JPH07503529A - 電子チップを取付けたリードフレーム用マガジンの熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 電子チップを取付けたリードフレーム用マガジンの熱処理装置本発明は、端部エ ツジによって画定され、ドアによる開閉可能な装填口を有し、マガジン内のリー ドフレームを高温ガスに曝すための少なくとも一つのファンを配置した少なくと も一つのボックス内で、マガジンの水平長手方向に平行で、かつ電子チップを配 置したリードフレーム用の実質的に立方形をした少なくとも一つのマガジンを熱 処理するための装置に関する。

現今の半導体量産に於ける競争は、特に品質的に満足な部品の収量の問題に置か れている。これに対応する生産バッチはコスト面で大きな増加を見ることなく、 また納期に遅れを来すことなく準備されねばならない。この挑戦は極めて高い信 頼性と生産性を備えた工程と装置の使用を要求すると共に、最小のバッチサイズ が、そのバッチサイズの故に生産性に逆影響を及ぼすことなく、処理されること が要求される。この目的に対し、マガジンに配置された電子チップを取り付けた リードフレームを個々の配線用ステージタン（所謂ワイヤボンダ）に供給するた めに、種々の考え方に基づく工程ラインが開発されてきた。この場合、リードフ レームはワークステーションからワークスチーシコンへと流されてい（。

これらワークステーションの一つはキュア装置であって、この装置内で所謂キュ ア、即ちエポキシ樹脂の重合による固化、ここでは特にリードフレーム上に電子 チップを固定するために使用される接合材の同化が起こる。

これまでは、リードフレームを配置した複数のマガジンを対応するオーブンに入 れて、それらを高温ガス（空気または不活性ガス）に曝すようにしている。しか し、この様なランダムな熱処理には、キュア過程、温度分布、電子部品に掛かる ストレス、電子部品の汚染、リードフレームの汚染、環境の汚染等に関し、不利 な点が多々見られる。

従って、本発明の目的は、リードフレームの全長にわたって一様なキュアが起こ り、そこに取り付けた電子チップのストレスができる限り小さく、かつそれらの 汚染並びに環境の汚染を最小限にするような特別な制御方法でリードフレームを 熱処理する事によって、上述の不利な点が生じることのないキュア装置を提供す ることにある。

この目的はファンをハウジング内に支持配置することによって達成される。即ち 、ガスをマガジンを通して流すために、マガジンの領域で実質的にマガジンの長 手方向に平行で、かつ実質的に水平方向に流れる少なくとも一つのガスの流れを 作り出すようにしてハウジング内にファンを支持配置することによって達成され る。

こうしたファン配設の結果、ガスとマガジン内のリードフレーム上にある電子チ ップとの間の熱伝達は実質的に増加し、その結果、マガジン内のリードフレーム 上にある電子チップの加熱または冷却に要する時間周期は実質的に低減される。

それ故、非常に熱に敏感な電子チップの成分部分は可能な限り短時間に、かつ一 様に高温に曝されることになる。例えば、電子チップを含んだ樹脂を固化するた め、即ち一般には、望ましい化学反応を樹脂内で進行させるために必要な時間だ け電子チップを高温に曝すのが最適である。

マガジン内の温度の恒常性に関する期待は既に本実施例で満たされてはいるが、 マガジンのガス流出側の電子成分がガス流入側の成分と実質的に同温度になるま での時間は、更に短縮することが可能である。

ヒータの少なくとも一部が、マガジンからファンへまたはファンからマガジンへ 流れるガス流の実質的に水平区域にあることが望ましい。本発明による装置の一 般計では、ヒータは二つの部分からなり、そのおのおの部分はそれぞれマガジン からファンへ、そしてファンからマガジンへ流れるガス流の区域に設けられる。

この加熱手段の配置によって、加熱ガスはファンで渦巻かれ、その結果充分に攪 拌されるので、熱的層化の危険性は避けられる。

ファンとマガジンの間に、少なくとも一つのガス案内要素を設けることが好まし い。このガス案内要素はバッフル（邪魔板）、壁、ガス案内ブランチ等として設 計するのが好ましい。これらのガス案内要素はマガジンに配置したリードフレー ムに対しガスの流れを特別な仕方で案内する。ガスの流れはヒータによって引き 込まれそして／または対応するファンによって追い出され、次いでリードフレー ムを配置したマガジンに供給されて、そこを通って流れてリードフレームの熱処 理を行う。

本発明による装置の一般計では、ファンはへりカルファン、即ちはす羽根、シャ フトを備え、マガジンの長平方向に平行にガスを排出するファンとして設計され 、ガス案内要素はマガジンとファンとの間に配置されボックスのハウジングの壁 と共に強制された流れのダクトを形成するバッフルとして設計されている。この 場合、ガスの流れの方向はへりカルファンの回転方向を逆にすることによって変 化できる、例えば回転方向を交互に逆にすることによって変化できることが好ま しい。この回転方向の逆転は、例えば１０ないし３０秒周囲、好ましくは１０秒 周期で行われる。従って、マガジンを通ってゆっくり流れるガスの低い熱量に起 因する熱伝達の不均一性を更に少なくするために、マガジンを両側から高温ガス に曝すことができる。

本発明による装置の他の設計では、少なくとも一つのダクトがファンに隣合うガ ス案内要素として作用するチャンバの壁によって形成され、このダクトがガスの 流れをマガジン内に配置されたリードフレムに対し一方から案内する。この場合 、ファンはラディアルファン、即ち放射羽根を備えたファンとし設計され、ガス の流れの方向は対応の強制流ダクトを機械的に作動可能な遮断板またはゲートに よって開閉して変化させることが好ましい。前述の場合と同様の理由、有利性か ら、この遮断板またはゲートの作動は、例えば１０ないし３０秒の周期、好まし くは１０秒の周期で行われる。

本発明による装置の更に他の設計では、二つの強制流ダクトまたは案内ダクトが ガス案内要素として作用する少なくとも一つのバッフル、またはガス案内要素と して作用する少なくとも一つの壁によって形成され、これらのダクトによってガ スの流れはマガジンからファンへ、またはファンからマガジンへと案内される。

これら二つの設計では、ガスは一つのダクトを通してマガジンから引き込まれ、 加熱され、そしてもし適当であれば、他のダクト、例えば反対側のダクトを通っ て再びマガジンに供給される。

本発明による更に他の装置では、ラディアルファンとして設計され、マガジンを それぞれ反対の方向からガスに曝す二つのファンが、ボックスに設けられる。従 ってこの設計では、ガスはボックスの上部または下部領域に於いて、それぞれ反 対の方向に一つのダクトを通して引き込まれて、マガジンを加熱し、もう一つの ダクト、例えば他の対向ダクトから再びマガジンに送られる。この場合、ファン は環状のフランジを備えたガス案内ブランチとして設けられていることが好まし い。このガス案内ブランチはボックスの後壁に隣接する壁に設置され、マガジン に向かって案内ダクトを形成する。この場合、ヒータは螺旋発熱体として設計さ れ、二つのファンによるガス案内ブランチの間に配置され、螺旋発熱体の螺旋軸 は実質的に垂直に設けられ、そしてガス案内ブランチのそれぞれの長手軸は実質 的に水平に設けられる。この場合、ボックス内のガスの流れの分布は、例えば羽 根の回転が交互に反対となるように、二つのファンの回転方向を同時に逆転する ことによって周期的に変化させることができる。前述と同様の理由、有利性から 、二つのファンの回転方向の同時反転は、例えば１０乃至３０秒の周期、好まし くは１０秒の周期で実施される。

本発明によるこれらの好ましい方法、またはそれらの種々の組み合わせは、ボッ クス内のガスそして／またはマガジンに配置されたリードフレームの改良され、 かつ高速の加熱を実現する効果を有している。

特に、二つのファンを使用し、その回転方向を周期的に逆転することが、それぞ れボックスの上下サブ領域に於いて、より高速の一方向のガスの流れをより低速 な他の方向のガスの流れによって補償することになるので、逆の条件がボックス の上下サブ領域に適用される。その結果、例えばキュア処理のような熱処理はよ り一様に進行し、また高速化もされる。

ファン駆動のためにファンはそれぞれにモータを備え、シャフトを介してそれと 接続されることが好ましい。モータはそれぞれハウジングの外に配置され、同じ 方向に回転し、ハウジングのほぼ対抗する側壁片上に配置される。この場合、実 質的に垂直な側壁片はボックスのハウジングの実質的に垂直な後壁から斜めに離 れていくほうこうに設置されているのが好ましい。この後壁は実質的に垂直なボ ックスの開口より狭（なっている。更に、二つのファンを備えた装置に対応する 設計では、ガス案内ブランチとシャフトが実質的に同一の長手軸を有し、それら は実質的に螺旋発熱体の中心点で出会うか、または螺旋発熱体の螺旋軸上で出会 って、好ましくは鈍角を作るようにする。従ってファンは互いに斜めに傾斜して 配置されることになる。

これらの好ましい方法によって、ファンがガスを閉じられたチャンバに遠心的に 放出し、他方このガスが良好に画定され、最適に設計された案内ダクトを介して のみ循環すると言う効果を達成する。

その結果、所定の一線状に整列したのガスの流れが確保される。

ファンを斜めに傾斜させることによって、更に大きな利点がもたらされる。まず 、ガスの偏りが圧力降下を導き、そのため所望のガスの流れが著しく減少するこ とはよく知られるところである。こうした理由から、本発明によるボックスでは 、ガスの偏りは出来る限り少なくすべきである。これは、ファンを斜めに傾斜さ せることによって達成される。何故ならば、そこに設けられる膝部はマガジンに 向かって放射状に開く壁の効果でガスの導入を改良するからである。さらなる利 点は、モータを配置する側壁部を傾斜設計することが出来ることである。従って 、ボックスの後壁はドアまたは装填口に比べて狭く設計され、その結果ボックス の隣にはモータだけが突き出た自由空間が生まれるが、この場合モータは側壁の 主面を越えて飛び出ることはない。従って、複数のボックスを互いに他の妨げに ならないようにして、隣り合わせに、または積み上げて配置することが可能にな る。更に、このような配置には非常に小さな内部空間しか必要ではなく、このこ とがガスの流れに関して明確な効果を発揮する。

マガジンキャリヤをボックス内に設けることが好ましい。このマガジンキャリヤ はハウジングからは熱的に隔離され、かつ装填口の前面のほぼ中央の位置で少な くとも一つのマガジンを支持することが出来る。このようにして、マガジンをボ ックスの中位の高さに配置することが出来るので、マガジンをより平均してガス の流れに曝すことができる。

この場合、温度センサをマガジンキャリヤの実質的中心に配置し、それらを熱的 に結合することが出来る。マガジンキャリヤはヒータの螺旋発熱体による直接の 熱照射から温度センサを遮蔽する。更に、この温度センサに加えて、ボックス内 に少なくとも二つの温度センサを設けることも出来る。これらの温度センサは互 いに実質的に同じ高さで配置され、少なくともその一つは二つの強制流ダクト、 または案内ダクトのガスの流れ中に割当配置され、その温度を検出する。こうし て、マガジンに配置された電子部品の温度は最良に確保され、最適に監視される 。

ファンを駆動するために、ボックスの外に配置された駆動装置またはモータに接 続されたファンのシャフトは、ハウシングに配置したシャフトシールに通される 。このシャフトシールはシャフトより大きな直径を有するシャフトのパツキン押 さえを備え、このパツキン押さえには窒素ような不活性ガスを供給するための半 径方向の開口ラインが設けられる。既に述べたへりカルファンの特別な場合、即 ちそのシャフトの方向とガス排除方向が実質的にマガジンの長手方向に平行であ るようなへりカルファンの場合、へりカルファンのシャフトはボックスの外に配 置された駆動装置またはモータとマグネットカップラによって接続されているこ とが望ましい。このファン駆動方法によって、ボックスのハウジングに漏れが生 じない、即ち空気や埃などによる外部からの汚染、または外部へ排出されるガス による汚染を引き起こす漏れを起こさない。シャフトのパツキン押さえの場合、 そこを流れるガスはシャフトの周りを流れて、ボックスの内部空間に流れ込むと 共に、ハウジングから出て行くので、シャフトのパツキン押さえには摩擦が生ぜ ず、従って軸に熱の発生もない。逆に、シャフトは不活性ガスによって冷却され る。更に、モータはボックスの外に配置されるので、ボックス内のかなりの熱に よる損傷から免れ、モータシャフトの取付は部が高温になることもない。

言うまでもなく、ボックスにはガス供給乱ラインが設けられ、それによってフレ ッシュガス、例えば窒素等の不活性ガス等が、例えばリードフレームの部分の酸 化を防止するために、ボックスの内部空間に導入される。それと同時に、ボック スにはガス放出ラインも設けられ、これによって有害な物質と混ざったガスがボ ックスの内部空間から案内されて出される。例えば、もしエポキシ樹脂の重合が 起こっていれば、このガスが処分される。

言うまでもなく、他の設計によるバッフルを考えることは可能である。特に、ガ スの流れにもっと明確な影響が出るように、バッフルを制御可能な遮断板または ゲートとして設計することは可能である。しかし、その費用は更に嵩むことにな るだろう。

本発明は一面で、ボックスのドアまたはボックスの開口部にも関係している。こ の点に関する主な思考は、ボックスのドア開閉時にボックスの内部空間に出来る 限り外部から空気を持込まないようにすることに置かれる。その理由は、この空 気はリードフレーム上に付着する汚染粒子を含んでおり、障害を引き起こすので 、酸化を避けるために不活性ガスで洗浄されなければならないものだからである 。

こうした理由から、ドアはボックスを支持している主ハウジングに、平行四辺形 のリンク装置によって接続することが好ましい。この平行四辺形のリンク装置は 、好ましくはドアの側面と、主ハウジングに一緒に接続されている二つのレバー とを備え、駆動装置によって動かさせることが好ましい。二つのレバーの間には 実質的に水平な横棒を設けることが好ましい。この横棒には内部にネジを切った スリーブが設けられ、そこをスピンドル棒が通り抜けている。このスピンドル棒 は駆動ベルトによってモータに接続されていることが好ましい。

ドアが平行四辺形のリンク装置によって開閉されるため、ドアは装填口から引き 出すことが出来る。例えば、蝶番型のドアの場合のように、ドアをびしゃと締め ることによってボックスの内部空間に空気が引き込まれることもなく、ドアを上 または下に引き出すことが出来る。更に、ボックスとドアとの間のシールは一様 に圧迫され、より有効なシール性と、シールの長期使用を保証する。

本発明によるキュア装置は数多くの利点を備えており、それを個々に完全に数え 上げることは不可能である。実質的に全ての操作パラメータを制御、監視するこ とによって、リードフレーム間で極めて好ましい温度分布が加熱に関しても、ま た冷却に関しても実現される。装置は高温における操作（所謂、スナップキュア ）に対しても適しており、不活性ガスと共にこの操作を行なうことが可能である 。電子部品は最小のストレスを受けるだけであり、極めて低レベルの汚染を受け るだけだろ。全ての電子部品は同一のキュア条件に対して、実質的に同じ時間ガ スに曝される。

更に、装置はある種のマガジン処理に限られるものであはな（、種々のサイズの マガジンを処理することができる。バッフルの交換は必要ではなく、その他の予 防措置も必要ではない。チップまたはリードフレームに関する詰め込み効果は除 外される。

更に強調されるべき点は、装置が小型に設計されている点と、簡単なドア機構を 採用している点である。このような装置は既存の工程ラインに簡単に、そして非 常に好ましい方法で組み入れることが可能である。

本発明のさらに他の利点、特徴及び詳細は、以下に図面を参照して述べる本発明 による好ましい実施例から明らかになるであろう。

図において： 第１図は電子部品を取付けたリードフレーム用キュア装置における本発明による ボックスの実施例の概略平面図；第２図は第１図に対応するキュア装置用のボッ クスの他の実施例を示す概略平面図； 第３図は第１図に対応するキュア装置用の開放ボックスの更に他の実施例を示す 概略平面図； 第４図は第３図のボックスの断面図； 第５図は第３図のボックスのｖ−ｖ線に沿ってとった、部分断面図； 第６図はキュア装置の一部を、一体化されたボックスと共に示す側面図； 第７図は第６図に示すキュア装置の一部を示す平面図：第８図は本発明によるシ ャフトシールの一部切り欠き平面図；そして 第９図は第８図のＩＸ−ＩＸ線に沿ってとったシャフトシールの断面図である。

第１図に於いて、リードフレーム用キュア装置のボックスＲは、全ての側面が好 ましくは垂直な後壁２と、好ましくは垂直な側壁３．４と、端部エッヂ２９によ って画定され、かつドア６によりて開閉される好ましくは垂直な装填口５とによ って、全ての側面を閉じられたハウジング１を有している。

ボックスＲには、マガジンキャリヤ７ａが設けられ、その上でマガジン７は装填 口５の前のほぼ中心にセットされ、従ってボックスのほぼ中間の高さで配置され る。熱処理を受けるリードフレムはマガジン７に配置されて、−回のボックス通 過の間に複数のリードフレーム、例えば４０個のリードフレームが一度の操作で 熱処理される。

マガジンキャリヤ７ａはマガジン７と熱的に結合しているが、ハウジング１とは 熱的に隔離されている。例えば、マガジンキャリヤ７ａは熱的に絶縁性の中間層 ７ｂ、例えばセラミック（第４図参照）の中間層７ｂによってハウジング１に支 持されるアルミ合金製の立方形ブロックである。マガジン７ちまたアルミ合金製 であり、それをマガジンキャリヤ７ａ上にセットすることによって、所望の熱的 接触が形成される。

マガジンキャリヤ７ａの実質的中心には、それと熱的結合をする温度センサ６７ ｃが設けられ、このセンサは、例えばダクト６７ｄを介してマガジンキャリヤ７ ａに導入することができる（第４図参照）。この温度センサ６７ｃは熱電対また は温度感知性のプラチナレジスタ等で構成されている。マガジンキャリヤ７ａの 温度を計ることによって、温度センサ６７ｃはマガジン７並びに熱処理されるリ ードフレームのの温度制御を可能にする。

ハウジング１の内部に位置しているヒータ８によって、内部空間■のガスを加熱 することができる。第１図に示した実施例ではヒータ８は、二つに分けてその軸 を水平に配置した螺旋加熱体８ａ１８ｂからなり、ファン９の前後に置かれてい る。ファン９はハウジングｌのほぼ垂直中心面内に配置されて、その羽根は水平 シャフト１０に取り付けられ、このシャフトは概略図示したベアリングブロック １１．１２内で回転する。シャフト１０はマグネットカプラ１３によって外に設 けた駆動袋ｇ１（これ以上詳細に図示しない）に接続されている。

温度センサ６７ｃはマガジン７ａによって、ヒータ８の螺旋加熱体８ａ、８ｂに よる直接輻射から遮蔽されている。

ファン９とマガジン７の間には、バッフル（邪魔板）１４が設けられ、これが所 望のガスの流れを確保する。

第１図の実施例では、ガスは対応してセットした羽根を備えたファン９によって 左側から吸い込まれ、螺旋加熱体８ａを介して流れる。更にファン９はもう一つ の螺旋加熱体８ｂと、ガスが通過しなければならない強制流ダクト１５を形成し ているバッフル１４を介してガスを右側に押しやる。その後、この加熱されたガ スはマガジン７及びそこに配置されたリードフレームを通り過ぎて、もう一つの 強制流ダクト１６を介して再びファンの領域または空間に引き込まれる。

実際、マガジンをゆっくり流れるガスは低い熱量しか持っていないので、ガスの 出口側に比べてガスの入り口に於ける熱にかなりな差異があることが解った。こ のことは、リードフレームの非対称な処理を生じさせるので好ましくない。ガス の入り口側を変更するように、ファン９の回転方向をある時間間隔で反転させる ことによってこの不利な点を補償することができる。既に述べたとおり、この回 転方向の逆転は、例えば１ｏ乃至３０秒の周期で、好ましくは１０秒の周期で行 われる。この結果、すでに極めて良好な結果が得られている。

第２図の他の実施例では、ボックスＲ１のヒータ８はラディアルファン１７とマ ガジン７の間に配置したただ一つの螺旋加熱体がらなっている。ヒータ８とラデ ィアルファン１７との間には閉鎖型のガス案内ブランチ１８が位置していて、そ の側面はチャンバの壁１９．２０と隣合っている。ラディアルファン１７はモー タ２４に接続されている。

チャンバの壁１９．２ｏは側壁３．４並びに調整可能なゲイトまたは遮断板２１ ａ、２１ｂと共に、内部空間１１を形成している。

遮断板２１ａは作動装置２３ａに、遮断板２１ｂは作動装置２３ｂにそれぞれ割 当配置されている。これらの作動装置２３　ａ、２３　ｂによって、各々の遮断 板２１ａ、２１ｂは二点間で移動が可能になり、即ちゲイトが二点間で調整可能 になる。こうして内部空間■１を閉鎖し、またはマガジン７へのガスの流れを起 こすために、それぞれのダクト１５ａＳ　１５ｂを解放する。第２図に示されて いる位置では、ダクト１５ａは遮断板２１ａによって閉じられ、ダクト１５ｂは 遮断板２１ｔ？にょって解放されている。この結果、ガス流はダクト１５ａから はマガジンに流れず、ガス流はダクト１５ｂを通ってマガジン７に流れる。それ からこのガスはマガジン７を通って全体に、或いは部分的に流れ再びガス案内ブ ランチ１８とヒータ８を通ってラディアルファン１７によって吸い込まれる。上 述の場合と同様の理由と有利性から、マガジンへのガスの入り口側を交互に変え て、マガジン７を通るガスの流れ方向を変化させるために、遮断板またはゲート の開閉は、例えばｌＯ乃至３０秒の周期、好ましくは１０秒の周期で行う。

更にヒータ８には、斜視図として示したもう一つの温度センサ６５がが設けられ ている。実際上、チューブスリーブ６６はヒータ８に実質的に同軸に設けらる。

このチューブスリーブ６６は、温度センサ６７に対し熱遮蔽及び機械的保護具と して働き、これに接続されているラグ６８はボックスＲ１の内部空間１１から、 その一部だけが示されている小さいチューブ６９を通して引き出されている。

チューブスリーブ６６とヒータのら旋加熱体の相対的寸法は温度センサ６７がチ ューブスリーブ６６によってヒータ８の螺旋加熱体による直接熱照射から遮蔽さ れるように選択する。追加した温度センサ６５は追加測定した温度を供給し、こ の値によってボックスＲ１内の空間的、時間的温度分布が更に改良される。言う までもなく、こうした追加の温度センサ６５は本発明の実施例会てに使用可能で ある。

更に他の実施例が第３図乃至第５図に示されている。この場合、ボックスＲ２の ハウジング１ａは多角形設計となっていて、その壁部分には熱絶縁材料２５が充 填されている。このハウジング１ａの場合、その後壁２ａは装填口５より幅狭く 設計されている。この装填口５は二つのほぼ平行な側壁片３ａ、４ａによって形 成され、これら側壁片は膝部２６通って後壁２ａに側壁片３ｂ、４ｂと隣接して いる。これらの側壁片３ｂ、４ｂには、ハウシングｌａの内部でラディアルファ ン１７ａＳ　１７ｂを駆動するモータ２４ａ、２４ｂをそれぞれ受け入れるため の凹所２７が設けられている。特に第３図から、モータ２４ａ、２４ｂはいずれ も側壁３ａｓ３ｂの外壁によって形成されるハウジングｌａの外面から飛び出し ていないことがわかる。従って、ボックスＲ２の外側にモータ２４ａ、２４ｂを 配置したために起こる互いに他の配置を妨げる事も無く、複数のこうしたボック スＲ２をつぎつぎ隣り合わせに、または積み重ねて配置することが出来る。

モータ２４ａ、２４ｂをボックスＲ２の外に設けることは、モータ自身にとって も、またラディアルファン１７ａまたは１７ｂを取付けるシャフトｌＯａにとっ ても、かなり有利である。ハウジング１ａの内部は所望の高温となるから、この ことはモータに不利な効果を与えることになる。もしシャフト１０ａが非常に加 熱されれば、それは装置の運転を十分に妨げるすることになる。この実施例では 、モータ２４ａまたは２４ｂの取付手段２８のような熱絶縁手段によってこれを 防いでいる。

シャフトシールの好ましい実施例は第８図及び第９図に示されている。シャフト シール７０はほぼその中心にシャフトのパツキン押さえ７２を備えたワシャ７１ からなっている。パツキン押さえ７２の直径ｄはシャフト１０ａの直径より大き い。してかって、シャツ）１０ａはシャフトシール７０に遊びを持って取付けら れる。シャフトの押さえパツキン７２には半径方向に開口ライン７３が設けられ 、これを通して不活性ガス、例えば窒素がシャフトのパツキン押さえ７２へ導入 される。このガスはシャフト１０ａの周りを流れ、ボックスＲ２の内部空間をシ ールする効果がある。更に、このシャフトＬＯａの周囲の流れは、ガス冷却の効 果をもたらす。このガスの供給ラインは詳しくは図示しない。従って、シャフト １０ａは摩擦もなく、と言って外部の空気や埃によるガスの汚染を起こすボック スＲ２のハウジングからの漏れを起こすこともなく、ボックスＲ２のハウジング を貫通することが可能になる。

さらに、側壁片３ａ、４ａの端部エッヂ２９は環状シール３０によってカバーさ れていることについて述べておく。以下に述べる理由から、ハウジングｌａの内 部空間は気密に保たれている。エポキシ樹脂の重合時にはある種の物質が発生す るので、ボックスからのガスは、その浄化等を行なわずに周囲環境に放出すべき ではない。

更に、リードフレームの処理は出来るかぎり埃のないところで行なうことが重要 である。更に、後述するように、望ましくない酸化を避けるために、一般に窒素 が混入される。

ハウジング１ａの内部には、斜めに傾斜した側壁片３ｂ、４ｂにほぼ平行に、ハ ウジングの底面に対して板３２ａ、３２ｂによってそれぞれ支持される壁３１ａ 、３１ｂが設けられる。これらの壁３１ａ、３１ｂには、既に他の実施例の説明 で述べた形式のガス案内ブランチ１８が挿入される。このブランチ１８は対応す るラディアルファン１７ａ、１７ｂと相互に作用する。ガス案内ブランチ１８に は環状のフランジ３４が形成され、このフランジはバッフルとして働き、吸入さ れたガスがガス案内ブランチ１８に逆流することを防止する。

壁３１は後壁２ａまで延びているので、ラディアルファン１７と後壁２ａとの間 には、ラディアルファン１７に向かってだけ開いた空間３５が形成される。さも なければ、ここではもう一つの方向にガスの流れが生じない。

二つの互いに斜めに傾斜して配置された壁３１ａ、３１ｂの間には、ヒータ８が 直立した螺旋加熱体として配置され、そのら旋釉Ｍは、出力ブランチ１８のそれ ぞれの長手軸Ａ、　Ｂに実質的に直角をなしている。モータ２４ａ、２４ｂのシ ャフト１ＯａＳ　ｌＯｂの長手方向の軸ＡＳ　Ｂはヒータ８の中心点Ｍに於いて 、または施油熱体の螺旋軸Ｍにおいて、交差することが好ましい。更に、軸Ａ、 　Ｂはそれぞれのガス案内ブランチ１８の中心軸にもなっている。

第４図から、ヒータ８は接続線３６を介してエネルギー源（詳細には図示せず） に接続されていることがわかる。更に、同図から、ガスの供給ライン３８と放出 ライン３９がハウジングｌａの底部３３と頂部４０に対して開口し、供給された ガスの分配と、放出されるガスの収集は分配板４１と収集板４２によって、それ ぞれ補助されることがわかる。例えば、窒素は予熱されてから供給される。特に エポキシ樹脂の重合の間に発生する物質を含んだガスが放出される。

本発明の主な利点は第一に、出来る限りガスの偏りが少くされていることである 。ガスの偏りは、その結果として常に望ましくない圧力効果を招くので、出来る かぎり偏りをなくすべきである。この実施例では膝部２６、または壁３１ａと側 壁片３ａならびに壁３１ｂと側壁片３ｂとの間の案内ダクト４３．４４に於いて ほんの僅かなガスの偏りがあるが、はとんどガスの流れの圧力には著しい影響が ない。ガスはマガジン７の両側からその入口に対してそれぞれ偏向されなければ ならないだけである。このことは、もし適切に行なわれれば、マガジンの前面に ガスの流れに対する横方向の障害物（詳しくは図示しない）を設置することによ って更に改良される。

本発明の概念は、モータ２４ａとモータ２４ｂとは同方向に回転する代わりに、 反対方向にも回転できるという概念を包含するものである。このことによって、 マガジンの両側におけるガスの流れは上方領域、下方領域の何れかに於いて強め られ、その他の領域でガスの流れが低減される。このことは以下に述べる考へ方 からくるものである。

ば、ガスはラディアルファン１７ａの羽根の下半分によって、後方に遠心分離さ れてチャンバ３５即ち後壁２ａに向かう。他方案内ダクト４３を介したガス分配 は、ラディアルファン１７ａの羽根の上部を介して行なわれる。従って、ガス流 はハウジング上方領域で加速され、マガジン７の頂部に配置されているリードフ レームにおけるガスの流れもまた強められる。もしモータ１７ｂが反時計周りに 回転しているならば、同様のことがラディアルファン１７ｂに適用される。従っ て、二つの強められたガスの流れはマガジン７の上方領域で出会い、下方領域は 実質的に無視される。

こうした理由から、モータ２４　ａ、２４　ｂは同方向に回転することが好まし い。その結果、ボックスＲ２の上方領域に於いて、一方向（モータ２４ａのファ ン１７ａ）の高速ガス流は他の方向（モータ２４ｂのファン１７ｂ）の幾分低速 のガス流によって補償され、この逆をボックスＲ２の下方領域に適用すれば、そ の結果ボックスＲ２には、垂直な装填口５から見て、長方形の装填口５の中心と 対角線（中心線ではない）に関して対称性を有しているかのようなガスの流れシ ステムが作られる。

ここでまた、モータの回転方向を周期的に逆転するれことはボックスＲ２におけ るガスの流れの分布を変更し、その結果リードフレーム処理を改良することにな る。前述の場合と同様の理由及び有利性から、マガジン７を通るガスの流れの方 向と分布を交互に変えるための二つのファンの回転方向の逆転は、例えば１０乃 至３０秒の周期で、好ましくは１０秒の周期で行なわれる。

上述の場合と同様、ここではまた、ボックスＲ２にはマガジンキャリャ７ａが設 けられ、その上にマガジン７が装填口５の前面のほぼ中心にセットされ、マガジ ンが一様にガスの流れに曝されるようにボックスＲ２の中間の高さに配置される 。マガジンキャリヤ７ａはマガジン７と熱的に結合されているが、ハウジング１ 即ちその底部３３からは中間層７ｂ（第４図参照）によって熱的に隔離されてい る。ここではまた、実質的にマガジンキャリヤ７ａの中心には、それと熱的に結 合して温度センサ６７ｃが設けられている。この温度センサはダクト６７ｄ（第 ４図参照）を介してマガジン７ａに導入することが出来、これによってマガジン キャリヤ７ａの温度を測定してマガジン７と、処理されるリードフレームの温度 を制御することが可能になる。この場合、温度センサ６７ｃはマガジンキャリヤ ７ａによって、ヒータ８の螺旋発熱体による直接熱照射から遮蔽される。

温度センサ６７ｃに加えて、ボックスＲ２には二つのガス温度センサ６７ａ、６ ７ｂ　（第３図参照）が設けられる。これらセンサは共にボックスＲ２の中位の 高さに、互いにほぼ同じ高さで壁３１ａ。

３１ｂのところに割当配置され、案内ダクト４３．４４におけるガスの流れの温 度を検出する。こうしたガス温度センサは一対以上、例えば６対（第４図では、 三つの左側のガス温度センサ６７ｂ°、６７ｂ”　、６７ｂ”　’　だけが示さ れている）設けてもよい。こうしたガス温度センサは互いに対を作ってボックス Ｒ２の実質的に同じ高さに、例えば壁３１ａ、３１ｂの終点に配置される。これ らＲ２中のガスの流れの対称性を確認することが出来るので、ボックスＲ２の動 作の対称性を監視することが出来る。このようにして、マガジン内の成分の温度 分布を最良に確認し、監視することが出来る。

言うまでもなく、そうしたガス温度センサは本発明の他の設計と関しても使用す ることが出来る。例えば、その検出温度によって第１図の設計によるボックスＲ の強制流ダクト１５．１６内、または第２図の設計によるボックスＲの強制流ダ クト１５ａ、１５ｂ内でガスの流れの対称性を確認するのに使用することが出来 る。

もしドア６が全自動的に開閉可能であり、装填口５の領域から移動することが可 能であれば、それはボックスＲの自動装填にとって有利なことである。この目的 のために第６図、第７図に図示のように、平行四辺形のリンク装置４５が設けら れている。このリンク装置によって、ドア６を装填口５から、キュア装置の主ハ ウジング４６に近い装填口５の下の終端位置まで移動することが出来る。この終 端位置及び中間の位置は第６図に破線で示されている。

平行四辺形のリンク装置４５は二つの平行に配置したレバー４７．４８を備え、 このレバーは一方において、主ハウジング４６の上方でボックスＲに固定される 枢軸ジヨイント４９を形成すると共に、他方もう一つの枢軸ジヨイント５０によ ってドア６に接続されている。

レバー４８は枢軸ピン５１によって横棒５６に接続され、この横棒には内部にネ ジ切り（詳細に図示せず）したスリーブ５２が設けられる。この内部ネジは、回 転可能に設けられ、がっモータ５５に例えばベルト５４によって接続されている スピンドル棒５３と螺合している。この駆動系全体は傾斜可能に設けられている ため、破線によって表示されているような平行四辺形のリンク装置４５の運動が 可能になる。

第７図から、横棒５６が案内コラム５７に沿って滑動可能であることがわかる。

横棒５６はその横の位置で、ビン５８によって下方レバー４８に接続され、レバ ー４８．４７は共に主ハウジング４６のスロット５９内を移動する。第７図には 、一つのボックスの右隣りに、もう一つのボックスが置かれていることが図示さ れている。

この平行四辺形のリンク装置によって、ドア６は装填口５に対して移動が可能に なり、ドア６は常に装填口５に平行に保たれ、その結果シール３０も平行に保た れる。従って、ボックスを閉鎖している間、シール３０はボックスとドアとの間 でその全体にわたって同時に、かつ一様に圧縮され、圧迫されるので、シールの 磨耗は少なくなり、密閉性が散着され、シールの長時間使用が確保される。

Ｆｉｇ、１ Ｆｉｇ、３ Ｆｉｇ、４

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．端部エッヂ（２９）によって画定され、ドア（６）による開閉可能な装填口 （５）を備えたハウジング（１、１ａ）を有し、マガジン内のリードフレームを 高温ガスに曝すための少なくとも一つのファン（９、１７、１７ａ、１７ｂ）を 配置した、少なくとも一つのボックス内（Ｒ、Ｒ１、Ｒ２）に於いて、マガジン の水平長手方向に平行で、かつ電子チップを配置したリードフレーム用の実質的 に立方形をした少なくとも一つのマガジン（７）を熱処理するための装置であっ て、ファン（９、１７、１７ａ、１７ｂ）はハウジン（１、１ａ）上に支持され 、かつガスをマガジン（７）を通して流すために、マガジン（７）の領域に少な くとも一つの実質的に水平方向に流れるガスの流れをマガジンの長手方向に実質 的に平行に作り出すようにして、ハウジングに配置されていることを特徴とする リードフレーム用のマガジンを熱処理する装置。 ２．少なくともヒータ（８）の一部は、マガジン（７）からファン（９、１７、 １７ａ、１７ｂ）へ、またはファンからマガジンへ流れるガスの流れの実質的に 水平な区間（１５、１６、１５ａ、１５ｂ、４３、４４）に位置していることを 特徴とする請求の範囲１に記載の熱処理装置。 ３．ヒータ（８）は二つの部分からなり、その部分（８ａ、８ｂ）はそれぞれマ ガジン（７）からファン（９）へ、そしてファンからマガジンへ流れるガスの流 れ区間（１５、１６）に配置されていることを特徴とする請求の範囲２に記載の 熱処理装置。 ４．ファン（９、１７、１７ａ、１７ｂ）とマガジン（７）との間には、少なく とも一つのガス案内要素（１４、１９、２０、３１、３１ａ、３１ｂ）が設けら れ、好ましくはバッフル、壁、ガス案内ブランチ等として設計されていることを 特徴とする請求の範囲１に記載の熱処理装置。 ５．ファン（９）はそのシャフト（１０）を有するヘリカルファンとして設計さ れ、マガジン（７）の長手方向に実質的に平行にガスを排除し、ガス案内要素は マガジン（７）とファン（９）との間に設けられ、ボックス（Ｒ）のハウジング （１）の側壁（３、４）と共に強制流ダクト（１５、１６）を形成するバッフル （１４）として設計されていることを特徴とする請求の範囲４に記載の熱処理装 置。 ６．少なくとも一つのダクト（１５ａ、１５ｂ）は、ファン（１７）に隣接した ガス案内要素として作用するチャンバの壁（１９、２０）によって形成され、こ のダクトはマガジン（７）に配置されたリードフレームに対し一方の側で、ガス の流れを案内することを特徴とする請求の範囲４に記載の熱処理装置。 ７．二つの強制流ダクト（１５、１６；１５ａ、１５ｂ）または案内ダクト（４ ３、４４）はガス案内要素として作用する少なくとも一つのバッフル（１４）ま たはガス案内要素として作用する少なくとも一つの壁（１９、２０；３１ａ、３ １ｂ）によって形成され、このダクトによってガスの流れはマガジン（７）から ファン（１７、１７ａ、１７ｂ）へ、またはファンからマガジンへ案内すること が可能であることを特徴とする請求の範囲４に記載の熱処理装置。 ８．ボックス（Ｒ２）には、ラディアルファンとして設計された二つのファン（ １７ａ、１７ｂ）が配置され、マガジン（７）をそれぞれ反対方向のガスに曝す ことを特徴とする請求の範囲７に記載の熱処理装置。 ９．それぞれのファン（１７ａ、１７ｂ）はガス案内ブランチ（１８）に割当配 置され、好ましくは環状フランジ（３４）を備え、このガス案内ブランチ（１８ ）はボックス（Ｒ２）の後壁（２ａ）に隣接する壁（３１ａ、３１ｂ）に配置さ れ、マガジン（７）に対する案内ダクト（４３、４４）を形成していることを特 徴とする請求の範囲８に記載の熱処理装置。 １０．ヒータ（８）は螺旋発熱体として設計されると共に、二つのファン（１７ ａ、１７ｂ）のガス案内ブランチ（１８）の間に配置され、螺旋発熱体の螺旋軸 （Ｍ）は実質的に垂直に配置され、ガス案内ブランチ（１８）の各軸（Ａ、ｂ） は実質的に水平に配置されていることを特徴とする請求項９に記載の熱処理装置 。 １１．ファン（１７ａ、１７ｂ）はシャフト（１０ａ、１０ｂ）を介してそれぞ れモータ（２４ａ、２４ｂ）に接続され、このモータ（２４ａ、２４ｂ）はそれ ぞれボックス（Ｒ２）のハウジング（１ａ）の外に配置され、同方向に回転し、 かつほぼ対向するハウジング（１ａ）の側壁片（３ｂ、４ｂ）に配置されている ことを特徴とする請求範囲８に記載の熱処理装置。 １２．実質的に垂直な側壁片（３ｂ、４ｂ）はボックス（Ｒ２）のハウジング（ １ａ）の実質的に垂直な後壁（２ａ）から斜めに離れるほうこうに向かって配置 され、この後壁（２ａ）はボックス（Ｒ２）の実質的に垂直な装填口（５）より も狭くなっていることを特徴とする請求項１１に記載の熱処理装置。 １３．ガス案内ブランチ（１８）とシャフト（１０ａ、１０ｂ）は実質的に同じ 長手軸（Ａ、ｂ）を有し、この長手軸は螺旋発熱体の中心（Ｍ）または螺旋発熱 体の螺旋軸（Ｍ）において実質的に出会うようにしたことを特徴とする請求項１ ０および１２に記載の熱処理装置。 １４．長手軸（Ａ、Ｂ）は鈍角を作り、そのためファン（１７ａ、１７ｂ）は互 いに斜めに傾斜するように配置されることを特徴とする請求の範囲１３に記載の 熱処理装置。 １５．ボックス（Ｒ、Ｒ１、Ｒ２）には、ハウジング（１、１ａ）とは熱的に隔 離され、かつ少なくとも一つのマガジン（７）を、装填口（５）の前面のほぼ中 心位置で支えるマガジンキャリヤ（７ａ）が設けられていることを特徴とする請 求項１に記載の熱処理装置。 １６．温度センサ（６７Ｃ）は実質的にマガジンキャリヤ（７ａ）の中心にそれ と熱的に結合して配置され、マガジンキャリヤはこの温度センサをヒータ（８） の螺旋発熱体による直接熱照射から遮蔽するようにしたことを特徴とする請求項 １５に記載の熱処理装置。 １７．ボックスにおいて、温度センサ（６７Ｃ）に加えて、少なくとも二つの温 度センサ（６７ａ、６７ｂ）が設けられ、この追加の温度センサは互いに実質的 に同じ高さに配置され、少なくともその一つは二つの強制流ダクト（１５、１６ ）または案内ダクト（４３、４４）のうちの一つに割当配置され、そこでガス温 度を検出することを特徴とする請求項７および１６に記載の熱処理装置。 １８．ファン（９）はシャフト（１０）を有するヘリカルファンとして設計され 、マガジン（７）の長手方向に平行にガスを排除し、シャフト（１０）はマグネ ットカプラ（１３）によって、ボックス（Ｒ）の外に配置した駆動装置に接続さ れていることを特徴とする請求の範囲１に記載の熱処理装置。 １９．ボックスの外に配置された駆動装置またはモータに接続されているファン （１７、１７ａ、１７ｂ）のシャフト（１０ａ、１０ｂ）は、このシャフトより 大きい直径を備え、かつ好ましくは窒素のような不活性ガスを供給するための半 径方向の開口ライン（７３）が設けられているハウシング（１ａ）に配置したシ ャフトシール（７０）を通ることを特徴とする請求の範囲１に記載の熱処理装置 。 ２０．ドア（６）は平行四辺形のリンク装置（４５）によってボックス（Ｒ）を 支える主ハウジング（４６）に接続さっれていることを特徴とする請求の範囲１ に記載の熱処理装置。 ２１．平行四辺形のリンク装置（４５）はドア（６）の側面及び主ハウジング（ ４６）とに接続された二つのレバー（４７、４８）からなり、駆動装置によって 移動されることを特徴とする請求の範囲２０に記載の熱処理装置。 ２２．二つのレバー（４８）の間には、実質的に水平な横棒（５６）が配置され 、この横棒には、内部にネジを切ったスリーブ（５２）が設けられ、これを通し てスピンドル棒（５３）か装着されることを特徴とする請求の範囲２１に記載の 熱処理装置。 ２３．スピンドル棒（５３）は駆動ベルトによってモータ（５５）に接続されて いることを特徴とする請求の範囲２２に記載の熱処理装置。 ２４．ファンはヘリカルファン（９）として設計され、ガスの流れの方向はファ ンの回転方向を逆にすることによって変えることができることを特徴とする請求 の範囲１に記載の熱処理装置。 ２５．ファンはラディアルファン（１７）として設計され、ガスの流れの方向は 対応する強制流ダクト（１５ａ、１５ｂ）を開閉することによって、好ましくは 機械的に作動可能な遮断板またはゲート（２１ａ、２１ｂ）によって開閉するこ とによって変えることができることを特徴とする請求の範囲６に記載の熱処理装 置。 ２６．ボックス（Ｒ２）内のガスの流れの分布は二つのファン（１７ａ、１７ｂ ）の回転方向を同時に逆にすることによって周期的に変えることが出来ることを 特徴とする請求の範囲８に記載の熱処理装置。