JPH0673340A - シリカ系被膜形成用塗布液および被膜付基材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 特定の繰り返し単位を少なくとも有する１種
または２種以上のポリシラザンと、シロキサン結合を有
するケイ素化合物とを混合して形成されてなるシリカ系
被膜形成用塗布液、およびポリシラザンとシロキサン結
合を有するケイ素化合物とを含む塗布液を用いて形成さ
れたシリカ系被膜を有し、該シリカ系被膜の窒素含有率
が１重量％以下である被膜付基材。 【効果】 上記塗布液を基材上に塗布して得られた塗膜
を乾燥後、５００℃以下の温度で焼成することにより、
窒素含有率が１重量％以下であるシリカ系被膜が得ら
れ、このようにして得られた被膜は、被塗布面との密着
性、機械的強度、耐アルカリ性などの耐薬品性に優れ、
同時に緻密で耐クラック性に優れており、しかも被塗布
面の凹凸を高度に平坦化することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の技術分野】本発明は、シリカ系被膜形成用塗布
液に関し、さらに詳しくは、被塗布面との密着性、機械
的強度、耐アルカリ性などの耐薬品性に優れ、同時に緻
密で耐クラック性に優れた絶縁膜を５００℃以下の焼成
温度で形成でき、しかも被塗布面の凹凸を高度に平坦化
し得るようなシリカ系被膜形成用塗布液およびこのよう
なシリカ系被膜が形成された被膜付基材に関する。

【０００２】

【発明の技術的背景】従来より、シリカ系被膜は、下記
のような分野において用いられている。 １）半導体装置 半導体装置では、半導体基板とアルミニウム配線層など
の金属配線層との間、あるいは金属配線層間を絶縁する
ために、これらの間に絶縁膜が設けられている。さらに
半導体基板上に設けられているＰＮ接合半導体、および
コンデンサー素子、抵抗素子などの各種素子を保護する
ために、これらの素子が絶縁膜で被覆されている。

【０００３】半導体基板上に金属配線層などを設ける
と、金属配線層などによって半導体基板上に凹凸が生じ
る。この凹凸面上にさらに金属配線層などを形成しよう
としても、凹凸段差で断線が生じることがある。このた
め、上記のような半導体基板と金属配線層との間、金属
配線層間に形成する絶縁膜、および各種素子を被覆する
絶縁膜には、上記のような金属配線層および各種素子に
よって生じた凹凸面を高度に平坦化することが必要であ
る。

【０００４】このような半導体装置では、絶縁膜として
シリカ系被膜が用いられている。 ２）液晶表示装置 液晶表示装置における液晶表示セルでは、ガラス基板上
にＩＴＯ膜を有する透明電極板が多く用いられている。
このような透明電極板を用いた液晶表示セルでは、使用
中に、ガラス基板に含まれているＮａなどのアルカリ成
分が、ＩＴＯ膜中に移行したり、あるいはさらにＩＴＯ
膜を通して液晶中に溶出することがある。このようなア
ルカリ成分のＩＴＯ膜中への移行を防止するために、ガ
ラス基板とＩＴＯ膜との間にアルカリパッシベーション
膜を設けた透明電極板も用いられている。

【０００５】さらに液晶表示セル内部に封入された液晶
材料の配向性を向上させるために、透明電極板の透明電
極、例えばＩＴＯ膜からなる透明電極上にさらに配向膜
を形成することが行なわれている。このような配向膜を
有する透明電極板では、この配向膜の寿命を高めるなど
のために、透明電極と配向膜との間に絶縁膜を設けるこ
ともある。

【０００６】カラー液晶表示装置として、ガラス基板上
にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）などで構成された画素電
極を有する電極板と、ガラス基板上にカラーフィルター
および透明電極が順次形成されている対向電極板とを有
し、電極板と対向電極板との間に液晶層が充填されてな
る液晶表示セルを備えたマトリックス形カラー液晶表示
装置が知られている。

【０００７】上記のような液晶表示セルは、電極板から
画素電極が突出し、対向電極板からカラーフィルターが
突出しており、それぞれの電極表面に段差がある。この
ように電極表面に段差があると、セルギャップが不均一
になり、セルギャップが均一である場合に比較して、液
晶表示セル内部に封入された液晶材料の配向が乱れた
り、表示画像に色むらなどの画素むらが生じやすいとい
った傾向がある。

【０００８】このため、特開平２−２４２２２６号公報
には、電極板の画素電極上および対向電極板のカラーフ
ィルター上に、それぞれポリイミド樹脂被膜、アクリル
系樹脂被膜またはシリカ系被膜を塗布法で形成し、画素
電極またはカラーフィルターによって生じた凹凸面を平
坦化することが提案されている。

【０００９】このような液晶表示装置では、上記のよう
な絶縁膜およびアルカリパッシベーション膜としてシリ
カ系被膜が用いられている。 ３）位相シフタ付フォトマスク リソグラフ法で高解像度の凹凸パターンを基板上に形成
するため、フォトマスク上に露光光の位相をずらす位相
シフタを付設し、これにより基板上に形成される凹凸パ
ターンの解像度を向上させる方法がある（日経マイクロ
デバイスＮｏ．７１、５２〜５８、（５）、１９９
１）。

【００１０】また、このような位相シフタとしては、シ
リカ系被膜が用いられている。上記のような分野で用い
られているシリカ系被膜は、一般にＣＶＤ法、スパッタ
リング法などの気相成長法またはシリカ系被膜形成用塗
布液を用いてシリカ系被膜を形成する塗布法によって基
板上に形成されている。

【００１１】しかしながら、気相成長法によってシリカ
系被膜を形成する方法は、手間がかかるとともに大きな
設備が必要であり、また、凹凸面上にシリカ系被膜を形
成した場合には、シリカ系被膜によって該凹凸面を平坦
化することができない。

【００１２】これに対し、塗布法によってシリカ系被膜
を形成すると上記のような問題点が解決できるため、近
年、塗布法によってシリカ系被膜を形成することが広く
行なわれている。

【００１３】従来、このような塗布法でシリカ系被膜を
形成する際には、被膜形成成分がアルコキシシラン部分
加水分解物の縮重合物であるようなシリカ系被膜形成用
塗布液が用いられてきた。なお、アルコキシシラン部分
加水分解物の縮重合物は、アルコキシシランをアルコー
ル、ケトン、エステルなどの有機溶媒に溶解させ、次い
でこのアルコキシシラン溶液に水および触媒として酸あ
るいは塩基を加えてアルコキシシランを部分加水分解、
次いで縮重合させることによって得ることができる。

【００１４】しかしながら、被膜形成成分がアルコキシ
シラン部分加水分解物の縮重合物であるようなシリカ系
被膜形成用塗布液を基板上に塗布・乾燥させると、得ら
れた被膜中にはアルコキシシランが残存している。従っ
て、この被膜を焼成すると、焼成時に被膜中で、アルコ
キシシラン分子に含まれているアルキル基、アルコキシ
基などのような有機基が分解し、この有機基の分解によ
って被膜にピンホールやボイドが発生し、緻密なシリカ
系被膜を得ることは難しい。さらにアルコキシシラン部
分加水分解物が縮合する過程で、縮合体の末端以外でシ
ラノール基同士が脱水反応を行なって縮合体の架橋が進
行する。このためシリカ系被膜が形成される過程で、縮
合体の架橋度に応じて被膜の収縮ストレスが大きくなっ
て被膜にクラックが生じる。すなわち、被膜形成成分が
アルコキシシラン部分加水分解物の縮重合物であるよう
なシリカ系被膜形成用塗布液を用いると、耐クラック性
に優れたシリカ系被膜を得ることは難しい。

【００１５】これに対し、近年、シクロシラザン重合物
またはポリシラザンを含有してなるシリカ系被膜形成用
塗布液が提案され（特開昭６２−８８３２７号公報、特
開平１−２０３４７６号公報等参照）、これらの塗布液
を用いてシリカ系被膜を形成すると、シリカ系被膜の緻
密性および耐クラック性をある程度改良することができ
る。

【００１６】しかしながら、上記のようなシクロシラザ
ン重合物またはポリシラザンを含有してなる塗布液から
形成されたシリカ系被膜には、次のような問題点があ
る。シクロシラザン重合物またはポリシラザンは、下記
〔Ｉ〕式で表わされるシラザン骨格

【００１７】

【化３】

【００１８】を有しており、これらの塗布液を基板上に
塗布し、得られた塗膜を加熱焼成してシリカ系被膜を得
る際に、このシラザン骨格が酸化されてシロキサン骨格

【００１９】

【化４】

【００２０】に変化する。しかしながら、上記酸化反応
が充分に行なわれずに得られたシリカ系被膜にシラザン
骨格が残存していると、このシラザン骨格の残存量に応
じてシリカ系被膜の緻密性が低下したり、シリカ系被膜
が吸湿したりすることがある。また、シラザン骨格が残
存するシリカ系被膜を焼成するとシラザン骨格が分解
し、アンモニアガスが放出されることがある。

【００２１】このようにシクロシラザン重合物またはポ
リシラザンを含有する塗布液から形成されたシリカ系被
膜は、緻密性が不充分であったり、また、シリカ系被膜
から放出されたアンモニアガスによって、上記のような
半導体装置では金属配線層が腐食されることがあり、さ
らに、液晶表示装置では液晶表示セル中の液晶材料が変
質することがある。さらにまた、シリカ系被膜にシラザ
ン骨格が残存していると、露光光によって位相シフタが
徐々に変質することがある。

【００２２】このため、シクロシラザン重合物またはポ
リシラザンを含有する塗布液からシリカ系被膜を形成す
る際には、得られるシリカ系被膜中にシラザン骨格が残
存しないように、塗膜の加熱を酸素プラズマ照射下ある
いは水蒸気雰囲気中で行なったり、次いで塗膜の焼成を
空気中で５００℃以上の温度で行なっていた。また、シ
クロシラザンを含有する塗布液からシリカ系被膜を形成
する場合には、塗膜の焼成を９００℃以上の温度で行な
わければシラザン骨格をほとんど含まないシリカ系被膜
を得ることができなかった。

【００２３】このような苛酷な酸化条件下でシリカ系被
膜を形成しようとすると、半導体装置、透明電極なども
高温に晒されることになり、好ましくない。これに対
し、本出願人は、上記〔Ｉ〕式でＲ₁ 〜Ｒ₃ がそれぞれ
独立して水素原子または炭素原子数１〜８のアルキル基
である特定のポリシラザンを被膜形成成分として用いた
シリカ系被膜形成用塗布液を被塗布面上に塗布し、得ら
れた塗膜を空気中で１５０℃程度の低温で乾燥し、次い
で８００℃以下の温度で焼成することにより、低窒素含
有率のシリカ系被膜が得られることを知見している。特
に前記Ｒ₁ 〜Ｒ₃ の全てが水素原子である場合、塗膜の
焼成を４５０℃程度の温度で焼成することにより低窒素
含有率のシリカ系被膜を得ている。

【００２４】本発明者らは、上記のような知見に基づい
てさらに研究を重ねた結果、 ａ）このような特定のポリシラザンと、シロキサン結合
を有するケイ素化合物とを混合して形成された塗布液を
被塗布面上に塗布し、得られた塗膜を乾燥し、次いで焼
成してシリカ系被膜を形成すると、被膜形成成分として
ポリシラザンのみを含む塗布液からシリカ系被膜を同様
にして形成した場合と比較して窒素含量のより少ないシ
リカ系被膜が得られること、 ｂ）この窒素原子をほとんど含まないシリカ系被膜は、
被塗布面との密着性、機械的強度、耐アルカリ性などの
耐薬品性、耐湿性および耐クラック性に優れ、同時に緻
密な絶縁膜であってボイド、ピンホールなどがほとんど
ないこと、 ｃ）凹凸面上に上記のような特定の被膜形成成分が含ま
れた塗布液を塗布して被膜を形成すると、被膜形成成分
がポリシラザンのみである場合と同様、該凹凸面が高度
に平坦化されること、 ｄ）したがって、上記のような特定の被膜形成成分が含
まれている塗布液を用いて、上記のような被膜付基材を
製造すると、従来に比べてより一層性能に優れた製品が
得られることを見出し、本発明を完成するに至った。

【００２５】

【発明の目的】本発明は、上記のような従来技術におけ
る問題点を解決しようとするものであって、被塗布面と
の密着性、機械的強度、耐アルカリ性などの耐薬品性に
優れ、同時に緻密で耐クラック性に優れた絶縁膜を５０
０℃以下の焼成温度で形成でき、しかも被塗布面の凹凸
を高度に平坦化し得るようなシリカ系被膜形成用塗布
液、およびこのように優れた性質を有する被膜付基材を
提供することを目的としている。

【００２６】

【発明の概要】本発明に係るシリカ系被膜形成用塗布液
は、下記一般式［Ｉ］

【００２７】

【化５】

【００２８】（ただし、Ｒ₁ 、Ｒ₂ およびＲ₃ は、それ
ぞれ独立して水素原子または炭素原子数１〜８のアルキ
ル基である。）で表される繰り返し単位を少なくとも有
するポリシラザンの１種または２種以上と、シロキサン
結合を有するケイ素化合物とを混合して形成されている
ことを特徴としている。

【００２９】また、本発明に係る被膜付基材は、ポリシ
ラザンの１種または２種以上と、シロキサン結合を有す
るケイ素化合物とを混合して形成された塗布液を用いて
形成されたシリカ系被膜を有し、該シリカ系被膜の窒素
含有率が１重量％以下であることを特徴としている。

【００３０】

【発明の具体的説明】以下、本発明に係るシリカ系被膜
形成用塗布液について具体的に説明する。シリカ系被膜形成用塗布液 本発明に係るシリカ系被膜形成用塗布液は、上記のよう
な一般式［Ｉ］で表わされる繰り返し単位を少なくとも
有するポリシラザンの１種または２種以上およびシロキ
サン結合を有するケイ素化合物とを混合して形成されて
なるもので、ポリシラザン、シロキサン結合を有するケ
イ素化合物および両者の反応物を含んでいる。

【００３１】このうち、本発明で用いられるポリシラザ
ンは、上記式［Ｉ］でＲ₁ 、Ｒ₂ およびＲ₃ が、それぞ
れ水素原子または炭素原子数１〜８のアルキル基であ
り、アルキル基の中でもメチル基、エチル基またはプロ
ピル基が好ましい。

【００３２】本発明で用いられるポリシラザンとして
は、上記式［Ｉ］でＲ₁ 、Ｒ₂ およびＲ₃ がすべて水素
原子であり、１分子中にケイ素原子が５５〜６５重量
％、窒素原子が２０〜３０重量％、水素原子が１０〜１
５重量％であるような量で存在している無機ポリシラザ
ンが特に好ましい。このような無機ポリシラザンは、た
とえば特公昭６３−１６３２５号およびＵＳＰ−４３９
７８２８に開示された方法に従って製造することができ
る。

【００３３】上記式［Ｉ］で表される繰り返し単位を有
するポリシラザンは、直鎖状であっても、環状であって
もよく、直鎖状のポリシラザンと環状のポリシラザンと
が混合して含まれていてもよい。

【００３４】本発明で用いられるポリシラザンの重量平
均分子量は、５００〜１０，０００、好ましくは１，０
００〜４，０００の範囲にあることが望ましい。重量平
均分子量が５００未満である場合には、塗布液からシリ
カ系被膜を形成する際の乾燥工程で低分子量の化合物が
揮発し、その後の焼成工程で被膜が大きく収縮するよう
になる。また、分子量が１０，０００を越える場合に
は、塗布液の流動性が低下する。従って上記いずれの場
合においても凹凸面を被膜で被覆した際に、該凹凸面が
被膜で充分に平坦化することは難しい。

【００３５】さらに、本発明に係るシリカ系被膜形成用
塗布液には、ポリシラザン全体の１０〜４０重量％、好
ましくは１５〜４０重量％が分子量１，０００以下の低
分子量ポリシラザンであるようなポリシラザンを用いる
ことが望ましい。低分子量ポリシラザンが１０重量％未
満であると、塗布液の流動性が低下し、塗布液から得ら
れたシリカ系絶縁膜の表面平滑性が低下することがあ
る。一方、低分子量ポリシラザンが４０重量％を越える
と、塗布液からシリカ系被膜を形成する際の乾燥工程で
揮発する低分子量化合物が多くなり、その後の焼成工程
で被膜が大きく収縮するようになり、塗布液から得られ
たシリカ系被膜の表面平滑性が低下することがある。

【００３６】本発明で用いられるシロキサン結合を有す
るケイ素化合物は、Ｓｉ−Ｏ結合を有する化合物を意味
し、シラノールを縮合したり、あるいはアルコキシシラ
ン、ハロゲノシラン、アミノシランなどのような加水分
解性シラン化合物を加水分解することによって得ること
ができる。

【００３７】本発明では、このようなシロキサン結合を
有するケイ素化合物の中でも、無定形シリカおよび／ま
たは下記一般式［II］

【００３８】

【化６】

【００３９】（ただし、Ｒ₄ およびＲ₅ は、それぞれ独
立して水素原子または炭素原子数１〜８のアルキル基で
ある。）で表される繰り返し単位を有するポリシロキサ
ンが好ましく用いられる。

【００４０】本発明で用いられる無定形シリカは、化学
式：ＳｉＯ₂ ・ｎＨ₂ Ｏで表わされ、通常、複数のケイ
素原子がそれぞれ酸素原子を介して立体的に結合してい
る重合体であり、しかも該重合体中のケイ素原子のそれ
ぞれを中心として、ケイ素原子に隣接する４個の酸素原
子がそれぞれ四面体の頂点に位置するようなＳｉＯ₄四
面体構造が形成され、該重合体の末端にシラノール基を
有している。このような無定形シリカとしては、シリカ
ゲル、シリカゾル、無水ケイ酸などが挙げられる。

【００４１】本発明では、このような無定形シリカの中
でも、コロイド状のシリカ粒子が水および／または有機
溶媒に分散しているシリカゾルが望ましく用いられ、な
かでもアルコキシシランをアルカリ存在下で加水分解重
縮合して得られたシリカゾル、特にアルコキシシランを
アルコール／水／アンモニア中で加水分解重縮合して得
られたシリカゾルが、有機溶媒中での単分散性に優れて
おり、好ましい。

【００４２】本発明で用いられるシリカゾル中に含まれ
ているシリカ粒子の平均粒径は、１０００オングストロ
ーム以下、好ましくは５００オングストローム以下であ
ることが望ましい。平均粒径が１０００オングストロー
ムを越えるシリカ粒子を含むシリカゾルを用いた塗布液
からシリカ系被膜を形成すると、形成された被膜にボイ
ドが形成され易くなる。

【００４３】また、シリカゾル中には、以下に詳述する
組成の塗布液が調整できるような量でこのようなシリカ
粒子が含まれている。さらに本発明に係るシリカ系被膜
形成用塗布液を調製する際に用いられるシリカゾルとし
ては、水分含量が１重量％以下である有機溶媒に単分散
したシリカゾルが好ましい。水分含量が多いシリカゾル
を用いて塗布液を調製すると、シリカゾルとポリシラザ
ンとを混合する際にポリシラザンが加水分解を起こすの
で好ましくない。

【００４４】他方、上記式［II］で表わされ、本発明で
好ましく用いられるポリシロキサンは、一般式Ｒ_n Ｓｉ
（ＯＲ’）_4-n （式中、Ｒ、Ｒ’は、それぞれ独立して
水素原子または炭素原子数１〜８のアルキル基、アリー
ル基、またはビニル基であり、ｎは０〜３の整数であ
る。）で表わされるアルコキシシランを常法に従って加
水分解重縮合することによって得ることができる。

【００４５】このようなアルコキシシランとしては、具
体的には、トリメチルメトキシシラン、トリメチルエト
キシシラン、トリエチルエトキシシラン、ジメチルジメ
トキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、ジエチルジ
エトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、プロピル
トリエトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラブ
トキシシラン、ジメトキシシラン、ジエトキシシラン、
トリエトキシシランなどが挙げられる。

【００４６】本発明でシロキサン結合を有するケイ素化
合物として用いられるポリシロキサンの重量平均分子量
は、３０００以下、好ましくは２０００以下であること
が望ましい。重量平均分子量が３０００を越えるポリシ
ロキサンを用いて塗布液を調製すると、ポリシラザンと
混合する際にゲル化を起こし易くなる傾向がある。ま
た、被膜形成過程でポリシラザンとポリシロキサンとが
共重合するように、ポリシロキサンの分子量は、沸点が
２００℃以上となるようなオリゴマー以上の分子量であ
ることが望ましい。

【００４７】本発明に係るシリカ系被膜形成用塗布液
は、次のようにして調製される。 ｉ）上記のようなポリシラザンとシロキサン結合を有す
るケイ素化合物とを有機溶媒中で混合する。

【００４８】このような有機溶媒としては、水と相溶す
るものであれば特に制限はなく、具体的には、エタノー
ル等のアルコール類、メチルイソブチルケトン等のケト
ン類が挙げられる。これらの有機溶媒は単独でもしくは
２種以上を混合して用いられる。

【００４９】上記のようにポリシラザンとシロキサン結
合を有するケイ素化合物とを有機溶媒中で混合すると、
ポリシラザンとシロキサン結合を有するケイ素化合物の
少なくとも一部が常温で反応する。

【００５０】塗布液を調製する際のポリシラザンとシロ
キサン結合を有するケイ素化合物との配合量は、塗布液
中に含まれるポリシラザン、シロキサン結合を有するケ
イ素化合物および両者の反応物にそれぞれ含まれている
ケイ素原子および窒素原子の合計量が、次式 Ｓｉ／Ｎ≧１．２（原子比） で表わされるように調整することが望ましい。ここで上
記原子比が１．２である場合に相当するポリシラザンと
シロキサン結合を有するケイ素化合物との配合比は、塗
布液を調製する際に用いられたそれぞれの化合物の種類
に応じて異なるが、少なくともポリシラザン１重量部に
対し、シロキサン結合を有するケイ素化合物が、固形分
量で少なくとも０．００１重量部あれば、上記原子比で
表わされる式を満足するようになる。また、シロキサン
結合を有するケイ素化合物の量が多くなると、このよう
なシロキサン結合を有するケイ素化合物を含む塗布液か
ら得られる被膜は、緻密性が不充分になる場合がある。
従って、シロキサン結合を有するケイ素化合物として無
定形シリカを用いる場合には、無定形シリカの量は、固
形分量でポリシラザン１重量部に対して９重量部以下で
あることが好ましい。また、シロキサン結合を有するケ
イ素化合物としてポリシロキサンを用いる場合には、ポ
リシロキサンの量は、固形分量でポリシラザン１重量部
に対して１，０００重量部以下であることが好ましい。 ii）上記のようなポリシラザンとシロキサン結合を有す
るケイ素化合物との反応が終了した後、これらの反応物
を含む液から減圧蒸留等の方法で溶媒を除去することに
よって樹脂状物質を得る。 iii ）得られた樹脂状物質を固形分濃度が３〜４０重量
％になるように、有機溶媒に溶解することによって本発
明に係るシリカ系被膜形成用塗布液が基本的に得られ
る。

【００５１】このような有機溶媒としては、上記の樹脂
状物質を分散または溶解し、塗布液に流動性を付与する
ものであれば特に制限はないが、具体的には、シクロヘ
キサン、トルエン、キシレン、メシチレン等の炭化水
素、エチルブチルエーテル、ジブチルエーテル、ジオキ
サン、テトラヒドロフラン等のエーテル類が挙げられ
る。これらの有機溶媒は単独でもしくは２種以上を混合
して用いられる。

【００５２】また、塗布液に用いられる有機溶媒として
は、水に対する溶解度が０．５重量％以下であるような
有機溶媒が好ましい。このような有機溶媒を塗布液に用
いると、塗布液が吸湿して塗布液中のポリシラザン、シ
ロキサン結合を有するケイ素化合物、またはこれらの反
応物が加水分解を起こすのが防止され、これによりポッ
トライフの長い塗布液が得られる。

【００５３】上記のような方法で得られた塗布液中の樹
脂状物質の重量平均分子量は、５００〜１０，０００、
好ましくは１，０００〜４，０００の範囲にあることが
望ましい。重量平均分子量が５００未満である場合に
は、塗布液からシリカ系被膜を形成する際の乾燥工程で
低分子量の化合物が揮発し、その後の焼成工程で被膜が
大きく収縮するようになる。また、分子量が１０，００
０を超える場合には、塗布液の流動性が低下する。従っ
て上記いずれの場合においても凹凸面を被膜で被覆した
際に、該凹凸面が被膜で充分に平坦化することは難し
い。

【００５４】上記のような本発明に係るシリカ系被膜形
成用塗布液を用いてシリカ系被膜を形成すると、被膜形
成成分としてポリシラザンのみを含む従来の塗布液を用
いてシリカ系被膜を形成した場合に比べて、塗布液から
得られた塗膜を乾燥し、次いでより低温で焼成しても緻
密性等の点で実用的に問題のない被膜が得られるが、従
来と同程度の温度で焼成した場合には、より一層緻密性
に優れ、かつ収縮ストレス、ボイド等の少ない平坦性に
優れた被膜が得られる。

【００５５】特に本発明に係るシリカ系被膜形成用塗布
液が、上記式〔Ｉ〕で表わされ、式〔Ｉ〕中のＲ₁ 、Ｒ
₂ およびＲ₃ の全てが水素原子である無機ポリシラザン
と、無定形シリカまたは上記式〔II〕で表わされ、式
〔II〕中のＲ₄ およびＲ₅ がいずれも水素原子であるポ
リシロキサンとを混合して形成された塗布液である場
合、さらに緻密で、しかも耐クラック性に優れた被膜を
得ることができる。

【００５６】すなわち、被膜形成成分の大部分が上記の
ような無機ポリシラザンと、分子中にアルキル基を含ま
ないポリシロキサンまたは無定形シリカとの反応物であ
る塗布液からシリカ系被膜を形成した場合には、被膜形
成成分中にアルキル基がないので、アルキル基の熱分解
によって生じる被膜の収縮またはボイドの発生がない。
従って、上記のようにアルキル基を含まない被膜形成成
分を有する塗布液から形成されたシリカ系被膜は、アル
キル基を含む被膜形成成分を有する塗布液から形成され
たシリカ系被膜と比較して収縮が少ない。このため、こ
の被膜の収縮によって被膜に生じるストレスは小さく、
この収縮ストレスよって生じる被膜のクラックが減少す
る。また、アルキル基を含まない被膜形成成分を有する
塗布液から形成されたシリカ系被膜は、アルキル基を含
む被膜形成成分を有する塗布液から形成されたシリカ系
被膜と比較してボイドが少なく、したがって緻密性に優
れている。

【００５７】さらに、シリカ系被膜を形成する際の乾燥
・焼成工程で生じる被膜の収縮は、ポリシラザンまたは
ポリシロキサン分子またはその反応物中のＳｉ−Ｈ結合
がＳｉ−Ｏ結合に変化するときの体積膨張により抑制さ
れる。このため、上記のような無機ポリシラザンととも
に分子中にアルキル基を含まないポリシロキサンを用い
て形成された塗布液から被膜を形成すると、被膜形成時
の収縮ストレスが少なくなり、クラックの発生が抑制さ
れる。従って、上記のようなアルキル基を含まない被膜
形成成分を有する塗布液は、特に厚膜のシリカ系絶縁膜
を形成する際に用いることが好ましい。

【００５８】被膜付基材 本発明に係る被膜付基材としては、具体的には、上記の
ような半導体装置、液晶表示装置、位相シフタ付フォト
マスク、さらには多層配線構造を有するＬＳＩ素子およ
びプリント回路基板、ハイブリッドＩＣ、アルミナ基板
などの電子部品、三層レジストなどが挙げられる。

【００５９】すなわち、上記のような半導体装置では、
半導体基板と金属配線層との間、金属配線層間にシリカ
系被膜が形成され、半導体基板上に設けられたＰＮ接合
半導体、およびコンデンサー素子、抵抗素子などの各種
素子がシリカ系被膜で被覆され、これらの素子によって
形成された凹凸面が平坦化されている。

【００６０】また、液晶表示装置における液晶表示セル
では、透明電極板の透明基板と透明電極との間に、さら
に透明電極上に配向膜を有する透明電極板の透明電極と
配向膜の間に、シリカ系被膜が形成され、カラー液晶表
示装置における液晶表示セルでは、電極板の画素電極上
および対向電極板のカラーフィルター上にシリカ系被膜
が形成され、画素電極およびカラーフィルターによって
形成された凹凸面が該シリカ系被膜によって平坦化され
ている。

【００６１】さらに位相シフタ付フォトマスクの位相シ
フタおよび三層レジストの中間層がシリカ系被膜で構成
され、上記電子部品においても半導体装置と同様にシリ
カ系被膜が設けられ、シリカ系絶縁膜の被塗布面が該シ
リカ系被膜によって平坦化されている。

【００６２】本発明では、上記のようなシリカ系被膜
が、ポリシラザンの１種または２種以上と、シロキサン
結合を有するケイ素化合物とを混合して形成された塗布
液を用いて形成されている。

【００６３】すなわち、本発明に係る被膜付基材は、ポ
リシラザンの１種または２種以上と、シロキサン結合を
有するケイ素化合物とを混合して形成された塗布液を用
いて形成されたシリカ系被膜を有している。このシリカ
系被膜の膜厚は、通常、０．０５〜２μ、好ましくは
０．１〜１μ程度である。

【００６４】さらに本発明に係る被膜付基材では、この
シリカ系絶縁膜の窒素含有率が、ポリシラザンのみを含
む塗布液から同様にして形成されたシリカ系被膜と比較
して少なく、該シリカ系被膜の窒素含有率が１重量％以
下である。

【００６５】このようなシリカ系被膜は、例えば上記の
ような本発明に係るシリカ系被膜形成用塗布液を、基材
の被塗布面、例えば液晶表示表示装置を製造する場合に
は透明電極板の透明電極面にスプレー法、スピンコート
法、ディッピング法、ロールコート法、スクリーン印刷
法、転写印刷法などの各種方法で塗布し、次いで得られ
た塗膜を乾燥・焼成することにより得ることができる。

【００６６】本発明では、上記のようにシリカ系絶縁膜
の窒素含有率が、ポリシラザンのみを含む塗布液から同
様にして形成されたシリカ系被膜と比較して少ないの
で、１５０〜５００℃、好ましくは２００〜５００℃の
温度で上記塗膜の乾燥および焼成を行なっても緻密性、
耐クラック性などに優れたシリカ系被膜が形成できる。
なお、塗膜を加熱するに際して、高圧あるいは低圧ＵＶ
照射、ＥＢ照射による硬化処理を併用することもでき
る。

【００６７】

【発明の効果】本発明に係る被膜形成用塗布液によれ
ば、被塗布面との密着性、機械的強度、耐アルカリ性な
どの耐薬品性に優れ、同時にボイド、ピンホールなどが
ほとんどなく、緻密であって耐クラック性に優れた絶縁
膜を５００℃以下の焼成温度で形成でき、しかも被塗布
面の凹凸を高度に平坦化することができる。

【００６８】すなわち、被膜形成成分としてポリシラザ
ンのみを含む従来の塗布液からシリカ系被膜を形成する
と、Ｓｉ−Ｎ架橋結合の熱分解温度が高く、５００℃以
下の温度で乾燥・焼成した場合には、得られたシリカ系
被膜中に窒素原子が残存しているが、本発明に係る被膜
形成用塗布液から同様の乾燥・焼成温度でシリカ系被膜
を形成すると、得られたシリカ系被膜中には窒素原子が
ほとんど残存していない。また、このようにして本発明
に係る被膜形成用塗布液から得られたシリカ系被膜は、
ポリシラザンのみを含む従来の塗布液から得られたシリ
カ系被膜と比較して緻密性および耐アルカリ性などの耐
薬品性に優れている。

【００６９】このように本発明に係る被膜形成用塗布液
を塗布面に塗布し、得られた塗膜を５００℃以下の比較
的低温で乾燥・焼成しても窒素原子がほとんど残存して
いないシリカ系被膜が得られる理由は、次のように推定
される。

【００７０】すなわち、本発明に係る被膜形成用塗布液
を調製する際にポリシラザンとシロキサン結合を有する
ケイ素化合物とを混合すると、ポリシラザン分子中に含
まれている窒素原子とケイ素原子との結合部と、シロキ
サン結合を有するケイ素化合物に含まれているシラノー
ル基とが反応し、前記窒素原子と２つの隣接ケイ素原子
との間に形成されていた結合が開裂する。この際同時に
水素ガスおよびアンモニアガスが発生することから、前
記開裂部の窒素原子の少なくとも一部はアンモニアに変
化してポリシラザンから遊離し、前記開裂部はＳｉ−Ｏ
結合またはＳｉ−Ｈ結合に変化し、結合エネルギーが比
較的大きいＳｉ−Ｎ結合部がほとんど消失することによ
るものであろう。

【００７１】換言すれば、本発明に係る被膜形成用塗布
液を基材上に塗布し、得られた塗膜を乾燥・焼成してシ
リカ系被膜を形成する場合、被膜形成成分として同量の
ポリシラザンのみを含有する塗布液に比べて、塗布液中
の被膜形成成分に含まれているＳｉ−Ｎ結合部が少ない
ので、Ｓｉ−Ｎ結合を切断してＳｉ−Ｏ結合に変化させ
るためのエネルギーが大幅に減少し、５００℃以下の比
較的低温で乾燥・焼成しても窒素原子がほとんど残存し
ていないシリカ系被膜が得られる。

【００７２】すなわち、本発明によれば、半導体基板と
金属配線層との間、金属配線層間にシリカ系被膜が形成
され、半導体基板上に設けられたＰＮ接合半導体、およ
びコンデンサー素子、抵抗素子などの各種素子がシリカ
系被膜で被覆され、これらの素子によって形成された凹
凸面が平坦化されている半導体装置、ガラス基板と透明
電極との間に、ガラス基板中に含まれているＮａなどの
アルカリ成分が透明電極中に移行したり、この透明電極
を通して透明電極間に封入された液晶中へ溶出したりす
ることが防止できるような、いわゆるアルカリパッシベ
ーション膜としてのシリカ系被膜が形成された液晶表示
装置、およびさらに透明電極上に配向膜を有する透明電
極板の透明電極と配向膜の間にシリカ系被膜が形成され
た透明電極板を有する液晶表示セルを備えた液晶表示装
置、画素電極上にシリカ系被膜が形成された電極板およ
びカラーフィルター上にシリカ系被膜が形成された対向
電極板を有し、画素電極およびカラーフィルターによっ
て形成された凹凸面が該シリカ系被膜によって平坦化さ
れている液晶表示セルを備えたカラー液晶表示装置、位
相シフタがシリカ系被膜であるような位相シフタ付フォ
トマスク、中間層がシリカ系被膜であるような三層レジ
スト、および半導体装置と同様にシリカ系被膜が設けら
れ、シリカ系絶縁膜の被塗布面が該シリカ系被膜によっ
て平坦化されている電子部品、たとえば多層配線構造を
有するＬＳＩ素子およびプリント回路基板、ハイブリッ
ドＩＣ、アルミナ基板などのような被膜付基材が歩留り
良く提供できる。

【００７３】

【実施例】以下、本発明を実施例により説明するが、本
発明はこれら実施例に限定されるものではない。

【００７４】

【製造実施例】

１）ポリシラザンＡの合成 特公昭６３−１６３２５号公報記載の製造法に準じて次
のような製造法でポリシラザンＡを合成した。

【００７５】温度が０℃の恒温槽内に設置した反応器内
にピリジン６００mlを入れ、攪拌しながらジクロロシラ
ン２８．３ｇを加えて錯体（ピリジンアダクツ）を形成
させた。次いでこのピリジンアダクツを含む液中にアン
モニアを２時間吹き込んで沈澱を生じさせた。この沈澱
を濾過して除去した後、濾液を８０℃で１０時間加熱
し、次いで減圧して濾液からピリジンを除去することに
より、反応器内に樹脂状のポリシラザンＡを得た。 ２）ポリシラザンＢの合成 塩化メチレン３００mlを入れた１リットルの四つ口フラ
スコを−５℃に冷却した。次いでこの四つ口フラスコ内
にメチルジクロロシラン３４．２ｇを加え、攪拌しなが
らさらにアンモニアを２時間吹き込んで液中に沈澱を生
じさせた。この沈澱を濾過して除去した後、濾液を減圧
して濾液から塩化メチレンを除去することにより、樹脂
状のポリシラザンＢを得た。 ３）シリカゾルの合成 水１４０ｇとメタノール１７０ｇとを入れた５リットル
の反応容器を６０℃に加熱した。次いでこの反応容器内
にテトラエトキシシラン５４０ｇを水／メタノール溶液
２４５０ｇ（重量比：水／メタノール＝２／８）に溶解
した溶液と、０．２５重量％アンモニア水６００ｇとを
同時に４０時間かけて添加した。添加終了後、さらにこ
の温度で３時間熟成した。次いで限外濾過法で未反応の
テトラエトキシシランとアンモニアを除去すると同時に
エタノールを加え、平均粒径４００Åのエタノール分散
シリカゾルを得た。 ４）ポリシロキサンａの合成 メチルイソブチルケトン４００ｇと水３６０ｇを入れた
１リットルの四つ口フラスコを０℃に冷却した。次いで
この四つ口フラスコ内に、攪拌しながらジエトキシシラ
ン４０ｇを添加した後、攪拌をさらに１時間続けた。し
かる後、四つ口フラスコを３０℃に加熱し、四つ口フラ
スコ中の液温を同温度に５時間保持し、次いでこの液か
ら有機液相を抽出した。得られた有機液相を減圧して濃
縮し、樹脂状のポリシロキサンａを得た。 ５）ポリシロキサンｂの合成 水の量が３５５ｇであり、ジエトキシシランに代えてメ
チルトリメトキシシラン４５ｇを用いた以外は、ポリシ
ロキサンａと同様にして樹脂状のポリシロキサンｂを得
た。

【００７６】上記のポリシラザンＡ、Ｂおよびポリシロ
キサンａ、ｂの元素分析結果および重量平均分子量を表
１に示す。なおこれらの重量平均分子量は、ゲルクロマ
トグラフ法で測定したポリスチレン換算値である。

【００７７】

【実施例１】ポリシラザンＡの５重量％メチルイソブチ
ルケトン溶液とポリシロキサンａの５重量％メチルイソ
ブチルケトン溶液とを、ポリシラザンＡ／ポリシロキサ
ンａが重量比で８／２となるように２０℃で混合し、次
いで溶媒を減圧によって除去することにより樹脂状物を
得た。得られた樹脂状物の元素分析結果および重量平均
分子量を表１に示す。なお得られた樹脂状物の重量平均
分子量は、上記ポリシラザンＡ、Ｂおよびポリシロキサ
ンａ、ｂの重量平均分子量と同様にして測定した。

【００７８】上記のようにして得られた樹脂状物をキシ
レンに溶解し、固形分濃度が２０重量％であるシリカ系
被膜形成用塗布液を得た。この塗布液を４インチシリコ
ンウェハー上にスピンコート法で塗布し、得られた塗膜
を１５０℃で２分間加熱して乾燥させた後、空気中で４
５０℃で１時間焼成してシリカ系被膜を形成した。形成
されたシリカ系被膜のＥＳＣＡ分析結果および、耐クラ
ック性、緻密性、耐アルカリ性の測定結果を表２に示
す。なお、耐クラック性、緻密性および耐アルカリ性の
測定は次のようにして行なった。 ａ）耐クラック性 ２μのシリカ系被膜を形成し、このシリカ系被膜のクラ
ックの有無を顕微鏡で観察した。 ｂ）緻密性 ＨＦとＨＮＯ₃ との混合溶液（ＨＦ／ＨＮＯ₃ ＝１／１
００重量比）からなるエッチング液に上記のようにして
形成されたシリカ系被膜を２分間浸漬した前後の膜厚か
ら算出した。 ｃ）耐クラック性 ４０℃の５重量％ＮａＯＨ水溶液に上記のようにして形
成されたシリカ系被膜を２０分間浸漬した前後の膜厚か
ら算出した。

【００７９】

【実施例２】ポリシラザンＡ／ポリシロキサンａが重量
比で９／１となるような量でポリシラザンＡ溶液とポリ
シロキサンａ溶液とを混合し、次いでこの混合溶液の液
温を８０℃に１０時間保持した以外は実施例１と同様に
して樹脂状物を得た。得られた樹脂状物の元素分析結果
および重量平均分子量を表１に示す。なお得られた樹脂
状物の重量平均分子量は、上記ポリシラザンＡ、Ｂおよ
びポリシロキサンａ、ｂの重量平均分子量と同様にして
測定した。

【００８０】このようにして得られた樹脂状物を用いて
実施例と同様にしてシリカ系被膜形成用塗布液およびシ
リカ系被膜を得、実施例１と同様にして得られたシリカ
系被膜のＥＳＣＡ分析、および、耐クラック性、緻密
性、耐アルカリ性の測定を行なった。

【００８１】以上の分析および測定結果を表２に示す。

【００８２】

【実施例３】ポリシラザンＢの３重量％ブチルエーテル
溶液とポリシロキサンｂの３重量％ブチルエーテル溶液
とを、ポリシラザンＢ／ポリシロキサンｂが重量比で６
／４となるように混合した以外は実施例１と同様にして
樹脂状物を得た。得られた樹脂状物の元素分析結果およ
び重量平均分子量を表１に示す。なお得られた樹脂状物
の重量平均分子量は、上記ポリシラザンＡ、Ｂおよびポ
リシロキサンａ、ｂの重量平均分子量と同様にして測定
した。

【００８３】このようにして得られた樹脂状物を用いて
実施例と同様にしてシリカ系被膜形成用塗布液およびシ
リカ系被膜を得、実施例１と同様にして得られたシリカ
系被膜のＥＳＣＡ分析、および、耐クラック性、緻密
性、耐アルカリ性の測定を行なった。

【００８４】以上の分析および測定結果を表２に示す。

【００８５】

【実施例４】ポリシラザンＡの５重量％キシレン溶液
と、シリカゾルの５重量％エタノール分散液とを、ポリ
シラザンＡ／シリカゾルが重量比で９／１となるように
混合し、次いで実施例１と同様にして樹脂状物を得た。
得られた樹脂状物の元素分析結果を表１に示す。なお得
られた樹脂状物の重量平均分子量は、樹脂状物にシリカ
ゾルが含有しているため測定できなかった。

【００８６】このようにして得られた樹脂状物を用いて
実施例と同様にしてシリカ系被膜形成用塗布液およびシ
リカ系被膜を得、実施例１と同様にして得られたシリカ
系被膜のＥＳＣＡ分析、および、耐クラック性、緻密
性、耐アルカリ性の測定を行なった。

【００８７】以上の分析および測定結果を表２に示す。

【００８８】

【実施例５】ポリシラザン／シリカゾル＝７／３とした
以外は、実施例４と同様にして樹脂状物を得た。得られ
た樹脂状物の元素分析結果を表１に示す。なお得られた
樹脂状物の重量平均分子量は、樹脂状物にシリカゾルが
含有しているため測定できなかった。

【００８９】このようにして得られた樹脂状物を用いて
実施例１と同様にしてシリカ系被膜形成用塗布液および
シリカ系被膜を得、実施例１と同様にして得られたシリ
カ系被膜のＥＳＣＡ分析、および、耐クラック性、緻密
性、耐アルカリ性の測定を行なった。

【００９０】以上の分析および測定結果を表２に示す。

【００９１】

【比較例１】ポリシラザンＡの２０重量％のキシレン溶
液をシリカ系被膜形成用塗布液として、実施例１と同様
にしてシリカ系被膜を得、実施例１と同様にして得られ
たシリカ系被膜のＥＳＣＡ分析、および、耐クラック
性、緻密性、耐アルカリ性の測定を行なった。

【００９２】以上の分析および測定結果を表２に示す。

【００９３】

【表１】

【００９４】

【表２】

【００９５】

【実施例６〜１０、比較例２】実施例１〜５および比較
例１で得られたシリカ系被膜形成用塗布液を０．５μ段
差のライン アンド スペースでモデル的にＡｌ配線を
形成した４インチシリコン半導体基板上にスピンコート
法で塗布した。

【００９６】得られた塗膜を１５０℃で２分間乾燥した
後、乾燥空気中で４５０℃で１時間焼成して絶縁性のシ
リカ系被膜を形成した。次いでコンタクトホールをリソ
グラフィー法およびエッチング法で形成し、得られた穴
開きシリカ系被膜付半導体基板を大気中で１週間放置し
た後、シリカ系被膜上にスパッタリング法で上部Ａｌ配
線を形成しを形成し、実施例６〜１０および比較例２の
半導体装置を作成した。なお上記エッチングは四フッ化
炭素と酸素との混合ガスによるドライエッチングで行な
った。

【００９７】得られた半導体装置の断面を走査型電子顕
微鏡で観察して半導体装置に形成されたシリカ系被膜の
平坦性およびクラックの有無を調べ、コンタクトホール
形成時のエッチングレートおよび上下Ａｌ配線間に１０
００時間通電した前後の抵抗値変化を測定した。

【００９８】結果を表３に示す。

【００９９】

【表３】

【０１００】

【実施例１１〜１５、比較例３】実施例１〜５および比
較例１で得られたシリカ系被膜形成用塗布液を、１対の
ガラス基板上にそれぞれ形成されている透明電極上にス
ピンコート法で塗布した。

【０１０１】得られた塗膜を１５０℃で２分間乾燥した
後、大気中で４５０℃で１時間焼成して絶縁性のシリカ
系被膜を形成した。このようにして得られたガラス基板
上に透明電極およびシリカ系被膜が順次形成されている
１対の透明電極板を、スペーサによりシリカ系被膜同士
が所定の間隔で対向し、重なり合うように配列するとと
もに該透明電極板間に液晶材料を充填し、次いでこれら
一対の透明電極板の周縁をシール剤で封着して液晶表示
セルを形成し、得られた液晶表示セルを液晶表示装置本
体に装着、接続して実施例１１〜１５および比較例３の
液晶表示装置を作成した。

【０１０２】このようにして得られた実施例１１〜１５
および比較例３の液晶表示装置をそれぞれ作動させ、１
０００時間連続作動後に液晶表示セルの表示状態を観察
したところ、実施例１１〜１５の液晶表示装置では液晶
表示セルの表示状態がいずれも良好であったが、比較例
３の液晶表示装置では液晶表示セルの表示状態が劣悪で
あった。

【０１０３】

【実施例１６〜２０、比較例４】実施例１〜５および比
較例１で得られたシリカ系被膜形成用塗布液を、１対の
ガラス基板上にそれぞれスピンコート法で塗布し、得ら
れた塗膜を１５０℃で２分間乾燥した後、大気中で４５
０℃で１時間焼成して絶縁性のシリカ系被膜を形成し
た。

【０１０４】このようにして形成されたシリカ系被膜上
にＩＴＯ膜をスッパッタリング法で形成し、ガラス基板
上にシリカ系被膜および透明電極が順次形成されている
１対の透明電極板を作成した。

【０１０５】このようにして得られた１対の透明電極板
を用いて、実施例１１〜１５および比較例３と同様にし
て実施例１６〜２０および比較例４の液晶表示装置を作
成し、液晶表示セルの表示状態を観察したところ、実施
例１６〜２０の液晶表示装置では液晶表示セルの表示状
態がいずれも良好であったが、比較例３の液晶表示装置
では液晶表示セルの表示状態が劣悪であった。

【０１０６】

【実施例２１〜２５、比較例５】実施例１〜５および比
較例１で得られたシリカ系被膜形成用塗布液を０．５μ
段差のライン アンド スペースでモデル的にＡｌ配線
を形成したガラス基板上にスピンコート法で塗布した。

【０１０７】得られた塗膜を１５０℃で２分間乾燥した
後、大気中で４５０℃で１時間焼成して絶縁性のシリカ
系被膜を形成した。次いでこのようにして得られた実施
例２１〜２５および比較例５の被膜付基材をＨＦとＨＮ
Ｏ₃ との混合溶液（ＨＦ／ＨＮＯ₃ ＝１／１００重量比
（？））からなるエッチング液に２分間した前後のシリ
カ系被膜からシリカ系被膜のエッチングレートを算出
し、また、上記のようにして得られた実施例２１〜２５
および比較例５の被膜付基材の断面を走査型電子顕微鏡
で観察して被膜表面の段差を測定するとともにクラック
の有無を調べた。

【０１０８】結果を表４に示す。

【０１０９】

【表４】

【０１１０】上記結果から、画素電極上にシリカ系被膜
が形成された電極板およびカラーフィルター上にシリカ
系被膜が形成された対向電極板を有し、画素電極および
カラーフィルターによって形成された凹凸面が該シリカ
系被膜によって平坦化されている液晶表示セルを備えた
カラー液晶表示装置、このカラー液晶表示装置と同様に
シリカ系被膜が設けられ、シリカ系絶縁膜の被塗布面が
該シリカ系被膜によって平坦化されている電子部品、た
とえば多層配線構造を有するＬＳＩ素子およびプリント
回路基板、ハイブリッドＩＣ、アルミナ基板などのよう
な被膜付基材を実施例１〜５で得られたシリカ系被膜形
成用塗布液から製造した場合、実施例１〜５で得られた
シリカ系被膜形成用塗布液から製造した被膜付基材はエ
ッチングレートが小さく、かつ得られたシリカ系被膜に
よって被塗布面の凹凸が高度に平坦化され、従って信頼
性の高いこれらの被膜付基材が得られることが予想され
る。これに対し、比較例１で得られたシリカ系被膜形成
用塗布液から製造したこれらの被膜付基材は、エッチン
グレートが大きいため、実施例１〜５で得られたシリカ
系被膜形成用塗布液から製造した場合に比較して信頼性
に劣ることが予想される。

【０１１１】

【実施例２６〜３０、比較例６】実施例１〜５および比
較例１で得られたシリカ系被膜形成用塗布液を、ガラス
基板上にそれぞれスピンコート法で塗布し、得られた塗
膜を１５０℃で２分間乾燥した後、大気中で４５０℃で
１時間焼成してシリカ系被膜を形成した。

【０１１２】このようにして形成されたシリカ系被膜上
にＣｒマスクを形成し、実施例２６〜３０および比較例
６の位相シフタ付フォトマスクを製造し、それぞれの位
相シフタ付フォトマスクを、４０℃、湿度８０％で１０
００時間放置した。

【０１１３】このようにして得られた実施例２６〜３０
および比較例６の位相シフタ付フォトマスクを通してそ
れぞれシリコン基板上に形成したレジスト膜にパターン
状に露光し、露光後のレジスト膜を現像することにより
得られたレリーフ像の解像度を測定したところ、実施例
２６〜３０の位相シフタ付フォトマスクを通して得られ
たレリーフ像は解像度に優れ、比較例６の位相シフタ付
フォトマスクを通して得られたレリーフ像は解像度に劣
ることが観察された。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】下記一般式［Ｉ］ 【化１】 （ただし、Ｒ₁ 、Ｒ₂ およびＲ₃ は、それぞれ独立して
   水素原子または炭素原子数１〜８のアルキル基であ
   る。）で表される繰り返し単位を少なくとも有する１種
   または２種以上のポリシラザンと、 シロキサン結合を有するケイ素化合物とを混合して形成
   されてなるシリカ系被膜形成用塗布液。
2. 【請求項２】前記シロキサン結合を有するケイ素化合物
   が、下記式［II］ 【化２】 （ただし、Ｒ₄ およびＲ₅ は、それぞれ独立して水素原
   子または炭素原子数１〜８のアルキル基である。）で表
   される繰り返し単位を有するポリシロキサンである請求
   項１記載の塗布液。
3. 【請求項３】前記シロキサン結合を有するケイ素化合物
   が、無定形シリカである請求項１記載の塗布液。
4. 【請求項４】前記［Ｉ］において、Ｒ₁ 、Ｒ₂ およびＲ
   ₃ が、すべて水素原子であり、かつポリシラザンを構成
   する全元素のうち、５５〜６５重量％がケイ素原子であ
   り、２０〜３０重量％が窒素原子であり、１０〜１５重
   量％が水素原子である請求項１ないし３のいずれか１項
   記載の塗布液。
5. 【請求項５】前記ポリシラザンおよび前記シロキサン結
   合を有するケイ素化合物に由来するケイ素原子および窒
   素原子の合計量が、次式 Ｓｉ／Ｎ≧１．２（原子比） で表わされる請求項１ないし４のいずれか１項記載の塗
   布液。
6. 【請求項６】ポリシラザンと、シロキサン結合を有する
   ケイ素化合物とを混合して形成されてなる塗布液を用い
   て形成されたシリカ系被膜を有し、該シリカ系被膜の窒
   素含有率が１重量％以下であることを特徴とする被膜付
   基材。