JPH09171687A - 半導体メモリ装置のデータセンシング回路 - Google Patents

半導体メモリ装置のデータセンシング回路

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JPH09171687A
JPH09171687A JP8221566A JP22156696A JPH09171687A JP H09171687 A JPH09171687 A JP H09171687A JP 8221566 A JP8221566 A JP 8221566A JP 22156696 A JP22156696 A JP 22156696A JP H09171687 A JPH09171687 A JP H09171687A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 低電圧の動作電圧により動作する高集積半導
体メモリ装置のメモリセルに貯蔵されたデータを効率よ
くセンシングすること。 【解決手段】 データセンシング回路は、ビットライン
対とセンシングビットライン対とを連結するビットライ
ン分離ゲートを有する。ビットライン分離ゲートは、ワ
ードラインが活性化されて該当メモリセルのデータの電
荷がビットライン対及びセンシングビットライン対に共
有された後、オフされる。センシングビットライン対の
各々には昇圧用キャパシタがそれぞれ接続され、これら
はビットライン分離ゲートがオフされるときに昇圧動作
してセンシングビットライン対の各電圧を昇圧する。セ
ンシングビットライン対の間に接続されたセンスアンプ
は、昇圧動作が完了された後にセンシングビットライン
対の間の電圧差を感知・増幅し、この際、ビットライン
分離ゲートはセンシングビットライン対とビットライン
対とを連結して感知・増幅された電圧をメモリセルの復
元電圧として供給する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体メモリ装置の
データセンシング回路に係り、特に低電源電圧で動作す
る高集積半導体メモリ装置のメモリセルに貯蔵されたデ
ータを効率よくセンシングするデータセンシング回路に
関する。
【0002】
【従来の技術】半導体メモリ装置の高集積化に伴い、用
いられる電源電圧も低くなりつつある。高集積半導体メ
モリ装置では、MOSトランジスタの小型化により、M
OSトランジスタのゲート酸化膜の厚さが薄くなり、か
つ、配線幅も狭まる。このように、チップ内の極小型化
するMOSトランジスタを正常的に動作させるために
は、チップの動作電圧である電源電圧は低くならなけれ
ばならない。例えば、256Mb級のダイナミックRA
Mにおいては、チップの外部から約3.3Vレベルで印
加される外部電源電圧Vccがチップの内部電源電圧発
生回路で約1.5Vのレベルの内部電源電圧に立下が
り、この内部電源電圧はチップの電源電圧として用いら
れる。
【0003】前記のようにチップの動作電圧が低くな
り、MOSトランジスタの寸法が小さくなると、センス
アンプの電流駆動能力が劣化するので、メモリセルから
のデータ読出し及びメモリセルへのデータ書込み動作を
高速で具現することが困難である。かつ、チップの動作
電圧が低くなると、周知のように読出し動作によりメモ
リセルから放電された電荷量を復元させるためのリフレ
ッシュまたは復元に必要とされる充電電圧のレベルの不
安定化を引き起こす。したがって、半導体メモリ装置の
センスアンプの電流駆動能力が良好でなければ、メモリ
セルからのデータ読出し及びメモリセルへのデータ書込
みを良好に行えない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は低電源電圧の動作電圧でもセンスアンプの電流駆
動能力を向上させた半導体メモリ装置のデータセンシン
グ回路を提供するにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明による半導体メモリ装置のデータセンシング回
路は、ビットライン対と、センシングビットライン対
と、ビットライン分離クロックが第1電圧レベルを有す
るとき、前記ビットライン対と前記センシングビットラ
イン対とを連結するスイッチング手段と、前記ビットラ
イン対のうち少なくとも一つに接続され、該当ワードラ
インが活性化されると、貯蔵されたデータの電荷を前記
ビットライン対と共有する多数のメモリセルと、前記セ
ンシングビットライン対の各々に接続され、前記ビット
ライン分離クロックが第2電圧レベルを有するときに活
性化される昇圧制御クロックに応答して前記センシング
ビットライン対をそれぞれ所定のレベルの電位に昇圧す
る昇圧手段と、前記センシングビットライン対の間に接
続され、センスアンプ制御信号に応答して前記昇圧され
たセンシングビットライン対の電位差を感知・増幅し、
これを復元電圧として前記ビットライン対に伝送するセ
ンスアンプ手段とを含むことを特徴とする。
【0006】望ましい実施例によれば、前記昇圧手段
は、前記センシングビットライン対の各々に一側のノー
ドが接続され、他側の入力ノードに入力される前記昇圧
制御クロックに応答して前記センシングビットライン対
の各電圧を昇圧するキャパシタ対である。
【0007】前記ビットライン分離クロックは、前記昇
圧制御クロックが発生したのち、前記第1電圧レベルよ
り高い第3電圧レベルで前記スイッチング手段を駆動し
て前記センシングビットライン対の復元電圧を前記ビッ
トライン対に伝送する。
【0008】前記ビットライン分離クロックは所定の制
御回路により発生し、前記制御回路は、前記昇圧電圧を
電源電圧として所定の第1,第2及び第3制御信号を入
力として論理演算を行う論理手段と、前記論理手段の出
力に応答して電源電圧を前記ビットライン分離クロック
の前記第1電圧レベルとして出力する第1プルアップ手
段と、前記第3制御信号に応答して前記電源電圧より高
い昇圧電圧を前記ビットライン分離クロックの前記第3
電圧レベルとして出力する第2プルアップ手段と、前記
論理手段の出力及び前記第3制御信号に応答して接地電
圧を前記ビットライン分離クロックの第2電圧レベルと
して出力するプルダウン手段とを含むことを特徴とす
る。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき発明
の実施の形態を詳細に説明する。
【0010】図1は従来の半導体メモリ装置のデータセ
ンシング回路を示す詳細回路図であり、これは隣接する
ビットライン対BLi,BLBiと、BLj,BLBj
(ここで、BLBiとBLBjのi,jは自然数であ
り、末端の“B”はBARであり、BLBiとBLBj
はBLiとBLjの相補的な信号である)とにそれぞれ
接続されたメモリセルアレイ50,62が一つのセンス
アンプ56を共有するように構成された例を示してい
る。
【0011】図1を参照すると、相異なるワードライン
WLi、WLi+1、WLj及びWLj+1の活性化に
よって所定のレベルのデータをアクセスする多数のメモ
リセル12を含むメモリセルアレイ50,62がビット
ライン対BLi、BLBi、BLj及びBLBjにそれ
ぞれ接続されている。前記メモリセル12は、一つのN
MOSトランジスタ10とストレージキャパシタ8とか
ら構成され、前記NMOSトランジスタ10のゲートに
接続された該当ワードラインが“ハイ”に活性化される
とき、該当ビットライン対の電位状態によるデータ
“1”あるいは“0”を貯蔵する。
【0012】かつ、前記ビットラインBLiとBLBi
との間には等化回路52が接続され、前記等化回路52
は、前記ヒットライン対BLi,BLBiのそれぞれに
ソースが接続され、ドレインがビットラインプリチャー
ジ電圧VBLの入力されるNMOSトランジスタ16,
18と、前記ビットライン対BLiとBLBiとの間に
接続されたNMOSトランジスタ20とから構成され
る。かつ、前記NMOSトランジスタ16,18,20
のゲートは等化信号φEQiに接続される。前記のよう
に構成された等化回路52は、NMOSトランジスタ1
6,18,20のそれぞれのゲートに“ハイ”状態の等
化信号φEQiの入力時に前記ビットライン対BLi,
BLBiをプリチャージ及び等化する。そして、前記他
のビットラインBLjとBLBjとの間にも前記等化回
路52と同じ構成を有し、他の等化信号φEQiの入力
により動作する等化回路60が接続されている。
【0013】センスアンプ56が接続されているセンシ
ングビットライン対SBL,SBLBと前記ビットライ
ン対BLi,BLBiとの間にはビットライン分離ゲー
ト54が接続され、前記センシングビットライン対SB
L,SBLBと他のビットライン対BLj,BLBjと
の間には分離ゲート58が接続されている。前記ビット
ライン分離ゲート54,58のそれぞれは一対のNMO
Sトランジスタ22,24より構成される。前記ビット
ライン分離ゲート54,58内のNMOSトランジスタ
22,24は論理“ハイ”状態のビットライン分離クロ
ックφIOSi,φIOSjの入力によりそれぞれ“タ
ーンオン”されることにより、ビットライン対BLi,
BLBiとBLj,BLBjが前記センシングビットラ
イン対SBL,SBLBにそれぞれ選択的に接続され
る。この際、前記ビットライン分離クロックφIOS
i,φIOSjは同時に“ハイ”状態にならない。
【0014】前記センシングビットライン対SBLとS
BLBとの間に接続されたセンスアンプ56は、NMO
Sトランジスタ26,28より構成されたN型のセンス
アンプとPMOSトランジスタ32,34より構成され
たP型のセンスアンプとを含む。前記N型のセンスアン
プ内のNMOSトランジスタ26,28のソースの共通
接続ノードLABは、論理“ハイ”のN型のセンスアン
プ制御信号LANGの入力により駆動されるNMOSト
ランジスタ30のドレインに接続されており、前記NM
OSトランジスタ30のソースは接地電圧VSSに接続
されている。そして、P型のセンスアンプ内のPMOS
トランジスタ32,34のソースの共通接続ノードLA
は、論理“ロー”状態のP型のセンスアンプ制御信号L
APGの入力により駆動されるPMOSトランジスタ3
6のドレインに接続されており、前記PMOSトランジ
スタ36のソースは電源電圧VCCに接続されている。
【0015】前記N型のセンスアンプは、NMOSトラ
ンジスタ30の駆動によりノードLABに接地電圧VS
Sが供給されるときに動作して前記センシングビットラ
イン対SBL,SBLBの電位を感知・増幅する。この
際、レベルの低い一つのセンシングビットラインの電位
を接地レベルにプルダウンしてセンシングビットライン
SBLとSBLBとのレベル差を増幅する。そして、P
型のセンスアンプはP型のセンスアンプ制御信号LAP
Gの入力によりPMOSトランジスタ36が駆動されて
ノードLAの電圧レベルが電源電圧VCCのレベルに遷
移されるとき、センシングビットライン対SBL,SB
LBの電位を感知・増幅すると共に、前記センシングビ
ットライン対SBL,SBLBに復元電圧を印加する。
前記センスアンプ56により感知・増幅されたセンシン
グビットライン対SBL,SBLBの電位はコラム選択
ゲート31,35を介して入出力ライン対IO,IOB
に伝送される。前記コラム選択ゲート31,35はコラ
ムアドレス信号をデコーディングするコラムデコーダの
出力、つまり、コラム選択線CSLの活性化により“タ
ーンオン”される。
【0016】図2は図1の動作を簡略に説明するための
動作タイミング図である。
【0017】まず、図2を参照して図1の動作を述べる
と次のとおりである。
【0018】図2のように等化信号φEQi,φEQj
が“ハイ”状態で入力されると、等化回路52,60は
各々のビットライン対BLi,BLBiとBLj,BL
Bjの電位をヒットラインプリチャージ電圧VBLのレ
ベルにプリチャージすると共に、同一なレベルに等化す
る。このような状態において、ビットライン対BLi,
BLBiに接続されたメモリセルアレイ50内のメモリ
セル12に貯蔵されたデータを読出すために等化信号φ
EQiを“ロー”に遷移させると、等化回路52はディ
スエーブル(disable)される。すなわち、プリ
チャージ及び等化動作が止まる。このような状態でビッ
トライン分離クロックφISOiとφISOjが図2の
ように“ハイ”及び“ロー”に遷移されると、ビットラ
イン分離ゲート54内のNMOSトランジスタ22,2
4は“ターンオン”され、これにより、ビットライン対
BLi,BLBiとセンシングビットライン対SBL,
SBLBとが接続される。
【0019】前記のような状態でワードラインWLiが
図2のように“ハイ”状態に活性化されると、メモリセ
ル12内のNMOSトランジスタ10が“ターンオン”
される。前記NMOSトランジスタ10が“ターンオ
ン”されると、ストレージキャパシタ8に貯蔵されたデ
ータの電位が直ちにビットラインBLiに伝えられるこ
とにより、前記ビットライン対BLi,BLBiの電位
は図2のように導出される。
【0020】前記のようなビットライン対BLi,BL
Biの電位か導出された状態において、N型のセンスア
ンプ制御信号LANGとP型のセンスアンプ制御信号L
APGが図2のように“ハイ”と“ロー”に遷移される
と、NMOSトランジスタ30とPMOSトランジスタ
36はそれぞれ“ターンオン”される。この際、ノード
LABは接地電圧Vssのレベルにドライブされ、ノー
ドLAは電源電圧Vccのレベルにドライブされる。し
たがって、前記N型のセンスアンプとP型のセンスアン
プより構成されたセンスアンプ56は、ビットライン分
離ゲート54内のNMOSトランジスタ22,24を介
してセンシングビットライン対SBL,SBLBに導出
されたビットライン対BLi,BLBiの電位を、図2
のように感知・増幅する。図2のように感知・増幅され
たビットライン対BLi,BLBiの電位はコラム選択
ラインCSLの活性化に応答して“ターンオン”される
コラム選択ゲート31,35を介して入出力ライン対I
O,IOBに伝送される。このように動作するセンスア
ンプ56の電流駆動能力は上述したように半導体メモリ
装置の動作速度、半導体メモリ装置の動作電源電圧に極
めて密接に関係する。前記センスアンプ56内のN型の
センスアンプの電流駆動能力は、半導体メモリ装置の動
作時、NMOSトランジスタ26,28のトランスコン
ダクタンスGmにより下記の式1のように決められる。
【0021】
【数1】 前記式1におけるW及びLはNMOSトランジスタの幅
及び長さであり、Coxはゲート酸化膜によるキャパシタ
ンス、μnは電子の移動度、Vccは電源電圧、VTHN
NMOSトランジスタのスレショルド電圧である。
【0022】したがって、半導体メモリ装置の動作電源
電圧Vccが1.5V、NMOSトランジスタ22,2
4のスレショルド電圧VTHNが約0.65Vの場合、N
MOSトランジスタ22,24のトランスコンダクタン
スGmは、電源電圧Vccが3.3Vである場合の約1
/10に過ぎないため、メモリセルに充分な復元電圧を
供給できない問題が発生する。かつ、ビットラインプリ
チャージ電圧VBL(VBL=1/2・Vcc)がほぼ
センスアンプ内のMOSトランジスタのスレショルド電
圧VTHNであるとき、前記センスアンプ56が動作しな
い問題が発生する。したがって、図1のような構造の半
導体メモリ装置においては、低電圧動作が制限される問
題が生ずる。
【0023】このようなセンスアンプの電流駆動能力の
問題を解決するための技術が日本国の“大石司”等によ
り提案された。前記“大石司”等により提案された技術
は米国で1994年4月に発行された“IEEE JO
URNAL OF SOLID STATE CIRC
UIT VOL 29, NO 4.”のページ412
〜420にかけて詳細に記載されている。ここでは、半
導体の基板上においてセンスアンプのウェルを周辺回路
のウェルとは相違するように作り出し、半導体メモリ装
置の動作時に前記センスアンプのウェルバイアスを周辺
回路のウェルバイアスより高としてボディー効果を低減
することにより、センスアンプのNMOSトランジスタ
及びPMOSトランジスタのスレショルド電圧を立下げ
てセンスアンプの電流駆動能力を向上させる技術が開示
されている。
【0024】しかしながら、前記“大石司”等により提
示された従来の方法は、センスアンプの位置する半導体
基板のウェルを周辺回路のウェルとは相違するように作
り出さなければならないので、チップの面積が増える問
題を引き起こす。かつ、P型のセンスアンプとN型のセ
ンスアンプを構成するPMOSトランジスタとNMOS
トランジスタのスレショルド電圧を工程上において正確
に制御すべきであり、これにより、チップの収率を高め
ることがごく困難である問題がある。
【0025】したがって、本発明ではウェルバイアスを
用いず、従来の半導体メモリ装置のデータセンシング回
路を改良して低電源電圧の動作電圧でもセンスアンプの
電流駆動能力を向上させようとする。
【0026】以下、添付した図3及び図6を参照して本
発明による望ましい実施例を詳細に説明する。本発明の
実施例に関する図面において、上述した図面上の構成要
素と実質的に同一な機能を行う構成要素には上述した図
面上の参照符号及び参照番号を同じく付ける。
【0027】図3は発明による半導体メモリ装置のデー
タセンシング回路を示す詳細回路図である。
【0028】図3を参照すると、第1センシングビット
ラインSBLと第2センシングビットラインSBLBの
それぞれに一側のノードが接続され、他側のノードに入
力される昇圧制御クロックφBSに応答して前記センシ
ングビットライン対SBL,SBLBの電位を昇圧する
昇圧用キャパシタ対Cが、図1の従来技術の回路にさら
に接続されている。
【0029】図4は図3の動作を説明するための動作タ
イミング図である。
【0030】まず、図4の動作タイミング図を参照して
図3の動作を詳細に説明するために、ここではメモリセ
ルアレイ50のメモリセル12内のストレージキャパシ
タ8に貯蔵されたデータをセンシングする例を説明す
る。
【0031】図4に示したように、等化信号φEQiと
φEQjが“ハイ”状態として入力されると、等化回路
52,62の動作によりビットライン対BLi,BLB
iとBLj,BLBjの各ビットラインは、電源電圧の
1/2(VBL=(1/2)・Vcc)に設定されたビ
ットラインプリチャージ電圧VBLの電圧でプリチャー
ジされて同一なレベルに等化される。この際、ビットラ
イン分離クロックφISOiとφISOjが図4のよう
に初期に“ハイ”状態として入力されると、前記ビット
ライン対BLi,BLBiとBLi,BLBjのビット
ラインプリチャージ電圧VBLがビットライン分離ゲー
ト54,58内のNMOSトランジスタ22,24のチ
ャンネルを介してセンシングビットライン対SBL,S
BLBに伝えられる。したがって、前記センシングビッ
トライン対SBL,SBLBもそれぞれのビットライン
対BLi,BLBiとBLj,BLBjと同一な電圧レ
ベルでプリチャージされて等化される。
【0032】このような状態において、上述したように
メモリセルアレイ50内のワードラインWLiに接続さ
れたメモリセル12のデータをアクセスするための制御
信号が半導体メモリ装置の外部から入力されると、ビッ
トライン分離クロックφISOjが図4のように“ロ
ー”のレベルに遷移された後、等化信号φEQiが図4
のように“ロー”に遷移される。このような動作により
ビットライン対BLj,BLBjは前記センシングヒッ
トライン対SBL,SBLBから分離され、ビットライ
ン対BLj,BLBjは浮遊状態に遷移される。
【0033】ワードラインWLiが図4のように“ハ
イ”に遷移されて活性化されると、メモリセル12内の
NMOSトランジスタ10が“ターンオン”される。前
記NMOSトランジスタ10が“ターンオン”される
と、ストレージキャパシタ8に貯蔵されたデータの電位
がビットラインBLiに伝えられることにより、前記ビ
ットライン対BLi,BLBiとセンシングビットライ
ン対SBL,SBLBの寄生キャパシタンスとの電荷分
配が行われて、図4のようにビットライン対BLi,B
LBiとセンシングビットライン対SBL,SBLBの
電位差が導出される。この際、ワードラインWLiが
“ハイ”状態に活性化されると、ワードラインWLiと
BLiとの結合キャパシタンス、すなわち、NMOSト
ランジスタ10のゲートとドレインとのオーバーラップ
キャパシタンスがワードラインWLiと相補ビットライ
ンBLBiとの結合キャパシタンスより大きいので、ビ
ットラインBLi側が相補ビットラインBLBiより雑
音を少なく受ける。このようなビットラインの雑音はセ
ンシングビットライン対SBL,SBLBにそれぞれ接
続されたキャパシタCにより雑音の影響ほど補償され
る。
【0034】前記のような状態において、本発明による
ビットライン分離クロックφISOiは、図4のように
“ロー”状態に遷移され、これに同期して昇圧制御クロ
ックφBSが“ハイ”状態に遷移される。このように前
記ビットライン分離クロックφISOiを“ロー”に遷
移させることは、センシングビットラインSBLとSB
LBに導出された各電位を容易に昇圧するためである。
前記ビットライン分離クロックφISOiが“ロー”に
なると、ビットライン分離ゲート54内のNMOSトラ
ンジスタ22,24が“ターンオフ”されてビットライ
ン対BLi,BLBiとセンシングビットライン対SB
L,SBLBとの連結が分離される。
【0035】一方、前記センシングビットライン対SB
L,SBLBの各々に一側の入力ノードが接続されたキ
ャパシタCの他側の入力ノードに入力され、前記図4の
ように“ハイ”状態に遷移される昇圧制御クロックφB
Sに応答して前記センシングビットラインSBL及びS
BLBの電圧を図4のように昇圧する。前記センシング
ビットラインSBL及びSBLBの各昇圧電圧をSBV
とすると、これは下記の式2のようになる。
【0036】
【数2】 但し、前記式2のCBLはビットラインBLi、BLBi
の寄生キャパシタンスであり、Cは各ビットラインBL
i、BLBiに接続されたキャパシタである。前記のよ
うにセンシングビットライン対SBL,SBLBの導出
電位を式2のように昇圧した状態でセンスアンプ56を
動作させることにより、前記センスアンプ56のトラン
スコンダクタンスGmの増加比をGmiとすると、これ
は下記の式3のように向上される。すなわち、センスア
ンプ56の電流駆動能力が良好になる。
【0037】
【数3】 前記式3において、CBLはビットラインBLi,BLB
iの寄生キャパシタンスであり、Cは各ビットラインB
Li,BLBiに接続されたキャパシタであり、Vcc
は電源電圧、VTHNはNMOSトランジスタのスレショ
ルド電圧である。
【0038】この際、前記センシングビットライン対S
BL,SBLBの昇圧電圧はセンスアンプ56内のN型
のセンスアンプを構成するNMOSトランジスタ26,
28のスレショルド電圧VTHNより低い。上述したよう
に、センシングビットライン対SBL,SBLBの電位
が昇圧された状態で、N型のセンスアンプ制御信号LA
NGとP型のセンスアンプ制御信号LAPGがそれぞれ
“ハイ”と“ロー”に遷移されると、N型のセンスアン
プのノードLABとP型のセンスアンプのノードLAへ
はそれぞれ接地電圧VSSと電源電圧VCCが供給され
る。したがって、前記センスアンプ56は、図4のよう
に昇圧されたセンシングビットラインSBL,SBLB
の電位差を図4のように充分に導出する。
【0039】このように、センシングビットライン対S
BL,SBLBの電位差が充分に導出された後、ビット
ライン分離クロックφISOiは電源電圧Vccより高
い昇圧電圧Vppのレベルを有する“ハイ”信号に遷移
される。この際、ビットライン分離ゲート54内のNM
OSトランジスタ22,24は前記昇圧電圧Vppのレ
ベルに上昇されたビットライン分離クロックφISOi
の入力にそれぞれ応答して“ターンオン”されることに
より、電源電圧Vccのレベルに充分に導出されたセン
シングビットライン対SBL,SBLBの電圧の大部分
がビットライン対BLi,BLBiに伝えられる。した
がって、本発明は、ビットライン対BLi,BLBiか
らセンシングビットライン対SBL,SBLBを分離し
た状態で、上述した式2のようにセンシングビットライ
ンSBL,SBLBの電圧を昇圧させた後、センスアン
プ56を動作させることにより、センスアンプ56のト
ランスコンダクタンスを式3のように増やして電流駆動
能力を向上させることができる。
【0040】例えば、半導体メモリ装置の動作電源電圧
VCCが1.5V、センスアンプ56内のNMOSトラ
ンジスタのスレショルド電圧VTHNが0.65Vである
とき、本発明によるセンスアンプのトランスコンダクタ
ンスGmの増加比Gmiを前記式3に基づいて計算する
と、下記の式4のように約4倍程度に増える。
【0041】
【数4】 但し、前記式4はビットライン寄生キャパシタンスCBL
をキャパシタCの1/4値に仮定して計算してものであ
る。Cは各ビットラインBLi,BLBiに接続された
キャパシタである。
【0042】かつ、本発明においては、センシングビッ
トライン対SBL,SBLBの電圧をセンスアンプ56
が動作する前に所定のレベルの電圧に昇圧することによ
り、ビットラインプリチャージVBL(VBL=1/2
・Vcc)≒VTHNの場合にも前記センスアンプ56は
正常的に動作する。
【0043】したがって、図3のような構成を有する回
路は、センシングビットライン対SBL,SBLBにそ
れぞれ昇圧用キャパシタCを接続し、これを適当な時期
に制御してセンシングビットライン対SBL,SBLB
の電圧を昇圧し、ワードラインとビットラインとのアン
バランスを補償することにより、センスアンプの電流駆
動能力を向上させ得る。
【0044】前記実施例の動作の説明においては、ビッ
トラインBLiに接続されたメモリセルをアクセスする
場合を説明したが、相補ビットラインBLBiに接続さ
れたメモリセルをアクセスする場合も同じく動作する。
【0045】図5は本発明によるビットライン分離ゲー
ト制御回路の回路図であり、ここには、図3のビットラ
イン分離制御クロックφISOi,φISOjを発生す
る構成が示されている。この回路の構成を用いてビット
ライン分離制御クロックφISOi及びφISOjをそ
れぞれ発生させるためには、二つの回路を必要とする。
図5における括弧内の符号は他の回路があるとき、該当
構成素子に入力及び出力される信号の状態を定義する。
【0046】図6は図5の構成による動作タイミング図
である。
【0047】図6のタイミング図を参照して図5の動作
を説明する。下記ではビットライン分離クロックφIS
Oiを活性化させ、φISOjをディスエーブルさせる
場合の一例を説明する。
【0048】ブロック選択信号φBLSidbが“ハ
イ”に入力される状態において、ブロック選択信号φB
LSibが図6のように“ロー”に遷移されると、ビッ
トライン分離クロックφISOjが先にディスエーブル
される。前記のような状態において、ブロック選択信号
φBLSibpが“ロー”に遷移されると、NANDゲ
ートの出力ノードのレベルが昇圧電圧VPPのレベルに
遷移される。したがって、電源電圧VCCと接地との間
に各チャンネルが直列に接続されたPMOSトランジス
タMP1及び、NMOSトランジスタMN1,MN2は
それぞれ“ターンオフ、ターンオン、ターンオン”され
て、電源電圧VCCのレベルに保持された前記ビットラ
イン分離クロックφISOiは、図6のように“ロー”
のレベルに遷移される。このような状態で、ブロック選
択信号φBLSidbが図6のように“ロー”になる
と、PMOSトランジスタMP1,MP2はそれぞれ
“ターンオン”,“ターンオフ”されてビットライン分
離クロックφISOiが昇圧電圧VPPのレベルに出力
される。
【0049】前記のように動作するビットライン分離ゲ
ートの制御回路はブロック選択信号の入力状態により、
図6に示したように電源電圧VCCレベルの信号、接地
電圧VSSレベルの信号及び昇圧電圧VPPレベルの信
号を選択的に発生して図3に示したビットライン分離ゲ
ート54,58を駆動する。
【0050】
【発明の効果】上述したように、本発明は、センシング
ビットラインに電荷分配された電圧を昇圧した後、感知
・増幅することにより、ごく低いレベルの動作電源電圧
により動作するセンスアンプの電流駆動能力を向上させ
ることができる。かつ、ビットラインとワードラインと
のキャパシタンスの差によるアンバランスを補償するこ
とにより、雑音からの影響を低減する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 半導体メモリ装置における従来のデータセン
シング回路を示す詳細回路図である。
【図2】 図1の従来のデータセンシング回路のセンシ
ング動作タイミング図である。
【図3】 半導体メモリ装置における本発明によるデー
タセンシング回路を示す詳細回路図である。
【図4】 図3の本発明によるデータセンシング回路の
センシング動作タイミング図である。
【図5】 本発明によるビットライン分離ゲート制御回
路を示す回路図である。
【図6】 図5の本発明によるビットライン分離ゲート
制御回路の動作タイミング図である。
【符号の説明】
10 NMOSトランジスタ 16,18,20 NMOSトランジスタ 22,24 NMOSトランジスタ 26,28 NMOSトランジスタ 30 NMOSトランジスタ 32,34 PMOSトランジスタ 31,35 コラム選択ゲート 36 PMOSトランジスタ 50,62 メモリセルアレイ 52 等化回路 54,58 ビットライン分離ゲート 56 センスアンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 沈 載勳 大韓民国 京畿道 軍浦市 宮内洞 319 番地 白頭漢陽アパート 987棟 1302號

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ビットライン対と、 センシングビットライン対と、 ビットライン分離クロックが第1電圧レベルを有すると
    き、前記ビットライン対と前記センシングビットライン
    対とを連結するスイッチング手段と、 前記ビットライン対のうち少なくとも一つに接続され、
    該当ワードラインが活性化されると、貯蔵されたデータ
    の電荷を前記ビットライン対と共有する多数のメモリセ
    ルと、 前記センシングビットライン対の各々に接続され、前記
    ビットライン分離クロックが第2電圧レベルを有すると
    きに活性化される昇圧制御クロックに応答して前記セン
    シングビットライン対をそれぞれ所定のレベルの電位に
    昇圧する昇圧手段と、 前記センシングビットライン対の間に接続され、センス
    アンプ制御信号に応答して前記昇圧されたセンシングビ
    ットライン対の電位差を感知・増幅し、これを復元電圧
    として前記ビットライン対に伝送するセンスアンプ手段
    とを含むことを特徴とする半導体メモリ装置のデータセ
    ンシング回路。
  2. 【請求項2】 前記昇圧手段は、前記センシングビット
    ライン対の各々に一側のノードが接続され、他側の入力
    ノードに入力される前記昇圧制御クロックに応答して前
    記センシングビットライン対の各電圧を昇圧するキャパ
    シタ対であることを特徴とする請求項1に記載の半導体
    メモリ装置のデータセンシング回路。
  3. 【請求項3】 前記スイッチング手段は、前記ビットラ
    イン対と前記センシングビットライン対との間にソース
    とドレインがそれぞれ接続され、ゲートに接続された前
    記ビットライン分離クロックの電圧レベルに応じてスイ
    ッチングするNMOSトランジスタ対から構成されるこ
    とを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置のデ
    ータセンシング回路。
  4. 【請求項4】 前記ビットライン分離クロックは、前記
    昇圧制御クロックが発生したのち、前記第1電圧レベル
    より高い第3電圧レベルで前記スイッチング手段を駆動
    して前記センシングビットライン対の復元電圧を前記ビ
    ットライン対に伝送することを特徴とする請求項1に記
    載の半導体メモリ装置のデータセンシング回路。
  5. 【請求項5】 前記スイッチング手段の前記ビットライ
    ン分離クロックは所定の制御回路により発生し、 前記制御回路は、前記昇圧電圧を電源電圧として所定の
    第1,第2及び第3制御信号を入力として論理演算を行
    う論理手段と、 前記論理手段の出力に応答して電源電圧を前記ビットラ
    イン分離クロックの前記第1電圧レベルとして出力する
    第1プルアップ手段と、 前記第3制御信号に応答して前記電源電圧より高い昇圧
    電圧を前記ビットライン分離クロックの前記第3電圧レ
    ベルとして出力する第2プルアップ手段と、 前記論理手段の出力及び前記第3制御信号に応答して接
    地電圧を前記ビットライン分離クロックの第2電圧レベ
    ルとして出力するプルダウン手段とを含むことを特徴と
    する請求項1または請求項4に記載の半導体メモリ装置
    のデータセンシング回路。
  6. 【請求項6】 前記ビットライン対の間に接続され、等
    化制御信号に応答して前記ビットライン対を所定のレベ
    ルの電圧にプリチャージ及び等化する等化手段をさらに
    含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装
    置のデータセンシング回路。
  7. 【請求項7】 センシングビットライン対と、 ビットライン対のうち少なくとも一つのビットラインに
    接続され、該当ワードラインが活性化されるときに貯蔵
    されたデータの電荷を前記ビットライン対と共有する多
    数のメモリセルに接続された第1,第2ビットライン対
    と、 前記第1ビットライン対と前記センシングビットライン
    対との間に接続され、第1ビットライン分離クロックが
    第1電圧レベルを有するとき、前記第1ビットライン対
    と前記センシングビットライン対とを連結する第1スイ
    ッチング手段と、 前記第2ビットライン対と前記センシングビットライン
    対との間に接続され、第2ビットライン分離クロックが
    第1電圧レベルを有するとき、前記第2ビットライン対
    と前記センシングビットライン対とを連結する第2スイ
    ッチング手段と、 前記センシングビットライン対にそれぞれ接続され、前
    記第1,第2ビットライン分離クロックが第2電圧のレ
    ベルを有するときに活性化される昇圧制御クロックに応
    答して前記センシングビットライン対をそれぞれ所定の
    レベルの電位に昇圧する昇圧手段と、 前記センシングビットライン対の間に接続され、センス
    アンプ制御信号に応答して前記昇圧されたセンシングビ
    ットライン対の電位差を感知・増幅し、これを復元電圧
    として前記ビットライン対に伝送するセンスアンプ手段
    とを含むことを特徴とする半導体メモリ装置のデータセ
    ンシング回路。
  8. 【請求項8】 前記昇圧手段は、前記センシングビット
    ライン対の各々に一側のノードが接続され、他側の入力
    ノードに入力される昇圧制御クロックに応答して前記セ
    ンシングビットライン対の各電圧を昇圧するキャパシタ
    対から構成されることを特徴とする請求項7に記載の半
    導体メモリ装置のデータセンシング回路。
  9. 【請求項9】 前記第1,第2ビットライン分離クロッ
    クは、前記昇圧制御クロックが発生した後、前記第1電
    圧レベルより高い第3電圧レベルで前記第1,第2スイ
    ッチング手段を駆動して前記センシングビットライン対
    の復元電圧を前記第1,第2ビットライン対にそれぞれ
    伝送することを特徴とする請求項7に記載の半導体メモ
    リ装置のデータセンシング回路。
  10. 【請求項10】 前記第1,第2ビットライン分離クロ
    ックはそれぞれ前記第1,第2スイッチング手段の制御
    回路により発生し、 前記各制御回路は、前記昇圧電圧を電源電圧として第
    1、第2及び第3制御信号を入力として論理演算を行う
    論理手段と、 前記論理手段の出力に応答して電源電圧を前記ビットラ
    イン分離クロックの前記第1電圧レベルとして出力する
    第1プルアップ手段と、 前記第3制御信号に応答して前記電源電圧より高い昇圧
    電圧を前記ビットライン分離クロックの前記第3電圧レ
    ベルとして出力する第2プルアップ手段と、 前記論理手段の出力及び前記第3制御信号に応答して接
    地電圧を前記ビットライン分離クロックの第2電圧レベ
    ルとして出力するプルダウン手段とを含むことを特徴と
    する請求項7に記載の半導体メモリ装置のデータセンシ
    ング回路。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005536827A (ja) * 2002-08-29 2005-12-02 マイクロン テクノロジー,インコーポレイティド Dramセンス増幅器のバイアスセンシング
JP2008269785A (ja) * 2008-07-04 2008-11-06 Renesas Technology Corp 半導体記憶装置
KR20210149194A (ko) * 2017-05-09 2021-12-08 마이크론 테크놀로지, 인크. 감지 증폭기 신호 부스트

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100207497B1 (ko) * 1996-08-30 1999-07-15 윤종용 반도체장치의 신호 발생회로
JP3130807B2 (ja) * 1996-10-29 2001-01-31 日本電気アイシーマイコンシステム株式会社 半導体記憶装置
US5877993A (en) * 1997-05-13 1999-03-02 Micron Technology, Inc. Memory circuit voltage regulator
US5835433A (en) * 1997-06-09 1998-11-10 Micron Technology, Inc. Floating isolation gate from DRAM sensing
KR100224702B1 (ko) * 1997-06-17 1999-10-15 윤종용 기준 셀 커패시터로 선형 커패시터를 사용하는 강유전체 메모리소자, 그에 저장된 정보를 읽는 방법 및 그 제조방법
CA2217359C (en) * 1997-09-30 2005-04-12 Mosaid Technologies Incorporated Method for multilevel dram sensing
US5903502A (en) * 1997-11-25 1999-05-11 Micron Technology, Inc. Variable equilibrate voltage circuit for paired digit lines
KR100261219B1 (ko) * 1997-12-08 2000-07-01 윤종용 격리게이트들이 독립적으로 동작되는 반도체 메모리장치
US6205076B1 (en) * 1998-03-27 2001-03-20 Fujitsu Limited Destructive read type memory circuit, restoring circuit for the same and sense amplifier
KR100305031B1 (ko) * 1998-05-30 2001-11-22 윤종용 다이나믹 랜덤 액세스 메모리의 감지 증폭 블록의 레이 아웃
US6033945A (en) * 1998-06-03 2000-03-07 G-Link Technology Multiple equilibration circuits for a single bit line
KR100284742B1 (ko) 1998-12-28 2001-04-02 윤종용 입출력 센스앰프의 개수가 최소화된 메모리장치
KR100390983B1 (ko) * 1999-06-30 2003-07-12 주식회사 하이닉스반도체 반도체 메모리 소자 및 그의 제어방법
JP3983969B2 (ja) * 2000-03-08 2007-09-26 株式会社東芝 不揮発性半導体記憶装置
JP2001283592A (ja) * 2000-03-30 2001-10-12 Nec Corp 半導体記憶装置およびその駆動方法
FR2810782B1 (fr) * 2000-06-26 2002-10-04 St Microelectronics Sa Procede de commande d'un acces en lesture d'une memoire vive dynamique et memoire correspondante
KR100413065B1 (ko) * 2001-01-04 2003-12-31 삼성전자주식회사 반도체 메모리 장치의 비트 라인 부스팅 커패시터의 배치구조
US6909659B2 (en) * 2001-08-30 2005-06-21 Micron Technology, Inc. Zero power chip standby mode
JP4149170B2 (ja) * 2002-01-22 2008-09-10 株式会社ルネサステクノロジ 半導体記憶装置
US6795361B2 (en) * 2002-05-06 2004-09-21 Micron Technology, Inc. Low power consumption memory device having row-to-column short
US6862208B2 (en) * 2003-04-11 2005-03-01 Freescale Semiconductor, Inc. Memory device with sense amplifier and self-timed latch
DE10322544B3 (de) * 2003-05-20 2004-08-26 Infineon Technologies Ag DRAM-Speicherschaltung
KR100634165B1 (ko) * 2003-06-17 2006-10-16 삼성전자주식회사 칩 면적의 증가없이 입출력 라인들의 수를 증가시킬 수있는 반도체 메모리 장치
US7313041B1 (en) 2003-06-23 2007-12-25 Cypress Semiconductor Corporation Sense amplifier circuit and method
JP4304697B2 (ja) * 2003-07-30 2009-07-29 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション ダイナミック半導体記憶装置及びその動作方法
KR100558571B1 (ko) * 2004-03-03 2006-03-13 삼성전자주식회사 반도체 메모리 장치의 전류 센스앰프 회로
US7616513B1 (en) 2004-10-29 2009-11-10 Cypress Semiconductor Corporation Memory device, current sense amplifier, and method of operating the same
US7956641B1 (en) 2005-04-28 2011-06-07 Cypress Semiconductor Corporation Low voltage interface circuit
TW200721163A (en) * 2005-09-23 2007-06-01 Zmos Technology Inc Low power memory control circuits and methods
KR20090119143A (ko) * 2008-05-15 2009-11-19 삼성전자주식회사 비트라인 센스 앰프, 이를 포함하는 메모리 코어 및 반도체메모리 장치
KR101068340B1 (ko) * 2010-05-28 2011-09-28 주식회사 하이닉스반도체 집적 회로 및 반도체 메모리 장치
KR102072407B1 (ko) * 2013-05-03 2020-02-03 삼성전자 주식회사 메모리 장치 및 그 구동 방법
US9275702B2 (en) * 2013-11-29 2016-03-01 The Regents Of The University Of Michigan Memory circuitry including read voltage boost
KR20160069147A (ko) * 2014-12-08 2016-06-16 에스케이하이닉스 주식회사 데이터 감지 증폭기 및 이를 포함하는 메모리 장치
KR20160119490A (ko) * 2015-04-06 2016-10-14 에스케이하이닉스 주식회사 메모리 장치 및 이의 동작 방법
KR102507170B1 (ko) * 2016-02-29 2023-03-09 에스케이하이닉스 주식회사 센스 앰프 및 이를 포함하는 반도체 장치의 입/출력 회로
US11495284B2 (en) 2020-07-17 2022-11-08 Samsung Electronics Co., Ltd. Memory device including bitline sense amplifier and operating method thereof

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62114190A (ja) * 1985-11-13 1987-05-25 Mitsubishi Electric Corp 半導体記憶装置
EP0271718B1 (de) * 1986-11-18 1992-03-04 Siemens Aktiengesellschaft Digitalverstärkeranordnung in integrierten Schaltungen

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005536827A (ja) * 2002-08-29 2005-12-02 マイクロン テクノロジー,インコーポレイティド Dramセンス増幅器のバイアスセンシング
US8767496B2 (en) 2002-08-29 2014-07-01 Micron Technology, Inc. Bias sensing in DRAM sense amplifiers through voltage-coupling/decoupling device
US9633714B2 (en) 2002-08-29 2017-04-25 Micron Technology, Inc. Methods for bias sensing in DRAM sense amplifiers through voltage-coupling/decoupling devices
JP2008269785A (ja) * 2008-07-04 2008-11-06 Renesas Technology Corp 半導体記憶装置
KR20210149194A (ko) * 2017-05-09 2021-12-08 마이크론 테크놀로지, 인크. 감지 증폭기 신호 부스트

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