CN100565408C - 定位设备、用于补偿重力的重力补偿装置和方法 - Google Patents

定位设备、用于补偿重力的重力补偿装置和方法 Download PDF

Info

Publication number
CN100565408C
CN100565408C CNB2004800225387A CN200480022538A CN100565408C CN 100565408 C CN100565408 C CN 100565408C CN B2004800225387 A CNB2004800225387 A CN B2004800225387A CN 200480022538 A CN200480022538 A CN 200480022538A CN 100565408 C CN100565408 C CN 100565408C
Authority
CN
China
Prior art keywords
gravity compensation
gravity
output signal
compensation controller
signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNB2004800225387A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1833208A (zh
Inventor
B·J·A·斯汤姆曼
R·L·图塞恩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Koninklijke Philips Electronics NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Koninklijke Philips Electronics NV filed Critical Koninklijke Philips Electronics NV
Publication of CN1833208A publication Critical patent/CN1833208A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100565408C publication Critical patent/CN100565408C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/404—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/40—Robotics, robotics mapping to robotics vision
    • G05B2219/40255—End effector attached to cable for gravity balance suspension
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41114—Compensation for gravity, counter balance gravity

Abstract

本发明涉及定位设备。该定位设备包括至少一个位置传感器、至少一个位置控制器和至少一个位置传动器，其中每个位置传感器测量位置受控装置的位置，其中每个位置控制器使用由每个位置传感器提供的测量信号作为输入信号，以及其中由每个位置控制器生成的输出信号被每个位置传动器使用来控制所述位置受控装置的位置。定位设备还包括重力补偿装置以补偿作用在所述位置受控装置上的重力，其中重力补偿装置包括至少一个重力补偿控制器和至少一个重力补偿传动器，其中每个重力补偿控制器使用由每个位置控制器生成的输出信号作为输入信号，由此生成输出信号以便由每个重力补偿传动器用来补偿作用在所述位置受控装置上的重力。

Description

定位设备、用于补偿重力的重力补偿装置和方法
技术领域
本发明涉及用于位置受控装置的定位设备，它包括用于补偿作用在所述位置受控装置上的重力的重力补偿装置。此外，本发明涉及用于补偿重力的重力补偿装置和方法。
背景技术
对于定位设备，特别是对于例如在测量机械、制造机械、检取与放置机器、或机器人中使用的高精度运动系统来说，对作用在位置受控装置上的重力进行补偿是重要的。通过使用重力补偿装置对重力进行补偿，可保证位置传动器所需要的力和热耗散保持在低水平。
在大多数应用中使用了位置传动器。如上所述，重力补偿装置的使用使得由位置传动器生成的力尽可能保持在最小。位置传动器的尺寸取决于最大和平均所需的力。如果可以减小所需的力，就可以减小位置传动器的尺寸和重量。另外，位置传动器的热耗散可最小化，因为热耗散直接与所生成的力有关。
从现有技术已知的重力补偿装置利用气缸或永磁体或力学弹簧来补偿重力。气缸的使用具有缺点：需要空气供应，导致复杂的和昂贵的解决方案。力学弹簧对于负荷变化很敏感。使用永磁体的缺点是重量大和对负荷变化与长冲程运动敏感。
发明内容
本发明提供一种特别适用于测量机械、制造机械等等的定位设备，它包括至少一个位置传感器、至少一个位置控制器和至少一个位置传动器，其中该位置传感器测量位置受控装置的位置，其中该位置控制器使用由所述位置传感器提供的测量信号作为输入信号，以及其中由该位置控制器生成的也称作操纵变量的输出信号被该位置传动器使用来控制所述位置受控装置的位置，该定位设备还包括重力补偿装置，用于补偿作用在该位置受控装置上的重力，其中，重力补偿装置包括两个重力补偿控制器和至少一个重力补偿传动器，其中第一重力补偿控制器使用由该位置控制器生成的输出信号作为也称作受控变量的输入信号，其中第二重力补偿控制器使用由第一重力补偿控制器生成的输出信号作为输入信号，其中来自所述第二重力补偿控制器的输出信号用来控制重力补偿传动器，以提供恒定的弹簧张力并补偿作用在所述位置受控装置上的重力，其中该恒定的弹簧张力等于该重力。
本发明比起现有技术具有几个优点。与气缸不相似，本发明不需要任何空气供应。本发明提供更便宜和更紧凑的解决方案。与使用力学弹簧的现有技术相比较，本发明对于负荷变化不太敏感，并且在位置受控装置与它的环境之间有相对运动的情形下，引入较小的扰动力。与使用永磁体的现有技术相比较，本发明更轻便和更便宜，并且对于负荷变化不太敏感。本发明的解决方案适用于长冲程和可变负荷的情形。
按照本发明的优选实施例，重力补偿传动器包括弹簧装置、弦线(string)装置、滑轮装置和电动机装置。弹簧装置的第一末端连接到位置受控装置上，而它的第二末端连接到弦线装置。弦线装置被缠绕在滑轮上，由此滑轮被电动机装置驱动，以及由此电动机装置由重力补偿控制器生成的输出信号所控制。滑轮装置被电动机装置驱动以使弹簧装置中的张力保持恒定，并且等于作用在所述位置受控装置上的重力。
按照本发明的另一个经改进的优选实施例，重力补偿装置包括两个重力补偿控制器，其中第一重力补偿控制器使用由位置控制器生成的输出信号作为输入信号，其中第二重力补偿控制器使用由第一重力补偿控制器生成的输出信号作为输入信号，以及其中所述第二重力补偿控制器的输出信号用来控制重力补偿传动器。由第一重力补偿控制器生成的输出信号与所述位置控制器的位置设置点信号相加，由此最终得到的信号用作为所述第二重力补偿控制器的设置点。第二重力补偿控制器使用电动机位置传感器的测量信号作为输入信号，由此所述电动机位置传感器测量所述重力补偿传动器的电动机装置的位置。
本发明还提供用于对作用在位置受控装置上的重力进行补偿的重力补偿装置，其中所述位置受控装置的位置由至少一个位置传感器测量，并由至少一个位置控制器控制，重力补偿装置包括至少一个重力补偿控制器和至少一个重力补偿传动器，由此该或每个重力补偿控制器使用由每个位置控制器生成的输出信号作为输入信号，从而生成输出信号供该或每个重力补偿传动器使用以补偿作用在所述位置受控装置上的重力。
另外，本发明提供用于补偿重力的方法。
附图说明
图1显示按照本发明的第一优选实施例的定位设备的框图；
图2显示按照本发明的第二优选实施例的定位设备的框图；
图3显示3轴定位级的截面侧视图；
图4显示3轴定位级的截面底视图；
图5显示按照图4的3轴定位级的截面侧视图；
图6显示利用按照本发明的实施例的另一个3轴定位级的截面底视图；以及
图7显示按照图6的3轴定位级的截面侧视图。
具体实施方式
图1显示按照本发明的第一优选实施例的定位设备10。定位设备10控制位置受控装置11的位置。位置受控装置11的位置由位置传感器12进行测量，由此由位置传感器12提供的测量信号被传送到位置控制器13作为输入信号或所谓的受控变量。作为由位置传感器12提供的测量信号和位置受控装置11对位置的设置点的函数，位置控制器13生成输出信号或所谓的操纵变量作为位置传动器14的输入信号。位置传动器14被设计为直接驱动的电动机。
定位设备10还包括重力补偿装置或重力补偿设备15，用于补偿作用在位置受控装置11上的重力。按照本发明，图1所示的定位设备10的重力补偿装置包括重力补偿控制器16和重力补偿传动器17。重力补偿控制器16使用由位置控制器13生成的输出信号作为输入信号或所谓的受控变量。重力补偿控制器16生成作为位置控制器13的输出信号的函数的输出信号。重力补偿控制器16的输出信号被重力补偿传动器17用来补偿作用在位置受控装置11上的重力。
重力补偿传动器17包括弹簧装置18、弦线装置19、滑轮装置20和电动机装置21。弹簧装置18用它的第一末端连接到位置受控装置11，并用它的第二末端连接到弦线装置19。弦线装置19被缠绕在滑轮装置20上。滑轮装置20由电动机装置21驱动，由此传动齿轮22位于滑轮装置20与电动机装置21之间。在图1所示的实施例中，由重力补偿控制器16生成的输出信号直接用作为电动机装置21的输入信号，该电动机装置21被设计为电压驱动直流电动机。所述电压驱动直流电动机只根据位置控制器13的输出信号而被控制。图1所示的实施例具有非常简单的设计，它甚至可以用模拟电子装置来实施。
图2显示按照本发明的第二实施例。图2显示控制位置受控装置的位置的定位设备23。图2所示的定位设备23，像图1的定位设备10那样，包括位置传感器、位置控制器和位置传动器。为了避免重复，对于相同的部件使用相同的标号。
与图1的实施例相比较，图2的定位设备23包括重力补偿装置24，它包括两个重力补偿控制器。第一重力补偿控制器25使用来自位置控制器13的输出信号作为输入信号或所谓的受控变量。来自所述第一重力补偿控制器25的输出信号被传送到相加装置26。在相加装置26中，来自第一重力补偿控制器25的输出信号与位置控制器13的设置点信号相加，由此位置控制器13的设置点信号乘以由图2的方块27表示的传输因子。从来自第一重力补偿控制器25的输出信号与乘以传输因子的位置控制器13的设置点信号的相加而得出的信号，被传送到第二重力补偿控制器28，并用作为第二重力补偿控制器28的设置点。由第二重力补偿控制器28生成的输出信号用来控制重力补偿传动器17。图2所示的实施例的重力补偿传动器17，像图1的实施例的重力补偿传动器那样，包括弹簧装置18、弦线装置19、滑轮装置20、电动机装置21和传动齿轮22。为了避免重复，对于相同的部件使用相同的标号。
按照图2的实施例的第二重力补偿控制器28使用使用电动机位置传感器29的测量信号作为输入信号或所谓的受控变量。作为由电动机位置传感器29提供的测量信号的函数和设置点信号的函数，第二重力补偿控制器28生成输出信号，用来控制重力补偿传动器17的电动机装置21。在按照图2的实施例中，在控制电动机装置21时使用关于位置受控装置11的运动的知识。这是通过使用电动机位置传感器29和由第二重力补偿控制器28提供的分开的控制环而实现的。所述第二重力补偿控制器28的设置点直接和位置控制器13的设置点相关。图2的重力补偿设备24仍旧试图把由位置控制器13提供的位置控制环的输出控制到零，然而，它这时作用在由第二重力补偿控制器28提供的用于电动机装置21的控制环的设置点。
按照图1和2的两个实施例利用重力补偿设备，在此重力补偿设备包括重力补偿传动器，后者包括弦线，该弦线通过弹簧连接到位置受控装置，并且被缠绕在滑轮上，滑轮由一个电动机传动齿轮组合进行驱动，以使弹簧的张力保持恒定，并且等于作用在所述位置受控装置上的重力。这是由至少一个重力补偿控制器来保证的，它使用位置控制器的输出作为受控变量，并且生成输出信号作为用于重力补偿传动器的所谓的操纵变量。
本发明可用于所有的种类的定位设备，例如，测量机械、制造机械、检取与放置机器、或机器人。参照图3到7，将描述本发明在低成本的3轴定位级中的应用。图3显示定位级30，它包括四个滑块，即，第一滑块31、第二滑块32、第三滑块33、和第四滑块34。沿x轴和z轴的定位是通过同时移动第一滑块31和第二滑块32而实现的。沿y轴的定位是通过移动第四滑块34而实现的。滑块31，32和34由直接驱动位置传动器35驱动。重力补偿设备将结合按照图3的定位级使用，以避免滑块31和32的位置传动器35必须提起中心滑块33和第四滑块34的重量。
图4和5显示重力补偿装置在定位级30的特定应用中的第一使用。图4和5显示重力补偿设备的重力补偿传动器17，包括弹簧装置18，被缠绕在滑轮装置20上的弦线装置19，在此滑轮装置20由电动机装置21和传动齿轮22驱动。在图4和5显示的使用中，电动机装置21、传动齿轮22、滑轮20和弹簧18连接到第一滑块31。导引滚轮36连接到第二滑块32，弦线19从弹簧18连接滑轮20。在图3到5所示的具体应用中，整个重力补偿设备是水平地使用的并集成到定位级30。
图6和7显示重力补偿设备的另一种使用，特别是重力补偿传动器17与定位级30相结合的使用。在按照图6和7的使用中，该概念也适用于水平地使用的，然而，重力补偿传动器的部件不连接到滑块，而是安装在周围或外壁上。
按照图6和7，滑轮20、电动机21和传动齿轮被安装在第一壁，以及弹簧18被安装在定位级30的周围的相邻的第二壁。在第一滑块31和第二滑块32上固定着导引滚轮37。第一导引滚轮37连接到第一滑块31以及第二导引滚轮37连接到第二滑块32。导引滚轮37用来把弦线19从滑轮20导引到弹簧18，而同时使得弦线19与滑块31和32结合。在图6和7所示的使用中，由重力传动器的电动机装置21生成的扰动力将不直接作用在滑块31，32，33，和34，这是高精度运动系统的优点。

Claims (17)

1.一种用于测量机械或制造机械的定位设备，包括至少一个位置传感器(12)、至少一个位置控制器(13)和至少一个位置传动器(14)，其中该位置传感器(12)测量位置受控装置(11)的位置，其中该位置控制器(13)使用由所述位置传感器(12)提供的测量信号作为输入信号，以及其中由该位置控制器(13)生成的也称作操纵变量的输出信号被该位置传动器(14)使用来控制所述位置受控装置(11)的位置，该定位设备还包括重力补偿装置，用于补偿作用在该位置受控装置(11)上的重力，
其特征在于，
重力补偿装置包括两个重力补偿控制器(25，28)和至少一个重力补偿传动器(17)，其中第一重力补偿控制器(25)使用由该位置控制器(13)生成的输出信号作为也称作受控变量的输入信号，其中第二重力补偿控制器(28)使用由第一重力补偿控制器(25)生成的输出信号作为输入信号，其中来自所述第二重力补偿控制器(28)的输出信号用来控制重力补偿传动器(17)，以提供恒定的弹簧张力并补偿作用在所述位置受控装置(11)上的重力，其中该恒定的弹簧张力等于该重力。
2.按照权利要求1的定位设备，其特征在于，重力补偿传动器(17)包括弹簧装置(18)、弦线装置(19)、滑轮装置(20)和电动机装置(21)。
3.按照权利要求2的定位设备，其特征在于，弹簧装置(18)以它的第一末端连接到位置受控装置(11)，以及以它的第二末端连接到弦线装置(19)。
4.按照权利要求2或3的定位设备，其特征在于，弦线装置(19)被缠绕在滑轮装置(20)上，其中滑轮装置(20)由电动机装置(21)驱动，以及其中电动机装置(21)由重力补偿控制器(25；28)生成的输出信号进行控制。
5.按照权利要求2的定位设备，其特征在于，滑轮装置(20)由电动机装置(21)驱动以使得弹簧装置(18)的张力保持恒定，并且等于作用在所述位置受控装置(11)上的重力。
6.按照权利要求1的定位设备，其特征在于，由第一重力补偿控制器(25)生成的输出信号与所述位置控制器(13)的位置设置点信号相加，其中最终得到的信号用作为所述第二重力补偿控制器(28)的设置点。
7.按照权利要求1的定位设备，其特征在于，第二重力补偿控制器(28)使用电动机位置传感器(29)的测量信号作为输入信号，其中所述电动机位置传感器测量所述重力补偿传动器(17)的电动机装置(21)的位置。
8.用于补偿作用在位置受控装置(11)上的重力的重力补偿设备，其中所述位置受控装置(11)的位置由至少一个位置传感器(12)测量，并由至少一个位置控制器(13)控制，其特征在于：重力补偿设备包括两个重力补偿控制器(25，28)和至少一个重力补偿传动器(17)，其中第一重力补偿控制器(25)使用由该位置控制器(13)生成的输出信号作为也称作受控变量的输入信号，其中第二重力补偿控制器(28)使用由第一重力补偿控制器(25)生成的输出信号作为输入信号，其中来自所述第二重力补偿控制器(28)的输出信号用来控制重力补偿传动器(17)，以提供恒定的弹簧张力并补偿作用在所述位置受控装置(11)上的重力，其中该恒定的弹簧张力等于该重力。
9.按照权利要求8的重力补偿设备，其特征在于，重力补偿传动器(17)包括弹簧装置(18)、弦线装置(19)、滑轮装置(20)和电动机装置(21)。
10.按照权利要求9的重力补偿设备，其特征在于，弹簧装置(18)以它的第一末端连接位置受控装置(11)，以及以它的第二末端连接到弦线装置(19)。
11.按照权利要求9的重力补偿设备，其特征在于，弦线装置(19)被缠绕在滑轮装置(20)上，由此滑轮装置(20)被电动机装置(21)驱动，以及由此电动机装置(21)由重力补偿控制器(16；28)生成的输出信号所控制。
12.按照权利要求9的重力补偿设备，其特征在于，滑轮装置(20)由电动机装置(21)驱动以使得弹簧装置的张力保持恒定，并且等于作用在所述位置受控装置(11)上的重力。
13.按照权利要求8的重力补偿设备，其特征在于，由第一重力补偿控制器(25)生成的输出信号与所述位置控制器(13)的位置设置点信号相加，由此最终得到的信号用作为所述第二重力补偿控制器(28)的设置点。
14.按照权利要求8的重力补偿设备，其特征在于，第二重力补偿控制器(28)使用电动机位置传感器(29)的测量信号作为输入信号，由此所述电动机位置传感器测量所述重力补偿传动器(17)的电动机装置(21)的位置。
15.用于补偿作用在位置受控装置上的重力的方法，由此所述位置受控装置的位置由至少一个位置传感器测量，并由至少一个位置控制器控制，其特征在于：第一重力补偿控制器(25)使用由该位置控制器(13)生成的输出信号作为也称作受控变量的输入信号，而第二重力补偿控制器(28)使用由第一重力补偿控制器(25)生成的输出信号作为输入信号，并且来自所述第二重力补偿控制器(28)的输出信号用来控制重力补偿传动器(17)，以提供恒定的弹簧张力并补偿作用在所述位置受控装置(11)上的重力，其中该恒定的弹簧张力等于该重力。
16.按照权利要求15的方法，其特征在于，重力补偿传动器包括弹簧装置、弦线装置、滑轮装置和电动机装置，由此弹簧装置以它的第一末端连接到位置受控装置以及以它的第二末端连接到弦线装置，其中弦线装置被缠绕在滑轮装置，以及其中电动机装置使用由重力补偿控制器生成的输出信号驱动滑轮装置以使得弹簧装置中的张力保持恒定并且等于作用在所述位置受控装置上的重力。
17.按照权利要求16的方法，其特征在于，由第一重力补偿控制器生成的输出信号与所述位置控制器的位置设置点信号相加，由此最终得到的信号用作为所述第二重力补偿控制器的设置点，以及第二重力补偿控制器使用电动机位置传感器的测量信号作为输入信号，由此所述电动机位置传感器测量所述重力补偿传动器的电动机装置的位置。
CNB2004800225387A 2003-08-07 2004-07-29 定位设备、用于补偿重力的重力补偿装置和方法 Expired - Fee Related CN100565408C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP03102466 2003-08-07
EP03102466.4 2003-08-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1833208A CN1833208A (zh) 2006-09-13
CN100565408C true CN100565408C (zh) 2009-12-02

Family

ID=34130289

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2004800225387A Expired - Fee Related CN100565408C (zh) 2003-08-07 2004-07-29 定位设备、用于补偿重力的重力补偿装置和方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7551970B2 (zh)
EP (1) EP1654604B1 (zh)
JP (1) JP2007501972A (zh)
CN (1) CN100565408C (zh)
AT (1) ATE465441T1 (zh)
DE (1) DE602004026736D1 (zh)
WO (1) WO2005015334A1 (zh)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5517431B2 (ja) * 2008-09-29 2014-06-11 キヤノン株式会社 光学装置および撮像装置
US20100188034A1 (en) * 2009-01-23 2010-07-29 Derek Young Trainable Robot and Method of Training
DE102011006992A1 (de) * 2011-04-07 2013-05-08 Kuka Roboter Gmbh Verfahren und Handhabungssystem zum automatisierten Bewegen eines schwerkraftkompensierten Lastkörpers
DE102013022533B3 (de) 2013-06-28 2019-07-11 Ferrobotics Compliant Robot Technology Gmbh Verfahren zum robotergestützten Stapeln von Gegenständen
DE102013106819B4 (de) * 2013-06-28 2018-07-12 Ferrobotics Compliant Robot Technology Gmbh Verfahren zum robotergestützten Stapeln von Gegenständen
EP3238889A4 (en) * 2014-12-25 2018-09-05 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Automatic object conveyance method and automatic object conveyance system
WO2021086849A1 (en) 2019-10-28 2021-05-06 Ergotron, Inc. Systems and methods for lift force estimation
CN114995525B (zh) * 2022-08-01 2022-12-13 上海隐冠半导体技术有限公司 运动台及蓄能状态调整方法

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3827333A (en) * 1973-06-29 1974-08-06 Ingersoll Milling Machine Co Gravity sag compensation system
US4591772A (en) * 1984-12-12 1986-05-27 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Load positioning system with gravity compensation
EP0211374B1 (de) * 1985-08-09 1989-04-26 Siemens Aktiengesellschaft Einrichtung zum Kompensieren des Schwerkrafteinflusses auf ein elektromotorisch heb- und senkbares Element einer Werkzeugmaschine oder eines Roboters und Verfahren zum Betrieb einer derartigen Einrichtung
US5136227A (en) 1985-09-10 1992-08-04 Agency Of Industrial Science & Technology, Ministry Of International Trade & Industry Active gravity compensation device for force control system
JPS63168709A (ja) * 1987-01-06 1988-07-12 Fujitsu Ltd 電動機駆動制御回路
JPS63243544A (ja) * 1987-03-27 1988-10-11 Nkk Corp 動吸振器の制御装置
DE3823042A1 (de) * 1988-07-07 1990-01-11 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet
US5040613A (en) * 1990-04-27 1991-08-20 Sukup Manufacturing Company Counterbalanced sensing wand assembly
US5138800A (en) * 1991-04-30 1992-08-18 Compustrip Systems Ltd. Positioning apparatus for supporting and guiding a tool
JPH07115056A (ja) * 1993-10-15 1995-05-02 Canon Inc 縦型基板ステージ装置
EP0671614A1 (en) * 1994-03-07 1995-09-13 Kabushiki Kaisha Toshiba A device for supporting and linearly moving a movable member
US7365513B1 (en) * 1994-04-01 2008-04-29 Nikon Corporation Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device
JPH07295649A (ja) * 1994-04-25 1995-11-10 Canon Inc ステージ制御装置
US5425237A (en) * 1994-05-13 1995-06-20 Cincinnati Milacron Inc. Counterbalance system
JP2964915B2 (ja) * 1995-04-28 1999-10-18 日本ビクター株式会社 レンズ駆動制御装置
TW318255B (zh) * 1995-05-30 1997-10-21 Philips Electronics Nv
TW316874B (zh) * 1995-05-30 1997-10-01 Philips Electronics Nv
US5812420A (en) * 1995-09-05 1998-09-22 Nikon Corporation Vibration-preventive apparatus and exposure apparatus
US5767648A (en) * 1996-04-19 1998-06-16 Massachusetts Institute Of Technology Base force/torque sensor apparatus for the precise control of manipulators with joint friction and a method of use thereof
JPH10141942A (ja) * 1996-11-08 1998-05-29 Ricoh Co Ltd 形状測定装置
JP3907252B2 (ja) * 1996-12-05 2007-04-18 キヤノン株式会社 露光装置およびデバイス製造方法ならびにステージ装置および原点出し方法
US6012216A (en) * 1997-04-30 2000-01-11 Ethicon, Inc. Stand alone swage apparatus
JPH11297613A (ja) * 1998-04-09 1999-10-29 Canon Inc ステージ装置およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法
US6355994B1 (en) * 1999-11-05 2002-03-12 Multibeam Systems, Inc. Precision stage
JP2001322045A (ja) * 2000-05-12 2001-11-20 Canon Inc ステージ制御装置
JP2003084087A (ja) * 2001-09-17 2003-03-19 Ricoh Co Ltd 縦型ステージの自重補償装置
EP1321822A1 (en) * 2001-12-21 2003-06-25 ASML Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
ITBO20020012A1 (it) * 2002-01-11 2003-07-11 Consiglio Nazionale Ricerche Apparecchiatura per il rilevamento di radiazioni elettromagnetiche , in particolare per applicazioni radioastronomiche

Also Published As

Publication number Publication date
DE602004026736D1 (de) 2010-06-02
EP1654604B1 (en) 2010-04-21
ATE465441T1 (de) 2010-05-15
JP2007501972A (ja) 2007-02-01
CN1833208A (zh) 2006-09-13
US20060259165A1 (en) 2006-11-16
EP1654604A1 (en) 2006-05-10
US7551970B2 (en) 2009-06-23
WO2005015334A1 (en) 2005-02-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5180955A (en) Positioning apparatus
Kim et al. High-precision magnetic levitation stage for photolithography
CN100565408C (zh) 定位设备、用于补偿重力的重力补偿装置和方法
US7614291B2 (en) Test bed and method for aerodynamic measurements on an object
US20090308285A1 (en) Rotary table mounting and drive device
Estevez et al. 6-DoF miniature maglev positioning stage for application in haptic micro-manipulation
CN1172423C (zh) 龙门起重机的冷却控制装置及其控制方法
US4975643A (en) Measurement and control of magnetostrictive transducer motion using strain sensors
CA2608289A1 (en) Oscillation decoupling device
EP0967022B1 (en) Vibration generating mechanism
CN108562285B (zh) 一种由并联式直线型超声电机驱动的控制力矩陀螺
Liu et al. Design of a control system for a macro-micro dual-drive high acceleration high precision positioning stage for IC packaging
CN110941181B (zh) 一种压电陶瓷连接的刚柔耦合运动平台控制方法
Mori et al. Ultrasonic linear motor for a high precision XY stage
CN102437777A (zh) 外置传感装置大位移精密驱动机构
CN211880315U (zh) 双激励三输出磁致驱动精密旋转装置
CN110722523B (zh) 一种基于压电陶瓷量测及补偿的宏微复合运动平台及应用
CN113212801B (zh) 内嵌应变传感的正应力电磁式二维偏转调节装置及方法
JP2002035696A (ja) 振動制御装置およびその駆動方法
US20020011754A1 (en) Magnetic bearing apparatus
CN102230509B (zh) 一种非接触式主动阻尼装置
CN114776756B (zh) 一种关于高精密仪器的主被动宽频隔振系统
CN116884886B (zh) 一种精密力位输出装置
JPH1113855A (ja) 磁気カップリング装置
CN210629376U (zh) 一种三自由度的微型电磁数字致动器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20091202

Termination date: 20130729