CN109088512A - 双电机冷却装置和引线键合机运动平台系统 - Google Patents

双电机冷却装置和引线键合机运动平台系统 Download PDF

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贺云波
王波
刘青山
刘凤玲
陈桪
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Abstract

本发明涉及一种双电机冷却装置和引线键合机运动系统，其中双电机冷却装置，包括分别与第一直线电机和第二直线电机导通的第一导气管和第二导气管，第一导气管和第二导气管相互导通后共用一个出气管，出气管的出口朝向远离第一直线电机和第二直线电机的方向，出气管上设有抽风装置，能够使得第一导气管和第二导气管中形成负压，将第一直线电机和第二直线电机运作过程中产生的热量抽走，最后经过出气管排向远离第一直线电机和第二直线电机的方向。避免了抽风冷却产生各个方向的气流，影响机器的性能。出气管的出口朝向远离第一直线电机和第二直线电机的方向，从而有效避免了抽出的热空气再次进入工作区，影响冷却效果。

Description

双电机冷却装置和引线键合机运动平台系统
技术领域
本发明涉及半导体加工领域，特别是涉及一种双电机冷却装置和引线键合机运动平台系统。
背景技术
引线键合机作为半导体生产中的关键设备，主要通过金属引线将芯片焊盘与封装管脚进行连接。若引线键合机中的直线电机温度较高将会影响电机线圈的使用寿命，且基于引线键合机的使用特点，直线电机工作频率较高，导致产生的热量较多。而且，引线键合机对于工作环境要求较高，一般的冷却方式产生的气流对工作环境具有较大影响。
发明内容
基于此，有必要提供一种双电机冷却装置和引线键合机运动平台系统，减少了直线电机冷却过程中气流对工作环境的不利影响。
一种双电机冷却装置，包括分别与第一直线电机和第二直线电机导通的第一导气管和第二导气管，所述第一导气管和第二导气管相互导通后共用一个出气管，所述出气管的出口朝向远离第一直线电机和第二直线电机的方向，所述出气管上设有抽风装置，能够使得所述第一导气管和第二导气管中形成负压。
上述方案提供了一种双电机冷却装置，通过设置所述抽风装置，在所述第一导气管和第二导气管中形成负压，将第一直线电机和第二直线电机运作过程中产生的热量抽走，最后经过所述出气管排向远离第一直线电机和第二直线电机的方向。从而有效避免了冷却过程中产生的气流对工作区运动平台的影响。具体地，避免了抽风冷却产生各个方向的气流，影响机器的性能。且出气管的出口朝向远离第一直线电机和第二直线电机的方向，从而有效避免了抽出的热空气再次进入工作区，影响冷却效果。
在其中一个实施例中，所述抽风装置包括按照抽风方向串联方式布置的至少两个风扇，且沿抽风方向各个风扇的排风量逐渐增大。
在其中一个实施例中，所述抽风装置包括前置风扇，所述前置风扇设置在所述出气管的出口，所述前置风扇的出风口朝向远离所述出气管的方向。
在其中一个实施例中，所述抽风装置还包括中置风扇，所述出气管与所述第一导气管连通的入口为第一入口，所述第一入口与所述出气管的出口相对设置，所述中置风扇设置在所述出气管与所述第一导气管之间，所述中置风扇的出风口朝向所述第一入口，所述中置风扇的进风口朝向所述第一导气管。
在其中一个实施例中，所述前置风扇的排风量大于所述中置风扇的排风量。
在其中一个实施例中，所述出气管与所述第二导气管连通的入口为第二入口，所述第二入口位于所述第一入口与所述出气管的出口之间，所述第二入口为在所述出气管的侧壁上挖设的开口，所述开口与所述第二导气管的出口相适应，所述出气管的轴向长度与所述开口的大小相适应。
在其中一个实施例中，所述第一导气管的导气方向与所述第二导气管的导气方向垂直，所述出气管的导气方向与所述第一导气管的导气方向一致，所述第一导气管的侧壁上设有与所述第一直线电机导通的开口，所述第一导气管的轴向长度与所述开口的长度匹配，所述第二导气管与所述第二直线电机导通的入口与所述第二导气管的出口相对设置。
一种引线键合机运动平台系统，包括第一直线电机、第二直线电机和上述的双电机冷却装置，所述第一直线电机与所述第一导气管导通，所述第二直线电机与所述第二导气管导通。
通过采用上述任一实施例中所述的双电机冷却装置，使得所述第一直线电机和第二直线电机产生的热量能够被抽走，从所述出气管的出口排出，避免了所述引线键合机运动平台系统中出现各个方向的气流，影响运动平台工作的情况发生。且出气管的出口朝向远离第一直线电机和第二直线电机的方向，避免了抽取的热空气再次进入工作区，对工作环境造成不利影响。
在其中一个实施例中，所述引线键合机运动平台系统还包括运动平台，所述第一直线电机的驱动方向为第一方向，所述第二直线电机的驱动方向为第二方向，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第一直线电机和所述第二直线电机均与所述运动平台连接，用于驱动所述运动平台在第一方向和第二方向上运动，所述运动平台的移动部件位于所述第一直线电机和第二直线电机之间，所述出气管的出口朝向远离所述运动平台的方向。
在其中一个实施例中，所述引线键合机运动平台系统还包括用于支撑所述运动平台的大理石基座。
附图说明
图1为本实施例所述双电机冷却装置与第一直线电机和第二直线电机之间的装配图；
图2为图1中所述双电机冷却装置、第一直线电机和第二直线电机的剖视图；
图3为本实施例所述引线键合机运动系统的结构示意图。
附图标记说明：
10、引线键合机运动系统，20、第一直线电机，30、第二直线电机，40、运动平台，50、大理石基座，60、双电机冷却装置，61、第一导气管，62、第二导气管，63、出气管，64、抽风装置，641、前置风扇，642、中置风扇。
具体实施方式
如图1所示，在一个实施例中提供了一种双电机冷却装置60，包括分别与第一直线电机20和第二直线电机30导通的第一导气管61和第二导气管62，所述第一导气管61和第二导气管62相互导通后共用一个出气管63，所述出气管63的出口朝向远离第一直线电机20和第二直线电机30的方向，所述出气管63上设有抽风装置64，能够使得所述第一导气管61和第二导气管62中形成负压。
上述方案提供了一种双电机冷却装置60，如图2所示，通过设置所述抽风装置64，在所述第一导气管61和第二导气管62中形成负压，将第一直线电机20和第二直线电机30运作过程中产生的热量抽走，最后经过所述出气管63排向远离第一直线电机20和第二直线电机30的方向。从而有效避免了冷却过程中产生的气流对工作区运动平台40的影响。具体地，避免了抽风冷却产生各个方向的气流，影响机器的性能。出气管63的出口朝向远离第一直线电机20和第二直线电机30的方向，从而有效避免了抽出的热空气再次进入工作区，影响冷却效果。而且，采用抽风装置64在第一导气管61和第二导气管62中形成负压的方式，能够有效避免冷却死角的产生，保障第一直线电机20和第二直线电机30冷却的均匀性。
具体地，所述抽风装置64可以是设置在所述出气管63上的风扇，或者是其他能够使得气流流动的抽风装置64，只要其能够在第一导气管61和第二导气管62中产生负压，使得第一直线电机20和第二直线电机30产生的热量能够分别被吸入第一导气管61和第二导气管62，从所述出气管63中排出到远离第一直线电机20和第二直线电机30的位置即可。可选地，所述风扇可以是一个，也可以是至少两个。
进一步具体地，在一个实施例中，所述抽风装置64包括按照抽风方向串联方式布置的至少两个风扇，且沿抽风方向各个风扇的排风量逐渐增大。通过沿抽风方向串联至少两个风扇，提高所述抽风装置64的抽风能力。且沿抽风方向各个风扇的排风量逐渐增大，使得第一导气管61和第二导气管62中均能够产生负压，实现第一直线电机20和第二直线电机30的散热。
进一步地，在一个实施例中，如图1至图3所示，所述抽风装置64包括前置风扇641，所述前置风扇641设置在所述出气管63的出口，所述前置风扇641的出风口朝向远离所述出气管63的方向。
通过在所述出气管63的出口设置所述前置风扇641，当前置风扇641启动时，将出气管63中的空气向远离出气管63的方向抽取，从而在与所述出气管63导通的第一导气管61和第二导气管62中形成负压。如图2所示，使得所述第一直线电机20和第二直线电机30有气流通过，将所述第一直线电机20和第二直线电机30产生的热量带走，分别经过所述第一导气管61和第二导气管62后，从所述出气管63的出口排出。
进一步地，在一个实施例中，如图1至图3所示，所述抽风装置64还包括中置风扇642，所述出气管63与所述第一导气管61连通的入口为第一入口，所述第一入口与所述出气管63的出口相对设置，所述中置风扇642设置在所述出气管63与所述第一导气管61之间，所述中置风扇642的出风口朝向所述第一入口，所述中置风扇642的进风口朝向所述第一导气管61。
通过进一步设置所述中置风扇642，一方面可以单独使用所述中置风扇642，基于所述第一入口和出气管63的出口相对，单独使用所述中置风扇642，在出气管63中形成较高流速的气流，从而在第一导气管61和第二导气管62中形成负压。另一方面所述中置风扇642也可以与所述前置风扇641同步使用，同时开启，此时所述前置风扇641的排风量大于所述中置风扇642的排风量。进而在所述第一导气管61和第二导气管62中均能够形成负压，实现第一直线电机20和第二直线电机30的散热。
在一个实施例中，也可以只设置所述中置风扇642，与单独使用中置风扇642的情况类似，通过所述中置风扇642在所述第一导气管61和第二导气管62中形成负压中形成负压，从而实现第一直线电机20和第二直线电机30的散热。
进一步地，在一个实施例中，如图2所示，所述出气管63与所述第二导气管62连通的入口为第二入口，所述第二入口位于所述第一入口与所述出气管63的出口之间，所述第二入口为在所述出气管63的侧壁上挖设的开口，所述开口与所述第二导气管62的出口相适应，所述出气管63的轴向长度与所述开口的大小相适应。尽量减少所述出气管63的长度，使得各个导气管路的整体长度较短，提高导气的效率，以及形成负压的效率。
进一步地，在一个实施例中，如图1和图2所示，所述第一导气管61的导气方向与所述第二导气管62的导气方向垂直，所述出气管63的导气方向与所述第一导气管61的导气方向一致，所述第一导气管61的侧壁上设有与所述第一直线电机20导通的开口，所述第一导气管61的轴向长度与所述开口的长度匹配，所述第二导气管62与所述第二直线电机30导通的入口与所述第二导气管62的出口相对设置。
在引线键合机中，所述第一直线电机20和第二直线电机30主要用于控制运动平台40沿相互垂直的第一方向和第二方向运动。因此在引线键合机中，第一直线电机20和第二直线电机30的驱动方向相互垂直。而上述方案，通过将所述第一导气管61的导气方向和第二导气管62的导气方向垂直设置，且所述出气管63的导气方向与所述第一导气管61的导气方向一致。以适应第一直线电机20和第二直线电机30的布置特点。
而且所述第一导气管61的侧壁上设有与所述第一直线电机20导通的开口，所述第一导气管61的轴向长度与所述开口的长度匹配，所述第二导气管62与所述第二直线电机30导通的入口与所述第二导气管62的出口相对设置。在满足第一直线电机20和第二直线电机30垂直布置特点的同时，使得所述第一导气管61的长度尽可能缩短，使得整个双电机冷却装置60中各个导气管路的长度尽可能精简，从而满足将热量排出至远离第一直线电机20和第二直线电机30的位置的同时，提高热量排出的效率。
如图3所示，在另一个实施例中提供了一种引线键合机运动平台系统10，包括第一直线电机20、第二直线电机30和上述的双电机冷却装置60，所述第一直线电机20与所述第一导气管61导通，所述第二直线电机30与所述第二导气管62导通。
通过采用上述任一实施例中所述的双电机冷却装置60，使得所述第一直线电机20和第二直线电机30产生的热量能够被抽走，从所述出气管63的出口排出，避免了所述引线键合机运动平台40系统中出现各个方向的气流，影响运动平台40工作的情况发生。且出气管63的出口朝向远离第一直线电机20和第二直线电机30的方向，避免了抽取的热空气再次进入工作区，对工作环境造成不利影响。
进一步地，在一个实施例中，如图3所示，所述引线键合机运动平台系统10还包括运动平台40，所述第一直线电机20的驱动方向为第一方向，所述第二直线电机30的驱动方向为第二方向，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第一直线电机20和所述第二直线电机30均与所述运动平台40连接，用于驱动所述运动平台40在第一方向和第二方向上运动，所述运动平台40的移动部件位于所述第一直线电机20和第二直线电机30之间，所述出气管63的出口朝向远离所述运动平台40的方向。
通过将所述出气管63的出口朝向远离所述运动平台40的方向设置，使得由所述双电机冷却装置60排出的热量，远离所述运动平台40。同时也避免了出气管63的气流对运动平台40的影响。
进一步地，在一个实施例中，如图1所示，所述引线键合机运动平台系统10还包括用于支撑所述运动平台40的大理石基座50。通过采用大理石基座50在保障加工精度的同时，降低了制造成本。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种双电机冷却装置，其特征在于，包括分别与第一直线电机和第二直线电机导通的第一导气管和第二导气管，所述第一导气管和第二导气管相互导通后共用一个出气管，所述出气管的出口朝向远离第一直线电机和第二直线电机的方向，所述出气管上设有抽风装置，能够使得所述第一导气管和第二导气管中形成负压。
2.根据权利要求1所述的双电机冷却装置，其特征在于，所述抽风装置包括按照抽风方向串联方式布置的至少两个风扇，且沿抽风方向各个风扇的排风量逐渐增大。
3.根据权利要求1或2所述的双电机冷却装置，其特征在于，所述抽风装置包括前置风扇，所述前置风扇设置在所述出气管的出口，所述前置风扇的出风口朝向远离所述出气管的方向。
4.根据权利要求3所述的双电机冷却装置，其特征在于，所述抽风装置还包括中置风扇，所述出气管与所述第一导气管连通的入口为第一入口，所述第一入口与所述出气管的出口相对设置，所述中置风扇设置在所述出气管与所述第一导气管之间，所述中置风扇的出风口朝向所述第一入口，所述中置风扇的进风口朝向所述第一导气管。
5.根据权利要求4所述的双电机冷却装置，其特征在于，所述前置风扇的排风量大于所述中置风扇的排风量。
6.根据权利要求1或2所述的双电机冷却装置，其特征在于，所述出气管与所述第二导气管连通的入口为第二入口，所述第二入口位于所述第一入口与所述出气管的出口之间，所述第二入口为在所述出气管的侧壁上挖设的开口，所述开口与所述第二导气管的出口相适应，所述出气管的轴向长度与所述开口的大小相适应。
7.根据权利要求1或2所述的双电机冷却装置，其特征在于，所述第一导气管的导气方向与所述第二导气管的导气方向垂直，所述出气管的导气方向与所述第一导气管的导气方向一致，所述第一导气管的侧壁上设有与所述第一直线电机导通的开口，所述第一导气管的轴向长度与所述开口的长度匹配，所述第二导气管与所述第二直线电机导通的入口与所述第二导气管的出口相对设置。
8.一种引线键合机运动平台系统，其特征在于，包括第一直线电机、第二直线电机和权利要求1至7任一项所述的双电机冷却装置，所述第一直线电机与所述第一导气管导通，所述第二直线电机与所述第二导气管导通。
9.根据权利要求8所述的引线键合机运动平台系统，其特征在于，还包括运动平台，所述第一直线电机的驱动方向为第一方向，所述第二直线电机的驱动方向为第二方向，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第一直线电机和所述第二直线电机均与所述运动平台连接，用于驱动所述运动平台在第一方向和第二方向上运动，所述运动平台的移动部件位于所述第一直线电机和第二直线电机之间，所述出气管的出口朝向远离所述运动平台的方向。
10.根据权利要求8或9所述的引线键合机运动平台系统，其特征在于，还包括用于支撑所述运动平台的大理石基座。
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