DE602004026736D1 - Positionierungseinrichtung, einrichtung und verfahren zum ausgleich der schwerkraft - Google Patents

Positionierungseinrichtung, einrichtung und verfahren zum ausgleich der schwerkraft

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5517431B2 (ja) * 2008-09-29 2014-06-11 キヤノン株式会社 光学装置および撮像装置
US20100188034A1 (en) * 2009-01-23 2010-07-29 Derek Young Trainable Robot and Method of Training
DE102011006992A1 (de) * 2011-04-07 2013-05-08 Kuka Roboter Gmbh Verfahren und Handhabungssystem zum automatisierten Bewegen eines schwerkraftkompensierten Lastkörpers
DE102013022533B3 (de) 2013-06-28 2019-07-11 Ferrobotics Compliant Robot Technology Gmbh Verfahren zum robotergestützten Stapeln von Gegenständen
DE102013106819B4 (de) 2013-06-28 2018-07-12 Ferrobotics Compliant Robot Technology Gmbh Verfahren zum robotergestützten Stapeln von Gegenständen
KR101944907B1 (ko) * 2014-12-25 2019-02-07 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 자동 물체 반송 방법 및 자동 물체 반송 시스템
CN114650751B (zh) 2019-10-28 2024-04-12 爱格升公司 用于提升力估计的系统和方法
CN114995525B (zh) * 2022-08-01 2022-12-13 上海隐冠半导体技术有限公司 运动台及蓄能状态调整方法

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3827333A (en) * 1973-06-29 1974-08-06 Ingersoll Milling Machine Co Gravity sag compensation system
US4591772A (en) * 1984-12-12 1986-05-27 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Load positioning system with gravity compensation
DE3662984D1 (en) * 1985-08-09 1989-06-01 Siemens Ag Device for compensating the influence of gravity on an electric motor-driven lifting and lowering element of a machine tool or a robot, and method for the operation of such a device
US5136227A (en) 1985-09-10 1992-08-04 Agency Of Industrial Science & Technology, Ministry Of International Trade & Industry Active gravity compensation device for force control system
JPS63168709A (ja) * 1987-01-06 1988-07-12 Fujitsu Ltd 電動機駆動制御回路
JPS63243544A (ja) * 1987-03-27 1988-10-11 Nkk Corp 動吸振器の制御装置
DE3823042A1 (de) * 1988-07-07 1990-01-11 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet
US5040613A (en) * 1990-04-27 1991-08-20 Sukup Manufacturing Company Counterbalanced sensing wand assembly
US5138800A (en) * 1991-04-30 1992-08-18 Compustrip Systems Ltd. Positioning apparatus for supporting and guiding a tool
JPH07115056A (ja) * 1993-10-15 1995-05-02 Canon Inc 縦型基板ステージ装置
EP0671614A1 (de) * 1994-03-07 1995-09-13 Kabushiki Kaisha Toshiba Vorrichtung zur Unterstützung und linearen Fortbewegung eines Stellgliedes
US7365513B1 (en) * 1994-04-01 2008-04-29 Nikon Corporation Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device
JPH07295649A (ja) * 1994-04-25 1995-11-10 Canon Inc ステージ制御装置
US5425237A (en) * 1994-05-13 1995-06-20 Cincinnati Milacron Inc. Counterbalance system
JP2964915B2 (ja) * 1995-04-28 1999-10-18 日本ビクター株式会社 レンズ駆動制御装置
TW316874B (de) * 1995-05-30 1997-10-01 Philips Electronics Nv
TW318255B (de) * 1995-05-30 1997-10-21 Philips Electronics Nv
US5812420A (en) * 1995-09-05 1998-09-22 Nikon Corporation Vibration-preventive apparatus and exposure apparatus
US5767648A (en) * 1996-04-19 1998-06-16 Massachusetts Institute Of Technology Base force/torque sensor apparatus for the precise control of manipulators with joint friction and a method of use thereof
JPH10141942A (ja) * 1996-11-08 1998-05-29 Ricoh Co Ltd 形状測定装置
JP3907252B2 (ja) * 1996-12-05 2007-04-18 キヤノン株式会社 露光装置およびデバイス製造方法ならびにステージ装置および原点出し方法
US6012216A (en) * 1997-04-30 2000-01-11 Ethicon, Inc. Stand alone swage apparatus
JPH11297613A (ja) * 1998-04-09 1999-10-29 Canon Inc ステージ装置およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法
US6355994B1 (en) * 1999-11-05 2002-03-12 Multibeam Systems, Inc. Precision stage
JP2001322045A (ja) * 2000-05-12 2001-11-20 Canon Inc ステージ制御装置
JP2003084087A (ja) * 2001-09-17 2003-03-19 Ricoh Co Ltd 縦型ステージの自重補償装置
EP1321822A1 (de) * 2001-12-21 2003-06-25 ASML Netherlands B.V. Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
ITBO20020012A1 (it) * 2002-01-11 2003-07-11 Consiglio Nazionale Ricerche Apparecchiatura per il rilevamento di radiazioni elettromagnetiche , in particolare per applicazioni radioastronomiche

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Publication number Publication date
CN1833208A (zh) 2006-09-13
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