JPH1086050A - 研磨工具 - Google Patents
研磨工具Info
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- JPH1086050A JPH1086050A JP24817796A JP24817796A JPH1086050A JP H1086050 A JPH1086050 A JP H1086050A JP 24817796 A JP24817796 A JP 24817796A JP 24817796 A JP24817796 A JP 24817796A JP H1086050 A JPH1086050 A JP H1086050A
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- polishing
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被研磨面の面形状に拘わらず被研磨面の全体
にわたって均等に研磨することができる研磨工具を提供
する。 【解決手段】 基軸部１の先端にユニバーサルジョイン
ト３を介して連結された研磨ヘッド２の先端面２ｂに
は、その中心軸ｌ2に対して等距離かつ等角度間隔で研
磨パッド１１が３個設けられている。これら研磨パッド
１１は、被研磨物１５の被研磨面１６に、その面形状に
拘わらず、ほぼ同じ圧力をもって同時に接触する。
にわたって均等に研磨することができる研磨工具を提供
する。 【解決手段】 基軸部１の先端にユニバーサルジョイン
ト３を介して連結された研磨ヘッド２の先端面２ｂに
は、その中心軸ｌ2に対して等距離かつ等角度間隔で研
磨パッド１１が３個設けられている。これら研磨パッド
１１は、被研磨物１５の被研磨面１６に、その面形状に
拘わらず、ほぼ同じ圧力をもって同時に接触する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被研磨物の表面に
研磨剤を擦りつけてこれを研磨するための研磨工具に関
し、特に、研磨剤を擦りつけるための研磨ヘッドがユニ
バーサルジョイントによって基軸部に連結された構造を
有する研磨工具に関する。
研磨剤を擦りつけてこれを研磨するための研磨工具に関
し、特に、研磨剤を擦りつけるための研磨ヘッドがユニ
バーサルジョイントによって基軸部に連結された構造を
有する研磨工具に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光学ガラスレンズ等の表面を研磨
する研磨機には、図６に示される構成を備えた研磨工具
Ａが用いられていた。図６において、研磨工具Ａは、研
磨機のスピンドル装置に接続される円柱状の基軸部１
と、ユニバーサルジョイント３によって基軸部１の先端
に連結された研磨ヘッド２と、この研磨ヘッド２の先端
面に接着された円盤状のクッション部材４と、このクッ
ション部材４の外表面に積層された円板状の研磨シート
５とから、構成されている。ここに、研磨ヘッド２は、
この研磨ヘッド２を下に向けて基軸部１の中心軸を鉛直
方向に向けた場合に、その中心軸ｌ2が基軸部１の中心
軸ｌ1に対して同軸となるように、バランス取りがなさ
れている。
する研磨機には、図６に示される構成を備えた研磨工具
Ａが用いられていた。図６において、研磨工具Ａは、研
磨機のスピンドル装置に接続される円柱状の基軸部１
と、ユニバーサルジョイント３によって基軸部１の先端
に連結された研磨ヘッド２と、この研磨ヘッド２の先端
面に接着された円盤状のクッション部材４と、このクッ
ション部材４の外表面に積層された円板状の研磨シート
５とから、構成されている。ここに、研磨ヘッド２は、
この研磨ヘッド２を下に向けて基軸部１の中心軸を鉛直
方向に向けた場合に、その中心軸ｌ2が基軸部１の中心
軸ｌ1に対して同軸となるように、バランス取りがなさ
れている。
【０００３】図７は、上述した研磨工具Ａを用いて非球
面レンズの表面を研磨する作業の説明図である。図７に
示されるように、研磨作業においては、まず、基軸部１
が非球面レンズの表面（被研磨面）６へ向けて降下し
て、研磨ヘッド２を被研磨面６に押し付ける。すると、
被研磨面６の面形状の低周波数成分に対しては、被研磨
面６の傾きに追従して研磨ヘッド２自体がユニバーサル
ジョイント３によって傾き、被研磨面６の面形状の高周
波数成分に対しては、被研磨面６の形状に追従しクッシ
ョン部材４が変形する。その結果、研磨シート５が被研
磨面６に密着することとなる。
面レンズの表面を研磨する作業の説明図である。図７に
示されるように、研磨作業においては、まず、基軸部１
が非球面レンズの表面（被研磨面）６へ向けて降下し
て、研磨ヘッド２を被研磨面６に押し付ける。すると、
被研磨面６の面形状の低周波数成分に対しては、被研磨
面６の傾きに追従して研磨ヘッド２自体がユニバーサル
ジョイント３によって傾き、被研磨面６の面形状の高周
波数成分に対しては、被研磨面６の形状に追従しクッシ
ョン部材４が変形する。その結果、研磨シート５が被研
磨面６に密着することとなる。
【０００４】次に、図示せぬスピンドル装置が基軸部１
を回転させる。すると、研磨ヘッド２はユニバーサルジ
ョイント３によってその姿勢を保ちつつ回転駆動され
る。そして、クッション部材４は、この研磨ヘッド２の
回転に伴って、その回転により相対移動する被研磨面６
の形状変化に追従して圧縮・膨張を繰り返す。従って、
研磨シート５は、常時被研磨面６に密着し続けられる。
この時、研磨シート５と被研磨面６との間に研磨剤が供
給されるので、研磨シート５は、その全面に亘って略均
一圧力にて研磨剤を被研磨面６に擦りつける。その結
果、被研磨面６が均等に研磨されるのである。
を回転させる。すると、研磨ヘッド２はユニバーサルジ
ョイント３によってその姿勢を保ちつつ回転駆動され
る。そして、クッション部材４は、この研磨ヘッド２の
回転に伴って、その回転により相対移動する被研磨面６
の形状変化に追従して圧縮・膨張を繰り返す。従って、
研磨シート５は、常時被研磨面６に密着し続けられる。
この時、研磨シート５と被研磨面６との間に研磨剤が供
給されるので、研磨シート５は、その全面に亘って略均
一圧力にて研磨剤を被研磨面６に擦りつける。その結
果、被研磨面６が均等に研磨されるのである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の研磨工
具Ａは、以下に説明する問題を有していた。すなわち、
被研磨面６の凹凸が小さい場合には、クッション部材４
と研磨シート５の有する弾性が被研磨面６の面形状に追
従可能であるので、上述したように、研磨シート５がそ
の全体に亘って被研磨面６に接触する。
具Ａは、以下に説明する問題を有していた。すなわち、
被研磨面６の凹凸が小さい場合には、クッション部材４
と研磨シート５の有する弾性が被研磨面６の面形状に追
従可能であるので、上述したように、研磨シート５がそ
の全体に亘って被研磨面６に接触する。
【０００６】ところが、被研磨面６の凹凸が大きい場合
（即ち、被研磨面６の面形状の振幅の絶対量が大きい場
合），あるいは凹凸が複雑な場合（即ち、被研磨面６の
面形状の振幅が波長に比して大きい場合）には、クッシ
ョン部材４と研磨シート５の有する弾性が被研磨面６の
面形状に追従しきれなくなる。従って、図８に示される
ように、被研磨面６の面内に研磨シート５が強く圧接さ
れる部位と弱く接触される部位との分布が発生してしま
う場合があるのである。また、被研磨面６の面形状によ
っては、研磨シート５が接触しない部位が発生してしま
う場合もあり得る。このような場合においては、被研磨
面６の研磨量が部位によって区々となるので、研磨作業
後の被研磨面６の仕上がりにムラが生じてしまう問題が
あった。さらに、これが進行すると、部分的な研磨過多
によって被研磨面６の面形状を崩してしまう問題も生じ
る。
（即ち、被研磨面６の面形状の振幅の絶対量が大きい場
合），あるいは凹凸が複雑な場合（即ち、被研磨面６の
面形状の振幅が波長に比して大きい場合）には、クッシ
ョン部材４と研磨シート５の有する弾性が被研磨面６の
面形状に追従しきれなくなる。従って、図８に示される
ように、被研磨面６の面内に研磨シート５が強く圧接さ
れる部位と弱く接触される部位との分布が発生してしま
う場合があるのである。また、被研磨面６の面形状によ
っては、研磨シート５が接触しない部位が発生してしま
う場合もあり得る。このような場合においては、被研磨
面６の研磨量が部位によって区々となるので、研磨作業
後の被研磨面６の仕上がりにムラが生じてしまう問題が
あった。さらに、これが進行すると、部分的な研磨過多
によって被研磨面６の面形状を崩してしまう問題も生じ
る。
【０００７】本発明は、上述した問題に鑑みなされたも
のであり、被研磨面の面形状に拘わらず被研磨面の全体
にわたって均等に研磨することができる研磨工具を提供
することを、課題とする。
のであり、被研磨面の面形状に拘わらず被研磨面の全体
にわたって均等に研磨することができる研磨工具を提供
することを、課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明による研磨工具
は、上述した課題を解決するために以下の構成を採用す
る。すなわち、本発明による研磨工具は、研磨機のスピ
ンドル装置に接続される円柱状の基軸部と、ユニバーサ
ルジョイント３によって前記基軸部の先端に連結された
研磨ヘッドと、この研磨ヘッドの先端面上に、この研磨
ヘッドの中心軸に対して等距離且つ等角度間隔をおいて
設けられた３個の凸状の研磨パッドとを備えたことを特
徴とする。
は、上述した課題を解決するために以下の構成を採用す
る。すなわち、本発明による研磨工具は、研磨機のスピ
ンドル装置に接続される円柱状の基軸部と、ユニバーサ
ルジョイント３によって前記基軸部の先端に連結された
研磨ヘッドと、この研磨ヘッドの先端面上に、この研磨
ヘッドの中心軸に対して等距離且つ等角度間隔をおいて
設けられた３個の凸状の研磨パッドとを備えたことを特
徴とする。
【０００９】本発明による研磨工具によれば、被研磨物
の研磨作業において、研磨ヘッドの中心軸に対して等距
離且つ等角度間隔で３つ設けられた研磨パッドが、被研
磨物の研磨面に、その面形状に拘わらず、ほぼ同じ圧力
をもって接触する。
の研磨作業において、研磨ヘッドの中心軸に対して等距
離且つ等角度間隔で３つ設けられた研磨パッドが、被研
磨物の研磨面に、その面形状に拘わらず、ほぼ同じ圧力
をもって接触する。
【００１０】ここに、凸状の研磨パッドの具体的形状と
しては、例えば、球面の一部を外面とする形状、卵型の
一部をなす形状等が挙げられるが、半球状とするのが好
ましい（請求項７）。
しては、例えば、球面の一部を外面とする形状、卵型の
一部をなす形状等が挙げられるが、半球状とするのが好
ましい（請求項７）。
【００１１】また、研磨パッドは、凸状の弾性体から構
成されても良いし（請求項３）、凸状の弾性体とこの弾
性体を個別に被覆する研磨シートとから構成されても良
い（請求項４）。ここに、弾性体の材質には、シリコン
ゴムが用いられても良い（請求項５）。また、研磨シー
トの材質には、ビニルシートが用いられても良い（請求
項６）。
成されても良いし（請求項３）、凸状の弾性体とこの弾
性体を個別に被覆する研磨シートとから構成されても良
い（請求項４）。ここに、弾性体の材質には、シリコン
ゴムが用いられても良い（請求項５）。また、研磨シー
トの材質には、ビニルシートが用いられても良い（請求
項６）。
【００１２】前記研磨ヘッドの先端面側全体を前記各研
磨パッドを含めて被覆する着脱自在の研磨シートがさら
に備えられても良い（請求項２）。この場合には、研磨
剤の変更に応じて研磨シートの種類を容易に変更するこ
とができる。この場合における研磨パッドは、弾性体と
研磨シートとからなるものであっても良いが、凸状の弾
性体のみから形成されていても良い（請求項３）。な
お、研磨シートの厚さは、例えばビニルシートを用いる
場合には、０．３〜０．５ｍｍとするのが好ましい。
磨パッドを含めて被覆する着脱自在の研磨シートがさら
に備えられても良い（請求項２）。この場合には、研磨
剤の変更に応じて研磨シートの種類を容易に変更するこ
とができる。この場合における研磨パッドは、弾性体と
研磨シートとからなるものであっても良いが、凸状の弾
性体のみから形成されていても良い（請求項３）。な
お、研磨シートの厚さは、例えばビニルシートを用いる
場合には、０．３〜０．５ｍｍとするのが好ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。
施の形態を説明する。
【００１４】
【実施形態１】 ＜研磨工具の構成＞図１は、本発明の第１の実施形態に
よる研磨機の研磨工具１０を示す側面図であり、図２
は、研磨工具１０の下面図である。
よる研磨機の研磨工具１０を示す側面図であり、図２
は、研磨工具１０の下面図である。
【００１５】これら各図に示されるように、この研磨工
具１０は、その基端部が図示せぬ研磨機本体のスピンド
ル装置に接続された基軸部１と、ユニバーサルジョイン
ト３を介して基軸部１の先端に連結された傾動軸１４
と、この傾動軸１４の先端にその背面２ａの中心部が接
続された研磨ヘッド２と、この研磨ヘッド２の先端面２
ｂに設けられた３つの半球状の研磨パッド１１とから、
構成されている。
具１０は、その基端部が図示せぬ研磨機本体のスピンド
ル装置に接続された基軸部１と、ユニバーサルジョイン
ト３を介して基軸部１の先端に連結された傾動軸１４
と、この傾動軸１４の先端にその背面２ａの中心部が接
続された研磨ヘッド２と、この研磨ヘッド２の先端面２
ｂに設けられた３つの半球状の研磨パッド１１とから、
構成されている。
【００１６】基軸部１は横断面円形の形状を有してお
り、図示せぬ研磨機本体に搭載されたスピンドル装置に
よって、その中心軸ｌ1を回転軸として回転する。この
基軸部１の先端は二股状に分かれている。
り、図示せぬ研磨機本体に搭載されたスピンドル装置に
よって、その中心軸ｌ1を回転軸として回転する。この
基軸部１の先端は二股状に分かれている。
【００１７】基軸部１の先端における二股状に分かれた
部分の間には、ユニバーサルジョイント３を構成する回
転部材３ａが、その回転軸を基軸部１の中心軸ｌ1と直
交する方向に向けて、基軸部１に対して回転自在に枢支
されている。また、この回転部材３ａの中心（その回転
軸と基軸部１の中心軸ｌ1との交点）には、回転部材３
ａの回転軸と直交する方向を向いた直交軸３ｂが設けら
れている。
部分の間には、ユニバーサルジョイント３を構成する回
転部材３ａが、その回転軸を基軸部１の中心軸ｌ1と直
交する方向に向けて、基軸部１に対して回転自在に枢支
されている。また、この回転部材３ａの中心（その回転
軸と基軸部１の中心軸ｌ1との交点）には、回転部材３
ａの回転軸と直交する方向を向いた直交軸３ｂが設けら
れている。
【００１８】傾動軸１４の基端も二股状に分かれてい
る。この二股状に分かれた傾動軸１４の先端の間には、
上述の回転部材３ａが、直交軸３ｂを介して回転自在に
介在している。従って、この傾動軸１４は、このように
構成されたユニバーサルジョイント３の機能に因り、基
軸部１に対してあらゆる方向に傾斜自在であり、どのよ
うな方向に傾斜した状態においても、基軸部１の回転が
伝達されて回転する。
る。この二股状に分かれた傾動軸１４の先端の間には、
上述の回転部材３ａが、直交軸３ｂを介して回転自在に
介在している。従って、この傾動軸１４は、このように
構成されたユニバーサルジョイント３の機能に因り、基
軸部１に対してあらゆる方向に傾斜自在であり、どのよ
うな方向に傾斜した状態においても、基軸部１の回転が
伝達されて回転する。
【００１９】研磨ヘッド２は、スピンドル１の外径より
やや大きい外径を有する円板状に形成されている。この
研磨ヘッド２は、傾動軸１４の先端に、この傾動軸１４
と同軸に固定されている。従って、基軸部１の先端を重
力方向に向けた状態で研磨ヘッド２を宙吊りにした場合
には研磨ヘッド２の中心軸ｌ2と基軸部１の中心軸ｌ1と
が同軸となるように、研磨ヘッド２のバランスがとられ
ている。
やや大きい外径を有する円板状に形成されている。この
研磨ヘッド２は、傾動軸１４の先端に、この傾動軸１４
と同軸に固定されている。従って、基軸部１の先端を重
力方向に向けた状態で研磨ヘッド２を宙吊りにした場合
には研磨ヘッド２の中心軸ｌ2と基軸部１の中心軸ｌ1と
が同軸となるように、研磨ヘッド２のバランスがとられ
ている。
【００２０】各研磨パッド１１は、図１に示されるよう
に、半球状に形成されており（凸状に相当）、その外面
が半球面となっている。また、各研磨パッド１１は、同
一寸法で形成されており、研磨ヘッド２の下面２ｂにお
いて、研磨ヘッド２の中心軸ｌ2に対して等距離且つ等
角度間隔をおいてそれぞれ接着されている。すなわち、
各研磨パッド１１は、それぞれの中心が研磨ヘッド２の
中心を重心とする仮想の正三角形の各頂点位置に一致す
る状態で、配置されている。
に、半球状に形成されており（凸状に相当）、その外面
が半球面となっている。また、各研磨パッド１１は、同
一寸法で形成されており、研磨ヘッド２の下面２ｂにお
いて、研磨ヘッド２の中心軸ｌ2に対して等距離且つ等
角度間隔をおいてそれぞれ接着されている。すなわち、
各研磨パッド１１は、それぞれの中心が研磨ヘッド２の
中心を重心とする仮想の正三角形の各頂点位置に一致す
る状態で、配置されている。
【００２１】図３は、研磨パッド１１の構成を示す縦断
面図（中心軸ｌ2を含む断面図）である。図３におい
て、研磨パッド１１は、パッド部１２とこのパッド部１
２の表面を覆う研磨シート１３とから構成されている。
パッド部１２は、弾性を有する半球状のシリコンゴムか
らなる。また、研磨シート１３は、パッド部１２の外面
全体を被覆する半球状の形状に形成された厚さ約０．４
ｍｍのビニルシートからなり、パッド部１２に密着して
接着されている。この研磨シート１３の外表面には、研
磨時において供給される研磨材を保持するために、微細
な溝模様（図示略）が多数形成されている。
面図（中心軸ｌ2を含む断面図）である。図３におい
て、研磨パッド１１は、パッド部１２とこのパッド部１
２の表面を覆う研磨シート１３とから構成されている。
パッド部１２は、弾性を有する半球状のシリコンゴムか
らなる。また、研磨シート１３は、パッド部１２の外面
全体を被覆する半球状の形状に形成された厚さ約０．４
ｍｍのビニルシートからなり、パッド部１２に密着して
接着されている。この研磨シート１３の外表面には、研
磨時において供給される研磨材を保持するために、微細
な溝模様（図示略）が多数形成されている。
【００２２】以上のように、パッド部１２及び研磨シー
ト１３はともに弾性を有する材料から構成されている。
従って、各研磨パッド１１は、光学ガラスレンズ等の被
研磨物１５の研磨面１６（図４参照）に圧接されると、
自身の保有する弾性によって変形し、研磨面１６に対し
て円形の接触面にて面接触する。 ＜研磨工具の作用＞図４は、第１実施形態による研磨工
具１０を用いた研磨作業の説明図である。この研磨作業
においては、最初に、光学ガラスレンズ等の被研磨物１
５が適宜の位置に配置される。次に、図示せぬ研磨機
は、被研磨物１５の被研磨面１６に対して研磨工具１０
を降下させる。すると、各研磨パッド１１が順番に被研
磨面１６に接触するとともに、その間に、被研磨面１６
の面形状に応じて研磨ヘッド１１が何れかの方向へ傾斜
する。ここで、被研磨面１６に接触する研磨パッド１１
が３個であることから、被研磨面１６がどのような形状
であっても、最終的に、全ての研磨パッド１１が同時に
被研磨面１６に接触する。そして、図示せぬ研磨機は、
全ての研磨パッド１１が夫々被研磨面１６に対して所定
範囲の圧力をもって接触した時点で、研磨工具１０の降
下を停止する。このとき、各研磨パッド１１は、上述し
たように円形の接触面形状をもって被研磨面１６に面接
触する。
ト１３はともに弾性を有する材料から構成されている。
従って、各研磨パッド１１は、光学ガラスレンズ等の被
研磨物１５の研磨面１６（図４参照）に圧接されると、
自身の保有する弾性によって変形し、研磨面１６に対し
て円形の接触面にて面接触する。 ＜研磨工具の作用＞図４は、第１実施形態による研磨工
具１０を用いた研磨作業の説明図である。この研磨作業
においては、最初に、光学ガラスレンズ等の被研磨物１
５が適宜の位置に配置される。次に、図示せぬ研磨機
は、被研磨物１５の被研磨面１６に対して研磨工具１０
を降下させる。すると、各研磨パッド１１が順番に被研
磨面１６に接触するとともに、その間に、被研磨面１６
の面形状に応じて研磨ヘッド１１が何れかの方向へ傾斜
する。ここで、被研磨面１６に接触する研磨パッド１１
が３個であることから、被研磨面１６がどのような形状
であっても、最終的に、全ての研磨パッド１１が同時に
被研磨面１６に接触する。そして、図示せぬ研磨機は、
全ての研磨パッド１１が夫々被研磨面１６に対して所定
範囲の圧力をもって接触した時点で、研磨工具１０の降
下を停止する。このとき、各研磨パッド１１は、上述し
たように円形の接触面形状をもって被研磨面１６に面接
触する。
【００２３】次に、研磨機は、各研磨パッド１１と研磨
面１６との接触部位近傍に研磨剤を供給しつつ、図示せ
ぬスピンドル装置を駆動させることによって基軸部１を
回転させる。従って、研磨ヘッド２が、基軸部１の回転
に連動して回転する。すると、各研磨パッド１１が研磨
剤を被研磨面１６に擦り付けることによって、研磨面１
６が研磨される。なお、この回転の間に各研磨パッド１
１が通過する軌道上に凹部又は凸部がある場合には、各
研磨パッド１１がこの凹部又は凸部の形状に沿って移動
するように、研磨ヘッド２の傾斜方向が適宜振れる。そ
の結果、各研磨パッド１１は、常時被研磨面１６に接触
し続ける。
面１６との接触部位近傍に研磨剤を供給しつつ、図示せ
ぬスピンドル装置を駆動させることによって基軸部１を
回転させる。従って、研磨ヘッド２が、基軸部１の回転
に連動して回転する。すると、各研磨パッド１１が研磨
剤を被研磨面１６に擦り付けることによって、研磨面１
６が研磨される。なお、この回転の間に各研磨パッド１
１が通過する軌道上に凹部又は凸部がある場合には、各
研磨パッド１１がこの凹部又は凸部の形状に沿って移動
するように、研磨ヘッド２の傾斜方向が適宜振れる。そ
の結果、各研磨パッド１１は、常時被研磨面１６に接触
し続ける。
【００２４】研磨機は、このように研磨ヘッド２を回転
させつつ、基軸部１をその中心軸ｌ 1に直交する方向へ
間欠的に移動させる。このとき、一回あたりの移動量ｎ
は、各研磨パッド１１の円形の接触面の外径ｍよりも小
さく設定する。なお、研磨剤は、回転状態にある各研磨
パッド１１近傍に連続的に供給されるが、各研磨パッド
１１の間隙に入り込むことができるため、各研磨パッド
１１に良く絡む。
させつつ、基軸部１をその中心軸ｌ 1に直交する方向へ
間欠的に移動させる。このとき、一回あたりの移動量ｎ
は、各研磨パッド１１の円形の接触面の外径ｍよりも小
さく設定する。なお、研磨剤は、回転状態にある各研磨
パッド１１近傍に連続的に供給されるが、各研磨パッド
１１の間隙に入り込むことができるため、各研磨パッド
１１に良く絡む。
【００２５】なお、基軸部１の移動によって被研磨物１
５の研磨面１６の傾斜方向が大きく変化する場合には、
その傾斜方向の変化に従って、ユニバーサルジョイント
３によって研磨ヘッド２が適宜の方向に傾く。従って、
常に３個の研磨パッド１１が被研磨面１６に面接触す
る。すなわち、各研磨パッド１１が安定した状態で研磨
面１６に面接触する。また、基軸部１の移動によって基
軸部１と被研磨面１６との間の距離が変化する場合に
は、研磨機は、基軸部１をその中心軸ｌ1の方向へ移動
させて、基軸部１の移動によって基軸部１と被研磨面１
６との間の距離が一定になるように調整する。その結
果、各研磨パッド１１が被研磨面１６に接触する圧力
は、常に同一となる。さらに、各研磨パッド１１は半球
状の形状を有しているため、研磨ヘッド２の傾きによっ
て、各研磨パッド１１がつぶれた状態になることはな
い。このようにして、被研磨物１５の被研磨面１６全体
が研磨されると、研磨作業が終了する。
５の研磨面１６の傾斜方向が大きく変化する場合には、
その傾斜方向の変化に従って、ユニバーサルジョイント
３によって研磨ヘッド２が適宜の方向に傾く。従って、
常に３個の研磨パッド１１が被研磨面１６に面接触す
る。すなわち、各研磨パッド１１が安定した状態で研磨
面１６に面接触する。また、基軸部１の移動によって基
軸部１と被研磨面１６との間の距離が変化する場合に
は、研磨機は、基軸部１をその中心軸ｌ1の方向へ移動
させて、基軸部１の移動によって基軸部１と被研磨面１
６との間の距離が一定になるように調整する。その結
果、各研磨パッド１１が被研磨面１６に接触する圧力
は、常に同一となる。さらに、各研磨パッド１１は半球
状の形状を有しているため、研磨ヘッド２の傾きによっ
て、各研磨パッド１１がつぶれた状態になることはな
い。このようにして、被研磨物１５の被研磨面１６全体
が研磨されると、研磨作業が終了する。
【００２６】本実施形態による研磨工具１０によると、
被研磨面１６が複雑な凹凸や大きな凹凸を有する面形状
であっても、研磨ヘッド２の先端面２ｂに設けられた３
つの研磨パッド１１が同時に被研磨面１６に面接触する
ため、各研磨パッド１１がほぼ同じ圧力をもって被研磨
物１５の被研磨面１６に接触し、被研磨面１６を研磨す
る。このため、被研磨面１６全体を均一な研磨量をもっ
て研磨することができる。
被研磨面１６が複雑な凹凸や大きな凹凸を有する面形状
であっても、研磨ヘッド２の先端面２ｂに設けられた３
つの研磨パッド１１が同時に被研磨面１６に面接触する
ため、各研磨パッド１１がほぼ同じ圧力をもって被研磨
物１５の被研磨面１６に接触し、被研磨面１６を研磨す
る。このため、被研磨面１６全体を均一な研磨量をもっ
て研磨することができる。
【００２７】従って、全面にわたって同じ品質を有する
被研磨面１６が形成された被研磨物１５を得ることがで
きる。すなわち、適正な非球面等を有する光学ガラスレ
ンズ等を得ることができる。
被研磨面１６が形成された被研磨物１５を得ることがで
きる。すなわち、適正な非球面等を有する光学ガラスレ
ンズ等を得ることができる。
【００２８】なお、被研磨面１６の凹凸が複雑過ぎる場
合や大き過ぎる場合であっても、この被研磨面１６の面
形状に応じて研磨パッド１１の半径や各研磨パッド１１
の間隔を設定することにより、研磨パッド１１が接触せ
ず未研磨状態となる部位をなくすことができる。
合や大き過ぎる場合であっても、この被研磨面１６の面
形状に応じて研磨パッド１１の半径や各研磨パッド１１
の間隔を設定することにより、研磨パッド１１が接触せ
ず未研磨状態となる部位をなくすことができる。
【００２９】
【実施形態２】図５は、本発明の第２の実施形態による
研磨工具１０の一部断面側面図である。
研磨工具１０の一部断面側面図である。
【００３０】図５に示されるように、第２の実施形態に
よる研磨工具１０を構成する基軸部１，ユニバーサルジ
ョイント３，傾動軸１４，研磨ヘッド２，及びパッド部
１２の構造は、第１実施形態のものと全く同じであるの
で、その説明を省略する。
よる研磨工具１０を構成する基軸部１，ユニバーサルジ
ョイント３，傾動軸１４，研磨ヘッド２，及びパッド部
１２の構造は、第１実施形態のものと全く同じであるの
で、その説明を省略する。
【００３１】但し、第２の実施形態においては、各パッ
ド部１２は、個別に半球状の研磨シート１３によって覆
われていない。その代わり、研磨ヘッド２の先端面２ｂ
側全体は、３個のパッド部１２を含み、膜状のナイロン
布シートである研磨シート１８によって覆われている。
この研磨シート１８は、リング状部材１９によって、研
磨ヘッド２の外周面に着脱自在に取り付けられている。
ド部１２は、個別に半球状の研磨シート１３によって覆
われていない。その代わり、研磨ヘッド２の先端面２ｂ
側全体は、３個のパッド部１２を含み、膜状のナイロン
布シートである研磨シート１８によって覆われている。
この研磨シート１８は、リング状部材１９によって、研
磨ヘッド２の外周面に着脱自在に取り付けられている。
【００３２】従って、本第２実施形態によると、研磨シ
ート１８の種類を研磨剤の変更や研磨シート１８の劣化
に応じて容易に取り替えることができる。
ート１８の種類を研磨剤の変更や研磨シート１８の劣化
に応じて容易に取り替えることができる。
【００３３】
【発明の効果】本発明の研磨機によれば、研磨ヘッドの
下面に３つ設けられた研磨パッドが、被研磨面の面形状
に拘わらず、ほぼ同じ圧力をもって常に同時に被研磨面
に接触するため、被研磨面を全体にわたって均等に研磨
することができる。従って、その全体にわたって同一の
品質を有する研磨面を得ることができる。
下面に３つ設けられた研磨パッドが、被研磨面の面形状
に拘わらず、ほぼ同じ圧力をもって常に同時に被研磨面
に接触するため、被研磨面を全体にわたって均等に研磨
することができる。従って、その全体にわたって同一の
品質を有する研磨面を得ることができる。
【図１】 本発明の第１実施形態による研磨工具を示す
側面図
側面図
【図２】 図１に示した研磨工具の研磨ヘッドの端面図
【図３】 図１に示した研磨工具の研磨パッドの構成を
示す断面図
示す断面図
【図４】 図１に示した研磨工具を使用した研磨作業の
説明図
説明図
【図５】 本発明の第２実施形態による研磨工具の一部
断面側面図
断面側面図
【図６】 従来例の説明図
【図７】 従来例の説明図
【図８】 従来例の説明図
【符号の説明】 １ 基軸部 ２ 研磨ヘッド ３ ユニバーサルジョイント １０ 研磨工具 １１ 研磨パッド １２ パッド部 １３ 研磨シート １４ 傾動軸 １８ 研磨シート
Claims (7)
- 【請求項１】研磨機のスピンドル装置に接続される円柱
状の基軸部と、 ユニバーサルジョイントによって前記基軸部の先端に連
結された研磨ヘッドと、この研磨ヘッドの先端面上に、
この研磨ヘッドの中心軸に対して等距離且つ等角度間隔
をおいて設けられた３個の凸状の研磨パッドとを備えた
ことを特徴とする研磨工具。 - 【請求項２】前記研磨ヘッドの先端面側全体を前記各研
磨パッドを含めて被覆する着脱自在の研磨シートをさら
に備えたことを特徴とする請求項１記載の研磨工具。 - 【請求項３】前記各研磨パッドは凸状の弾性体によって
形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の
研磨工具。 - 【請求項４】前記各研磨パッドが、凸状の弾性体と、こ
の弾性体を個別に被覆する研磨シートとからなることを
特徴とする請求項１記載の研磨工具。 - 【請求項５】前記弾性体はシリコンゴムからなることを
特徴とする請求項２又は４記載の研磨工具。 - 【請求項６】前記研磨シートはビニルシートからなるこ
とを特徴とする請求項２又は４記載の研磨工具。 - 【請求項７】前記各研磨パッドは半球状に突出している
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の
研磨工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24817796A JPH1086050A (ja) | 1996-09-19 | 1996-09-19 | 研磨工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24817796A JPH1086050A (ja) | 1996-09-19 | 1996-09-19 | 研磨工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1086050A true JPH1086050A (ja) | 1998-04-07 |
Family
ID=17174357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24817796A Withdrawn JPH1086050A (ja) | 1996-09-19 | 1996-09-19 | 研磨工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1086050A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002154040A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-28 | Ikegami Kanagata Kogyo Kk | 回転工具 |
| JP2011218466A (ja) * | 2010-04-06 | 2011-11-04 | Ohara Inc | 研磨器具、研磨器具の製造方法、及び被研磨体の製造方法 |
| CN105773403A (zh) * | 2016-03-11 | 2016-07-20 | 浙江工业大学 | 一种具有无理转速比的研磨抛光机驱动装置 |
| CN111113217A (zh) * | 2020-02-19 | 2020-05-08 | 深圳市迅成科技有限公司 | 一种打磨盘贴合效果好的便捷型打磨系统 |
| US11224285B2 (en) | 2016-06-06 | 2022-01-18 | Saudi Arabian Oil Company | Underwater marine growth brushing mechanism with passive self-adjust for curved surfaces |
| WO2022049303A1 (en) | 2020-09-07 | 2022-03-10 | Strecon A/S | A machining tool |
| KR20230100046A (ko) * | 2021-12-28 | 2023-07-05 | (주)에스엘엠 | 브러시용 틸팅 브라켓 |
-
1996
- 1996-09-19 JP JP24817796A patent/JPH1086050A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002154040A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-28 | Ikegami Kanagata Kogyo Kk | 回転工具 |
| JP2011218466A (ja) * | 2010-04-06 | 2011-11-04 | Ohara Inc | 研磨器具、研磨器具の製造方法、及び被研磨体の製造方法 |
| CN105773403A (zh) * | 2016-03-11 | 2016-07-20 | 浙江工业大学 | 一种具有无理转速比的研磨抛光机驱动装置 |
| US11224285B2 (en) | 2016-06-06 | 2022-01-18 | Saudi Arabian Oil Company | Underwater marine growth brushing mechanism with passive self-adjust for curved surfaces |
| CN111113217A (zh) * | 2020-02-19 | 2020-05-08 | 深圳市迅成科技有限公司 | 一种打磨盘贴合效果好的便捷型打磨系统 |
| WO2022049303A1 (en) | 2020-09-07 | 2022-03-10 | Strecon A/S | A machining tool |
| KR20230100046A (ko) * | 2021-12-28 | 2023-07-05 | (주)에스엘엠 | 브러시용 틸팅 브라켓 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050620 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050701 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20050811 |