P.

   Cette dernière paire de liaisons à charnière P6 s'étend dans un plan horizontal très légèrement au-dessus du niveau du plan horizontal contenant la liaison   P4.    Les extrémités arrière des bras d'accouplement P7 sont reliées par une paire de liaisons   p8    à l'extrémité supérieure d'un bras de réglage vertical   P9    qui est reliée entre les liaisons P8 par une liaison horizontale   P     à une console B8 sur le boîtier
B. La liaison   P'O    s'étend dans un plan horizontal légèrement au-dessus du niveau du plan horizontal contenant les liaisons P8.

   L'extrémité inférieure du bras P9 est engagée par une vis   pll    à réglage fin traversant la paroi arrière   BG    du boîtier B et l'organe de châssis adjacent B5 juste à l'intérieur de cette paroi. Un ressort   pl2    maintient le bras   P9    en prise avec la vis   pt1.   

 

   Avec la position décrite ci-dessus, l'actionnement de la vis   P11    provoque un mouvement de déplacement en avant ou en arrière des bras d'accouplement   P7 et    ainsi de l'extérémité supérieure du châssis P de sorte que le système auto-collimateur est basculé en conséquence. La différence des niveaux des liaisons   P8 et    P10 à l'extrémité supérieure du bras P9 sur lequel agit cette vis fournit un rapport de réduction de 20 :1.



  Le déplacement du bras P5 actionné par came pendant le chariotage impartit un déplacement sembla  ble en avant ou en arrière à l'extrémité supérieure du châssis P mais avec un rapport de réduction de   3000 : l    fourni par la très petite différence entre les niveaux des liaisons P4 et   P6.    Le chemin de la came
H6 est suffisamment large pour permettre les petits déplacements du bras P5 pouvant avoir lieu du fait du réglage fin en hauteur.



   Pour le transport, des moyens sont agencés en vue de soulever le chariot D hors des barres de référence E et pour fixer ce chariot D. Pour cela (voir fig. 3) le chariot D est monté sur la partie supérieure de la pièce transversale de l'organe en forme de U renversé D1 avec un bossage D8 présentant une lèvre faisant saillie radialement et sur la partie supérieure des éléments D2 et   D3    de saillies D9. Un organe de serrage D10 est monté sur un support B9 fixé au boîtier B, cet organe ayant une section en forme de L s'étendant dans la direction du chariotage.

   Le support B9 présente un pivot   Bt     de sorte que l'organe de serrage   D10    peut pivoter autour d'un axe parallèle à la direction de chariotage et une vis de serrage D11 traversant la paroi latérale   B3    du boîtier B et un organe de châssis adjacent   B11    s'étendant à partir de la paroi supérieure D4 du boîtier jusqu'à l'intérieur de la paroi latérale, vient en prise avec L'organe de serrage D10 pour effectuer le déplacement de celle-ci autour de son pivot B10.

   En agissant sur la vis   D11,    l'organe de serrage   D19    peut être déplacé autour du pivot B10 pour venir en prise avec le côté inférieur de la lèvre du bossage D8 sur le chariot D et soulever ce chariot en prise par les saillies D9 avec l'organe de châssis fixe B7 sur lequel pivote le châssis P du système auto collimateur. Comme représenté à la fig. 3, cet organe de châssis B7 peut être venu de fabrication avec l'organe de châssis B11 s'étendant jusqu'à l'intérieur de la paroi B4 du boîtier B. Dans la fig. 2, l'organe de châssis est représenté presque complètement éliminé pour la clarté du dessin. Les points de fixation sur le châssis D du bossage   D6    et les saillies D9 sont indiquées en d8 et d9 respectivement à la fig. 4.

   Les moyens de fixation décrits sont actionnables avec le chariot dans n'importe quelle position de la gamme du déplacement transversal.



   La disposition décrite plus haut peut avoir une gamme de déplacement d'environ 13 cm. Lorsque le réglage est correctement fait, l'amplification des erreurs de planéité peut être obtenue jus  qu'à    10000. Des erreurs de planéité de l'ordre de 0,00013 mm (5 micropouces inch) peuvent être facilement détectées.



   Des surfaces s'étendant au-dessous du niveau de la matière entourante peuvent être testées en montant le tâteur A comme représenté à la fig. 9. Dans cette disposition, un montage supplémentaire Q est fixé au chariot D au moyen d'une liaison articulée
Q1, ce montage comprenant un support Q2 faisant saillie vers l'avant. Le bras de support du tâteur est détaché du support F2 sur le montage F et deux bras   Q3    s'étendant vers l'avant sont engagés dans les deux douilles Q2 et F2, ces bras portant à leurs extrémités avant sur des liaisons articulées Q4 un bras de support Q5 vertical et dirigé vers le bas, ce bras portant le tâteur A à son extrémité inférieure.



  Bien que   l'on    ne l'ait pas représenté sur les autres figures, le montage additionnel Q, est habituellement prévu sur le chariot, la douille Q2 n'étant pas utilisée lorsque le bras normal de support de tâteur est engagé dans la douille F2 pour des tests.



   De nombreuses modifications de la disposition décrite peuvent être réalisées. Par exemple, la fig. 10 montre une modification des moyens photo-électriques n'utilisant qu'une seule cellule R. Conjointement avec cette cellule R, un disque ajouré R1 est utilisé (voir fig. 11), ce disque comportant une face réfléchissante R2. Le disque R1 est entrainé à une vitesse de rotation constante pendant le fonctionnement à partir du moteur d'entrainement H pour le chariot D.



  Le double prisme N et la lentille N1 sont disposés juste en avant du réflecteur incliné K présentant la fente K1 mais agissant pour former une image de la lentille de collimation ou du miroir inclinable sur les moyens de mise au point constitués par une lentille   R3    et un double prisme R4 en combinaison. De cette manière, les faisceaux provenant du réflecteur incliné sont mis au point au moyen de la combinaison de la lentille   R3    et du prisme R4 pour former une image de la fente K1 sur le disque R1, de la lumière provenant d'un côté de la fente tombant sur une face de ce disque et la lumière provenant de l'autre côté de la fente tombant sur l'autre face du disque.

   La lumière provenant d'un côté de la fente   K1    est ainsi transmise à travers les ouvertures du disque à la cellule photo-électrique R et la lumière provenant de l'autre côté de la fente est réfléchie par la face   R2    du disque sur cette cellule qui, ainsi, a un courant de sortie alternatif à la fréquence de rotation du disque. Dans la région de l'inclinaison zéro du miroir G, le courant de sortie de la cellule R comprend un courant continu qui est dû à des effets de diffraction et d'aberration et il est par conséquent négligé, étant perdu dans l'amplificateur à courant alternatif auquel le courant de sortie de la cellule est amené avant d'être fourni à l'instrument enregistreur par l'intermédiaire d'un redresseur.



   Une autre modification du système autocollimateur est représentée à la fig. 12. Dans cette modification, au lieu d'un réflecteur incliné présentant une fente, on utilise une fente S et un semi-réflecteur   S1    disposé le long de l'axe optique. Ainsi, la source J est mise au point sur la fente S par le condenseur J2, le faisceau provenant de la fente traversant le semiréflecteur   S1    jusqu'au miroir incliné L et à la lentille de collimation M. Le faisceau de retour est réfléchi au semi-réflecteur   St    sur un diviseur de faisceau   S2    et les faisceaux divisés tombent sur deux cellules photo-électriques S3. La fig. 12 sert également à illustrer des moyens modifiés pour compenser les petites erreurs dans les barres de référence.

   Ainsi, au lieu de basculer le système autocollimateur sensiblement comme un tout suivant les déplacements d'un levier  actionné par came, une plaque de déviation optique T est montée dans le trajet du faisceau lumineux entre le semi-réflecteur   S1    et le miroir incliné L. Cette plaque de compensation T est montée pour tourner autour d'un axe perpendiculaire à l'axe optique et dans sa position zéro dans laquelle elle est perpendiculaire à l'axe optique, elle permet au faisceau incident et au faisceau réfléchi de passer à travers sans déviation. La plaque T est basculée de sa position zéro au moyen d'un bras pivoté T1 en prise avec le disque de came entraîné en synchronisme avec le chariot de déplacement.



   Une modification du montage du chariot est représentée à la fig. 13. Dans cette disposition, un bras de support de tâteur V portant le tâteur A et le miroir G est remorqué derrière un chariot W sur une liaison articulée Wl et ce bras de support de tâteur présente un patin   Vi    pour s'appuyer contre la surface de référence X, étant maintenu en prise avec celle-ci par la légère sollicitation   W3.    Cette dernière constitue également une articulation permettant au bras de support V de s'incliner selon le travail du tâteur A. Le chariot W peut être guidé pour se déplacer le long de l'organe portant la surface de référence X comme indiqué mais dans une variante, il peut être guidé pour se déplacer sur un organe entièrement séparé.

   Le maximum d'exactitude de vérification est obtenu lorsque le miroir G est monté verticalement au-dessous du patin   Vi.   
  

Claims (1)

  1. REVENDICATION Appareil pour mesurer ou indiquer un défaut de planéité d'une surface à tester, en déplaçant le long de ladite surface un tâteur capable de subir des déplacements dans une direction générale perpendiculaire à cette surface, comprenant un organe de référence monté de telle manière qu'une surface de référence sur cet organe s'étend sensiblement parallèle à la surface à tester, un organe portant le tâteur et coopérant avec la surface de référence de sorte que cette surface agit comme un repère pour les déplacements du tâteur pendant son mouvement et un système optqiue de détection comprenant un élément optique porté de telle manière par l'organe de support du tâteur qu'il subit des déplacements dépendant des déplacements du tâteur, caractérisé en ce que l'organe de référence est monté dans un boîtier,
    et l'organe de support du tâteur est constitué par une tige s'étendant vers l'avant à travers une ouverture ménagée dans la paroi du boîtier dans une direction générale parallèle à la surface de référence et est monté pour se déplacer longitudinalement en vue d'effectuer le mouvement du tâteur qui est monté sur l'extrémité avant de la tige de sorte qu'à l'usage, la surface de test est placée devant le boîtier en avant de la surface de référence qui s'y trouve, l'extrémité arrière de la tige étant supportée dans le boîtier par des moyens de guidage coopérant avec la surface de référence et en ce que le système optique de détection comprend un système auto collimateur qui présente des moyens photo-électriques et agit conjointement avec un miroir monté sur la tige,
    adjacent à l'extrémité arrière de celle-ci pour fournir pendant le mouvement du tâteur un signal de sortie continu représentant les déplacements de basculement de la tige qui dépendent des déplacements du tâteur.
    SOUS-REVENDICATIONS 1. Appareil selon la revendication, caractérisé en ce que les moyens de guidage supportant l'extrémité arrière de la tige agissent également pour empêcher la tige de se déplacer latéralement pendant le mouvement du tâteur.
    2. Appareil selon la revendication, caractérisé en ce que les moyens de guidage comprennent un chariot ayant les pieds qui s'appuient sur la surface de référence.
    3. Appareil selon la revendication, caractérisé en ce que la tige porte à son extrémité arrière un pied s'appuyant sur la surface de référence.
    4. Appareil selon la revendication, caractérisé en ce que le miroir, pendant tout le mouvement du tâteur, définit l'ouverture du système optique de détection.
    5. Appareil selon la revendication, caractérisé en ce que pour un réglage fin de la position 0 de l'appareil, des moyens réglables sont prévus pour placer le système optique de détection avec son axe optique exactement parallèle à la surface de référence et des moyens réglables sont également prévus pour placer la surface de référence exactement parallèle à la surface de test.
    6. Appareil selon la revendication, caractérisé en ce que des moyens sont prévus pour corriger de petites erreurs dues à un défaut de planéité de la surface de référence, ces moyens comprenant une came façonnée suivant les erreurs de la surface de référence et entraînée en synchronisme avec le mouvement de la tige, cette came agissant pour commander le système optique de détection.
    7. Appareil selon la revendication, caractérisé en ce que le miroir, en réponse aux mouvements du tâteur, s'incline autour d'un axe perpendiculaire à l'axe optique du système de détection à partir d'une position 0 dans laquelle le plan du miroir est perpendiculaire à l'axe optique, et le système de détection comprend des moyens de réflexion s'étendant dans un plan qui est incliné sur l'axe optique et coupe un plan perpendiculaire à cet axe suivant une ligne parallèle à l'axe d'inclinaison du miroir, ces moyens de réflexion ne s'étendant que sur une partie de l'aire utile dans ce plan incliné de manière à définir deux bords entre des aires de transmission et de réflexion de lumière, ces bords s'étendant au moins approximativement parallèles à l'axe d'inclinaison du miroir,
    une source à partir de laquelle de la lumière passe vers les moyens de réflexion et de là sur le miroir et une lentille de collimateur entre les moyens de réflexion et le miroir mis au point sur la partie centrale de l'aire utile dans le plan incliné de manière à former un faisceau collimaté qui passe vers le miroir et est réfléchi par celui-ci, de sorte que dans la position 0 du miroir, le faisceau réfléchi produit une image du premier des deux bords superposés sur le second bord et du second bord superposé sur le premier, les moyens photo-électriques étant sensibles à la lumière réfléchie du miroir et incidente sur le plan incliné sur un côté ou l'autre de l'aire entre les deux bords.
    8. Appareil selon la sous-revendication 7, caractérisé en ce que les moyens photo-électriques comprennent deux cellules photo-électriques placées de telle manière que l'une reçoit de la lumière incidente sur le plan incliné sur un côté de l'aire entre les deux bords et l'autre reçoit de la lumière incidente sur l'autre côté de cette aire.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2722644A1 (fr) * 2012-10-18 2014-04-23 Mitutoyo Corporation Module de Mesure de la Rugosite et Appareil de Mesure des Coordonnées
CN112344918A (zh) * 2020-11-06 2021-02-09 中咨工程管理咨询有限公司 一种工程建设质量验收实时测量装置
CN113048866A (zh) * 2021-02-19 2021-06-29 深圳市普乐华科技有限公司 一种非晶纳米晶铁芯卷绕机用检测机构
CN115356008A (zh) * 2022-09-20 2022-11-18 深圳市东河仪表有限公司 一种温度传感器

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2722644A1 (fr) * 2012-10-18 2014-04-23 Mitutoyo Corporation Module de Mesure de la Rugosite et Appareil de Mesure des Coordonnées
CN112344918A (zh) * 2020-11-06 2021-02-09 中咨工程管理咨询有限公司 一种工程建设质量验收实时测量装置
CN112344918B (zh) * 2020-11-06 2022-06-17 中咨工程管理咨询有限公司 一种工程建设质量验收实时测量装置
CN113048866A (zh) * 2021-02-19 2021-06-29 深圳市普乐华科技有限公司 一种非晶纳米晶铁芯卷绕机用检测机构
CN115356008A (zh) * 2022-09-20 2022-11-18 深圳市东河仪表有限公司 一种温度传感器
CN115356008B (zh) * 2022-09-20 2023-04-04 深圳市东河仪表有限公司 一种温度传感器

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