JPH03121761A - 研摩用ワークホルダー - Google Patents

研摩用ワークホルダー

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JPH03121761A
JPH03121761A JP25827689A JP25827689A JPH03121761A JP H03121761 A JPH03121761 A JP H03121761A JP 25827689 A JP25827689 A JP 25827689A JP 25827689 A JP25827689 A JP 25827689A JP H03121761 A JPH03121761 A JP H03121761A
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光明 高橋
Naoyuki Kishida
尚之 岸田
Masaki Watanabe
正樹 渡辺
Kazuo Ushiyama
一雄 牛山
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  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレンズ研摩機において用いられる被研摩レンズ
を保持する研摩用ワークホルダーに関する。
〔従来の技術〕
この種の研摩用ワークホルダーに関する技術としては、
特開昭61−121862号公報、実公昭62−376
27号公報に開示された技術がある。
前者は、第6図にて示すごとく、研摩皿30を回転かつ
揺動させ、一方ハウジング31に軸受32を介して回転
自在にした研摩ホルダー33を研摩皿30の球心方向か
ら垂直に固定しかつ加圧してレンズ34を研摩する際、
研摩ホルダー33の先端部に弾機35を取り付けて、研
摩皿30と研摩ホルダー33間のレンズ34を弾圧せし
めるようにした構成となっている。
また、後者は、第7図にて示すごとく、垂直回りに回動
する研摩皿36の表面に対し、常に垂直に向けつつ該表
面を押しながら水平方向に移動するレンズ駆動杆37を
有するレンズ研摩機において使用されるレンズ保持装置
であって、レンズ駆動杆37の先端部に、回動自在に取
付けられた逆カップ状体38と、この逆方ンブ状体38
内に着脱自在に嵌合し、この逆カップ状体3日に対して
微小角度傾動するように弾性リング39を介して当接し
たレンズ保持具40と、このレンズ保持具40下面にレ
ンズ41を嵌合保持するように形成された凹部42と、
レンズ保持具40にレンズ41を吸引により真空吸着さ
せる吸引孔とにより構成したものである。
〔発明が解決しようとする課題] しかしながら、前者(特開昭61−121862号公報
)の技術においては、レンズ34の径方向の動きを規制
する機構を有していないため、固定砥粒砥石等で研摩加
工する場合には研摩抵抗によりレンズ34が半径方向に
引張られてしまうので、軸が大きくずれてしまうという
問題点があった。
この点、後者(特開昭62−37627号公”報)に開
示された技術は、レンズ保持具40によりレンズ41の
径方向の動きが規制されているが、このレンズ保持具4
0は、ゴム等からなる弾材39を介して逆カップ状体3
8に真空吸着されているので、前記特開昭61−121
862号公報の技術と同様に研摩加工時の研摩抵抗のた
めにレンズ保持具全体が径方向に引張られてしまい、レ
ンズ41の軸がずれてしまうという現象を生じる。この
ような現象のときに研摩加工を行うと、弾材39は逆カ
ップ状体38とレンズ保持具40によって圧縮された状
態になっているので、レンズの動き、即ちレンズ受けの
水平方向の動きや上下方向の微小変位を吸収できなくな
る。その結果、研摩加工中にレンズのバクツキが生じ、
加工不能となったり加工面精度が著しく悪くなり、不良
品を多発させる大きな原因となっていた。
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みなされたもので
あって、研摩加工中のレンズのバクツキをなくし、加工
面精度の優れた高品質のレンズを高能率的に得られる研
摩用ワークホルダーを提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段および作用〕本発明の研摩
用ワークホルダーは、レンズを支持するレンズ受けと、
このレンズ受けを保持するホルダー本体間に球体と弾性
部材を介在させた構成をその要部とするもので、この本
発明研摩用ワークホルダーの基本的な構成を示すのが第
1図の研摩用ワークホルダーである。
すなわち、図示しないハウジングに対して軸部9を回転
自在に装着することにより支持されるホルダー本体4に
対して被研摩部材としてのレンズlは、レンズ受け3に
弾性7110を介層して支持した後、ホルダー本体4と
レンズ受け3間に、その中央部に球体8を、その外周に
位置せしめて弾性部材5をそれぞれ介在せしめるととも
にホルダー本体4の外周に固定リング2をホルダー本体
4と同軸に取付けることにより構成したものである。
しかして、ホルダー本体4とレンズ受け3間に介在した
球体8の転がりにより、レンズ1を支持しているレンズ
受け3の径(横)方向の動きが滑らかになり、研摩抵抗
によるレンズ1の軸心からのずれが追従性よく吸収され
る。また、球体8を中心としたレンズ受け3の傾きによ
り、研摩抵抗によるレンズ1の傾きや回転に伴う微小振
動変位が追従性よく吸収される。
また、ホルダー本体4とレンズ受け3間に介在した弾性
部材5の弾性により、前記球体8のみによる急、激なレ
ンズ受け3の傾動を抑制し、球体8本来の所期作用を担
保し得るものである。
〔実施例〕
以下本発明研摩用ワークホルダーの実施例を図面ととも
に説明する。
(第1実施例) 第2図は本発明研摩用ワークホルダーの第1実施例を示
す縦断面図である。
同図示の研摩用ワークホルダーの基本的な構成は前述し
た第1図示の研摩用ワークホルダーと同様である。
しかして、弾性N10を介してレンズ1を支持するレン
ズ受け3には中央部に連通孔11を貫通するとともにホ
ルダー本体4の軸心部に連通孔7を貫通し、かつホルダ
ー本体4とレンズ受け3間に介在する弾性部材5の中央
部にも連通孔12を設けることにより構成されている。
従って、図示しないハウジングに対して、回転自在に支
持されるホルダー本体4の軸部9を介して連通孔7を図
示しない吸引ポンプに接続することにより、前記各連通
孔7,12.11を通ずる吸引作用によってレンズ1を
レンズ受け3に吸着しつつ支持することができる。
また、球体8は鋼球から成りその上面をホルダー本体4
のレンズ受け3との対向面に設けた凹部13に係合し、
下面をレンズ受け3の上面に当接せしめつつ、ホルダー
本体4とレンズ受け3間に介在される弾性部材5の中央
部の連通孔12内に位置させて、ホルダー本体4とレン
ズ受け3間に介在する。
さらに、弾性部材としてはゲル状ウレタン材50にて形
成したものである。
そこで、前述の構成から成る研摩用ワークホルダーに保
持したレンズ1はホルダー本体4と同軸上に配設された
図示しない研摩皿の研摩面に当接され、研摩皿の回転に
より、研摩用ワークホルダー全体も従属回転されつつレ
ンズ1の被研摩面を研摩加工することができる。
かかる、研摩加工中の加工抵抗、ワークホルダーと研摩
皿の微小な軸ずれ等による、レンズ1にチルトが生ずる
が、弾性部材であるゲル状ウレタン50が弾性的にこれ
を吸収する。
また、前記研摩加工中にレンズ1に径方向のずれが生じ
ようとしても、ホルダー本体4とレンズ受け3間に介在
する鋼球8の転がり作用によりレンズ受け3全体を円滑
に径方向に移動して吸収する。
しかも、この鋼球8の転がり作用によるレンズ1の径方
向へのずれの吸収作用は前記ゲル状ウレタン材50によ
る成る弾性部材の弾性作用との相乗作用により、鋼球8
のみによる吸収作用をより適確に発揮できる。
この結果、研摩加工中のレンズ1のバタツキを確実に防
止して、レンズ1を研摩皿に対して常時均等に当接せし
めつつ加工面精度の優れた高品質のレンズを得ることが
できる。
尚、前記研摩加工中におけるレンズ受け3の径方向の移
動量の規制は、レンズ受け3の傾き角の規制とともにホ
ルダー本体4の外周に螺着した固定リング2によって行
われる。(但しホルダー本体4の外周に設けられた螺子
部と固定リング2の上側内周に設けた螺子部は図面中具
体的に示していない)。
また、前記弾性部材としてゲル状ウレタン材50にて形
成した場合について説明したが、ゲル状シリコン、ゴム
硬度30°以下の0リングを適用することによって前記
と同様の作用効果を得ることができる。
(第2実施例) 第3図は本発明研摩用ワークホルダーの第2実施例を示
すもので、第3図aは縦断面図、第3図すは第3図aの
構成におけるダンパーをリング状ダンパーに替えた場合
の設計変更例を示す縦断面図、第3図Cはリング状ダン
パーの横断面図である。
この実施例は前記第1実施例の研摩用ワークホルダーの
構成の弾性部材としてダンパー51を設けることにより
構成したものである。
しかして、前記ダンパー51は、ホルダー本体4とレン
ズ受け3間において、ホルダー本体4とレンズ受け3の
軸心に対する円周方向間に等間隔おきに3個のダンパー
51を配設するとともに各ダンパー51の一端をホルダ
ー本体4に、他端をレンズ受け3に、それぞれ回転自在
に固定しである。尚、各ダンパー51の固定方向はレン
ズ1の半径方向にほぼ一致させである。
また、ホルダー本体4の連通孔7の開口端外周部にはレ
ンズ受け3の連通孔11の開口端間の気密を保つために
■リング6を装着しである。
その他の構成は前記第1実施例と同一構成から成り、同
一構成部分には同一番号を付して、その説明を省略する
以上の構成から成る研摩用ワークホルダーによっても各
連通孔7、連通孔11およびVリング6によってシール
されるシール室14を介して、レンズ1を吸着し、第1
実施例と同様の研摩加工を実施することができる。
そして、その研摩加工中においても、前記第1実施例の
弾性部材に換わる各ダンパー51の弾性作用および鋼球
8の転がり作用、さらには両件用の相乗作用とによって
、レンズ1と研摩皿(研摩用砥石)を常に均等に当接さ
せることができ、加工面精度の優れた高品質のレンズを
得ることができる。
また、前記各ダンパー51の構成に換えてリング状ダン
パー52をホルダー本体4とレンズ受け3間に介在させ
る(第3図す参照)ことによっても同様の作用効果を得
つつレンズ1の研摩加工を行うことができる。
尚、前記リング状ダンパー52は、第3図Cに示す如く
中空リング60に連通孔61を有する隔壁62を少なく
とも3箇所以上(図示の場合には3箇所)設けるととも
に中空リング60中に流体63を充填することにより構
成されている。
(第3実施例) 第4図は本発明研摩用ワークホルダーの第3実施例を示
す従断面図である。
二の実施例の場合には、ホルダー本体4とレンズ受け3
間に介在させる弾性部材として、ホルダー本体4とレン
ズ受け3の両者の対向面にリング状の同極の永久磁石5
3を互いに対向せしめて埋設することにより構成したも
ので、その他の構成は前記第2実施例と同一構成から成
り、同一構成部分には同一番号を付して説明を省略する
しかして、前述してきた各実施例と同様の方法によって
、レンズ受け3に各連通孔7,11およびシール室14
を介してレンズlを吸着しつつ回転する研摩皿に当接せ
しめて研摩加工を行うものであるが、その加工中のレン
ズlのチルトを永久磁石53の反発力が弾性的に吸収し
、鋼球8の作用とともに前述してきた各実施例と同様の
作用効果を得ることができる。
尚、前記リング状の永久磁石53については、少なくと
も3個以上のセグメント状の永久磁石(図示しない)を
ホルダー本体4とレンズ受け3の対向面の同一円上に対
向して埋設することにより構成して実施することも可能
である。
(第4実施例) 第5図は本発明研摩用ワークホルダーの第4実施例を示
す縦断面図である。
この実施例の場合にはホルダー本体4とレンズ受け3間
に弾性部材としてコイルバネ54を弾装することにより
構成したもので、他の構成は前記第2実施例と同一構成
から成り、同一構成部分には同一番号を付して説明を省
略する。
しかして、かかる構成の研摩用ワークホルダーによって
も、前記各実施例と同様の加工方法によりレンズ1の研
摩加工を実施できるとともに加工中のレンズ1のチルト
をコイルバネ54が弾性的に吸収とともに鋼球8の転が
り作用と相俟って加工面精度に優れた高品質のレンズを
得ることができる。
尚、前記コイルバネ54については、1個のコイルバネ
54に換えて、ホルダー本体4とレンズ受け3間の円周
方向間に少なくとも3個以上のコイルバネ(図示しない
)を間隔を置いて配設することにより構成しても同一の
作用効果を得ての実施例が可能である。
〔発明の効果〕
本発明によれば、ホルダー本体とレンズ受は間に介在さ
せた球体の転がり作用および弾性部材の弾性作用あるい
は永久磁石の反発作用によって、研摩加工中のレンズ受
けの径方向の動きが滑らかになり、研摩抵抗によるレン
ズの軸心からのずれが追従性よく吸収されるとともに球
体を中心としたレンズ受けの傾きや回転に伴う微小振動
変位が球体の急激な傾動作用を弾性部材の弾性作用ある
いは永久磁石の反発作用によって適度に抑止されつつ追
従性よく吸収される。
従って、材質の種類に制約されることのない多種の光学
素子の研摩加工を加工面精度よく、かつ高倍転性を以て
遂行できるとともに研摩装置におけるワークの自動着脱
精度を向上し1−¥る等の効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明研摩用ワークホルダーの基本的構成を示
す縦断面図、第2図は本発明研摩用ワークホルダーの第
1実施例を示す縦断面図、第3図aは同第2実施例を示
す縦断面図、第3図すは同第2実施例の設計変更例を示
す縦断面図、第3図Cは、リング状ダンパーの横断面図
、第4図は同第3実施例を示す縦断面図、第5図は同第
4実施例を示す縦断面図、第6図および第7図は従来の
研摩用ワークホルダーを示す一部縦断側面図である。 1・・−レンズ 2・・・固定リング 3・・−レンズ受け 4・・・ホルダー本体 5・・・弾性部材 6・・・Vリング 7・・・連通孔 8・・・球体 9・・・軸部 10・・・弾性層 11.12・・・連通孔 13・・・凹部 14・・・シール室 50・・・ゲル状ウレタン材 51・・・ダンパー 52・・・リング状ダンパー 53・・・永久磁石 54・・・コイルバネ 60・・・中空リング 61・・・連通孔 62・・・隔壁 63・・・流体

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)レンズを支持するレンズ受けと、このレンズ受け
    を保持するホルダー本体と、前記レンズ受けとホルダー
    本体間に介在せしめた球体と、前記ホルダー本体と同軸
    に取付けた前記レンズの傾きおよび径方向の動きを規制
    する固定リングとから成る研摩用ワークホルダーにおい
    て、前記レンズ受けとホルダー本体間に弾性部材を介在
    することにより構成したことを特徴とする研摩用ワーク
    ホルダー。
  2. (2)前記弾性部材に替えて、レンズ受けとホルダー本
    体間に同極の永久磁石を対向して配設することにより構
    成したことを特徴とする請求項1記載の研摩用ワークホ
    ルダー。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010029968A (ja) * 2008-07-28 2010-02-12 Olympus Corp 被加工物保持装置
JP2011093044A (ja) * 2009-10-29 2011-05-12 Haruchika Seimitsu:Kk レンズの粗研削方法およびレンズ粗研削機
JPWO2010058740A1 (ja) * 2008-11-19 2012-04-19 コニカミノルタオプト株式会社 非球面レンズの製造方法
JP5839308B1 (ja) * 2015-01-05 2016-01-06 伊藤 幸男 チョッピング工具ホルダ
CN105437018A (zh) * 2015-11-09 2016-03-30 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种非球面光学元件中频误差控制装置及控制方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112222846A (zh) * 2020-06-09 2021-01-15 临海市劳尔机械有限公司 一种全自动车边倒角机及其工作方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010029968A (ja) * 2008-07-28 2010-02-12 Olympus Corp 被加工物保持装置
JPWO2010058740A1 (ja) * 2008-11-19 2012-04-19 コニカミノルタオプト株式会社 非球面レンズの製造方法
JP2011093044A (ja) * 2009-10-29 2011-05-12 Haruchika Seimitsu:Kk レンズの粗研削方法およびレンズ粗研削機
JP5839308B1 (ja) * 2015-01-05 2016-01-06 伊藤 幸男 チョッピング工具ホルダ
CN105437018A (zh) * 2015-11-09 2016-03-30 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种非球面光学元件中频误差控制装置及控制方法

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