JPH09100868A - 防振支持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】大出力可能な大型で高価な装置としなくても、
大振幅入力等を十分に低減できるようにする。 【解決手段】外筒７及びアクチュエータケース８のかし
め止め部分に断面長方形のリング材１１と、弾性部材と
しての板バネ１２と、リング状の支持部材１３とが重ね
合わされた状態で挟み込む。これらのうち、板バネ１２
は、中央に開口部が形成された円形の板バネであり、そ
の開口部側から外周側に向かって放射状に延びる複数の
スリットが形成されていて、これにより、各スリット間
に、放射状に延びる略長方形の複数の板バネ部が形成さ
れている。そして、板バネ１２は、その外周側がリング
材１１及び支持部材１３間に挟み込まれることにより、
アクチュエータケース８側に固定され、板バネ１２の各
板バネ部の内端側には、鉄等の磁化可能な材料製の円板
からなる可動板１４が、アクチュエータケース８の開口
側を覆うように保持されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば車両のエ
ンジン等のように周期的な振動を発する振動体を車体等
の支持体に防振しつつ支持する装置に関し、特に、振動
体及び支持体間に介在する支持弾性体によって流体室を
画成し、その流体室内の隔壁の一部を形成する可動部材
を電磁アクチュエータの磁力によって変位させることに
より前記流体室の容積を変化させ、もって能動的な支持
力を発生させる形式の防振支持装置において、大出力可
能な大型で高価な装置としなくても、大振幅入力等を十
分に低減できるようにしたものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に車両のパワーユニットを支持する
ために用いられる防振支持装置であるエンジンマウント
には、主として、アイドル振動やこもり音振動及び加速
時騒音振動等に対して良好な防振機能が発揮されること
が要求されるが、これら各種の振動のうち、２０〜３０
Hz程度の比較的大振幅の振動であるアイドル振動を低減
するために防振支持装置に要求される特性は、高動バネ
定数で且つ高減衰であるのに対し、８０〜８００Hz程度
の比較的小・中振幅の振動であるこもり音振動・加速時
騒音振動を低減するために防振支持装置に要求される特
性は、低動バネ定数で且つ低減衰である。従って、通常
の弾性体のみからなるエンジンマウントや、従来の液体
封入式のエンジンマウントでは、全ての振動を防振する
ことは困難である。

【０００３】そこで、例えば特開平３−２４３３８号公
報に開示されるように、能動的な支持力を発生可能な液
体封入式の防振支持装置が従来から存在する。即ち、こ
の公報に記載された防振支持装置は、振動体及び支持体
間に介在する支持弾性体と、この支持弾性体によって画
成された流体室とを有し、その流体室には流体を封入す
る一方、流体室の容積を変動可能に可動板を弾性体に支
持させて配設し、そして、その可動板を、永久磁石及び
電磁石からなる電磁アクチュエータによって適宜変位さ
せて流体室の容積を変動させ、支持弾性体を拡張方向に
弾性変形させて、防振支持装置に伝達される振動を相殺
し得る制御力を発生させていた。つまり、可動板は、自
身を弾性支持する弾性体の支持力と、永久磁石による磁
力とが釣り合う所定の中立位置まで電磁アクチュエータ
側に引き寄せられるが、電磁石が発生する磁力を適宜調
整すれば可動板に付与される磁力が増減するから、その
可動板と電磁アクチュエータとの間の隙間は可能な範囲
で任意の値に変化することができ、流体室の容積を変動
させることができるのである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報に開示されたような従来の装置にあっては、可動板を
リング形状の板バネによって弾性支持するようになって
いたため、その板バネの単位板厚に対するバネ剛性が高
くなり易く、板バネの弾性変形領域が狭いから、制御変
位に比例する可動板の変位量を大きくし難く、仮に可動
板の変形領域を大きくするために板バネの板厚を薄くし
てしまうとその耐久性が低下してしまうという不具合が
あった。従って、従来の防振支持装置では、大出力を得
るためには装置自体を大型化しなければならず、高価格
化を招くばかりか、スペース上の制約の大きい車両にと
っては搭載自体が困難になってしまう。この結果、従来
の防振支持装置にあっては、防振支持装置への振動入力
が大きいディーゼルエンジンや大排気量ガソリンエンジ
ン等を支持する場合に、十分な防振特性を発揮すること
が困難であった。

【０００５】本発明は、このような従来の防振支持装置
が有する未解決の課題に着目してなされたものであっ
て、大出力可能な大型で高価な装置としなくても、大振
幅入力等を十分に低減できる防振支持装置を提供するこ
とを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明は、周期的な振動を発する振動
体及びこれを支持する支持体間に介在する支持弾性体
と、この支持弾性体によって画成された流体室と、この
流体室内に封入された流体と、前記流体室の隔壁の一部
を形成し且つ磁化可能な材料からなる可動部材と、この
可動部材を前記流体室の容積を変化させる方向に変位可
能に弾性支持する弾性部材と、前記可動部材を前記方向
に変位させる磁力を発生する電磁アクチュエータと、を
備えた防振支持装置において、前記弾性部材を中央に開
口部を有する円形の板バネとするとともに、前記板バネ
に前記開口部側から外周側に向かって放射状に延びる複
数のスリットを形成し、そして、前記板バネの内周側で
前記可動部材を保持し、前記板バネの外周側を前記電磁
アクチュエータを保持する保持部材側に支持させたもの
である。

【０００７】また、上記目的を達成するために、請求項
２に係る発明は、周期的な振動を発する振動体及びこれ
を支持する支持体間に介在する支持弾性体と、この支持
弾性体によって画成された流体室と、この流体室内に封
入された流体と、前記流体室の隔壁の一部を形成し且つ
磁化可能な材料からなる可動部材と、この可動部材を前
記流体室の容積を変化させる方向に変位可能に弾性支持
する弾性部材と、前記可動部材を前記方向に変位させる
磁力を発生する電磁アクチュエータと、を備えた防振支
持装置において、前記弾性部材を円形の板バネとすると
ともに、前記板バネに外周側から中央部に向かって延び
る複数のスリットを形成し、そして、前記板バネの中央
部で前記可動部材を保持し、前記板バネの外周側を前記
電磁アクチュエータを保持する保持部材側に支持させ
た。

【０００８】そして、上記目的を達成するために、請求
項３に係る発明は、周期的な振動を発する振動体及びこ
れを支持する支持体間に介在する支持弾性体と、この支
持弾性体によって画成された流体室と、この流体室内に
封入された流体と、前記流体室の隔壁の一部を形成し且
つ磁化可能な材料からなる可動部材と、この可動部材を
前記流体室の容積を変化させる方向に変位可能に弾性支
持する弾性部材と、前記可動部材を前記方向に変位させ
る磁力を発生する電磁アクチュエータと、を備えた防振
支持装置において、前記弾性部材を、一端側が前記可動
部材側に結合され且つ他端側が前記電磁アクチュエータ
を保持する保持部材側に支持された複数の板バネとし
た。

【０００９】また、請求項４に係る発明は、上記請求項
１〜３に係る発明である防振支持装置において、前記可
動部材側及び前記保持部材側の少なくとも一方に、前記
可動部材が前記電磁アクチュエータ側に近づくに従って
前記板バネとの接触面積が大きくなる支持面を有する支
持部材を設けた。一方、請求項５に係る発明は、上記請
求項１〜３に係る発明である防振支持装置において、前
記可動部材及び前記保持部材の少なくとも一方に、前記
可動部材が前記電磁アクチュエータ側に近づくに従って
前記板バネとの接触面積が大きくなる支持面を形成し
た。

【００１０】そして、請求項６に係る発明は、上記請求
項１〜５に係る発明である防振支持装置において、前記
弾性部材の変形量とバネ定数との関係を、前記可動部材
が前記電磁アクチュエータに近づくに従って前記バネ定
数が大きくなる非線形特性とした。さらに、請求項７に
係る発明は、上記請求項１〜５に係る発明である防振支
持装置において、前記弾性部材の変形量とバネ定数との
関係を、前記可動部材が前記電磁アクチュエータに近づ
くに従って前記バネ定数が段階的に大きくなる特性とし
た。

【００１１】また、請求項８に係る発明は、上記請求項
１〜７に係る発明である防振支持装置において、前記可
動部材を前記電磁アクチュエータに接触する位置まで変
位させた場合に前記弾性部材が発生するバネ力を、前記
可動部材が前記電磁アクチュエータに接触した場合に受
ける吸引力よりも大きくした。そして、請求項９に係る
発明は、上記請求項１〜８に係る発明である防振支持装
置において、前記弾性部材の変形量とバネ定数との関係
を可変とする特性可変手段を設けた。

【００１２】さらに、請求項１０に係る発明は、上記請
求項９に係る発明である防振支持装置において、前記特
性可変手段を、圧電素子を含んで構成した。これに対
し、請求項１１に係る発明は、上記請求項９に係る発明
である防振支持装置において、前記特性可変手段を、磁
歪素子を含んで構成した。また、請求項１２に係る発明
は、上記請求項１〜１１に係る発明である防振支持装置
において、オリフィスを介して前記流体室に連通する容
積可変の副流体室を設けるとともに、前記流体室，前記
オリフィス及び前記副流体室内に流体を封入した。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。図１乃至図５は本発明の第１の
実施の形態を示す図であり、この実施の形態は、本発明
に係る防振支持装置を、エンジンから車体に伝達される
振動を能動的に低減する所謂アクティブエンジンマウン
トに適用したものである。なお、図１はエンジンマウン
ト１の全体構成を示す断面図、図２はこのエンジンマウ
ント１を実際に搭載した状態を示す全体構成図である。

【００１４】先ず、本実施の形態の構成を説明する。即
ち、このエンジンマウント１は、振動体としてのエンジ
ン３０への取付け用の取付けボルト２ａを上部に一体に
備え且つ内側が空洞で下部が開口した取付部材２を有
し、この取付部材２の下部外面には内筒３の上端部がか
しめ止めされている。

【００１５】この内筒３の内側には、取付部材２及び内
筒３の内側の空間を上下に二分するように、それら取付
部材２及び内筒３のかしめ止め部分の下側に挟み込まれ
てダイアフラム４が配設されていて、このダイアフラム
４によって二分された空間のうち、ダイアフラム４の上
側の空間は大気圧に通じ、ダイアフラム４の下側の空間
にはオリフィス構成体５が配設されている。

【００１６】一方、内筒３の外周面には、内周面及び外
周面の軸方向位置が内周側が高くなるように成形されて
いる円筒状の支持弾性体６の内周面が加硫接着されてい
て、その支持弾性体６の外周面は外筒７の内周面に加硫
接着されている。そして、外筒７の下端部は、上面側が
開口した保持部材としての円筒形のアクチュエータケー
ス８の上部のフランジ部８Ａにかしめ止めされていて、
そのアクチュエータ保持部材８の下端面からは、車体３
６に固定される支持体としてのメンバ３５側への取付け
用の取付けボルト９が突出している。取付けボルト９
は、その頭部９ａが、アクチュエータケース８の底板８
ａ上に固定された平板８ｂの空洞部に収容されている。

【００１７】さらに、アクチュエータケース８の内側に
は、これと同軸に平板８ｂ上面に固定された円筒形のヨ
ーク１０Ａと、このヨーク１０Ａ内の上端面側に軸を上
下に向けて巻き付けられた励磁コイル１０Ｂと、ヨーク
１０Ａの励磁コイル１０Ｂに包囲された部分の上面に極
を上下に向けて固定された永久磁石１０Ｃと、から構成
される電磁アクチュエータ１０が配設されている。

【００１８】また、外筒７及びアクチュエータケース８
のかしめ止め部分には、図１のＡ部の拡大図である図３
にも示すように、上側から順に、断面長方形のリング材
１１と、弾性部材としての板バネ１２と、リング状の支
持部材１３とが重ね合わされた状態で挟み込まれて固定
されている。これらのうち、板バネ１２は、その平面図
である図４にも示すように、中央に開口部１２Ａが形成
された円形の板バネであり、その開口部１２Ａ側から外
周側に向かって放射状に延びる複数のスリット１２Ｂが
形成されていて、これにより、各スリット１２Ｂ間に、
放射状に延びる略長方形の複数の板バネ部１２Ｃが形成
されている。つまり、この板バネ１２は、放射状に延び
る複数の板バネ部１２Ｃと、それら板バネ１２Ｃの外端
側を連結するリング部１２Ｄと、を有した構造となって
いる。

【００１９】また、板バネ１２のリング部１２Ｄの外周
部は断面Ｌ字形に折れ曲がった立ち下がり部１２Ｅとな
っていて、その立ち下がり部１２Ｅが支持部材１３の外
周面に当接し、且つ、リング材１１及び支持部材１３間
にリング部１２Ｄと板バネ部１２Ｃの外端側部分とが挟
み込まれることにより、板バネ１２がリング材１１及び
支持部材１３間に固定されている。つまり、板バネ１２
の外周側としてのリング部１２Ｄは、リング材１１及び
支持部材１３に挟まれた状態で、保持部材としてのアク
チュエータケース８側に支持されている。

【００２０】そして、板バネ１２の各板バネ部１２Ｃの
内端側には、鉄等の磁化可能な材料製の円板からなる可
動部材としての可動板１４が、アクチュエータケース８
の開口側を覆うように保持されている。具体的には、可
動板１４は、比較的肉厚の円板からなる本体１４Ａと、
その本体１４Ａ外周面の上面（オリフィス構成体５側を
向く面）側に近い部分に形成されたフランジ部１４Ｂ
と、このフランジ部１４Ｂの下面（電磁アクチュエータ
１０側を向く面）側の径方向内側部分に形成された周方
向に連続する凸部１４Ｃと、から構成されていて、板バ
ネ１２の板バネ部１２Ｃ内端部上面と可動板１４の凸部
１４Ｃ下面とが当接している。なお、リング材１１内周
面と可動板１４のフランジ部１４Ｂとの間の周方向に連
続した隙間には、シール材１５が介装されている。

【００２１】一方、支持部材１３は、外径寸法はリング
材１１と略等しいが、内径寸法はリング材１１よりも小
さくなっていて、これにより外径寸法及び内径寸法の差
がリング材１１の倍程度となっている。そして、支持部
材１３のリング材１１と共に板バネ１２を挟み込む部分
は、厚さの一定な平板部１３Ａとなっているが、支持部
材１３のリング材１１よりも内径側に突出した部分は、
板バネ１２側の面が内径側に行くに従って板バネ１２か
ら離れるような傾斜しているテーパ部１３Ｂとなってい
て、そのテーパ部１３Ｂの板バネ１２側の面が、支持面
１６となっている。

【００２２】さらに、本実施の形態では、支持弾性体６
の下面及び可動板１４の上面によって画成された部分に
流体室としての主流体室１７が形成され、ダイアフラム
４及びオリフィス構成体５によって画成された部分に副
流体室１８が形成されていて、これら主流体室１７及び
副流体室１８間が、オリフィス構成体５に形成されたオ
リフィス５ａを介して連通している。なお、これら主流
体室１７，副流体室１８及びオリフィス５ａ内には油等
の流体が封入されている。

【００２３】ここで、オリフィス５ａ内の流体の質量
と、支持弾性体６の拡張方向バネ及び板バネ１２で構成
された流体共振系の特性は、非制御時（電磁アクチュエ
ータ１０の励磁コイル１０Ｂに駆動電流が供給されてい
ないとき）の減衰ピーク周波数（減衰が最大となる周波
数）が、車両停車中に発生するアイドル振動の周波数に
一致するように調整されている。

【００２４】そして、電磁アクチュエータ１０の励磁コ
イル１０Ｂは、電磁アクチュエータ制御手段としてのコ
ントローラ２０に図示しないハーネスを介して接続され
ていて、かかるコントローラ２０から供給される駆動電
流としての駆動信号ｙに応じて所定の電磁力を発生する
ようになっている。コントローラ２０は、マイクロコン
ピュータ，必要なインタフェース回路，Ａ／Ｄ変換器，
Ｄ／Ａ変換器，アンプ等を含んで構成されていて、アイ
ドル振動周波数及びそれ以上の高周波の振動（例えば、
こもり音振動）が入力されている場合には、その振動と
同じ周期の制御振動がエンジンマウント１に発生して、
メンバ３５への振動の伝達力が“０”となるように（よ
り具体的には、エンジン３０側の振動によってエンジン
マウント１に入力される加振力が、電磁アクチュエータ
１０の電磁力によって得られる制御力で相殺されるよう
に）、駆動信号ｙを生成し励磁コイル１０Ｂに供給する
ようになっている。

【００２５】ここで、アイドル振動やこもり音振動は、
例えばレシプロ４気筒エンジンの場合、エンジン回転２
次成分のエンジン振動がエンジンマウント１を介してメ
ンバ３５に伝達されることが主な原因であるから、その
エンジン回転２次成分に同期して駆動信号ｙを生成し出
力すれば、振動伝達率の低減が可能となる。そこで、本
実施の形態では、エンジン３０のクランク軸の回転に同
期した（例えば、レシプロ４気筒エンジンの場合には、
クランク軸が１８０度回転する度に一つの）インパルス
信号を生成し基準信号ｘとして出力するパルス信号生成
器２１を設けていて、その基準信号ｘが、エンジン３０
における振動の発生状態を表す信号としてコントローラ
２０に供給されている。

【００２６】一方、メンバ３５には、エンジンマウント
１の取り付け位置に近接して、メンバ３５の振動状況を
加速度の形で検出し残留振動信号ｅとして出力する加速
度センサ２２が固定されていて、その残留振動信号ｅ
が、干渉後における振動を表す信号としてコントローラ
２０に供給されている。そして、コントローラ２０は、
それら基準信号ｘ及び残留振動信号ｅに基づき、逐次更
新形の適応アルゴリズムの一つであるＦｉｌｔｅｒｅｄ
−Ｘ ＬＭＳアルゴリズム、より具体的には、同期式Ｆ
ｉｌｔｅｒｅｄ−Ｘ ＬＭＳアルゴリズムに従って駆動
信号ｙを生成し出力する。

【００２７】即ち、コントローラ２０は、フィルタ係数
Ｗ_i （ｉ＝０，１，２，…，Ｉ−１：Ｉはタップ数）可
変の適応ディジタルフィルタＷを有していて、最新の基
準信号ｘが入力された時点から所定サンプリング・クロ
ックの間隔で、その適応ディジタルフィルタＷのフィル
タ係数Ｗ_i を順番に駆動信号ｙとして出力する一方、エ
ンジン３０からエンジンマウント１を介してメンバ３５
に伝達される振動が低減するように、基準信号ｘ及び残
留振動信号ｅに基づいて適応ディジタルフィルタＷのフ
ィルタ係数Ｗ_i を適宜更新する処理を実行する。

【００２８】適応ディジタルフィルタＷの更新式は、Ｆ
ｉｌｔｅｒｅｄ−Ｘ ＬＭＳアルゴリズムに従った下記
の（１）式のようになる。 Ｗ_i （ｎ＋１）＝Ｗ_i （ｎ）−μＲ^T ｅ（ｎ） ……（１） ここで、（ｎ）が付く項は時刻ｎにおける値であること
を表し、また、μは収束係数と呼ばれる係数であってフ
ィルタ係数Ｗ_i の収束の速度やその安定性に関与する係
数である。Ｒ^T は、理論的には、基準信号ｘを、電磁ア
クチュエータ１０で発生する力と加速度センサ２２との
間の伝達関数Ｃをモデル化した伝達関数フィルタＣ＾で
フィルタ処理した値（リファレンス信号若しくはFilter
ed-X信号）であるが、この実施の形態では同期式Ｆｉｌ
ｔｅｒｅｄ−Ｘ ＬＭＳアルゴリズムを適用した結果基
準信号ｘがインパルス列であるため、伝達関数フィルタ
Ｃ＾のインパルス応答を基準信号ｘに同期して次々に生
成した場合のそれらインパルス応答波形の時刻ｎにおけ
る和に一致する。

【００２９】また、理論的には、適応ディジタルフィル
タＷで基準信号ｘをフィルタ処理して駆動信号ｙを生成
することになり、フィルタ処理はディジタル演算では畳
み込み演算に該当するが、基準信号ｘがインパルス列で
あるので、上述したように最新の基準信号ｘが入力され
た時点から、所定サンプリング・クロックの間隔で適応
ディジタルフィルタＷの各フィルタ係数Ｗ_i を順番に駆
動信号ｙとして出力しても、フィルタ処理の結果を駆動
信号ｙとしたのと同じ結果になる。

【００３０】ここで、本実施の形態のエンジンマウント
１は図５に示すような梃子モデルで表すことができる。
なお、この図５中、Ｍ_f はオリフィス５ａ内の流体質量
［ｋｇ］、Ｃ_f はオリフィス５ａ内の流体粘性減衰係数
［Ｎｓ／ｍ］、Ｋ_m は支持弾性体６の支持方向のバネ定
数［Ｎ／ｍ］、Ｋ_e は支持弾性体６の拡張方向のバネ定
数［Ｎ／ｍ］、Ｋ_p は板バネ１２のバネ定数［Ｎ／
ｍ］、ｆ_a は電磁アクチュエータ１０が可動板１４に及
ぼす制御力［Ｎ］、ｘ₀ はエンジン３０側からエンジン
マウント１に入力される変位［ｍ］、ｘ_f はオリフィス
５ａ内の流体の変位［ｍ］、ｘ₁ は支持弾性体６の拡張
方向バネの上部における変位［ｍ］、ｘ_p は可動板１４
の変位［ｍ］、ｆ' は支点反力［Ｎ］、ｆはメンバ３５
側への伝達力［Ｎ］、Ｒは支持弾性体６の拡張方向バネ
の有効受圧面積Ａ_u ［ｍ² ］と磁路部材１２の有効受圧
面積Ａ_p ［ｍ² ］との比（Ａ_p ／Ａ_u ）、ｒは有効受圧
面積Ａ _u とオリフィス５ａ穴受圧面積Ａ_o との比（Ａ_u
／Ａ_o ）である。

【００３１】次に、本実施の形態の動作を説明する。即
ち、エンジンシェイク発生時には、オリフィス５ａの流
路形状等を適宜選定している結果、このエンジンマウン
ト１は高動バネ定数，高減衰力の支持装置として機能す
るため、エンジン３０で発生したエンジンシェイクがエ
ンジンマウント１によって減衰され、メンバ３５側の振
動レベルが低減される。なお、かかる場合には、特に可
動板１４を変位させる必要はない。

【００３２】一方、オリフィス５ａ内の流体がスティッ
ク状態となり主流体室１７及び副流体室１８間での流体
の移動が不可能になるアイドル振動周波数以上の周波数
の振動が入力された場合には、コントローラ２０は、所
定の演算処理を実行し、電磁アクチュエータ１０に駆動
信号ｙを出力し、エンジンマウント１に振動を低減し得
る能動的な制御力を発生させる。これを、コントローラ
２０内で実行される処理の概要を示すフローチャートで
ある図６に従って具体的に説明する。なお、この図６に
示す処理は、以下詳細に説明するが、インパルス列でな
る基準信号ｘに同期して１サイクルの処理が実行される
とともに、その基準信号ｘの入力タイミングで開始され
る所定時間間隔のクロックパルスに同期して１サンプリ
ングの処理が実行されるようになっている。

【００３３】先ず、そのステップ１０１において所定の
初期設定が行われた後に、ステップ１０２に移行し、所
定の記憶領域に保存されている伝達関数フィルタＣ＾を
読み込む。次いで、ステップ１０３に移行しカウンタ
（１サイクル内における駆動信号ｙの出力回数を計数す
るためのカウンタ）ｉを零クリアした後に、ステップ１
０４に移行し、適応ディジタルフィルタＷのｉ番目のフ
ィルタ係数Ｗ_i を、駆動信号ｙとして電磁アクチュエー
タ１０の励磁コイル１０Ｂに出力する。

【００３４】次いで、ステップ１０５に移行し、残留振
動信号ｅを読み込み、そして、ステップ１０６に移行
し、基準信号ｘを伝達関数フィルタＣ＾でフィルタ処理
して更新用基準信号Ｒ^T を演算する。なお、更新用基準
信号Ｒ^T の具体的な演算は上述した通りである。次い
で、ステップ１０７に移行し、カウンタｊを零クリアす
る。なお、このカウンタｊは、適応ディジタルフィルタ
Ｗのフィルタ係数Ｗ_i の更新演算を必要な回数だけ行っ
たか否かを判定するためのカウンタである。

【００３５】そして、ステップ１０８に移行し、上記
（１）式に従って適応ディジタルフィルタＷのフィルタ
係数Ｗ_j を更新する。ステップ１０８における更新処理
が完了したら、ステップ１０９に移行し、次の基準信号
ｘが入力されているか否かを判定し、ここで基準信号ｘ
が入力されていないと判定された場合は、適応ディジタ
ルフィルタＷの次のフィルタ係数の更新又は駆動信号ｙ
の出力処理を実行すべく、ステップ１１０に移行する。

【００３６】ステップ１１０では、カウンタｊが、制御
時におけるエンジン３０の最低回転数で決まる基準信号
ｘの最大周期をサンプリング・クロックで割った数であ
る最大サンプリング数Ｔａｐ（正確には、カウンタｊは
０からスタートするため最大サンプリング数Ｔａｐから
１を減じた値）に達しているか否かを判定する。この判
定は、フィルタ係数Ｗ_i に基づいた駆動信号ｙをステッ
プ１０４で出力した後に、適応ディジタルフィルタＷの
フィルタ係数Ｗ_j を必要な数だけ更新したか否かを判断
するためのものである。そこで、このステップ１１０の
判定が「ＮＯ」の場合には、ステップ１１１でカウンタ
ｊをインクリメントした後に、ステップ１０８に戻って
上述した処理を繰り返し実行する。

【００３７】しかし、ステップ１１０の判定が「ＹＥ
Ｓ」の場合には、適応ディジタルフィルタＷのフィルタ
係数を必要な数だけ更新処理したと判断できるから、ス
テップ１１２に移行する。ステップ１１２では、フィル
タ係数Ｗ_i からなる数列から直流成分を除去した後に、
ステップ１１３に移行し、電磁アクチュエータ１０で出
力し得る最大制御力に対応する駆動信号の上限値Ｗ_max
を、各フィルタ係数Ｗ_iのいずれか一つでも越えている
か否かを判定し、ここで越えていないと判定された場合
には、ステップ１１４に移行して補正係数βを１に設定
する一方、越えていると判定された場合には、ステップ
１１５に移行し補正係数βを０を越えて１未満の数に設
定する。具体的には、ステップ１１５では、補正係数β
を各フィルタ係数Ｗ_i に乗じた結果が上限値Ｗ_max 以下
で且つ限りなくその上限値Ｗ_max に近い値となるように
設定する。そして、ステップ１１６に移行し、各フィル
タ係数Ｗ_i に補正係数βを乗じその結果でフィルタ係数
Ｗ_i を置き換える。

【００３８】このステップ１１２〜１１６の処理を実行
するのは、ステップ１０８で更新されたフィルタ係数Ｗ
_j をそのまま用いて駆動信号ｙを生成すると、コントロ
ーラ２０や電磁アクチュエータ１０等の特性上から出力
可能な駆動信号ｙに上限値がある場合、上限値を越える
駆動信号ｙがその上限値に強制的に修正されてしまうの
に対し、上限値を越えない駆動信号ｙはそのまま出力さ
れるため、駆動信号ｙに実際には存在しない高調波成分
が重畳されたことと等価になって、振動低減制御を劣化
させる原因となるからである。つまり、ステップ１１２
〜１１６の処理を実行すれば、駆動信号ｙが上限値を越
える場合には、駆動信号ｙ全体が同じ形で縮小されてレ
ベルのみが修正されるから、不要な高調波成分が重畳さ
れるようなことが容易に回避できるのである。

【００３９】ステップ１１６の処理を終えたら、ステッ
プ１１７に移行し、ここでカウンタｉをインクリメント
した後に、上記ステップ１０４の処理を実行してから所
定のサンプリング・クロックの間隔に対応する時間が経
過するまで待機し、サンプリング・クロックに対応する
時間が経過したら、上記ステップ１０４に戻って上述し
た処理を繰り返し実行する。

【００４０】しかし、ステップ１０７で基準信号ｘが入
力されたと判断された場合には、ステップ１０３に戻っ
て上述した処理を再び実行する。このような処理を繰り
返し実行する結果、コントローラ２０からエンジンマウ
ント１の電磁アクチュエータ１０に対しては、基準信号
ｘが入力された時点から所定のサンプリング・クロック
の間隔で、適応ディジタルフィルタＷのフィルタ係数Ｗ
_i が順番に駆動信号ｙとして供給される。この結果、励
磁コイル１０Ｂに駆動信号ｙに応じた磁力が発生する
が、可動板１４には既に永久磁石１０Ｃによる一定の磁
力が付与されているから、その励磁コイル１０Ｂによる
磁力は、永久磁石１０Ｃの磁力を強める又は弱めるよう
に作用すると考えることができる。つまり、励磁コイル
１０Ｂに駆動信号ｙが供給されていない状態では、可動
板１４は、板バネ１２による弾性支持力と、永久磁石１
０Ｃの磁力との釣り合った中立の位置に変位することに
なる。そして、この中立の状態で励磁コイル１０Ｂに駆
動信号ｙが供給されると、その駆動信号ｙによって励磁
コイル１０Ｂに発生する磁力が永久磁石１０Ｃの磁力と
逆方向であれば、可動板１４は電磁アクチュエータ１０
とのクリアランスが増大する方向に変位する。逆に、励
磁コイル１０Ｂに発生する磁力が永久磁石１０Ｃの磁力
と同じ方向であれば、可動板１４は電磁アクチュエータ
１０とのクリアランスが減少する方向に変位する。

【００４１】このように、可動板１４は電磁アクチュエ
ータ１０が発生する磁力によって上下両方向に変位可能
であり、可動板１４が上下に変位すれば、主流体室１７
の容積が変化し、その容積変化によって支持弾性体３の
拡張方向バネが変形するから、このエンジンマウント１
に上下両方向の能動的な支持力が発生するのである。そ
して、駆動信号ｙとなる適応ディジタルフィルタＷの各
フィルタ係数Ｗ_i は同期式Ｆｉｌｔｅｒｅｄ−Ｘ ＬＭ
Ｓアルゴリズムに従った上記（１）式によって逐次更新
されるため、ある程度の時間が経過して適応ディジタル
フィルタＷの各フィルタ係数Ｗ_i が最適値に収束した後
は、駆動信号ｙがエンジンマウント１に供給されること
によって、エンジン３０からエンジンマウント１を介し
てメンバ３５側に伝達されるアイドル振動やこもり音振
動が低減されるようになるのである。

【００４２】ここで、本実施の形態のようなエンジンマ
ウント１にあっては、電磁アクチュエータ１０で発生し
得る磁力の大きさ等にもよるが、電磁アクチュエータ１
０と可動板１４との間の空隙長は、３ｍｍ以内に設定さ
れて使用されることが多い。また、電磁アクチュエータ
１０の吸引力（制御力）は、そのような極狭い空隙長の
範囲内であっても、数ｋｇｆから百数十ｋｇｆ以上の範
囲で変化する。

【００４３】一方、図６に示すような処理が実行される
制御時に、エンジンマウント１への振動変位入力が最大
となるのは、アイドル設定の最低回転数のときであり、
燃焼時のエンジンのシリンダ内圧がガソリンエンジンに
較べて高いディーゼルエンジンや、大排気量のガソリン
エンジンでは、片振幅で０．４〜１．０ｍｍ程度の変位
が生じる。従って、メンバ３５側への伝達力を“０”に
するためには、可動板１４を振動入力変位と同様に大き
な振幅で変位させることが必要になる。

【００４４】すると、可動板１４には、最高最低振幅で
１〜２ｍｍ程度の変位が生じることになるが、この１〜
２ｍｍ程度の変位であっても、電磁アクチュエータ１０
の吸引力が数ｋｇｆから百数十ｋｇｆの範囲で変化する
ことから、可動板１４を弾性支持する板バネ１２のバネ
力も、数ｋｇｆから百数十ｋｇｆの範囲で変化しなけれ
ばならなくなる。また、エンジンマウント１は、搭載さ
れる車両のスペース上の制約から、通常、最大外径寸法
は１００ｍｍ前後となる。

【００４５】以上から、エンジンマウント１の可動板１
４を保持する板バネ１２には、限られた空間内に配置で
き、しかも微小変位でバネ特性が大きく変化することが
要求されるため、緻密なバネ特性の設計が必要となるの
であるが、本実施の形態のような構成であれば、そのよ
うな要求が従来よりも高いレベルで達成されているので
ある。以下、その理由を詳述する。

【００４６】即ち、エンジンマウント１は図５に示すよ
うな梃子モデルで表されることは上述した通りである
が、図５のモデルにおいて、エンジン３０からエンジン
マウント１へ入力変位ｘ₀ が生じているときに、電磁ア
クチュエータ１０の制御力ｆ_aによってメンバ３５への
力の伝達を“０”にする場合、可動板１４がｘ_p だけ変
位するものと考えると、可動板１４の見かけ上のバネで
ある可動板複合バネのバネ定数（ｆ_a ／ｘ_p ）は、下記
の（２）式のように、板バネ１２のバネ定数Ｋ_pに付加
バネ要素が合成された形になる。

【００４７】 ｆ_a ／ｘ_p ＝Ｋ_p ＋｛Ｒ² Ｋ_m Ｋ_e ／（Ｋ_m ＋Ｋ_e ）｝ ……（２） 一方、可動板１４の変位ｘ_p と入力変位ｘ₀ との間に
は、下記の（３）式のような関係が成り立つ。 ｘ₀ ／ｘ_p ＝ＲＫ_m ／（Ｋ_m ＋Ｋ_e ） ……（３） また、図７は、電磁アクチュエータ１０及び可動板１４
間の空隙長（横軸）と電磁アクチュエータ１０の吸引
力，可動板１４に作用するバネ力（縦軸）との関係を示
す特性線図であり、吸引力を実線で示し、バネ力を一点
鎖線，二点鎖線で示している。なお、電磁アクチュエー
タ１０の吸引力は、その励磁コイル１０ＢにＩ〔ＡＴ：
Ampere Turn 〕の交流電流を供給して起磁力を発生させ
た場合の特性を示しており、励磁コイル１０Ｂに電流が
流れない瞬間を０〔ＡＴ〕で示し、励磁コイル１０Ｂに
電磁石１０Ｃと同じ方向（吸引方向）の磁力が発生する
方向で最大の電流が流れた瞬間を＋Ｉ〔ＡＴ〕で示し、
励磁コイル１０Ｂに電磁石１０Ｃと逆の方向（反発方
向）の磁力が発生する方向で最大の電流が流れた瞬間を
−Ｉ〔ＡＴ〕で示している。また、図７中の空隙長δ_ai
は、可動板１４に電磁アクチュエータ１０の磁力が一切
加わらず、従って板バネ１２に弾性変形が生じていない
状況での可動板１４及び電磁アクチュエータ１０間の空
隙長である。

【００４８】そして、電磁アクチュエータ１０及び可動
板１４間の空隙長δと、電磁アクチュエータ１０で発生
する制御力ｆ_a との関係は、下記の（４）式に示すよう
に、制御力ｆ_a が空隙長δの自乗に反比例する関係とな
る。 ｆ_a ＝α（ｂ＋Ｉ）² ／（δ＋ａ）² ……（４） なお、この（４）式中、α，ａ，ｂは電磁アクチュエー
タ１０の特性によって決まる定数である。

【００４９】図７において、電磁アクチュエータ１０の
励磁コイル１０Ｂへの通電が零のとき、電磁アクチュエ
ータ１０の吸引力と板バネ１２のバネ力との釣り合い位
置は空隙長δ_z となるから、この励磁コイル１０Ｂに交
流電流が流れることにより、可動板１４は、空隙長δ_z
を動作点として移動することになる。そして、可動板１
４単体の状態（板バネ１２のバネ力のみが、可動板１４
を弾性支持するバネ力となる状態）であると、板バネ１
２のバネ特性は例えば図７に一点鎖線で表すような非線
形特性（特性が非線形である理由は後述する。）を示す
から、可動板１４は、空隙長δ_smと空隙長δ_spとの間で
変位することになる。この可動板１４単体時における可
動板１４の変位（空隙長δ）とバネ力との関係を、ＦＳ
（δ）とする。

【００５０】しかし、可動板１４を実際にエンジンマウ
ント１に組み込んだ状態で、変位入力ｘ₀ に対するメン
バ３５側への伝達力ｆを“０”にしている状況では、可
動板１４に作用するバネ力は、特性ＦＳ（δ）に、上記
（２）式中の付加バネ要素が加わった状態の特性ＦＡ
（δ）を示すようになる。なお、この特性ＦＡ（δ）は
下記の（５）式のようになる。

【００５１】 ＦＡ（δ）＝ＦＳ（δ）＋｛Ｒ² Ｋ_m Ｋ_e ／（Ｋ_m ＋Ｋ_e ）｝δ ……（５） すると、特性ＦＡ（δ）の傾きは特性ＦＳ（δ）の傾き
よりも急峻となるから、実際の制御時の可動板１４は、
空隙長δ_amと空隙長δ_apとの間で変位することになる。

【００５２】つまり、大きな振動入力をエンジンマウン
ト１で打ち消すためには、実際の制御時における可動板
１４のストローク（空隙長δ_amと空隙長δ_apとの差）が
重要となるから、可能な限り空隙長δ_amを大きく、空隙
長δ_apを小さくすることが望まれる。換言すれば、特性
ＦＡ（δ）の傾きをより緩やかにすることが望まれるの
である。

【００５３】そのためには、特性ＦＡ（δ）が上記
（５）式で表されることから、板バネ１２単体でのバネ
特性である特性ＦＳ（δ）と、支持弾性体６の支持バネ
や拡張バネで決まる付加バネ要素とを適宜小さくすれば
よいのであるが、支持弾性体６の支持バネを小さくする
と、このエンジンマウント１の静的な支持剛性が低下し
てしまうし、支持弾性体６の拡張バネを小さくすると、
このエンジンマウント１に発生する能動的な制御力が小
さくなるという悪影響がある。従って、より有効な解決
策は、板バネ１２の剛性を低くすることである。ちなみ
に、可動板１４を電磁アクチュエータ１０から遠い位置
に配設するとともに、大型の電磁アクチュエータ１０を
用いることによりこれが発生する制御力を大きくすれ
ば、可動板１４のストローク範囲が大きくなるが、これ
では、装置の大型化及び高価格化を招いてしまうため、
得策ではない。

【００５４】これに対し、本実施の形態にあっては、板
バネ１２に開口部１２Ａ及びスリット１２Ｂを形成して
いるため、実質的には、長方形の板バネと見なせる複数
の板バネ部１２Ｃの内端側に可動板１４を保持し、その
板バネ１２Ｃの外端側をアクチュエータケース８に結合
していることになり、板バネ１２の単位板厚当たりのバ
ネ剛性が、同等の厚み及び外径寸法の板バネを用いた従
来の構造に較べて、低くなっているのである。このた
め、特性ＦＡ（δ）の傾きを従来の構造よりもより容易
に緩やかにすることができ、板バネ１２の弾性変形領域
が広がり、可動板１４の変位が大きくなって、より大き
な制御力を発生することができるのである。

【００５５】次に、図８は、可動板１４を弾性支持する
板バネ１２が線形特性を示す場合と非線形特性を示す場
合とを比較した特性線図であって、線形特性を一点鎖線
で、非線形特性を二点鎖線で示している。これらのう
ち、板バネ１２が線形特性を示す場合には、そのバネ力
は可動板１４の変位量に比例するから、上記（４）式に
示すように空隙長δの自乗に反比例する電磁アクチュエ
ータ１０の吸引力との釣り合いを考慮しつつ、可動板１
４のストロークを最大にするためには、図８に一点鎖線
で示すように、電磁アクチュエータ１０の吸引力が最大
である＋Ｉ〔ＡＴ〕通電時の特性曲線に接するような傾
きにすればよい。これであれば、可動板１４は、その接
点である空隙長δ_ap1と空隙長δ_am1 （電磁アクチュエ
ータ１０の吸引力が最小である−Ｉ〔ＡＴ〕通電時の特
性曲線と板バネ１２の特性線との交点）との間で変化す
ることになる。しかし、図８のように板バネ１２の線形
特性を設定してしまうと、＋Ｉ〔ＡＴ〕通電時の吸引力
とバネ力とが釣り合っている空隙長δ_ap1 から僅かでも
可動板１４が電磁アクチュエータ１０側に近づいた場合
（可動板１４の予期せぬ変位は、例えば走行時に路面側
からサスペンションやメンバ３５等を通じて突発的な振
動がエンジンマウント１に入力されたようなときに起こ
り得る）に、電磁アクチュエータ１０の吸引力に板バネ
１２のバネ力が負けてしまい、板バネ１２が電磁アクチ
ュエータ１０に衝突してしまう可能性がある。

【００５６】従って、板バネ１２の特性が線形の場合、
実際には、板バネ１２のバネ定数を図８に示すものより
も大きくし、そのバネ力の特性線と＋Ｉ〔ＡＴ〕通電時
の特性曲線との交点である空隙長δ_ap1 をより電磁アク
チュエータ１０から遠い位置にすることになるが、これ
では、可動板１４のストロークが狭くなってしまい、上
述したような要求に反することになる。

【００５７】これに対し、板バネ１２の特性が、可動板
１４が電磁アクチュエータ１０に近づくに従ってバネ定
数が大きくなる非線形特性であれば、＋Ｉ〔ＡＴ〕通電
時の特性曲線と二点鎖線で示す板バネ１２の特性曲線と
の交点である空隙長δ_ap2 を、より電磁アクチュエータ
１０に近い位置にすることができる。つまり、板バネ１
２の特性曲線が、＋Ｉ〔ＡＴ〕通電時の特性曲線と同様
に下側に凸の曲線となるため、板バネ１２の特性曲線
を、空隙長δが小さくなるに従って、徐々に＋Ｉ〔Ａ
Ｔ〕通電時の特性曲線に近づけることができるから、板
バネ１２の特性が線形の場合よりも両特性曲線の交点を
δ＝０の位置に容易に近づけることができるのである。

【００５８】しかも、図８に示すように、可動板１４が
電磁アクチュエータ１０に接触するような位置（つまり
δ＝０の位置）にまで変位したときに板バネ１２に発生
するバネ力を、δ＝０の位置における電磁アクチュエー
タ１０の吸引力よりも大きくしておけば、空隙長δ_ap2
から僅かでも可動板１４が電磁アクチュエータ１０側に
近づいた場合には、板バネ１２のバネ力が電磁アクチュ
エータ１０の吸引力に勝ってしまうから、板バネ１２が
電磁アクチュエータ１０に衝突するようなことはないの
である。これに対し、可動板１２の特性が線形の場合
に、δ＝０の位置で板バネ１２に発生するバネ力を、δ
＝０の位置における電磁アクチュエータ１０の吸引力よ
りも大きくしても、確かに板バネ１２が電磁アクチュエ
ータ１０に衝突することは防止できるが、これでは、空
隙長δ_ap1 がさらに大きくなってしまい、可動板１４の
ストロークが小さくなってしまうという不具合に繋が
る。

【００５９】以上から、可動板１４を弾性支持する板バ
ネ１２には、上述したように低剛性という要求がある一
方で、可動板１４と電磁アクチュエータ１０との衝突等
の不具合を避けつつ、可動板１４のストロークを大きく
するために、そのバネ力が、可動板１４が電磁アクチュ
エータ１０に近づくに従って大きくなるような非線形の
特性を示すことが望ましいのである。

【００６０】このような要求に対し、本実施の形態にあ
っては、板バネ１２の外周側を、リング材１１と、支持
面１６が形成された支持部材１３との間に挟み込んだ状
態でアクチュエータケース８側に固定しているため、板
バネ１２のバネ定数が、微小変位範囲であっても、可動
板１４が電磁アクチュエータ１０に近づくに従って急激
に大きくなる非線形特性を示すようになっている。

【００６１】即ち、板バネ１２は、複数の板バネ部１２
Ｃの集合体と見なすことができ、可動板１４は、片持ち
梁と見なせる複数の板バネ部１２Ｃにより支持されたも
のと考えることができ、板バネ部１２Ｃの内端（可動板
１４に当接する側の端）が自由端となり、板バネ部１２
Ｃの支持部材１３に接触する部分が固定端となる。しか
し、本実施の形態では、支持部材１３に支持面１６を形
成しているため、一つの板バネ部１２Ｃと支持部材１３
との関係を拡大して表した図９に示すように、板バネ部
１２Ｃの自由端１２Ｆが電磁アクチュエータ１０側に変
位するに従って、板バネ部１２Ｃと支持面１６との接触
面積が徐々に大きくなり、まるで板バネ１２Ｃの非制御
時の固定端１２Ｇが徐々に自由端１２Ｆ側に移動してい
くようになり、実際に板バネとして機能する自由端１２
Ｆ及び固定端１２Ｇ間が短くなって、そのバネ定数が増
加していくのである。

【００６２】つまり、本実施の形態にあっては、支持面
１６が形成された支持部材１３をアクチュエータケース
８側に設けるという簡易な構造で、板バネ１２のバネ特
性を、望ましい非線形の特性を示すようにしているので
ある。なお、板バネ１２の非線形特性の微調整は、その
板バネ１２と接触する支持面１６の形状によって略決ま
ることになるが、支持面１６の板バネ部１２Ｃに沿った
方向の曲線は、以下のように決定すればよい。

【００６３】先ず、その曲線を下記の（６）式で表され
るものとする。 ｙ_c ＝ｆ_c （ｘ_C ） ……（６） また、電磁アクチュエータ１０が可動板１４を通じて一
つの板バネ部１２Ｃに及ぼす吸引力Ｐ／ｎによって、板
バネ部１２Ｃの固定端１２Ｇから接触長ｘ_c0までの範囲
が支持面１６に接触しているものとすると、接触長ｘ_c0
と、自由端１２Ｆでの撓み量δ_c との関係式は、下記の
（７）式のようになる。

【００６４】 δ_c ＝ｙ_c ＋（Ｌ−ｘ_c0）ｄｙ_c ／ｄｘ_c ＋Ｐ（Ｌ−ｘ_c0）³ ／３ｎＥＪ ＝ｙ_c ＋（Ｌ−ｘ_c0）ｄｙ_c ／ｄｘ_c ＋｛（Ｌ−ｘ_c0）² ／３ｎ｝ｄ² ｙ_c ／ｄｘ_c ² ……（７） なお、δ_c は自由端１２Ｆにおける板バネ部１２Ｃの撓
み量、ｘ_c は当初の固定端１２Ｇからの長さ、ｙ_c は長
さｘ_c の位置における支持面１６の平板部１３Ａ表面か
らの深さ、Ｌは片持ち梁として機能する板バネ部１２Ｃ
の最大長さ、Ｐは電磁アクチュエータ１０が可動板１４
を通じて板バネ１２に及ぼす吸引力、ｎは板バネ部１２
Ｃの個数、Ｅはヤング率、Ｊは断面二次モーメントであ
る。

【００６５】一方、接触長ｘ_c0＝０における板バネ１２
のバネ定数をＫ_p0とすれば、このバネ定数Ｋ_p0は、ポア
ソン比をνとすれば、下記の（８）式のようになる。 Ｋ_p0＝３ｎＥＪ／｛Ｌ³ （Ｌ−ν² ）｝ ……（８） 従って、接触長ｘ_c0における板バネ１２のバネ定数Ｋ_px
は、下記の（９）式のようになる。

【００６６】 Ｋ_px＝３ｎＥＪ／｛（Ｌ−ｘ_c0）³ （Ｌ−ν² ）｝ ＝Ｋ_p0Ｌ³ ／（Ｌ−ｘ_c0）³ ……（９） さらに、吸引力Ｐと撓み量δ_c との間に、 Ｐ＝ＦＳ（δ_c ） ……（10） という関係があるものとすると、接触長ｘ_c0における板
バネ１２のバネ定数Ｋ_pxはこの（10）式の微分項となる
ため、 Ｋ_px＝ｄＰ／ｄδ_c ＝ＦＳ' （δ_c ） ……（11） となり、バネ定数Ｋ_pxと撓み量δ_c とは、下記の（12）
式の関係を有することになる。

【００６７】 δ_c ＝Ｆ（Ｋ_px） ……（12） そして、上記（６）〜（12）式と、電磁アクチュエータ
１０への通電量に対する可動板１４の変位の変換率を大
きくする所望の可動板１４の変位と発生バネ力特性関数
により、支持面１６の板バネ部１２Ｃに沿った方向の曲
線、つまり上記（６）式が決定されるのである。

【００６８】このように、本実施の形態にあっては、板
バネ１２のバネ定数を、微小変位範囲であっても、所望
の非線形特性を示すようにすることができるのである。
換言すれば、可動板１４が１〜２ｍｍ程度変位する範囲
内で、板バネ１２のバネ力を、数ｋｇｆから百数十ｋｇ
ｆの範囲で変化させることができるのであり、しかも、
エンジンマウント１の大型化等を招かないから、搭載さ
れる車両のスペース上の制約に対しても有効である。

【００６９】以上まとめると、本実施の形態のエンジン
マウント１によれば、可動板１４をスリット１２Ｂが形
成された板バネ１２を介してアクチュエータケース８側
に弾性支持しているため、可動板１４のストロークを大
きくできるし、板バネ１２のバネ特性を、可動板１４が
電磁アクチュエータ１０に近づくに従ってバネ定数が大
きくなる非線形特性とし、その非線形特性の緻密な設定
も支持面１６の板バネ部１２Ｃに沿った方向の曲線の選
定のみで容易に行えるから、やはり可動板１４のストロ
ークを大きくできる。従って、過大な振動入力に対して
も有効な振動低減制御が実行できるから、このエンジン
マウント１は、振動入力が大きいディーゼルエンジンや
大排気量ガソリンエンジン等を支持するのに好適であ
る。

【００７０】しかも、装置の大型化や高価格化を招くこ
ともなく、大型化を招かないという利点は、搭載スペー
ス上の制約が大きい車両用エンジンマウントにとって特
に有益である。また、本実施の形態では、スリット１２
Ｂを形成することにより板バネ１２の剛性を下げてい
る、つまり単位板厚に対するバネ剛性を下げるような工
夫であるため、板バネ１２全体の厚さを薄くしてその剛
性を低下させるような方策とは異なり、板バネ１２の耐
久性を大きく低下させてしまうような不具合はない。

【００７１】図１０は本発明の第２の実施の形態を示す
図であり、エンジンマウント１の要部断面図である。な
お、上記第１の実施の形態と同様の部材，部位には同じ
符号を付し、その重複する説明は省略する。即ち、本実
施の形態では、外筒７及びアクチュエータケース８のか
しめ止め部分にリング材１１を挟み込んでいて、そのリ
ング材１１とアクチュエータケース８上端面との間に、
板バネ１２の径方向外側の部分を挟み込んでいる。ただ
し、本実施の形態の板バネ１２は、上記第１の実施の形
態のような立ち下がり部１２Ｅは有していない。なお、
リング材１１上面には、外筒７及びリング材１１間を通
じての主流体室１７内からの油漏れを防止するために、
リング状のシール材１５Ａを嵌め込んでいる。

【００７２】また、可動板１４は、重ね合わせた状態で
複数のリベット４０で一体化した上側可動板１４Ｕ及び
下側可動板１４Ｌから構成されている。これら上側可動
板１４Ｕ及び下側可動板１４Ｌは、いずれも鉄等の磁化
可能な材料製の円板からなる部材であるが、電磁アクチ
ュエータ１０の磁力は一方のみが受けてもよいから、例
えば下側可動板１４Ｌのみを鉄等の磁化可能な材料で形
成し、上側可動板１４Ｕは他の材料から形成してもよ
い。

【００７３】上側可動板１４Ｕの下面の径方向外側部分
は、外周部に近づくに従ってその上面側に向かう斜面と
なっていて、ここに支持面１６が形成されている。ま
た、リング材１１内周面と上側可動板１４Ｕ外周面との
間の周方向に連続した隙間には、シール材１５Ｂが介装
されている。そして、板バネ１２の各板バネ部１２Ｃの
内端側が、上側可動板１４Ｕの下面にこれを下方から支
えるように当接している。なお、下側可動板１４Ｌ上面
の支持面１６に対向する部分には、板バネ部１２Ｃとの
直接の衝突を避けるために、リング状のゴムシート４１
が嵌め込まれている。その他の構成は上記第１の実施の
形態と同様である。

【００７４】このような構成であっても、板バネ１２
は、実質的に板バネ部１２Ｃの集合体と見なせるから、
その単位板厚当たりの剛性は低くなっており、可動板１
４の大きなストロークを容易に実現できるし、可動板１
４が電磁アクチュエータ１４側に変位するに従って、板
バネ部１２Ｃの支持面１６との接触面積が大きくなるか
ら、板バネ１２の特性を非線形とすることができ、その
非線形特性の緻密な設定も支持面１６の板バネ部１２Ｃ
に沿った方向の曲線の選定のみで容易に行える。よっ
て、上記第１の実施の形態と同様の作用効果が得られ
る。

【００７５】さらに、本実施の形態にあっては、可動板
１４に支持面１６を形成しているため、板バネ部１２Ｃ
の片持ち梁として機能する部分を容易に長くすることが
できるという利点がある。そして、かかる部分を長くで
きれば、バネ特性のチューニング範囲がより広くなって
設計の自由度が高くなるし、また、板バネ部１２Ｃを長
くできた分その肉厚を増すこともできるから、板バネ１
２の耐久性及び信頼性も向上できるようになる。

【００７６】図１１及び図１２は本発明の第３の実施の
形態を示す図であり、図１１はエンジンマウント１の要
部断面図である。なお、上記第１，第２の実施の形態と
同様の部材，部位には同じ符号を付し、その重複する説
明は省略する。即ち、本実施の形態では、上記第２の実
施の形態と同様に、可動板１４を上側可動板１４Ｕ及び
下側可動板１４Ｌを重ね合わせた構造としているが、そ
れら上側可動板１４Ｕ及び下側可動板１４Ｌ間に、弾性
部材としての板バネ４２を挟み込んで固定している。

【００７７】この板バネ４２は、その平面形状を図１２
に示すように、中央にリベット３０貫通用の複数の貫通
孔４２ａが形成された円形の板バネであり、その外周側
から中央部に向かって延びる略Ｖ字形の複数のスリット
４２Ａが形成されていて、これにより、各スリット４２
Ａ間に、放射状に延びる略長方形の複数の板バネ部４２
Ｂが形成されている。つまり、この板バネ４２は、略円
形の中央部４２Ｃと、この中央部４２Ｃから放射状に延
びる複数の板バネ部４２Ｂと、を有した構造となってい
る。

【００７８】そして、図１１に示すように、板バネ４２
の中央部４２Ｃを上側可動板１４Ｕ及び下側可動板１４
Ｌ間に挟み込んだ状態でリベット４０を貫通させてこれ
らを一体とし、放射状に延びる板バネ４２の各板バネ部
４２Ｂの端部を、アクチュエータケース８上端面に当接
させ、もって可動板１４を板バネ４２を介してアクチュ
エータケース８側に弾性支持している。ただし、本実施
の形態では、リング材１１の下面内径側に周方向に連続
した切欠き１１Ａを形成することにより、板バネ部４２
Ｂ端部とアクチュエータケース８上端面との当接領域を
確保している。また、シール材１５Ｂは、その切欠き１
１Ａ内にも入り込むような形状としていて、これによ
り、油漏れのより確実に防止しつつ、板バネ部４２Ｂと
アクチュエータケース８上端面との間の水平方向の摺動
をなくして異音の発生等の防止している。その他の構成
は、上記第１，第２の実施例と同様である。

【００７９】このような構成であっても、板バネ４２
は、実質的に板バネ部４２Ｂの集合体と見なせるから、
その単位板厚当たりの剛性は低くなっており、可動板１
４の大きなストロークを容易に実現できるし、可動板１
４が電磁アクチュエータ１４側に変位するに従って、板
バネ部４２Ｂの支持面１６との接触面積が大きくなるか
ら、板バネ４２の特性を非線形とすることができ、その
非線形特性の緻密な設定も支持面１６の板バネ部４２Ｂ
に沿った方向の曲線の選定のみで容易に行える。よっ
て、上記第１の実施の形態と同様の作用効果が得られ
る。

【００８０】さらに、本実施の形態にあっても、板バネ
部４２Ｂの片持ち梁として機能する部分を容易に長くす
ることができるという利点があるから、上記第２の実施
の形態と同様に、設計の自由度が高くなるし、板バネ１
２の耐久性及び信頼性も向上できるようになる。図１３
乃至図１５は本発明の第４の実施の形態を示す図であ
り、図１３はエンジンマウント１の要部断面図である。
なお、上記第１の形態と同様の部材，部位には同じ符号
を付し、その重複する説明は省略する。

【００８１】即ち、本実施の形態では、支持部材１３を
平板部１３Ａとテーパ部１３Ｂとに分割するとともに、
両者をリンク１３Ｃを介して揺動可能に連結し、さらに
テーパ部１３Ｂの径方向内側下面とアクチュエータケー
ス８との間に弾性体４３を介在させていて、これによ
り、テーパ部１３Ｂの内周部を上下方向に変位できるよ
うにしている。

【００８２】また、アクチュエータケース８の上端面に
は、テーパ部１３Ｃの下面側に当接する周方向に連続し
た突起４４ａが形成された高さ調節用リング４４が上下
方向に進退可能に嵌め込まれていて、そして、アクチュ
エータケース８内には、その高さ調節用リング４４を上
下方向に変位させるために、変形方向を上下に向けて多
数の圧電素子を積層してなる圧電アクチュエータ４５が
埋設されている。ただし、圧電アクチュエータ４５は、
実際には周方向に等間隔に複数埋設されているが、図１
３にはそのうちの一つだけを示している。

【００８３】圧電アクチュエータ４５には、コントロー
ラから駆動電圧として駆動信号ｙ_pが供給されるように
なっていて、圧電アクチュエータ４５はその駆動信号ｙ
_p に応じて伸縮し、もって高さ調節用リング４４を上下
方向に変位させてテーパ部１３Ｂを上下方向に変位させ
るようになっている。そして、テーパ部１３Ｂの内周部
が上下方向に変位すると、板バネ１２も上下方向に変位
して可動板１４と電磁アクチュエータ１０との間の空隙
長が変化するとともに、テーパ部１３Ｂ上の支持面１６
の傾斜も変化するようになる。その結果、板バネ１２の
バネ特性は、例えば図１４に示すように、テーパ部１３
Ｂの内周部が最も電磁アクチュエータ１０側に変位した
場合には破線で示すような特性となり、テーパ部１３Ｂ
の内周部が最も電磁アクチュエータ１０側から離れた場
合には二点鎖線で示すような特性となる。つまり、板バ
ネ１２の特性は、テーパ部１３Ｂの内周部の上下位置を
適宜調整することにより、図１４の破線で示す特性と二
点鎖線で示す特性との間でリニアに変化するようにな
る。

【００８４】この場合、テーパ部１３Ｂの内周部を最も
電磁アクチュエータ１０側に変位した状態で固定する
と、可動板１４は、空隙長δ_ap0 と空隙長δ_ai0 との差
であるストロークＳ₁ の範囲で変位することになる。し
かし、空隙長δが空隙長δ_ap0 から離れるに従って、テ
ーパ部１３Ｂの内周部を上方に持ち上げて板バネ１２の
特性を破線の特性から二点鎖線の特性に徐々に近づけ、
−Ｉ〔ＡＴ〕通電時に板バネ１２の特性が二点鎖線の特
性となるようにすれば、可動板１４は、空隙長δ_ap0 と
空隙長δ_ai2 との差であるストロークＳ₂ の範囲で変位
することになり、可動板１４をより広い範囲で変位させ
ることができるようになる。

【００８５】つまり、電磁アクチュエータ１０に対する
駆動信号ｙに同期して、圧電アクチュエータ４５に駆動
信号ｙ_p を適宜出力すれば、可動板１４は、空隙長δ
_ap0 と空隙長δ_ai2 との差であるストロークＳ₂ の範囲
で変位するようになり、より過大な振動入力に対しても
有効な振動低減制御が実行できる。従って、このエンジ
ンマウント１は、振動入力が大きいディーゼルエンジン
や大排気量ガソリンエンジン等を支持するのにさらに好
適となる。

【００８６】図１５は、電磁アクチュエータ１０に対す
る駆動信号ｙに同期して、圧電アクチュエータ４５に駆
動信号ｙ_p を出力する場合にコントローラ内で実行され
る処理の概要を示したフローチャートである。なお、上
記第１の実施の形態における処理と同様の処理を実行す
るステップには、同じ符号を付している。即ち、この図
１５に示す処理を実行する場合の前提として、圧電アク
チュエータ４５の最大変位量の半分をその動作中立点と
するために、圧電アクチュエータ４５への最大印加電圧
Ｖ_max の１／２の電圧を、予め圧電アクチュエータ４５
に印加して、板バネ１２の特性を図１４に一点鎖線で示
すような中立の特性としておく。そして、図１５の処理
が実行された場合には、そのステップ１１６からステッ
プ２０１に移行し、フィルタ係数Ｗ_i に同期する駆動信
号ｙ_piを演算し、ステップ１０４では、駆動信号ｙ及び
ｙ_p とを出力する。すると、可動板１４は、空隙長δ
_ap0 と空隙長δ_ai2 との差であるストロークＳ₂ の範囲
で変位するようになる。

【００８７】また、可動板１４の変位範囲をストローク
Ｓ₁ からストロークＳ₂ に広がっても、電磁アクチュエ
ータ１０の励磁コイル１０Ｂでの消費電力は増大する訳
ではなく、むしろ、可動板１４の変位範囲を圧電アクチ
ュエータ４５を有しない場合と等しくすることを考えれ
ば、それだけ電磁アクチュエータ１０の励磁コイル１０
Ｂへの電流は小さくて済むことになる。つまり、圧電ア
クチュエータ４５を設けてテーパ部１３Ｂの内周部を上
下方向に変位させるようにした結果、圧電アクチュエー
タ４５での消費電力分は増加しても、圧電アクチュエー
タ１０の励磁コイル１０Ｂでの消費電力は減少するよう
になる。そして、それら消費電力の増加分と減少分とを
比較すると、圧電アクチュエータ４５内を流れる電流は
励磁コイル１０Ｂを流れる電流よりも格段に小さいこと
から、減少分の方が大きくなり、全体として消費電力を
低減することができるのである。その他の作用効果は上
記第１の実施の形態と同様である。

【００８８】ここで、本実施の形態では、支持部材１３
のテーパ部１３Ｂを揺動可能とした構造と、高さ調節用
リング４４と、圧電アクチュエータ４５とによって、特
性可変手段が構成されている。図１６及び図１７は本発
明の第５の実施の形態を示す図であり、図１６は、板バ
ネ１２と支持部材１３との拡大断面図である。なお、全
体的な構成は上記第１の実施の形態と同様であるため、
その図示及び説明は省略する。

【００８９】即ち、上記各実施の形態では支持面１６を
曲面とすることにより、板バネ１２のバネ特性を非線形
としているが、この実施の形態では、図１６に示すよう
に、支持面１６を三等分し、径方向内側に近づくに従っ
て段階的に傾斜が急峻になるようにしている。つまり、
支持面１６の傾斜は、片持ち梁と見なすことができる板
バネ部１２Ｃの固定端１２Ｇ側から点ｐ₁ に至る迄の間
は水平面より若干急峻な程度であるが、点ｐ₁ に至ると
それよりも若干急峻になり、点ｐ₂ に至るとさらに急峻
になる。

【００９０】このような構成であると、図１７に示すよ
うに、板バネ１２のバネ力は、可動板１４の変位量が大
きくなるにしたがって段階的に増大するようになる。つ
まり、板バネ１２の変形量とバネ定数との関係は、可動
部材１４が電磁アクチュエータ１０に近づくに従って、
バネ定数が段階的に大きくなるような特性となり、上記
第１の実施の形態と同様の作用効果が得られるととも
に、支持部材１３の支持面１６の加工が容易となってコ
スト低減が図られるという利点がある。

【００９１】なお、この第５の実施の形態のように、支
持面１６を分割する場合、その分割数は三つに限定され
るものではなく、例えば四つ以上であってもよいし、二
つであってよい。また、上記第１の実施の形態では、支
持面１６を有する支持部材１３をアクチュエータケース
８側に固定しているが、アクチュエータケース８上端面
を上方に突出させ、その突出した部分に支持面１６を直
接形成するようにしてもよいし、支持面１６を、アクチ
ュエータケース８側又は可動板１４側のいずれか一方だ
けではなく、その両方に形成するようにしてもよい。要
は、アクチュエータケース８及び可動板１４の少なくと
も一方に、支持面１６を有する支持部材１３を固定する
か、或いは、支持面１６を直接形成すればよい。

【００９２】そして、上記実施の形態では、円形の板バ
ネ１２にスリット１２Ｂを形成することにより実質的に
板バネと見なせる複数の板バネ部１２Ｃを形成するか、
或いは、円形の板バネ４２にスリット４２Ａを形成する
ことにより実質的に板バネと見なせる複数の板バネ部４
２Ｂを形成し、それら板バネ部１２Ｃや板バネ部４２Ｂ
によって可動板１４を弾性支持するようにしているが、
これに限定されるものでなく、長方形の複数の板バネを
放射状に配設し、それらの外端側を支持部材１３やリン
グ材１１に固定し、それらの内端側で可動板１４を弾性
支持するようにしてもよいし、或いは、長方形の複数の
板バネを放射状に配設し、それらの内端側を可動板１４
に固定し、それらの外端側をアクチュエータケース８上
端面に当接させるようにしてもよく、そのような個別の
板バネを用いる構成であっても、上記実施の形態と同様
の作用効果が得られる。しかも、個別の板バネを用いる
構成であれば、板バネを厚板から打ち抜く場合にその板
厚の単位面積当たりの生産個数が増える（つまり、歩留
りが向上する）ため、コスト低減に繋がるという利点が
ある。

【００９３】また、上記第４の実施の形態では、圧電素
子を積層した圧電アクチュエータを用いてテーパ部１３
の内周部側を上下方向に変位させているが、これに限定
されるものではなく、磁歪素子や油圧式アクチュエータ
等用いてもよい。しかし、応答性の面からは、圧電素子
や磁歪素子等を用いることが望ましい。そして、上記各
実施の形態では、本発明に係る防振支持装置を、エンジ
ン３０を支持するエンジンマウント１に適用した場合を
示しているが、本発明に係る防振支持装置の適用対象は
エンジンマウント１に限定されるものではなく、例えば
振動を伴う工作機械の防振支持装置等であってもよい。

【００９４】さらに、上記各実施の形態では、低周波振
動入力時には流体がオリフィス５ａを通過する際に発生
する流体共振を利用して防振効果を得るようにしている
が、流体共振が発生させる周波数は任意である。また、
そのような流体共振を利用しない防振支持装置の場合に
は、オリフィス構成体５ａ，ダイアフラム４等を設ける
必要がなく、その分、部品点数が削減されるからコスト
が低減する。

【００９５】さらに、上記各実施の形態では、駆動信号
ｙを同期式Ｆｉｌｔｅｒｅｄ−ＸＬＭＳアルゴリズムに
従って生成しているが、適用可能なアルゴリズムはこれ
に限定されるものではなく、例えば、通常のＦｉｌｔｅ
ｒｅｄ−Ｘ ＬＭＳアルゴリズムであってもよいし、周
波数領域のＬＭＳアルゴリズムであってもよい。また、
系の特性が安定しているのであれば、ＬＭＳアルゴリズ
ム等の適応アルゴリズムを用いることなく、係数固定の
ディジタルフィルタ或いはアナログフィルタによって駆
動信号ｙを生成するようにしてもよい。

【００９６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１〜請求項
３に係る発明によれば、可動部材を適宜スリットを形成
した円形の板バネ或いは複数の板バネによって保持部材
側に弾性支持するようにしたため、板バネの耐久性低下
や装置の大幅な大型化等を招くことなく、可動部材の変
位範囲を広げることができ、過大な振動入力を低減する
のに有利な防振支持装置とすることができるという効果
がある。

【００９７】また、請求項４〜８に係る発明によれば、
可動部材の変位範囲をさらに広げることができるから、
過大な振動入力を低減するのにさらに有利な防振支持装
置とすることができるという効果がある。特に、請求項
８に係る発明であれば、可動部材が電磁アクチュエータ
に衝突することを確実に防止できるという効果もある。

【００９８】そして、請求項９〜１１に係る発明であれ
ば、消費電力の低減を図りつつ、可動部材の変位範囲を
さらに広げることができる。さらに、請求項１２に係る
発明であれば、受動的な支持力を発生する通常の流体封
入式の防振支持装置として機能させることもできるか
ら、種々の振動に対して防振効果を発揮することがさら
に容易になるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態におけるエンジンマウントの
構成を示す断面図である。

【図２】エンジンマウントの配設状態を示す全体構成図
である。

【図３】図１の要部拡大図である。

【図４】板バネの平面図である。

【図５】エンジンマウントのモデル図である。

【図６】コントローラ内で実行される処理の概要を示す
フローチャートである。

【図７】可動板及び電磁アクチュエータ間の空隙長と、
可動板に作用する吸引力及びバネ力との関係を示す特性
線図である。

【図８】可動板及び電磁アクチュエータ間の空隙長と、
可動板に作用する吸引力及びバネ力との関係を示す特性
線図であり、バネ特性が線形の場合と非線形の場合とを
比較したものである。

【図９】図１の要部拡大図である。

【図１０】第２の実施の形態におけるエンジンマウント
の要部断面図である。

【図１１】第３の実施の形態におけるエンジンマウント
の要部断面図である。

【図１２】第３の実施の形態における板バネの平面図で
ある。

【図１３】第４の実施の形態におけるエンジンマウント
の要部断面図である。

【図１４】可動板及び電磁アクチュエータ間の空隙長
と、可動板に作用する吸引力及びバネ力との関係を示す
特性線図であり、バネ力の特性が可変である場合を示し
ている。

【図１５】第４の実施の形態のコントローラ内で実行さ
れる処理の概要を示すフローチャートである。

【図１６】第５の実施の形態の要部断面図である。

【図１７】可動板の変位量とバネ力との関係を示す特性
線図である。

【符号の説明】

１ エンジンマウント（防振支持装置） ５ａ オリフィス ６ 支持弾性体 ８ アクチュエータケース（保持部材） １０ 電磁アクチュエータ １０Ａ ヨーク １０Ｂ 励磁コイル １０Ｃ 永久磁石 １２ 板バネ １２Ａ 開口部 １２Ｂ スリット １２Ｃ 板バネ部 １２Ｄ リング部 １３ 支持部材 １４ 可動板（可動部材） １６ 支持面 １７ 主流体室（流体室） １８ 副流体室 ２０ コントローラ ３０ エンジン（振動体） ３５ メンバ（支持体）

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 周期的な振動を発する振動体及びこれを
   支持する支持体間に介在する支持弾性体と、この支持弾
   性体によって画成された流体室と、この流体室内に封入
   された流体と、前記流体室の隔壁の一部を形成し且つ磁
   化可能な材料からなる可動部材と、この可動部材を前記
   流体室の容積を変化させる方向に変位可能に弾性支持す
   る弾性部材と、前記可動部材を前記方向に変位させる磁
   力を発生する電磁アクチュエータと、を備えた防振支持
   装置において、 前記弾性部材を中央に開口部を有する円形の板バネとす
   るとともに、前記板バネに前記開口部側から外周側に向
   かって放射状に延びる複数のスリットを形成し、そし
   て、前記板バネの内周側で前記可動部材を保持し、前記
   板バネの外周側を前記電磁アクチュエータを保持する保
   持部材側に支持させたことを特徴とする防振支持装置。
2. 【請求項２】 周期的な振動を発する振動体及びこれを
   支持する支持体間に介在する支持弾性体と、この支持弾
   性体によって画成された流体室と、この流体室内に封入
   された流体と、前記流体室の隔壁の一部を形成し且つ磁
   化可能な材料からなる可動部材と、この可動部材を前記
   流体室の容積を変化させる方向に変位可能に弾性支持す
   る弾性部材と、前記可動部材を前記方向に変位させる磁
   力を発生する電磁アクチュエータと、を備えた防振支持
   装置において、 前記弾性部材を円形の板バネとするとともに、前記板バ
   ネに外周側から中央部に向かって延びる複数のスリット
   を形成し、そして、前記板バネの中央部で前記可動部材
   を保持し、前記板バネの外周側を前記電磁アクチュエー
   タを保持する保持部材側に支持させたことを特徴とする
   防振支持装置。
3. 【請求項３】 周期的な振動を発する振動体及びこれを
   支持する支持体間に介在する支持弾性体と、この支持弾
   性体によって画成された流体室と、この流体室内に封入
   された流体と、前記流体室の隔壁の一部を形成し且つ磁
   化可能な材料からなる可動部材と、この可動部材を前記
   流体室の容積を変化させる方向に変位可能に弾性支持す
   る弾性部材と、前記可動部材を前記方向に変位させる磁
   力を発生する電磁アクチュエータと、を備えた防振支持
   装置において、 前記弾性部材を、一端側が前記可動部材側に結合され且
   つ他端側が前記電磁アクチュエータを保持する保持部材
   側に支持された複数の板バネとしたことを特徴とする防
   振支持装置。
4. 【請求項４】 前記可動部材側及び前記保持部材側の少
   なくとも一方に、前記可動部材が前記電磁アクチュエー
   タ側に近づくに従って前記板バネとの接触面積が大きく
   なる支持面を有する支持部材を設けた請求項１乃至請求
   項３のいずれかに記載の防振支持装置。
5. 【請求項５】 前記可動部材及び前記保持部材の少なく
   とも一方に、前記可動部材が前記電磁アクチュエータ側
   に近づくに従って前記板バネとの接触面積が大きくなる
   支持面を形成した請求項１乃至請求項３のいずれかに記
   載の防振支持装置。
6. 【請求項６】 前記弾性部材の変形量とバネ定数との関
   係を、前記可動部材が前記電磁アクチュエータに近づく
   に従って前記バネ定数が大きくなる非線形特性とした請
   求項１乃至請求項５のいずれかに記載の防振支持装置。
7. 【請求項７】 前記弾性部材の変形量とバネ定数との関
   係を、前記可動部材が前記電磁アクチュエータに近づく
   に従って前記バネ定数が段階的に大きくなる特性とした
   請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の防振支持装
   置。
8. 【請求項８】 前記可動部材を前記電磁アクチュエータ
   に接触する位置まで変位させた場合に前記弾性部材が発
   生するバネ力を、前記可動部材が前記電磁アクチュエー
   タに接触した場合に受ける吸引力よりも大きくした請求
   項１乃至請求項７のいずれかに記載の防振支持装置。
9. 【請求項９】 前記弾性部材の変形量とバネ定数との関
   係を可変とする特性可変手段を設けた請求項１乃至請求
   項８のいずれかに記載の防振支持装置。
10. 【請求項１０】 前記特性可変手段を、圧電素子を含ん
    で構成した請求項９記載の防振支持装置。
11. 【請求項１１】 前記特性可変手段を、磁歪素子を含ん
    で構成した請求項９記載の防振支持装置。
12. 【請求項１２】 オリフィスを介して前記流体室に連通
    する容積可変の副流体室を設けるとともに、前記流体
    室，前記オリフィス及び前記副流体室内に流体を封入し
    た請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載の防振支持
    装置。