JPS6125768A - 平面研摩装置の被加工物保持機構 - Google Patents

平面研摩装置の被加工物保持機構

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JPS6125768A
JPS6125768A JP14540884A JP14540884A JPS6125768A JP S6125768 A JPS6125768 A JP S6125768A JP 14540884 A JP14540884 A JP 14540884A JP 14540884 A JP14540884 A JP 14540884A JP S6125768 A JPS6125768 A JP S6125768A
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JP
Japan
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workpiece
work
pressboard
polishing
holding mechanism
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JP14540884A
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Takemi Kamata
鎌田　武美
Tetsuya Yasuda
哲也 安田
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NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、平面研摩装置の被加工物保持機構、特に薄板
の表面を研摩するだめの平面研摩装置の被加工物保持機
構に関する。
〔従来技術〕
一般に平面研摩装置の被加工物保持機構は、平面研摩装
置の研曙面上の被加工物を保持する保持部を含んで構成
され、研摩面上において被加工物を摺動させて被加工物
の表面を研摩している。
第２図は、従来の平面研摩装置の被加工物保持機構の縦
断面図である。第２図において平面研摩装置の円＠１は
軸２を中心として回転させられる。
一方平面研摩装置のフレーム３にはスリーブ４が回転自
在に取り付けられ、このスリーブ４の中心穴にスプライ
ン軸５が軸方向は移動自在に軸回りはスリーブ４と一体
となって回転するように取り付けられている。フレーム
３に設けられたエア／リンダ６に取り付けられたレバー
７はスプライン軸５に回転自在に係合している。またノ
ｌ／−７，３に設けたモータ８に取り付けだ歯車９はス
リーブ４に設けた歯車１０と噛み合っている。
スプライン軸５の先端に設けた球面状の凹部に半球体１
１が摺動自在に係合している。半球体１１に抑圧板１２
が固着され、抑圧板１２には、枠１３が設けられている
。枠１３に設けられたビン１４は、スプライン軸５の先
端部に設けた溝１５に係合している。
スプライン軸５と枠１３の間に設けられた圧縮ばね１６
は半球体１１をスプライン軸５に押し付けるように作用
し、スリーブ軸５が上昇したときに半球体１１が落下す
るのを防止している。
抑圧板１２に設けられた導通孔１７及び半球体１１と抑
圧板１２の間に設けられた導通孔１８は、スプライン軸
３１に設けた穴を通る管１９を介して真空ポンプ（図示
省略）に連絡され、被加工物である磁気デスクの素材２
０を押圧板１２に真空吸着するだめのものである。壕だ
素材２０の位置を決めるために押圧板１２にリング２１
が固設されている。
この平面研摩装置で素材２０の表面を研摩するには、エ
アシリンダ６を作動させて抑圧板１２を上昇させ、素材
２０を押圧板１２の下面のリング２１の内側に真空吸着
させる。次にモータ８により回転させなから押圧板１２
をエアシリンダ６により下降させ素材２０を円盤１の研
摩面２２に押し付ける。まだ図には示してないが研摩面
２２には、研摩液が散布されている。従って素材２０の
下面は、自からの回転及び円盤１の回転による摺動で研
摩される。
円盤１の研摩面２２は、平面になるように加工されてい
るが実際には僅かであるがうねりが残されている場合が
多い。従って素材２０を研摩面２２に常に密着させて滑
らかに研摩するには、素材２０及び押圧板１２を研摩面
２２のうねりに従って多少傾くことができるようにする
必要がある。この傾きは、半球体１１のスプライン軸５
の球状の凹部との摺動で得られ、しかも半球体１１の球
面の中心Ｃが素材２０の下面に位置するように設定され
ているので素材２０は中心Ｃを中心として傾き、傾いて
も素材２０の下面の位置は変化せずに研摩することがで
きる。
なお管１９は弾性を有し半球体１１の多少の傾きは吸収
できる。また半球体１１がスプライン軸５に対し摺動す
るため、ビン１４と溝１５の係合により押圧板１２及び
素材２０までモータ８による回転が伝わるようにしてい
る。
〔発明か解決しようとする問題点〕
しかし、押圧板１２及び素材２０の研摩面２２のうねり
に対する追従性はあまりよくなかった。この原因の一つ
はど７１４と溝１５の間に大きな摩擦力が生じるだめで
ある。第３図は、ピ４ン１４に作用する力を説明するだ
めの概略図で、第２図の主要部の右側面図に相当する。
第３図の矢印ａに示すようにスプライン軸５が回転して
いれば素材２０と研摩面２２との摩擦力に釣合う力すが
ビン１４により溝１５に加えられる。さらに研摩面２２
のうねりにより素材２０と研摩面２２との間に第１図に
示すように右側が開く状態になったとし、ピストン６に
より力Ｐが与えられるとすると素材２０の左端に上向き
に力Ｐが働く。半球体１１の球面の中心Ｃと素材２０の
左端までの寸法をｄ、中心Ｃからビン１４までの高さを
ｈとし、中心Ｃのまわりのモーメントの釣合を考ｄ えるとビン１４にはＴの力も作用する。実際にはとの力
Ｐがかなシ大きくなるためビン１４にも大きな力が作用
し大きな摩擦力が生じていた。
まだ、第３図においてビン１４は溝１５により常に左向
きに押されることとなシ研摩面２２のうねシに従って押
圧板１２はビン１４を中心として振り回わせることとな
り、スプライン軸５に対して相対的にビン１４の根元ｅ
は左右に変位し、抑圧板１２の回転に変動が生じること
となるという欠点があった。
本発明の目的は、上記欠点を除去し、被加工物の傾きの
研摩面のうねりに対する追従性がよく、まだ被加工物の
回転変動を少くして円滑に被加工物を研摩することが可
能な平面研摩装置の被加工物保持機構を提供することに
ある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、平面研摩装置の研摩面上の被加工物を保持し
この被加工物の被加工面上の一点を中心とする凸球面を
有する保持部あと、姿勢を一定に保って設けられ前記被
加工物上の一点を中心とし前記凸球面に摺動自在に係合
する凹球面を有する支持部３２と、前記保持部３４と前
記支持部３２との間に設けられ捩りに対しては剛性が大
きく曲げに対しては柔軟な弾性体３６とを有するもので
ある。
〔作用〕
ねじりに対しては剛性を有し曲げに対しては柔軟な弾性
体３６は保持部あを支持部３２に対し研摩面のうねりに
追従させて大きな摩擦力を生じることなく、傾動させる
。その際保持部３４は支持部３２に対し回転方向にはず
れない。
〔実施例〕
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第３図は本発明の一実施例の縦断面図である。円盤１、
軸２．フレーム３、スリーブ４、エアシリンダ６、レバ
ー７、モータ８、歯車９．１０は第１図に示すものと同
じである。スプライン軸３１は、軸方向には摺動自在に
軸回わりには一体となって回転するようだスリーブ４に
取り付けられている。スプライン軸３１の下端のフラン
ジ３２に設けた球面状の凹部に半球体３３が摺動自在に
係合している。半球体３３に抑圧板Ｕが固着されている
。
押圧板３４の導通孔３５は管１９と連結され素材２０を
押圧板３４に吸着するだめのものである。
ベローズ３６が上端をフランジ３２に固着し下端を抑圧
板３４に固着して設けられている。ベローズ３６は中心
軸回わりのねじりに対しては剛性が大きいのに対し、中
心軸方向の伸縮及び曲げに対しては柔軟であるだめ、抑
圧板３４はフランジ３２に対し回転方向にはずれないが
、しかも自由に傾くことができる。従って抑圧板３４が
傾くときも大きな摩擦力は生じず押圧板１２及び素材２
０の研摩面のうねりに対する追従性はよい。
なお本発明は、円盤が固定してあってフレーム３ととも
に押圧板３４等が軸１２を中心として旋回するような平
面研摩装置にも適用できる。
壕だ支持部の凹球面と保持部の凸球面の間に鋼球等を介
在させて、摩擦力を減少させることもできる。
さらに支持部と保持部との間に設ける弾性体は、必ずし
もベローズの形状をしている必要はない。
例えばベローズを周囲方向に分割したもの、言い替えれ
ば中間を彎曲させた複数の板ばねを円周」二に並べたも
のでもよい。
〔発明の効果〕
本発明の平面研摩装置の被加工物保持機構は、以上説明
したように溝とピンの保合の代わりにねじりには剛性を
有し伸縮及び曲げに対して柔軟性のある弾性体を使用す
ることにより、溝とピンとの間の大きな摩擦力を発生さ
せることなく保持部が態き、研摩面のうねりに対する被
加工物の傾きの追従性をよくすることが）でへる。
まだ保持部が傾くときにピンを中心として揺動すること
がなくなり被加工物の回転速度の変動を非常に小さくす
ることができ、円滑に被加工物を研摩できる効果がある
。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の縦断面図、第２図は平面研
摩装置の被加工物保持機構の従来の一例の縦断面図、第
３図は第２図に示す一例のピン１４に作用する力を説明
するだめの模式図である。 １　円盤、５，３１　　スプライン軸、１１．３３　　
半球体・　１２・３４　　押圧板、１４　　ピン、１５
　　溝、２０　　素材、３６・・ベローズ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）平面研摩装置の研摩面上の被加工物を保持しこの
    被加工物の被加工面上の一点を中心とする凸球面を有す
    る保持部と、姿勢を一定に保つて設けられ前記被加工物
    上の一点を中心とし前記凸球面に摺動自在に係合する凹
    球面を有する支持部と、前記保持部と前記支持部の間に
    設けられ捩りに対しては剛性が大きく曲げに対しては柔
    軟な弾性体とを有することを特徴とする平面研摩装置の
    被加工物保持機構。
JP14540884A 1984-07-13 1984-07-13 平面研摩装置の被加工物保持機構 Pending JPS6125768A (ja)

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