JPH10503890A - 振動を受けない物品テーブルを有する位置決め装置 - Google Patents
振動を受けない物品テーブルを有する位置決め装置Info
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.物品テーブルと、少なくともX方向に平行に案内部上に前記物品テーブルを 移動可能にさせる駆動ユニットとを具える位置決め装置であって、この位置決め 装置の第1フレームに前記案内部を固定し、この第1フレームから動的に絶縁さ れたこの位置決め装置の第2フレームに前記駆動ユニットの静止部を固定した位 置決め装置において、作動中、前記駆動ユニットによって前記物品テーブルに作 動する駆動力から発生してこの物品テーブルによって前記駆動ユニットに作用す る反力を前記第2フレームのみに伝導させることを特徴とする位置決め装置。 2.作動中、駆動ユニットの電気コイルシステム、及び磁石システムのロレンツ 力に専ら依存して前記物品テーブルを前記駆動ユニットの前記静止部に結合した ことを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。 3.前記磁石システムと電気コイルシステムとを前記駆動ユニットの第1リニア モータに属せしめ、前記第2フレームに固定された静止部と、この静止部の案内 部上にX方向に平行に移動し得る移動部とを有する第2リニアモータを前記駆動 ユニットに設け、前記第1リニアモータの前記磁石システムを前記物品テーブル に固定し、前記第1リニアモータの前記電気コイルシステムを前記第2リニアモ ータの前記移動部に固定したことを特徴とする請求項2に記載の位置決め装置。 4.前記第2リニアモータの前記移動部に固定された静止部と、この静止部の案 内部上をX方向に垂直なY方向に平行に移動できる移動部とを有する第3リニア モータを前記駆動ユニットに設け、前記第1リニアモータの前記電気コイルシス テムを前記第3リニアモータの前記移動部に固定したことを特徴とする請求項3 に記載の位置決め装置。 5.作動中、電気制御ユニットによって制御され前記第1フレームに補正力を作 用させる力アクチュエータシステムを前記位置決め装置に設け、前記補正力が有 する前記第1フレームの基準点の周りの機械的モーメントの値が、前記物品テー ブルに作用する重力の前記基準点の周りの機械的モーメントの値に等しく 方向が反対であることを特徴とする前記請求項のいずれか1項に記載の位置決め 装置。 6.前記物品テーブルを水平方向に平行に移動し得るよう構成し、前記力アクチ ュエータシステムが前記補正力を垂直方向に平行に前記第1フレームに加えるよ う構成したことを特徴とする請求項5に記載の位置決め装置。 7.水平なX方向に平行に、またX方向に垂直であって水平なY方向に平行に移 動し得るよう前記物品テーブルを構成し、相互に三角形に配置され垂直方向に平 行に前記第1フレームにそれぞれ補正力を作用させる3個の力アクチュエータを 前記力アクチュエータシステムに設けたことを特徴とする請求項6に記載の位置 決め装置。 8.前記位置決め装置のベースに前記第1フレームを結合する動的絶縁装置のシ ステムに前記力アクチュエータシステムを合体させたことを特徴とする請求項5 〜7のいずれか1項に記載の位置決め装置。 9.前記力アクチュエータシステムの電気コイルシステム、及び磁気システムの ロレンツ力のみで前記補正力が成ることを特徴とする請求項5〜8のいずれか1 項に記載の位置決め装置。 10.垂直なZ方向に平行に見て、放射源、マスクホルダ、Z方向に平行に指向す る主軸を有する焦点合わせシステム、及び位置決め装置によってZ方向に垂直に 移動できる基材ホルダをこの順序で支持する機械フレームを有するリソグラフ装 置において、前記基材ホルダの位置決め装置が請求項1〜9のいずれか1項に記 載の位置決め装置であり、前記基材ホルダの位置決め装置の第1フレームがこの リソグラフ装置の機械フレームに属し、前記基材ホルダの位置決め装置の第2フ レームが前記機械フレームから動的に絶縁された前記リソグラフ装置の力フレー ムに属していることを特徴とするリソグラフ装置。 11.垂直なZ方向に平行に見て、放射源、位置決め装置によってZ方向に垂直に 移動し得るマスクホルダ、Z方向に平行に指向する主軸を有する焦点合わせシス テム、及び別個の位置決め装置によってZ方向に垂直に移動できる基材ホルダを この順序で支持する機械フレームを有するリソグラフ装置において、前記マスク ホルダの位置決め装置が請求項1〜9のいずれか1項に記載の位置決め 装置であり、前記マスクホルダの位置決め装置の第1フレームがこのリソグラフ 装置の機械フレームに属し、前記マスクホルダの位置決め装置の第2フレームが 前記機械フレームから動的に絶縁された前記リソグラフ装置の力フレームに属し ていることを特徴とするリソグラフ装置。 12.請求項1〜9のいずれか1項に記載の位置決め装置によってZ方向に垂直に 前記マスクホルダが移動可能であり、前記マスクホルダの前記位置決め装置の前 記第1フレームが前記リソグラフ装置の機械フレームに属し、前記マスクホルダ の前記位置決め装置の前記第2フレームが前記リソグラフ装置の前記力フレーム に属していることを特徴とする請求項10に記載のリソグラフ装置。 13.作動中、電気制御ユニットによって制御され前記リソグラフ装置の機械フレ ームに補正力を作用させる接合力アクチュエータシステムを前記基材ホルダ、及 びマスクホルダの位置決め装置に設け、前記補正力が有する前記機械フレームの 基準点の周りの機械的モーメントの値が、前記基材ホルダに作用する重力の前記 基準点の周りの機械的モーメントと、前記マスクホルダに作用する重力の前記基 準点の周りの機械的モーメントとの和の値に等しく方向が反対であることを特徴 とする請求項11、又は12に記載のリソグラフ装置。 14.三角形に相互に配置された3個の動的絶縁装置により、力フレームが接して いる前記リソグラフ装置のベース上に前記機械フレームを配置し、前記接合力ア クチュエータシステムには前記動的絶縁装置の対応する1個にそれぞれ合体され た別個の3個の力アクチュエータを設けたことを特徴とする請求項13に記載の リソグラフ装置。
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