JPH079322A - ウエハーの研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハーの外周部を研磨する加工精度および
その加工効率を向上させることのできるウエハーの研磨
装置を提供する。 【構成】 固定軸線を中心に回転する研磨用部材３０
と、ウエハー１を保持すると共に回転可能に設けられた
吸着ヘッド１６と、吸着ヘッド１６を回転させる回転駆
動装置１８とを有し、吸着ヘッド１６によって保持され
たウエハー１を研磨用部材３０の研磨面に当接させてウ
エハー１を研磨する。先端に吸着ヘッド１６が装着さ
れ、基部１０に回動自在に軸着されたアーム部材１２
と、アーム部材１２に連結され、アーム部材１２を回動
させることによって吸着ヘッド１６に保持されたウエハ
ー１を研磨用部材３０の研磨面に押圧するエアシリンダ
装置３８とを具備し、回転駆動装置１８がアーム部材上
１２に配設されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、シリコンウエハー等の
円板状に形成されたウエハーの研磨を行うウエハーの研
磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体チップの原料となるシリコンウエ
ハーの製作工程にあっては、表面を鏡面研磨をする工程
がある。この鏡面研磨の工程では、研磨用部材の表面に
シリコンウエハーを好適に押圧させ、シリコンウエハー
の研磨面をむらなく均一に、且つ効率良く研磨しなけれ
ばならない。近年、半導体チップの製造工程で益々微細
な加工が行われるため、ウエハーの外周部からの微細な
発塵も防止する必要があり、ウエハーの外周部の面取り
を行うと共に外周部表面を鏡面に磨くという要求も増大
してきている。従来のウエハーの研磨装置としては、図
６に示すように、適宜回転されるウエハー１の外周部
に、高速で回転するバフ５を押し当てることでウエハー
１の外周部の面取り及び研磨を行うウエハーの研磨装置
がある。このウエハーの研磨装置によれば、砥粒等が混
入した液状研磨剤（スラリー）をウエハー１の外周部と
バフ５との間に介在させることによって、ウエハーの外
周部全周について、面取りを行うと共に外周部表面を鏡
面に磨くことができる。

【０００３】このウエハーの研磨装置において、回転す
るバフ５をウエハー１に所定の押圧力で押し当てるに
は、バフ５を回転自在に保持するバフの保持部６を、直
線状に設けられたガイド部７等に沿わせて往復動自在に
設け、シリンダ装置８等の押圧力によって、ウエハー１
に近接する方向へ移動させて行っている。また、ウエハ
ー１を適宜回転させるには、ウエハー１を保持すると共
に固定軸を中心に回転するように設けられた保持部を、
回転駆動装置（図示せず）によって回転することによ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のウエハーの
研磨装置によれば、回転するバフ５を直線的に移動さ
せ、ウエハー１に当接させるため、回転するバフ５を保
持する保持部６はガイド部７にガイドされているが、回
転するバフ５がウエハー１の外周部に当接する際の作用
力によって、保持部６とガイド部７との間の遊びの範囲
内で誤差振れが発生する。すなわち、バフ５をウエハー
１の外周部に常に均等な押圧力で当接させることは難し
く、研磨むらが発生し易かった。この研磨むらを小さく
するには、押圧力を小さくし、或いは面取りがされるウ
エハー１の回転速度を低速にする必要があり、研磨速度
を高めることは難しかった。

【０００５】また、高速回転するバフ５をシリンダ装置
８で移動させて、ウエハー１の外周部に当接させている
ため、バフ５を高速で回転させるモータの振動による振
れがバフ５自体に発生し易い。このため、シリンダ装置
８による押圧力を好適に制御することは難しく、研磨む
らの原因となり易かった。

【０００６】さらに、バフ５が高速回転されると共に移
動装置によって移動される構成となっており、その移動
装置の能力等によりバフ５の大きさは制限される。この
ため、バフ５の直径を大きくすることは難しく、バフ５
が一時にウエハー１の外周部に当接する範囲は狭くなら
ざるを得ず、研磨速度を高めることは難しかった。ま
た、バフ５とウエハー１の外周部とが当接する範囲が狭
いため、高速で誤差振れが生じないよう安定的に研磨す
ることは難しかった。

【０００７】そこで、本発明の目的は、ウエハーの外周
部を研磨する加工精度およびその加工効率を向上させる
ことのできるウエハーの研磨装置を提供することにあ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、本発明は、
固定軸線を中心に回転する研磨用部材と、ウエハーを保
持すると共に回転可能に設けられた保持部と、該保持部
を回転させる回転駆動装置とを有し、該保持部によって
保持されたウエハーを前記研磨用部材の研磨面に当接さ
せてウエハーを研磨するウエハーの研磨装置であって、
先端に前記保持部が装着され、基体に回動自在に軸着さ
れたアーム部材と、前記アーム部材に連結され、該アー
ム部材を回動させることによって前記保持部に保持され
たウエハーを前記研磨用部材の研磨面に押圧する押圧装
置とを具備し、前記回転駆動装置が前記アーム部材上に
配設されたことを特徴とする。

【０００９】また、本発明は、固定軸線を中心に回転す
る筒状の研磨用部材と、ウエハーを保持すると共に回転
可能に設けられた保持部と、該保持部を回転させる回転
駆動装置とを有し、該保持部によって保持されたウエハ
ーの外周部を前記研磨用部材の内周研磨面または外周研
磨面に当接させてウエハーの外周部を研磨するウエハー
の研磨装置であって、先端に前記保持部が装着され、基
体に回動自在に軸着されたアーム部材と、前記アーム部
材に連結され、該アーム部材を回動させることによって
前記保持部に保持されたウエハーの外周部を前記研磨用
部材の内周研磨面または外周研磨面に押圧する押圧装置
とを具備し、前記回転駆動装置が前記アーム部材上に配
設されたことを特徴とするウエハーの研磨装置にもあ
る。

【００１０】

【作用】本発明のウエハーの研磨装置によれば、固定軸
線を中心に回転する研磨用部材に、ウエハーの保持部が
装着されたアーム部材を回動することでウエハー当接さ
せると共に、アーム部材上に配設された回転駆動装置に
よって保持部を介してウエハーを回転させそのウエハー
を研磨する。このため、研磨用部材は固定軸線を中心に
位置ずれおよび誤差振れ等がないように回転でき、ウエ
ハーの外周部の研磨むらを防止することができる。そし
て、ウエハーは回転駆動装置によって回転され、ウエハ
ーの研磨される部位が順次前記研磨用部材に接触するよ
うに送られる。この回転駆動装置はアーム部材上に配設
されているため、アーム部材を回動させてウエハーの外
周部を研磨用部材に接触させる押圧装置の駆動力に影響
を及ぼすことがない。また、アーム部材の回動が回転軸
の一点によって規制されるため、誤差振れを防止するよ
うアーム部材を安定した状態で回動できる。このため、
ウエハーの外周部を研磨用部材に押圧する押圧力の制御
を正確にすることができ、研磨むらを防止することがで
きる。また、上記のように、この研磨用部材は位置ずれ
および誤差振れがなく回転できるため、研磨用部材を大
径にすることが可能であり、研磨用部材とウエハーとの
接触範囲を広くとることができ、能率良く且つ安定的に
ウエハーの外周を研磨することができる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図１は本発明にかかるウエハー
の研磨装置の一実施例を示す平面図であり、図２は図１
の実施例の断面図である。１２はアーム部材であり、そ
の中途部に立設された軸１２ａによって、装置本体から
延出された延出部材１１の先端部に設けられた軸受け部
１４に、その延出部材１１に対して回動自在に軸着され
ている。このアーム部材１２の一端には、下面側にて、
ウエハー１をその外周部が露出した状態で回転自在に保
持する保持部（吸着ヘッド）１６が設けられいる。ウエ
ハー１を保持する方法は種々あるが、本実施例の吸着ヘ
ッド１６においては、図２に示すように、空気の吸引口
１６ｂと該吸引口１６ｂを円状に囲むＶ−リング１７と
を有し、該Ｖ−リング１７をウエハー表面に密着させ
て、その内側を減圧することでウエハー１を吸着する。
なお、上記のＶ−リング１７は、合成ゴム等の弾性材料
によって、ヘラ状部を有し断面形状がほぼＶ字状に成形
された気密部材であり、ヘラ状部が吸着ヘッド１６の表
面に露出するよう、吸着ヘッド部材１６ａの外周に沿っ
て設けられた円状の溝部に装着されている。この吸着ヘ
ッド１６によれば、Ｖ−リング１７のヘラ状部がウエハ
ー１の上面に当接し、吸着作用によってウエハー１を保
持することができる。なお、図１および図２に示すよう
に、吸着ヘッド１６の直径は、ウエハー１の外周部を好
適に露出できる範囲内で、なるべく大きく設定されてお
り、これにより、ウエハー１は確実且つ安定した状態で
保持されるのである。

【００１２】また、図２に示すように、上記吸着ヘッド
１６を回転駆動する回転駆動装置１８は、アーム部材１
２の上面側に固定されている。その回転駆動装置１８の
回転軸が、減速装置１９および回転軸１５を介して吸着
ヘッド１６に直列に連結されている。なお、この減速装
置１９および回転軸１５はアーム部材１２の先端部に該
アーム部材１２に直交する方向に延出されて設けられた
軸受け部１２ｂにベアリングおよびシール部材等を介し
て軸受けされている。この回転駆動装置１８としては、
回転条件を制御可能なサーボモータまたはステッピング
モータが使用され、吸着ヘッド１６を所望の回転速度
（通常の場合は一分間に一回転程度）で正逆の両方向に
回転することができる。

【００１３】そして、この回転駆動装置１８によれば、
その回転力によって減速装置１９、回転軸１５および吸
着ヘッド１６を介し、ウエハー１の外周部の研磨される
部位を順次高速で回転する研磨用部材３０に接触するよ
うに送ることができる。また、この回転駆動装置１８は
アーム部材１２上に配設されているため、アーム部材１
２を回動させてウエハー１の外周部を研磨用部材３０に
接触させる押圧装置（シリンダ装置）３８の駆動力に影
響を及ぼすことがない。これは、回転駆動装置１８がア
ーム部材１２と一体になって回動するため、ウエハー１
を研磨用部材３０に適正な押圧力で当接すべく吸着ヘッ
ド１６をアーム部材１２の回動により移動させる駆動力
に、回転駆動装置１８の回転力が悪影響を及ぼさないか
らである。このため、ウエハー１の外周部を研磨用部材
３０に押圧する押圧力の制御を正確にすることが可能で
あり、ウエハー１の外周部を研磨する研磨むらを防止す
ることができ、それにより、ウエハー１の外周部を精度
良く研磨することができる。なお、この回転駆動装置１
８は、アーム部材１２上に配設されていれば、その回転
軸が本実施例のように吸着ヘッド１６の回転軸と同軸上
にある必要はない。すなわち、ウエハー１を回転する回
転駆動装置１８の回転駆動力の伝達等によって、アーム
部材１２の回動に影響を受けないように、回転駆動装置
１８がアーム部材１２上に設けられていれば良いのであ
る。

【００１４】また、アーム部材１２が、延出部材１１に
その中途部で軸１２ａを中心にして回動自在に軸着され
ている。このため、ウエハー１を、回転する内周バフ３
２の内周面に好適に当接させることができ、加工精度を
向上させることもできる。すなわち、回転軸の一点によ
って、アーム部材１２の回動が規制されるため、アーム
部材１２の先端に吸着ヘッド１６を介して保持するウエ
ハー１の誤差振れをなくすことができ、ウエハー１を内
周バフ３２の内周面に安定した状態で当接させることが
できる。なお、同様にアーム部材１２を用いることによ
って、ウエハー１を外周バフ３４に当接することができ
るのは勿論である。このため、ウエハー１の外周部の研
磨むらをなくすことができると共に、ウエハー１を安定
した状態でバフに当接できることから研磨速度を速める
ことができ、ウエハーの研磨工程の効率を向上させるこ
とができる。

【００１５】図３はウエハーの研磨装置における全体装
置の一実施例を説明する説明図であり、以下にその構成
および動作について説明する。２２は上下動部材であ
り、基部１０に設けられたレール３７に沿って上下動可
能に設けられている。２０は回転部材であり、前記吸着
ヘッド１６に対向し、上下動部材２２の上部に設けられ
た軸受け部２４にベアリングを介して回転自在に軸受け
されている。そして、吸着ヘッド１６の回転軸と上記回
転部材２０の回転軸とは、相互に平行となるように配設
されている。この回転部材２０は、動力伝達ベルト２７
を介して、上下動部材２２上に固定された回転部材の回
転駆動装置であるモータ２６によって高速に回転駆動さ
れる。なお、モータ２６の固定位置は、動力伝達ベルト
２７の張力を調整するために、ボルトとナットおよび長
穴からなる微調整機構２８によって図１の図面上におい
て左右方向に移動・調整できる。また、４２はカバーで
あり、上下動部材２２の上部に設けられ、前記軸受け部
２４等を囲うように形成されている。また、面取りのた
めの研磨性を向上させるためには、吸着ヘッド１６の回
転軸と上記回転部材２０の回転軸とを平行な状態から所
定の角度をつけた状態に設定可能としてもよい。

【００１６】３０は研磨用部材であり、筒体に形成され
ており、上記回転部材２０の上面に上方に開口して固定
されている。この研磨用部材３０は、図３に示すように
モータ２６の駆動力によって、軸受け部２４で固定され
た固定軸線を中心に高速で回転可能に設けられてる。３
０ａは筒状体であり、断面円形の中空部を有する研磨用
部材３０の芯部であり、内壁面が形成されると共に、外
周部にも円筒状の外壁面が形成され、ウエハー１の外周
部が内壁面に接触可能にウエハー１が出入できるよう上
方に内周部が開放するように設けられている。

【００１７】３２は内周バフであり、バフが筒状体３０
ａの内壁面に接着等によって取り付けられている。この
ようにして、断面円形の中空部を有する筒状体３０ａの
該内壁面にバフ状の内周研磨面が設けられた研磨用部材
３０が形成されており、吸着ヘッド１６に保持されたウ
エハー１が、研磨用部材３０の内部に、回転軸の軸線方
向に沿って進入可能となっている。また、内周バフ３２
は、弾力性のある不織布等によって形成されているた
め、ウエハー１が押接される際、所定の押圧力によって
当接されるウエハー１の外周形状に沿って変形し、ウエ
ハー１に広い範囲で当接できる。

【００１８】さらに、上記筒体３０としては、形状的に
は筒状体と内周バフが一体であり、材質的には全体がバ
フ部材であるバフ筒体を用いることができる。このバフ
筒体としては、シリカ等の砥粒が混合された硬質発砲ウ
レタンによって成形されたものを利用できる。例えば、
８インチのウエハーを研磨するバフ筒体では、寸法が内
径２２０ｍｍ、外形２８０ｍｍ、高さ１００ｍｍ程度の
ものを用いることができる。このように、ウエハーの外
径とバフ筒体の内径の寸法差を小さくすることで、ウエ
ハーの外周部を内周研磨面に広く接触させることがで
き、生産効率を向上できる。また、バフ筒体の内周研磨
面には、ウエハーの外周部の上下の面取り部が、その研
磨面に同時に接触可能となるようにリング状の溝が設け
られている。なお、このリング状の溝はバフ筒体の高さ
方向に所定の間隔をおいて複数が併設され、一つのリン
グ状の溝が利用できなくなった場合には、バフ筒体を順
次上下方向に送ることによって、新しいリング状溝の研
磨面を得ることができる。さらに、バフ筒体は硬質発砲
ウレタン等の樹脂により成形されているから、リング状
の溝を必要に応じて容易に切削・形成することができ
る。なお、ウエハーの外周部の最外側面の研磨のために
は、バフ筒体の内周研磨面の平坦な内周面が用いられて
いる。

【００１９】３６は往復動装置であり、保持部１６に保
持されたウエハー１が、筒体３０の内部に進入できるよ
うに、上述した上下動部材２２を、ガイドレール３７に
沿って上下動させることができる。なお、この往復動装
置３６としては、図３にその一部を示したようにシリン
ダ装置等、種々の往復動駆動装置を利用することができ
る。

【００２０】３８はエアシリンダ装置であり、図１およ
び図３に示すように、シリンダの端部において基部１０
に回動可能に軸着され、シリンダ本体から突出可能なロ
ッドの先端がアーム部材１２の一方の端部（吸着ヘッド
１６が配設された端部と軸１４を挟んで反対側の端部）
に連結されている。このエアシリンダ装置３８はアーム
部材１２を回動させる回動駆動装置であり、ロッドが突
出されることによって、アーム部材１２が軸１４を中心
にして回動され、保持部１６に保持されたウエハー１の
外周部を内周バフ３２に押接することができる。すなわ
ち、このエアシリンダ装置３８とアーム部材１２とによ
って、ウエハー１の外周部を内周バフ３２に押接させる
移動装置を構成している。このウエハー１の外周部を内
周バフ３２に押接する押圧力は、エアシリンダ装置３８
に負荷される圧力によって決定される。このため、エア
シリンダ装置３８に一定の圧力を負荷することによっ
て、一定の押圧力でウエハー１を内周バフ３２に当接さ
せることができる。すなわち、ウエハー１を内周バフ３
２に当接させるためにアーム部材１２が回動される回動
量に差異が生じ、ロッドが突出或いは収縮したとして
も、一定の圧力が負荷されている限りにおいて、一定の
押圧力でウエハー１の外周部を内周バフ３２に当接させ
ることができる。

【００２１】３４は外周バフであり、バフが筒状体３０
ａの外壁面に接着等により取り付けられており、内周バ
フ３２と同様にウエハー１の外周部に接触する外周研磨
面を構成している。すなわち、この外周バフ３４の外周
研磨面に、図２に二点鎖線で示すようにウエハーの保持
部１６を移動させ、ウエハー１の外周部を当接させるこ
とで、ウエハー１の外周部を研磨することができる。こ
のため、筒体３０の内周バフ３２および外周バフ３４を
同時に利用してウエハー１の外周部の研磨作業を行うこ
とができ、研磨作業の能率を向上させることができる。

【００２２】ところで、半導体の原料となるシリコンウ
エハーにあっては、図４に示すようにオリフラ部２とし
て、円板状のウエハー１の外周部の一部分が直線状にカ
ットされている。このオリフラ部２については、筒体３
０に設けられた内周バフ３２によっては研磨をすること
ができない。そこで、上記のような筒体３０の外周バフ
３４の外周に、ウエハー１のオリフラ部２を当接させて
研磨することが有効である。これにより、一つの筒体３
０によって、ウエハー１の円形外周部３およびオリフラ
部２を研磨することができるため、研磨工程の効率をよ
り向上させることができる。

【００２３】また、この外周バフ３４によって、ウエハ
ー１の全外周部に亘って研磨することも可能である。ア
ーム部材１２を回動駆動するエアシリンダ装置３８に適
宜に調整された高圧のエアを供給することによって、オ
リフラ部２を外周バフ３４に任意の押圧力で当接できる
よう、エアシリンダ装置３８については、エアの圧力を
任意に調整可能に制御する制御手段を設けることができ
るのは勿論である。また、オリフラ部２を好適に研磨す
る方法としては、回転駆動装置１８によって保持部１６
を介して回転されるウエハー１の回転速度を低速にした
り、逆回転させて複数回にわたって同一部分を研磨し、
所定の研磨がなされるようにしてもよいのはもちろんで
ある。

【００２４】次に図５に基づいて他の実施例を説明す
る。４０は研磨用部材であり、固定軸線を中心に回転す
る円板状の回転部材の上面に固定された平面状のバフ等
からなる。１６は保持部であり、ウエハー１を保持する
と共に回転可能に設けられ、その保持部１６の上部に設
けられたて回転駆動装置によってウエハー１の所定の速
度で回転させることができる。４２はアーム部材であ
り、先端に前記保持部１６が装着され、基体４４に設け
られた軸４６に回動自在に軸着されている。４８はエア
シリンダ装置であり、アーム部材４２の後端にと基体４
８との間に連結され、そのアーム部材４２を回動させる
ことによって保持部１６に保持されたウエハー１を研磨
用部材４０の研磨面に押圧する押圧装置を構成してい
る。この実施例によっても、図１の実施例と同様の作用
効果を得ることができ、ウエハーの面取りとその研磨を
精度よく且つ効率よくすることができる。また、保持部
１６をアーム部材４２に回動可能に設け、ウエハー１の
表面を研磨用部材の表面に接触させれば、ウエハー１の
表面全面に均一に押圧力を負荷可能であり、図１の実施
例と同様の作用効果を得ることができるのに加えて押圧
力の調整も容易に行うこともでき、ウエハー１表面を好
適に研磨することができる。

【００２５】上記実施例においては、エアシリンダ装置
３８によってアーム部材１２を介してウエハー１をバフ
に押接させたが、本発明においてはこれに限定されるこ
となく、重りによって押圧力を一定に保っても良いし、
スプリングを利用して所定の押圧力を負荷しても良い。
また、上記の実施例においては、オリフラ部を有するシ
リコンウエハーを研磨する場合について主に説明した
が、本発明のウエハーの面取り装置によれば、ガラス等
からなる記憶装置用のディスク等の面取りをする際にも
好適に利用できる。以上、本発明の好適な実施例につい
て種々述べてきたが、本発明はこの実施例に限定される
ものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内でさらに
多くの改変を施し得るのはもちろんのことである。

【００２６】

【発明の効果】本発明のウエハーの研磨装置によれば、
固定軸線を中心に回転する研磨用部材に、ウエハーの保
持部が装着されたアーム部材を回動することでウエハー
を当接させると共に、アーム部材上に配設された回転駆
動装置によって保持部を介してウエハーを回転させウエ
ハーを研磨する。このため、研磨用部材は固定軸線を中
心に位置ずれおよび誤差振れ等がないように回転でき、
研磨用部材を大径にすることが可能であり、研磨用部材
とウエハーとの接触範囲を広くすることができ、能率良
く且つ安定的にウエハーを研磨することができる。そし
て、ウエハーを回転する回転駆動装置はアーム部材上に
配設されているため、アーム部材を回動させてウエハー
を研磨用部材に接触させる押圧装置の駆動力に影響を及
ぼすことがない。また、アーム部材の回動が回転軸の一
点によって規制されるため、誤差振れを防止するようア
ーム部材を安定した状態で回動できる。このため、ウエ
ハーを研磨用部材に押圧する押圧力の制御を正確にする
ことができ、研磨むらを防止することができる。このた
め、本発明によれば、ウエハーを研磨する加工精度およ
びその加工効率を向上させることができるという著効を
奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す平面図である。

【図２】図１の実施例の断面図である。

【図３】本発明にかかる全体装置の一実施例を説明する
説明図である。

【図４】ウエハーと研磨用部材との接触状態を説明する
説明図である。

【図５】本発明の他の実施例を示す側面図である。

【図６】従来の技術を示す説明図である。

【符号の説明】

１ ウエハー １０ 基部 １１ 延出部材 １２ アーム部材 １４ 軸受け部 １６ 吸着ヘッド １８ 回転駆動装置 ３０ 研磨用部材 ３８ エアシリンダ装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定軸線を中心に回転する研磨用部材
   と、ウエハーを保持すると共に回転可能に設けられた保
   持部と、該保持部を回転させる回転駆動装置とを有し、
   該保持部によって保持されたウエハーを前記研磨用部材
   の研磨面に当接させてウエハーを研磨するウエハーの研
   磨装置であって、 先端に前記保持部が装着され、基体に回動自在に軸着さ
   れたアーム部材と、 前記アーム部材に連結され、該アーム部材を回動させる
   ことによって前記保持部に保持されたウエハーを前記研
   磨用部材の研磨面に押圧する押圧装置とを具備し、 前記回転駆動装置が前記アーム部材上に配設されたこと
   を特徴とするウエハーの研磨装置。
2. 【請求項２】 固定軸線を中心に回転する筒状の研磨用
   部材と、ウエハーを保持すると共に回転可能に設けられ
   た保持部と、該保持部を回転させる回転駆動装置とを有
   し、該保持部によって保持されたウエハーの外周部を前
   記研磨用部材の内周研磨面または外周研磨面に当接させ
   てウエハーの外周部を研磨するウエハーの研磨装置であ
   って、 先端に前記保持部が装着され、基体に回動自在に軸着さ
   れたアーム部材と、 前記アーム部材に連結され、該アーム部材を回動させる
   ことによって前記保持部に保持されたウエハーの外周部
   を前記研磨用部材の内周研磨面または外周研磨面に押圧
   する押圧装置とを具備し、 前記回転駆動装置が前記アーム部材上に配設されたこと
   を特徴とするウエハーの研磨装置。