JP2002301628A - ワーク姿勢調整ユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】潤滑液等がかかるおそれのある工作機械にも適
用できて汎用性があり、しかもコンパクトなワーク姿勢
調整ユニットを提供すること。 【解決手段】ワーク取付け用の取付体３をベース２に支
持する支持機構４を、ベース２と取付体３との間に区画
されてシール部材１８，２７により密封される収容空間
２６に収容する。支持機構４は、ワークの姿勢を調整す
るべくベース２に設けられる駆動機構６，７，８を含
む。各駆動機構６，７，８は、取付体３の中央部と交差
しない方向に沿って移動自在な楔状部材と、楔状部材を
駆動するモータ１０，１３とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は工作機械に取り付け
られてワークの姿勢を調整するためのワーク姿勢調整ユ
ニットに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】工作機械において、ワークに対する加工
精度を向上するためには、工作機械の加工テーブル等に
ワークを精度良く位置決めする必要がある。そこで、ワ
ークの姿勢を調整するための装置が種々提供されている
（例えば特開平９−１７４４２７号公報参照）。ところ
で、ワーク姿勢調整装置に潤滑液や冷却液がかかる場合
が想定されるが、従来のワーク姿勢調整装置では、その
点が考慮されておらず、したがって、潤滑液等がかかる
おそれのある工作機械には、適用できず、汎用性がなか
った。

【０００３】また、上記のワーク姿勢調整装置では、装
置外に別途に設けられるモータ等の駆動機構を用いて、
楔部材等を進退駆動するようにしており、全体として、
大型になる。本発明は上記課題に鑑みてなされたもので
あり、潤滑液等がかかるおそれのある工作機械にも適用
できて汎用性が高く、しかもコンパクトなワーク姿勢調
整ユニットを提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段及び発明の効果】上記目的
を達成するため、請求項１記載の発明は、ベースと、ワ
ークを取り付ける取付体と、ベースと取付体との間に介
在して取付体を支持する支持機構と、ベースと取付体と
の間に区画され、支持機構を収容する収容空間と、収容
空間を密封するシール部材とを備え、上記支持機構は、
ワークの姿勢を調整するべく取付体を駆動する駆動機構
を含むことを特徴とするものである。

【０００５】本発明では、収容空間に駆動機構を内蔵し
たコンパクトなユニットを実現でき、しかも、収容空間
をシール部材により密封してあるので、半導体製造装置
や放電加工装置等、潤滑液その他の液がかかるおそれの
ある工作機械にも適用することができ、汎用性が非常に
高い。請求項２記載の発明は、請求項１において、上記
駆動機構は、ベース及び取付体の中央部を貫く軸線に平
行な方向に取付体を駆動する複数の第１の駆動機構と、
上記軸線の回りに取付体を回転駆動する第２の駆動機構
とを含むことを特徴とする。本発明では、第１の駆動機
構により、例えばワークの加工面の傾きを調整し、第２
の駆動機構により、例えばワークの加工面に隣接する直
交面の平行度を調整できるので、取付体の姿勢を精度良
く調整することができる。

【０００６】請求項３記載の発明は、請求項２におい
て、上記ベースは、下板と、周側壁と、円形孔を有する
上板とを有し、上記取付体は円形をなして上板の円形孔
に所定の隙間を設けて収められ、上記シール部材は、取
付体の周縁と上板の円形孔の周縁に跨がって配置される
可撓性の環状シートカバーを含むことを特徴とするもの
である。本発明では、第１及び第２の駆動機構による調
整、特に第２の駆動機構によって、円形をなす取付板を
上記軸線回りに回転駆動する調整をスムーズに実施で
き、しかも、このような調整に際して、可撓性の環状シ
ートカバーが邪魔にならない。

【０００７】請求項４記載の発明は、請求項１，２又は
３において、各駆動機構は、ベースに所定方向に沿って
移動自在に設けられ、上記所定方向に沿って傾斜する楔
状部材と、楔状部材を上記所定方向に駆動する駆動源と
を含むことを特徴とするものである。本発明では、楔状
部材の移動量に比して、調整される取付体とベースの所
定部間の距離の変化を少なくすることができるので、精
度の良い微調整が実現できる。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態を添
付図面を参照しつつ説明する。図１は本発明の一実施の
形態のワーク姿勢調整装置の模式的平面図である。図１
を参照して、本ワーク姿勢調整ユニット１は、工作機械
の例えば加工テーブル等に固定される矩形板状のベース
２と、上面３ａにワークを取り付ける円形をなす取付体
３と、ベース２と取付体３との間に介在して取付体３を
支持する支持機構４とを備えている。取付体３は同心の
少し大きな円形のシート状カバーをなすシール部材１８
により覆われている。

【０００９】支持機構４は、取付体３の中央部を昇降自
在であって水平方向（左右方向。ＸＹ方向）への移動が
規制された支点Ｃの回りに球面支持する中央部支持機構
５と、ワークの姿勢を調整するために、取付体３の上面
の傾きを調整する一対の第１の駆動機構６，７と、支点
Ｃを通過する鉛直な軸線の回りに取付体３の回転位置を
調整する第２の駆動機構８とを備えている。一対の第１
の駆動機構６，７は中央支持機構５から離間した位置に
互いに離間して設けられており、それぞれ支点Ａ，Ｂに
て取付体３を支持する。一方、高さ固定の支点Ｄにても
取付体３を支持するようにしており、支点Ａ，Ｂ及びＤ
により取付体３を上下方向に、いわゆる３点支持するよ
うにしている。これらの支点Ａ，Ｂ及びＤは、支点Ｃを
貫く鉛直線を中心とする円周の等配（１２０°間隔）の
位置に配置されている。

【００１０】各第１の駆動機構６，７は、それぞれ、ベ
ース２の長手方向に平行に延びる楔状部材９と、この楔
状部材９をベース２の長手方向に平行に駆動するそれぞ
れ駆動源としての直動形のモータ１０とを備えている。
取付体３は例えば引っ張りコイルばねからなる付勢部材
１１によって、図１において、上記軸線Ｃを中心とする
時計回り方向に付勢されている。第２の駆動機構８は、
ベース２の長手方向に平行に延びる楔状部材１２と、こ
の楔状部材１２をベース２の長手方向に平行に駆動する
それぞれ駆動源としての直動形のモータ１３とを備えて
いる。第２の駆動機構８は楔状部材１２を図１において
左方へ移動させることにより、付勢部材１１に抗して取
付体３を軸線Ｃを中心とする反時計回り方向に回転変位
させる。

【００１１】１４は、第２の駆動機構８により回転位置
が微調整された取付体３の当該回転位置を固定するため
のロック機構である。ロック機構１４は、ベース２の長
手方向に平行に延び、一対の挟持ローラ１５，１５間に
押し込まれる楔状部材１６と、この楔状部材１６をベー
ス２の長手方向に進退駆動する、例えばエアシリンダ等
の流体圧シリンダ１７とを備えている。一対の第１の駆
動機構６，７及び第２の駆動機構８は取付体３の中央部
と交差しない方向として、矩形状をなすベース２の長手
方向に平行に延びており、その結果、充分な長さを確保
して、各楔状部材９，１２による精度の良い微調整を可
能としている。

【００１２】図１において、１９はロック機構１４の流
体圧シリンダ１７や、中央部支持機構５の後述する流体
圧シリンダ４４（図５参照）へエア等の流体を供給する
ために、例えばベース２の側面に取り付けられるの配管
継手である。２０は各駆動機構６，７，８のモータ１
０，１３への電源線や信号線を導出するための配線引き
出用の継手である。図２を参照して、ベース２は、矩形
板状をなす下板２１と、下板２１の四則を取り囲む周側
壁２２と、取付板３を隙間Ｓを設けて嵌め入れる円形孔
２３を有する上板２４とを備える。周側壁２２は下板２
１に一体に形成されている。上板２４は周側壁２２上に
載せられ、図１に示すように、上板２４の四隅部は、ね
じ２５によって周側壁２２（図１では図示せず）の上面
に固定されている。

【００１３】ベース２の下板２１、周側壁２２及び上板
２４と、円形孔２３に嵌め入れられた取付体３とで、中
央支持機構５及び各駆動機構６，７，８を含む支持機構
４を収容するための収容空間２６が区画されている。収
容空間２６にはロック機構１４も収容されている。収容
空間２６は、上述したシール部材１８及び後述するシー
ル部材２７により密封され、該収容空間２６内に外部か
ら潤滑液や冷却液等が浸入できないようになっている。

【００１４】具体的には、周側壁２２の上面と上板２４
との間はＯリング等の環状のシール部材２７により密封
されている。一方、円形孔２３の内周縁と取付板３の外
周縁との間に形成される隙間Ｓが収容空間２６の外部に
露出しないように、取付体３及び上板２４の上面に跨が
って上述した環状のシール部材１８が取り付けられてい
る。シール部材１８は、例えばゴムや合成樹脂等の弾性
部材からなる可撓性のシートカバーにより構成されてい
る。

【００１５】シール部材１８の内周縁は環状の押さえ板
２８と取付板３の上面との間に挟持され、押さえ板２８
及びシール部材１８を貫通して取付体３にねじ込まれる
複数のボルト２９により、取付体３に固定されている。
同様に、シール部材１８の外周縁は環状の押さえ板３０
と上板２４の上面との間に挟持され、押さえ板３０及び
シール部材１８を貫通して上板２４にねじ込まれる複数
のボルト３１により、上板２４に固定されている。

【００１６】次いで、図３を参照して、第１の駆動機構
６について説明する。第１の駆動機構６の楔状部材９を
長手方向に貫通するねじ軸３２の先端部が、継手３３を
介して直動形モータ１０のスライド軸３４に連結されて
おり、これにより、楔状部材９とスライド軸３４とが一
体に移動できるようになっている。３５はモータ１０の
端部をベース２に固定するための断面逆Ｔ字形形状をな
す固定具である。楔状部材９は上面９ａ及び下面９ｂを
備えており、例えば上面９ａが傾斜面をなし、下面９ｂ
は下板２１の上面２１ａに平行である。

【００１７】取付体３の下面３ｂに形成される凹部３ｃ
に、ライナ３６を介してボールホルダ３７が固定されて
おり、ボールホルダ３７に形成された保持孔３８に、楔
状部材９の傾斜面からなる上面９ａに転動する単一のボ
ール３９が回転自在に保持されている。ボール３９と楔
状部材９の上面９ａとの接触点が上述の一つの支点Ａで
ある。一方、ベース２の下板２１の上面２１ａに形成さ
れる凹部２１ｂに、ライナ４０を介してボールホルダ４
１が固定されており、ボールホルダ４１に形成された複
数の（例えば３つの）保持孔４２に、楔状部材９の下面
９ｂに転動するボール４３がそれぞれ回転自在に保持さ
れている。図４を参照して、楔状部材９の下面９ｂを受
ける３つのボール４３は、支点Ａを取り囲む円周の等配
位置に配置されている。

【００１８】図３において、楔状部材９が左方Ｘ１に駆
動されると、支点Ａの高さ位置が下降し、楔状部材９が
右方Ｘ２に駆動されると、支点Ａの高さ位置が上昇す
る。これに伴って、支点Ａに関する取付体３の高さ位置
が調整されるわけである。もう一方の第１の駆動機構７
も、第１の駆動機構６と同様の構成をしており、支点Ｂ
の高さ位置の調整を通じて、支点Ｂに関する取付体３の
高さ位置を調整する。次いで、図５を参照して、中央部
支持機構５について説明する。中央部支持機構５は、ベ
ース２に固定される例えばエアシリンダ等の流体圧シリ
ンダ４４と、この流体圧シリンダ４４の上方へ突出する
ロッド４５の上端に固定される球面形成体４６と、取付
体３に固定され、球面形成体４６の球面部４６ａを受け
る球面部４７ａを有する受け部材４７とを備えている。
球面形成体４６と受け部材４７とで、支点Ｃの回り取付
体３を球面支持する球面軸受機構４８を構成している。

【００１９】この球面支持機構４８の高さ位置は、上述
した支点Ａ，Ｂ及びＤの３点にて取付体３の高さ位置が
規定されると、これに適合した高さ位置になるようにな
っている。流体圧シリンダ４４は、ベース２の下面２ｂ
の凹部２ｃに嵌め入れられる下端面板４９と、ベース２
の上面２ａから凹部２ｃに貫通する支持孔２ｄに嵌め入
れられ、ねじ５０により下端面板４９に締結されるシリ
ンダボディ５１とを有している。シリンダボディ５１は
下端面板４９に対向する上端面板５２を一体に形成して
おり、上記ロッド４５を一体に形成するピストン５３が
シリンダボディ５１に摺動自在に収容されている。

【００２０】ピストン５３はシリンダボディ５１内に上
下の流体室１０１，５７を仕切っている。シリンダボデ
ィ５１は円筒部５１ａの内周は、下端面板４９に一体に
形成されるボス５４の外周に嵌め合わされており、両者
の間がＯリング等の封止部材５５により密封されてい
る。一方、ピストン５３の外周とシリンダボディ５１の
内周との間は、ピストン５３の外周溝に収容されるＯリ
ング等の封止部材５６により密封されている。上端面板
５２とピストン５３との間に流体室１０１が区画され、
ピストン５３とボス５４との間に流体室５７が区画され
る。

【００２１】ピストン５３は、該ピストン５３と上端面
板５２との間に介在して流体室１０１内に収容される例
えば圧縮コイルばねからなる弾性部材５８によって、下
方に弾性的に付勢されている。流体室１０１からエア等
の流体を排出すると共に流体室５７に圧力流体を供給す
ることにより、ピストン５３に働く差圧による上方への
付勢力が弾性部材５８に抗してピストン５３及びロッド
４５を上昇させ、球面軸受機構４８を介して取付体３を
上昇させる。

【００２２】一方、流体室１０１に圧力流体を供給する
と共に流体室５７から流体を排出することにより、ピス
トン５３に働く差圧による下方への付勢力と、弾性部材
５８による下方への付勢力によって、ピストン５３及び
球面軸受機構４８を介して取付体３のＣ点が下方へ付勢
され、Ｃ点は、上述した支点Ａ，Ｂ及びＤの３点にて規
定される取付体３の高さ姿勢に適合した高さ位置にな
る。シリンダボディ５１の上端面板５２はロッド４５を
摺動自在に挿通させる挿通孔５９を有しており、挿通孔
５９とロッド４５との間はＯリング等の封止部材６０に
より密封されている。

【００２３】上端面板５２の上面には、取付体３の下面
３ｂに対向する覆い板６１がねじ６２により固定されて
いる。また、上端面板５２の上面に形成されるボス６３
が、覆い板６１の下面に形成されるボス６４を嵌め入れ
ている。一方、取付体３の下面３ｂに形成される環状の
凹部６５にリング６６がねじ６７により固定されてい
る。リング６６の内径はボス６３の外径よりも若干大径
とされ、両者の間に、多数の鋼球６８が環状に並べられ
て挟持されている。これらの鋼球６８は、取付体３を水
平方向（ＸＹ方向）に支持するためのものである。６９
は異形断面をなして上記多数の鋼球６８を受ける環状の
受け部材である。覆い板６１の外周縁はボス６４よりも
径方向外方へ延びており、この覆い板６１の外周縁と上
端面板５２の上面との間で、上記鋼球６８及び受け部材
６９が一体的に挟持されている。

【００２４】また、円筒部５１ａの外周と支持孔２ｄの
内周との間はＯリング等の封止部材７０により密封され
ている。取付体３は上方から大小２段をなす第１及び第
２の環状凹部７１，７２を有する挿通孔７３を形成して
いる。第１の環状凹部７１は第２の環状凹部７２よりも
大径であり、第１の環状凹部７１には蓋板７４が嵌め入
れられ、第２の環状凹部７２以下の挿通孔７３が封止さ
れている。７５は蓋板７４の外周下縁のテーパ部と第１
の環状凹部７１の底縁部との間に介在するＯリング等の
封止部材である。

【００２５】受け部材４７は内周に上記球面部４７ａを
形成する環状板からなり、第２の環状凹部７２により受
けられている。一方、球面形成体４６は外周が下細り状
をなして上記の球面部４６ａを形成するリングからな
り、段付きボルト７６によりロッド４５の上端に固定さ
れている。上述した配管継手１９から下板２１内の流路
７７（図６参照）及び配管継手７８を介して連なる配管
７９を通過する経路Ｋは、図示しない配管継手を介して
シリンダボディ５１の円筒部５１ａに形成される流路８
０に接続され、この流路８０から下端面板４９に形成さ
れる流路８１を介して流体室５７に圧力流体が給排され
るようになっている。流体室１０１に関しても図示して
いない流路を介して圧力流体が給排されるようになって
いる。

【００２６】上述した中央部支持機構５は、流体圧シリ
ンダ４４の上方への付勢力により球面軸受機構４８を介
して取付体３を持ち上げた状態で、一対の第１の駆動機
構による取付体６，７による取付体３の支持を解除す
る。一方、流体圧シリンダ４４の下方への付勢力により
弾性部材５８と共働して、取付体３の中央部を下方へ付
勢し、一対の第１の駆動機構６，７の支点Ａ，Ｂ及び上
記した支点Ｄによって３点支持されるようにする。

【００２７】図示していないが、流体室５７，１０１に
流体を供給するための経路Ｋは途中部で排出経路に分岐
している。排出経路は、所要時に流体室５７，１０１の
流体を外部へ排出するためのものであり、この排出経路
には、排出される流体の速度を制御する速度制御弁（い
わゆるスピコン）が設けられていることが好ましい。と
いうのは、取付板３を流体圧シリンダ４４や弾性部材５
８の付勢力で昇降させるときに、衝撃が発生しないよう
にするためである。

【００２８】次いで、図７及び図８を参照して、第２の
駆動機構８について説明する。図７を参照して、第２の
駆動機構８の楔状部材１２を長手方向に駆動するべく、
直動形モータ１３のスライド軸８２が継手８３を介して
楔状部材１２に連結されている。これにより楔状部材１
２はスライド軸８２と一体に移動できるようになってい
る。楔状部材１２の第１の側面１２ａは、スライド軸８
２の移動方向に対して傾斜する傾斜面をなし、第２の側
面１２ｂはスライド軸８２の移動方向に平行である。

【００２９】図７及び図８を参照して、傾斜面をなす第
１の側面１２ａには、取付板３にボールホルダ８４及び
取付部材８５を介して保持される単一のボール８６が転
動可能に当接している。第１の傾斜面１２ｂには、ベー
ス２にボールホルダ８７及び取付部材８８を介して保持
される上下複数段のボール８９が転動可能に当接してい
る。また、楔状部材１２の下面１２ｃは複数のボール９
０を介してベース２により支持されおり、また、楔状部
材１２の上面１２ｄは、付勢部材９１により下方に付勢
されるボール９２が転動自在に当接している。付勢部材
９１及びボール９２は取付部材８８に固定されるボール
ホルダ９３により保持されている。楔状部材１２は四面
をボール８６，８９，９０，９２により支持されるの
で、スムーズに移動できる。

【００３０】図７において、スライド軸８２が短縮され
て左方へ移動すると、これに伴って楔状部材１２が左方
へ移動し、傾斜面からなる第１の側面１２ａがボール８
６を介して、取付板３を図１において付勢部材１１に抗
して支点Ｃを中心として反時計回りに回転変位させる。
これにより、取付体３の回転位置が微調整される。次い
で、図９（ａ）及び（ｂ）を参照して、ロック機構１４
について説明する。ロック機構１４の流体圧シリンダ１
４は図示していないがベース２に固定されている。流体
圧シリンダ１７のロッド９４は連結部９５を介して楔状
部材１６を同軸上に連結しており、ロッド９４と楔状部
材１６が一体移動する。楔状部材１６は先細り状をな
し、その先端部に円柱部９６を一体に形成している。こ
の円柱部９６はベース２にねじ９７により固定される案
内部材９８の案内孔９９にスライド自在に挿通されてい
る。

【００３１】一方、一対のローラ１５は、図示していな
いが取付板３の下面３ｂに支軸１００を介して回動自在
に支持されており、互いの間に楔状部材１６が挿通して
いる。流体圧シリンダ１７が図９（ａ）に示すようにロ
ッド９４を短縮した状態では、楔状部材１６の円錐状テ
ーパ面１６ａと各ローラ１５との間に隙間があり、ロッ
クが解除されて、取付体３の回転変位が許容される。一
方、流体圧シリンダ１７が図９（ｂ）に示すようにロッ
ド９４を伸長した状態では、楔状部材１６の円錐状テー
パ面１６ａが各ローラ１５とにより挟持され、取付体３
の回転位置のロックが達成される。

【００３２】次いで、本ワーク姿勢調整ユニット１を用
いて調整する手順について説明する。まず、中央部支持
機構５の流体圧シリンダ４４の上方への付勢力により取
付体３を持ち上げて、一対の第１の駆動機構６の楔状部
材９の上面９ａからボール３９が離れるようにし、取付
体３の自重や弾性部材５８の付勢力が楔状部材９に負荷
されないようにする。これにより、楔状部材９に不要な
負荷をかけことなくスムーズに駆動することができ、支
点Ａ，Ｂの高さ位置の微調整を容易に実施できる。

【００３３】次いで、中央部支持機構５の流体圧シリン
ダ４４及び弾性部材５８の下方への付勢力によって、取
付体３を支点Ｃと共に下方へ付勢し、取付体３が支点
Ａ，Ｂ，Ｄにて３点支持されるようにし、取付体３の上
面３ａの水平面に対する傾きを調整する。次いで、第２
の駆動機構８を働かせて取付体３の支点Ｃ回りの（支点
Ｃ及びベース２の中央部を貫く軸線の回りの）回転位置
を微調整した後、ロック機構１４を働かせて、微調整後
の取付体３の回転位置をロックし、微調整が完了する。

【００３４】上記の微調整は、取付体３に取り付けられ
たワーク（図示せず）の所定の面（例えば加工面）の傾
き誤差等を測定し、誤差に見合った分の補正量を加味し
て、微調整される。例えば、相交差する第１及び第２の
面を有するワークを対象として、第１の駆動機構６，７
によって第１の面の傾きを調整でき、第２の駆動機構８
によって第２の面の傾きを調整することができる。本実
施の形態によれば、収容空間２６に駆動源を含む駆動機
構６，７，８を内蔵したコンパクトなワーク姿勢調整ユ
ニット１を実現でき、しかも、収容空間２６をシール部
材１８，２７により密封してあるので、半導体製造装置
や放電加工装置等、潤滑液その他の液がかかるおそれの
ある工作機械にも適用することができ、汎用性が非常に
高い。

【００３５】また、ワーク姿勢調整ユニット１の側部に
導出されている配管継手１９に外部からの配管を継手を
用いて接続したり、同じくユニット１の側部に導出され
ている継手２０から導出されるリード線端末のコネクタ
に外部配線のコネクタを接続すれば良く、作業性が非常
に良い。また、ベース３の中央部を貫く上下方向に沿う
軸線に平行な方向に取付体３を駆動する複数の第１の駆
動機構６，７と、上記軸線の回りに取付体３を回転駆動
する第２の駆動機構８とを含むので、第１の駆動機構
６，７により、例えばワークの加工面の傾きを調整し、
第２の駆動機構８により、例えばワークの加工面に隣接
する直交面の平行度を調整できるので、取付体３の姿勢
を精度良く調整することができる。

【００３６】また、上板２４の円形孔２３に円形の取付
体３を隙間Ｓを設けて嵌め入れてあるので、特に第２の
駆動機構８によって、円形をなす取付板３を上記軸線回
りに回転駆動する調整をスムーズに実施でき、しかも、
このような調整に際して、環状シートカバーであるシー
ル部材１８が邪魔にならない。さらに、第１及び第２の
駆動機構６，７，８がそれぞれ駆動源としてのモータ１
０，１３により、対応する楔状部材９，１２を取付体３
の中央部と交差しない対応する所定方向に駆動し、ベー
ス２に対する取付体３の高さ位置や回転位置を微調整す
る。中央部と交差しない方向に延びるように楔状部材
９，１２を配置するので、楔状部材を中央部と交差する
方向に放射状に配置する従来の場合と比較して、楔状部
材９，１２の長さを格段に長く確保することができ、そ
の結果、楔状部材９，１２の楔の傾斜を緩やかにするこ
とができる。これにより、精度良く微調整を行うことが
可能となる。

【００３７】特に、直動形のモータ１０，１３と対応す
る楔状部材９，１２がそれぞれ一直線上に並ぶように配
置されるが、この並ぶ方向が取付体３の中央部と交差し
ないので、他の楔部材９，１２との干渉を回避しつつ楔
状部材９，１２として充分な長さを確保することができ
る。また、取付体３の中央部をＸＹ方向に支持してお
り、上下方向に３点支持する支点の一つである支点Ｄの
高さ位置を固定してあるので、３点支持の他の２支点
Ａ，Ｂを提供する第１の駆動機構６，７としては、一対
で良く、構造を簡素化することができ、また、取付体３
の中央部を支点Ｃの回りに球面支持してあるので、第２
の駆動機構８としては単一で良く、構造を簡素化するこ
とができる。

【００３８】なお、本発明は上記の実施の形態に限定さ
れるものではなく、例えば駆動機構として、圧電変位素
子、超磁歪素子、流体圧シリンダその他の駆動機構を用
いることもできる。また、上記の実施の形態では、周側
壁をベースと一体に形成したが、周側壁を上板と一体に
形成し、下板と周側壁の下面との間を封止部材で封止す
るようにしても良い。また、周側壁を上板及び下板と別
体に形成し、周側壁の上面及び下面と対応する上板及び
下板との間をそれぞれ封止部材で封止するようにしても
良く、その他、本発明の範囲で種々の変更を施すことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態のワーク姿勢調整ユニッ
トの模式的平面図である。

【図２】図１のII−II線に沿う断面図である。

【図３】図１のIII −III 線に沿う断面図である。

【図４】第１の駆動機構のボールホルダと上下のボール
の関係を示す概略平面図である。

【図５】ベース、取付体及び中央部支持機構の断面図で
ある。

【図６】図１のVI−VI線に沿う断面図である。

【図７】第２の駆動機構の一部破断平面図である。

【図８】ベース、取付体及び第２の駆動機構の縦断面図
である。

【図９】（ａ）及び（ｂ）はロック解除状態及びロック
状態のロック機構をそれぞれ示す概略平面図である。

【符号の説明】

１ ワーク姿勢調整ユニット ２ ベース ３ 取付体 ４ 支持機構 ５ 中央部支持機構 ６，７ 第１の駆動機構 ８ 第２の駆動機構 ９ 楔状部材 １０ モータ（駆動源） １１ 付勢部材 １２ 楔状部材 １３ モータ（駆動源） １４ ロック機構 １５ ローラ １６ 楔状部材 １７ 流体圧シリンダ １８ シール部材 ２１ 下板 ２２ 周側壁 ２３ 円形孔 ２４ 上板 ２６ 収容空間 ２７ シール部材 ４４ 流体圧シリンダ ４５ ロッド ４６ 球面形成体 ４７ 受け部材 ４６ａ，４７ａ 球面部 ４８ 球面軸受機構 ４９ 下端面板 ５３ ピストン ５７，１０１ 流体室 Ａ，Ｂ，Ｄ 支点

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C048 BB20 EE00

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ベースと、 ワークを取り付ける取付体と、 ベースと取付体との間に介在して取付体を支持する支持
   機構と、 ベースと取付体との間に区画され、支持機構を収容する
   収容空間と、 収容空間を密封するシール部材とを備え、 上記支持機構は、ワークの姿勢を調整するべく取付体を
   駆動する駆動機構を含むことを特徴とするワーク姿勢調
   整ユニット。
2. 【請求項２】請求項１において、 上記駆動機構は、ベースの中央部を貫く軸線に平行な方
   向に取付体を駆動する複数の第１の駆動機構と、上記軸
   線の回りに取付体を回転駆動する第２の駆動機構とを含
   むことを特徴とするワーク姿勢調整ユニット。
3. 【請求項３】請求項２において、 上記ベースは、下板と、周側壁と、円形孔を有する上板
   とを有し、 上記取付体は円形をなして上板の円形孔に所定の隙間を
   設けて収められ、 上記シール部材は、取付体の周縁と上板の円形孔の周縁
   に跨がって配置される可撓性の環状シートカバーを含む
   ことを特徴とするワーク姿勢調整ユニット。
4. 【請求項４】請求項１，２又は３において、 各駆動機構は、ベースにそれぞれ対応する所定方向に沿
   って移動自在に設けられ、上記対応する所定方向に沿っ
   て傾斜する傾斜面を有する楔状部材と、楔状部材を上記
   対応する所定方向に駆動する駆動源とを含むことを特徴
   とするワーク姿勢調整ユニット。