JP3919862B2 - 低誘電率シリカ質膜の形成方法及び同シリカ質膜 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、低誘電率のシリカ質膜の形成方法、及び同シリカ質膜に関し、詳しくは、例えば半導体絶縁膜に適用する場合にも半導体素子に悪影響を与えない低誘電率シリカ質膜の形成方法及び低誘電率シリカ質膜に関する。
【0002】
【従来の技術】
シリカ質膜は、その優れた耐熱性、耐摩耗性、耐蝕性等の面から、例えば半導体装置における半導体基板と金属配線層との間、金属配線層間、あるいは半導体基板上の各種素子上に設けられる絶縁膜として、また液晶表示装置におけるガラス基板とITO膜との間、透明電極と配向膜との間等に設けられる絶縁膜として、あるいは画素電極ないしカラーフィルター上に設けられる保護膜として、用いられている。
このような分野で用いられるシリカ質膜は、一般にCVD法、スパッタリング法等の気相成長法あるいはシリカ質膜形成用塗布液を用いる塗布法によって基板上に形成されている。ただ、気相成長法によると、手間がかかると共に大きな設備を必要とし、しかも凹凸面上に被膜を形成する場合に凹凸面の平坦化ができない等の問題があるため、近年は塗布法が広く採用されている。
【0003】
一方、近年、シリカ、窒化珪素、酸窒化珪素の前駆体ポリマーであるポリシラザンが、耐熱性、耐摩耗性、耐蝕性等に優れたシリカ質コーティング膜を形成し得るため、注目されており、シクロシラザン重合物あるいはポリシラザンを含有するシリカ質膜形成用塗布液が提案されている(特開昭62−88327号公報、特開平1−203476号公報)。しかし、このような塗布液を用いてSi−N結合の大部分がSi−O結合に変化したシリカ質膜を得る場合には、900℃程度にまで加熱しなければならないとか、厚膜化するとボイド、ピンホール、クラック等が膜に生じやすいといった問題点がある。
【0004】
そこで、充分に膜厚の大きい絶縁膜を得るために、ペルヒドロポリシラザン塗膜の焼成後の膜中に窒素を残留させる絶縁膜の製造方法(特開平6−16410号公報)とか、ポリシラザン塗膜を酸化性雰囲気中で加熱するシリカコーティングの堆積方法(特開平7−2511号公報)などが提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
たゞ、従来の方法で得られた高純度シリカ膜は、その物性は二酸化珪素(SiO2)の理論組成に近く、比誘電率は4.2〜4.7である。しかし、半導体回路の設計は常に高集積化、高速度化を目指して行われている。集積度を高めるためには配線間隔を狭くする必要があるが、配線間隔を狭くすると配線間にRC遅延が生じ、動作速度が低くなる。RC遅延を低減するためには、配線間の比誘電率を下げる必要がある。
【0006】
従って、本発明の目的は、比誘電率が4以下の低誘電率シリカ質膜を形成する方法及び同シリカ質膜を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、鋭意研究を重ねた結果、ポリシラザン薄膜に無機酸又は有機酸単独、あるいは無機酸又は有機酸と水(水蒸気)、あるいはアミン単独、あるいはアミンと水(水蒸気)を接触させ、引き続き加熱焼成(キュアー)することによって、比誘電率2.0〜4.0の低誘電率膜が得られることを見い出し、本発明に到達した。
【0008】
すなわち、本発明によれば、第一に、主として下記一般式(I)
【化1】
(式中、R1、R2及びR3は、それぞれ独立に水素原子、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、アリール基、若しくはこれらの基以外でフルオロアルキル基等のケイ素に直結する基が炭素である基、アルキルシリル基、アルキルアミノ基又はアルコキシ基を表す。但し、R1、R2及びR3の少なくとも1つは水素原子である。)
で表される構造単位からなる骨格を有する数平均分子量が約100〜50,000のポリシラザン又はその変性物の塗膜に、無機酸又は有機酸単独、あるいは無機酸又は有機酸と水又は水蒸気を接触させ、引き続き加熱焼成することを特徴とする低誘電率シリカ質膜の形成方法が提供される。
第二に、主として下記一般式(I)
【化1】
(式中、R1、R2及びR3は、それぞれ独立に水素原子、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、アリール基、若しくはこれらの基以外でフルオロアルキル基等のケイ素に直結する基が炭素である基、アルキルシリル基、アルキルアミノ基又はアルコキシ基を表す。但し、R1、R2及びR3の少なくとも1つは水素原子である。)
で表される構造単位からなる骨格を有する数平均分子量が約100〜50,000のポリシラザン又はその変性物の塗膜に、アミン単独、あるいはアミンと水又は水蒸気を接触させ、引き続き加熱焼成することを特徴とする低誘電率シリカ膜の形成方法が提供される。
第三に、主として下記一般式(I)
【化1】
(式中、R1、R2及びR3は、それぞれ独立に水素原子、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、アリール基、若しくはこれらの基以外でフルオロアルキル基等のケイ素に直結する基が炭素である基、アルキルシリル基、アルキルアミノ基又はアルコキシ基を表す。但し、R1、R2及びR3の少なくとも1つは水素原子である。)
で表される構造単位からなる骨格を有する数平均分子量が約100〜50,000のポリシラザン又はその変性物の塗膜に、アミン単独、あるいはアミンと水又は水蒸気を接触させ、続いて無機酸又は有機酸単独、あるいは無機酸又は有機酸と水又は水蒸気を接触させ、引き続き加熱焼成することを特徴とする低誘電率シリカ質セラミックスの形成方法が提供される。
第四に、ポリシラザン由来の密度が1〜1.8g/cm3であることを特徴とする低誘電率シリカ質膜が提供される。
【0009】
ポリシラザンは前記一般式(I)で表される構造単位を基本骨格とするポリマーである。従来の方法では、ポリシラザン薄膜を水蒸気を含む大気中又は水蒸気を含む不活性ガス雰囲気中で焼成し、シリカ質膜(SiO2)に転化していた。この時、ポリシラザンのSi−H、N−Hの結合が酸化されてSi−O結合に転換される。Si−H、N−Hの結合の酸化は、焼成時の水蒸気量にも依存するが、通常ほゞ同時に酸化されるため、焼成後のIRスペクトルを測定すると、Si−HとN−Hの吸収はほゞ同時に消失する。Si−N結合又はN−H結合が残存したまゝ絶縁膜として使用すると、通常引き続いて行われるビアホール(Al配線からの電気信号を取り出すための穴)形成時等でNH3ガスの放出を招く。NH3の放出は金属を腐食させるため、好ましくない。
【0010】
一方、本発明の方法では、酸又はアミンの触媒作用により、分子鎖内のSi−H基あるいはSi−R基を残存させながら、Si−N結合の酸化、すなわちNをOに置換する反応が選択的に促進される。Si−H基あるいはSi−R基の残存により、従来の膜と比較して低密度のシリカ質膜が形成される。更に、酸触媒を用いた場合には、ポリシラザンの酸化時に放出されるNH3と酸が塩を形成し、一旦膜中に残存する。これを焼成すると、この塩が昇華するため、更に膜密度を低下させることが可能である。この効果により、酸触媒を用いた方がアミン触媒よりも誘電率を下げることができる。一般に密度を低下させれば誘電率も低下するが、低密度にすると高誘電率物質である水の吸着が同時に進行するため、大気中に放置すると誘電率が増加する傾向がある。本発明の薄膜は撥水性のSi−H基あるいはSi−R基の残存により、低密度でありながら、水の吸着が起こらないため、水蒸気を含む大気中に放置しても誘電率はほとんど上昇しない。
【0011】
なお、前記したように、シリカ系の層間絶縁膜を形成する方法としてCVD法がある。一般に、CVD法は緻密で均質な膜の形成が可能であるが、高真空装置であるため、設備コストが高い点、膜形成速度が遅い点が特に量産する場合は問題となる。更に、CVD法の場合は基板すなわち蒸着する面に対して垂直方向に膜が形成されるため、配線段差のある半導体の層間絶縁平担化膜には不向きである。ところが、本発明のような塗布液法(SOG法)では、ポリマー溶液を基板へスピンコートし、焼成するだけの簡便な方法で絶縁膜を形成するため、プロセスコストが安く、旦つ塗布時に段差を平担化することができる点で有利である。
【0012】
更に、CVD法で低誘電率膜を形成する方法も検討されている。原料ガスとしてフッ素成分を含む化合物を用いる方法で、誘電率3.5程度の膜の形成が可能との報告もある〔本間外 J.Electrochem.Soc 140(1993)2046;本間外 J.Non−Crystalline Solids187(1995)49など〕。たゞ、これらの方法は本質的に前記の問題を持つとともに、フッ素成分を含有するシリカ膜は加水分解によってフッ化水素を生成するため、安定性が低いという問題点が指摘されている。
一方、本発明の方法では、不安定なフッ素成分を含まず、基本的にSi、O、H(又はR)からなる無機膜(有機含有シリカ質膜)であるため、安定な低誘電率膜が得られる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について更に詳しく説明する。
本発明で用いるポリシラザンは、分子内に少なくともSi−H結合、あるいはN−H結合を有するポリシラザンであればよく、ポリシラザン単独は勿論のこと、ポリシラザンと他のポリマーとの共重合体やポリシラザンと他の化合物との混合物でも利用できる。
用いるポリシラザンには、鎖状、環状、あるいは架橋構造を有するもの、あるいは分子内にこれら複数の構造を同時に有するものがあり、これら単独でもあるいは混合物でも利用できる。
【0014】
用いるポリシラザンの代表例としては下記のようなものがあるが、これらに限定されるものではない。
一般式(I)でR1、R2及びR3に水素原子を有するものは、ペルヒドロポリシラザンであり、その製造方法は例えば特開昭60−145903号公報、D.SeyferthらCommunication of Am.Cer.Soc.,C−13,January 1983.に報告されている。これらの方法で得られるものは、種々の構造を有するポリマーの混合物であるが、基本的には分子内に鎖状部分と環状部分を含み、
【化2】
の化学式で表すことができる。
【0015】
ペルヒドロポリシラザンの構造の一例を示すと下記の如くである。
【化3】
【0016】
一般式(I)でR1及びR2に水素原子、R3にメチル基を有するポリシラザンの製造方法は、D.SeyferthらPolym.Prepr.Am.Chem.Soc.,Div.Polym.Chem,.25,10(1984)に報告されている。この方法により得られるポリシラザンは、繰り返し単位が−(SiH2NCH3)−の鎖状ポリマーと環状ポリマーであり、いずれも架橋構造をもたない。
【0017】
一般式(I)でR1及びR2に水素原子、R3に有機基を有するポリオルガノ(ヒドロ)シラザンの製造法は、D.SeyferthらPolym.Prepr.Am.Chem.Soc.,Div.Polym.Chem,.25,10(1984)、特開昭61−89230号公報に報告されている。これら方法により得られるポリシラザンには、−(R2SiHNH)−を繰り返し単位として、主として重合度が3〜5の環状構造を有するものや(R3SiHNH)x〔(R2SiH)1.5N〕1-X(0.4<X<1)の化学式で示される分子内に鎖状構造と環状構造を同時に有するものがある。
【0018】
一般式(I)でR1に水素原子、R2、R3に有機基を有するポリシラザン、またR1及びR2に有機基、R3に水素原子を有するものは−(R1R2SiNR3)−を繰り返し単位として、主に重合度が3〜5の環状構造を有している。
【0019】
次に、用いるポリシラザンの内、一般式(I)以外のものの代表例を挙げる。ポリオルガノ(ヒドロ)シラザンの中には、D.SeyferthらCommunication of Am.Cer.Soc.C−132,July 1984.が報告されている様な分子内に架橋構造を有するものもある。一例を示すと下記の如くである。
【化4】
【0020】
また、特開昭49−69717号公報に報告されている様なR1SiX3(X:ハロゲン)のアンモニア分解によって得られる架橋構造を有するポリシラザンR1Si(NH)x、あるいはR1SiX3及びR2 2SiX2の共アンモニア分解によって得られる下記の構造を有するポリシラザンも出発材料として用いることができる。
【化5】
【0021】
用いるポリシラザンは、上記の如く一般式(I)で表される単位からなる主骨格を有するが、一般式(I)表される単位は、上記にも明らかな如く環状化することがあり、その場合にはその環状部分が末端基となり、このような環状化がされない場合には、主骨格の末端はR1、R2、R3と同様の基又は水素原子であることができる。
【0022】
また、ポリシラザン変性物として、例えば下記の構造(式中、側鎖の金属原子であるMは架橋をなしていてもよい)のように金属原子を含むポリメタロシラザンも出発材料として用いることができる。
【化6】
【0023】
その他、特開昭62−195024号公報に報告されているような繰り返し単位が〔(SiH2)n(NH)m〕及び〔(SiH2)rO〕(これら式中、n、m、rはそれぞれ1、2又は3である)で表されるポリシロキサザン、特開平2−84437号公報に報告されているようなポリシラザンにボロン化合物を反応させて製造する耐熱性に優れたポリボロシラザン、特開昭63−81122号、同63−191832号、特開平2−77427号各公報に報告されているようなポリシラザンとメタルアルコキシドとを反応させて製造するポリメタロシラザン、特開平1−138108号、同1−138107号、同1−203429号、同1−203430号、同4−63833号、同3−320167号各公報に報告されているような分子量を増加させたり(上記公報の前4者)、耐加水分解性を向上させた(後2者)、無機シラザン高重合体や改質ポリシラザン、特開平2−175726号、同5−86200号、同5−331293号、同3−31326号各公報に報告されているようなポリシラザンに有機成分を導入した厚膜化に有利な共重合シラザン、特開平5−238827号公報、特開平6−122852号、特開平6−29918号、特開平6−306329号、特開平6−240208号、特開平7−196986号各公報に報告されているようなポリシラザンにセラミックス化を促進するための触媒的化合物を付加又は添加したプラスチックスやアルミニウムなどの金属への施工が可能で、より低温でセラミックス化する低温セラミックス化ポリシラザンなども同様に使用できる。
【0024】
本発明では、更に、以下のような低温セラミックス化ポリシラザンを使用することできる。例えば、本願出願人による特開平5−238827号公報に記載されているケイ素アルコキシド付加ポリシラザンが挙げられる。この変性ポリシラザンは、前記一般式(I)で表されるポリシラザンと、下記一般式(IV):
Si(OR4)4 (IV)
(式中、R4は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、炭素原子数1〜20個を有するアルキル基又はアリール基を表し、少なくとも1個のR4は上記アルキル基又はアリール基である)で表されるケイ素アルコキシドを加熱反応させて得られる、アルコキシド由来ケイ素/ポリシラザン由来ケイ素原子比が0.001〜3の範囲内且つ数平均分子量が約200〜50万のケイ素アルコキシド付加ポリシラザンである。
【0025】
低温セラミックス化ポリシラザンの別の例として、本出願人による特開平6−122852号公報に記載されているグリシドール付加ポリシラザンが挙げられる。この変性ポリシラザンは、前記一般式(I)で表されるポリシラザンとグリシドールを反応させて得られる、グリシドール/ポリシラザン重量比が0.001〜2の範囲内且つ数平均分子量が約200〜50万のグリシドール付加ポリシラザンである。
【0026】
低温セラミックス化ポリシラザンの更に別の例として、本願出願人による特開平6−306329号公報に記載されているアセチルアセトナト錯体付加ポリシラザンが挙げられる。この変性ポリシラザンは、前記一般式(I)で表されるポリシラザンと、金属としてニッケル、白金、パラジウム又はアルミニウムを含むアセチルアセトナト錯体を反応させて得られる、アセチルアセトナト錯体/ポリシラザン重量比が0.000001〜2の範囲内且つ数平均分子量が約200〜50万のアセチルアセトナト錯体付加ポリシラザンである。前記の金属を含むアセチルアセトナト錯体は、アセチルアセトン(2,4−ペンタジオン)から酸解離により生じた陰イオンacac-が金属原子に配位した錯体であり、一般に式(CH3COCHCOCH3)nM〔式中、Mはn価の金属を表す〕で表される。
【0027】
低温セラミックス化ポリシラザンのまた別の例として、本願出願人による特開平6−299118号公報に記載されている金属カルボン酸塩付加ポリシラザンが挙げられる。この変性ポリシラザンは、前記一般式(I)で表されるポリシラザンと、ニッケル、チタン、白金、ロジウム、コバルト、鉄、ルテニウム、オスミウム、パラジウム、イリジウム、アルミニウムの群から選択される少なくとも1種の金属を含む金属カルボン酸塩を反応させて得られる、金属カルボン酸塩//ポリシラザン重量比が0.000001〜2の範囲内且つ数平均分子量が約200〜50万の金属カルボン酸塩付加ポリシラザンである。上記金属カルボン酸塩は、式(RCOO)nM〔式中、Rは炭素原子数1〜22個の脂肪族基又は脂環式基であり、Mは上記金属群から選択される少なくとも1種の金属を表し、そしてnは金属Mの原子価である〕で表される化合物である。上記金属カルボン酸塩は無水物であっても水和物であってもよい。また、金属カルボン酸塩/ポリシラザン重量比は好ましくは0.001〜1、より好ましくは0.01〜0.5である。金属カルボン酸塩付加ポリシラザンの調製については、上記特開平6−299118号公報を参照されたい。
【0028】
その他、有機、無機ポリシラザンに、アルコール、有機酸、エステル、アルデヒド、メルカプタンを反応させたものも使用可能である(特開平5−345826号、特開平6−240208号各公報)。また、HMDS等のシリル化剤で安定化したポリシラザンも使用可能である(特開平4−630号公報)。
また、ポリシラザンにアミン酸又は酸類を添加して、成形後の重合速度やシリカ転化速度を促進させたものも使用可能である(特願平7−200584号、同7−281777号、同7−344767号、同7−341601号)。
【0029】
本発明においては、原料として以上のようなポリシラザン及びその変性物が使用されるが、特に有機基を含まないペルヒドロポリシラザンを使用した場合は、本質的にSi、O、Hの元素のみからなる無機の低誘電率膜が得られる。無機膜はプラズマに対する耐久性に優れるため、半導体製造工程でレジスト膜を除去するいわゆるエッチバック工程を省くことができる。このため、製造プロセスを大幅に簡略化できるという利点がある。
【0030】
本発明のシリカ質膜の形成方法においては、前記ポリシラザン(変性物)の塗膜に、無機酸若しくは有機酸単独又は無機酸若しくは有機酸と水(水蒸気)又は/続いてアミン単独又はアミンと水(水蒸気)を接触させ、引き続き、加熱焼成(キュアー)する。詳しく言と、本発明においては、
▲1▼前記ポリシラザン(変性物)の塗膜を、無機酸又は有機酸単独、あるいは無機酸又は有機酸の蒸気と水蒸気とに接触させ、引き続き加熱焼成するか、
▲2▼前記ポリシラザン(変性物)の塗膜を、アミン単独、あるいはアミンの蒸気と水蒸気とに接触させ、引き続き加熱焼成するか、
▲3▼前記ポリシラザン(変性物)の塗膜を、アミン単独、あるいはアミンの蒸気と水蒸気とに接触させ、続いて無機酸又は有機酸単独、あるいは無機酸又は有機酸の蒸気と水蒸気とに接触させ、加熱焼成するか、
▲4▼前記ポリシラザン(変性物)の塗膜を、無機酸又は有機酸の水溶液に浸漬させ、引き続き加熱焼成するか、
▲5▼前記ポリシラザン(変性物)の塗膜を、アミンの水溶液に浸漬させ、引き続き加熱焼成するか、あるいは
▲6▼前記ポリシラザン(変性物)の塗膜を、アミンの水溶液に浸漬させ、続いて無機酸又は有機酸の水溶液に浸漬させ、引き続き加熱焼成する、
という処理が行なわれる。
【0031】
前記ポリシラザン(変性物)の塗膜は、該ポリシラザン(変性物)を基材に塗布することによって得られる。塗膜形成に際しては、まず前記ポリシラザン(変性物)を有機溶媒に溶解し塗布液を調製する。この場合の有機溶媒としては、特に限定されるものではないが、好ましい具体例としては、次のものが挙げられる。
【0032】
ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、ジエチルベンゼン、トリメチルベンゼン、トリエチルベンゼン等の芳香族化合物;n−ペンタン、i−ペンタン、n−ヘキサン、i−ヘキサン、n−ヘプタン、i−ヘプタン、n−オクタン、i−オクタン、n−ノナン、i−ノナン、n−デカン、i−デカン等の飽和炭化水素化合物;エチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキセン、p−メンタン、デカヒドロナフタレン、ジペンテン;ジプロピルエーテル、ジブチルエーテル等のエーテル類;MIBK等のケトン類など。
【0033】
調製された塗布液は、次に基材上に塗布される。基材への塗布は、1回でもよいし、2回以上繰り返し行ってもよい。塗布液を塗布する基材は、特に限定されず、金属、セラミックス、プラスチック等のいずれでもよい。塗布手段としては、通常の塗布方法、つまりスピンコート法、ディップ法、スプレー法、転写法などが用いられる。また、塗布前に基材をヤスリがけ、脱脂、各種プラスト等で表面処理しておくと、ポリシラザン(変性物)の付着性能が向上する。
【0034】
基板上に形成された前記ポリシラザン(変性物)塗膜は、前記▲1▼〜▲6▼のいずれかの処理を受けるが、こゝで用いられる酸としては、塩酸、硝酸、硫酸、過酸化水素等の無機酸や、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、マレイン酸、ステアリン酸等の有機酸が挙げられる。
〔0035〕
また、ここで用いられるアミンには、例えば下記一般式(II)で表されるアミンに加えて、ピリジンやDBU、DBNなども含まれる。
アミンの代表例としては、下記一般式(II)で表されるものが挙げられる。一般式(II)
R4R5R6N (II)
(式中、R4〜R6はそれぞれは水素原子、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、アリール基、アルキルシリル基、アルキルアミノ基又はアルコキシ基を表す。)
その具体例としては、次のものが挙げられる。
メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、プロピルアミン、ジプロピルアミン、トリプロピルアミン、ブチルアミン、ジブチルアミン、トリブチルアミン、ペンチルアミン、ジペンチルアミン、トリペンチルアミン、ヘキシルアミン、ジヘキシルアミン、トリヘキシルアミン、ヘプチルアミン、ジヘプチルアミン、オクチルアミン、ジオクチルアミン、トリオクチルアミン、フェニルアミン、ジフェニルアミン、トリフェニルアミン等。(なお、炭化水素鎖は直鎖でも分枝鎖でもよい。)
【0035】
また、ピリジンとしては、例えば、ピリジン、α−ピコリン、β−ピコリン、γ−ピコリン、ピペリジン、ルチジン、ピリミジン、ピリダジン等が挙げられ、更に、DBU(1,8−ジアザビシクロ〔5,4,0〕7−ウンデセン)、DBN(1,5−ジアザビシクロ〔4,3,0〕5−ノネン)なども使用できる。
【0036】
シリカ質膜を形成するための前記▲1▼〜▲6▼の方法において、前記ポリシラザン(変性物)と無機酸、有機酸、アミン等と水(水蒸気)との接触方法には、前記▲1▼〜▲3▼のポリシラザン(変性物)を、酸の蒸気又はアミンの蒸気と水蒸気との混合ガスと接触させる(すなわち、混合ガス中にさらす)という方法と、前記▲4▼〜▲6▼のポリシラザン(変性物)を、酸又はアミンの水溶液に溶解する、という方法に大別される。
【0037】
前記▲1▼〜▲3▼の方法においては、酸蒸気、アミン蒸気、水蒸気の濃度は、酸蒸気/水蒸気、アミン蒸気/水蒸気比=0.01〜100、好ましくは0.1〜10であり、酸蒸気、アミン蒸気、水蒸気の圧力は0.0001〜5kg/cm2G、好ましくは0.001〜0.5kg/cm2Gである。希釈する場合の希釈ガスとしては、空気、不活性ガスを用いることができる。ポリシラザン(変性物)と酸蒸気、アミン蒸気、水蒸気との接触温度は0℃〜100℃、好ましくは10℃〜30℃であり、ポリシラザン(変性物)と酸蒸気、アミン蒸気、水蒸気との接触時間は0.1秒〜30分、好ましくは5秒〜10分である。
【0038】
前記▲4▼〜▲6▼の方法においては、酸水溶液又はアミン水溶液中の酸、アミンの濃度は0.01〜80重量%、好ましくは0.1〜10重量%であり、酸水溶液又はアミン水溶液の温度は0℃〜100℃、好ましくは10℃〜50℃であり、ポリシラザン(変性物)と酸水溶液又はアミン水溶液との接触時間は0.1秒〜30分、好ましくは5秒〜10分である。
【0039】
前記ポリシラザン(変性物)は、上記の酸、アミン、水(水蒸気)等との接触後、引き続き加熱焼成することによって、ポリシラザン(変性物)は完全にシリカに転化される。この焼成工程は、乾燥空気、乾燥窒素、乾燥Heなど水蒸気を含まない雰囲気中でも、また大気、加湿大気等の水蒸気を含む雰囲気中でも行なわれ、焼成温度は200℃以上、好ましくは350〜800℃で、且つ焼成時間5分以上、好ましくは30分以上で実施される。
【0040】
なお、本発明のシリカ質膜の形成方法における焼成工程は、上記のように乾燥雰囲気中でも水蒸気を含む雰囲気でも行なわれるが、特に乾燥雰囲気でも比較的低温で行なえる点が重要である。それは、半導体絶縁膜等を形成する場合には、乾燥雰囲気中での焼成が要求されるためである。と言うのは、このシリカ質膜形成の技術を半導体絶縁膜等に用いる場合、焼成温度はAl配線の耐熱温度の約450℃が上限となるが、ポリシラザン薄膜を450℃で完全にシリカに転化するためには、雰囲気に水蒸気を導入する必要がある。しかし、高温の水蒸気は半導体素子に悪影響を与える可能性があるため、乾燥大気中450℃以下でシリカ転化できるプロセスが望まれていた。本発明の方法は、酸及びアミンによる触媒作用による酸化促進効果のため、焼成(cure)を乾燥雰囲気でも450℃以下で行うことができる(水蒸気を含む雰囲気でも可能)。酸及びアミンは焼成時に完全に膜外に飛散し、また低温で導入される水蒸気が半導体素子に悪影響を与える可能性は小さい。
【0041】
近年のULSI等の半導体回路は集積度を高めるため、階段状に積層させるケースが主流である。内部応力が大きいと、積層時にクラックが発生しやすい。しかし、本方法で得られる膜は、ポリシラザンを水蒸気を含む高温大気中でシリカへ転化する従来方法と比較して、膜密度が小さく、内部応力が小さいという利点があり、このような用途に特に有用である。
【0042】
なお、塗布系の無機低誘電率ポリマーとしてダウ・コーニング社のFoxが知られている。これはO3SiH構造のpolysilsesquioxaneで、これを基板に塗布した後、不活性ガス又は水素雰囲気で加熱することによって、比誘電率3.0〜3.5が得られる(特開昭47−31838号、特開昭59−189126号、特開昭60−42426号、特開昭60−86017号各公報など)。しかし、Foxはクラック限界膜厚、すなわち膜割れを起こさないで製膜可能な最大膜厚が低く、0.5〜0.8μmが限界である。半導体の層間絶縁膜として使用する場合、配線設計にもよるが、1μm以上の絶縁膜が必要な場合が多い。一方、本発明の方法で形成した場合のクラック限界膜厚は、2.0μm以上と高い。これは、低密度であるため、内部応力が小さいためと考えられる。
【0043】
【実施例】
以下、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明の技術的範囲がこれらにより限定されるものではない。
【0044】
なお、以下の実施例、比較例における比誘電率、膜密度、内部応力及びクラック限界膜厚は、次のようにして測定した。
【0045】
(イ)比誘電率
ダウ・コーニング社製パイレックスガラス板(厚さ1mm、大きさ50mm×50mm)を中性洗剤、希NaOH水溶液、希H2SO4水溶液の順番でよく洗浄し、乾燥させた。このガラス板の全面に、真空蒸着法でAl膜を形成した(0.2μm)。このガラス板にポリシラザン溶液をスピンコート法で製膜した後、電極信号取り出し用にガラス板の四隅を綿棒でこすり、ポリシラザン膜を除去した(約3mm×3mm)。続いて、実施例の方法に従って、シリカ質膜に転化した。得られたシリカ質膜にSUS製のマスクを被せて、真空蒸着法でAl膜を形成した(2mm×2mmの正方形、厚さ0.2μmのパターンを18個)。キャパシタンス測定は、YHP社製4192ALFインピーダンスアナライザーを用いて測定した(100kHz)。また、膜厚は触針式膜厚測定器Sloan社製Dektak IIAを用いた。誘電率は下式により計算した。
比誘電率=(キャパシタンス〔pF〕)×(膜厚〔μm〕)/35.4
なお、比誘電率の値は18点の平均値とした。
【0046】
(ロ)膜密度
直径4インチ、厚さ0.5mmのシリコンウエハーの重量を、電子天秤で測定した。これにポリシラザン溶液をスピンコート法で製膜した後、実施例の方法に従ってシリカ質膜に転化し、再び膜付きのシリコンウエハーの重量を電子天秤で測定した。膜重量はこれらの差とした。膜厚は比誘電率評価と同様に、触針式膜厚測定器Sloan社製Dektak IIAを用いて測定した。膜密度は下式により計算した。
膜密度〔g/cm3〕=(膜重量〔g〕)/(膜厚〔μm〕)/0.008
【0047】
(ハ)内部応力
直径4インチ、厚さ0.5mmのシリコンウエハーのそりを、Tencor社製レーザー内部応力測定器FLX−2320に入力した。このシリコンウエハーに、ポリシラザン溶液をスピンコート法で製膜した後、実施例の方法に従ってシリカ質膜に転化し、室温(23℃)に戻した後、Tencor社製レーザー内部応力測定器FLX−2320で内部応力を測定した。なお、膜厚は比誘電率評価と同様に、触針式膜厚測定器Sloan社製Dektak IIAを用いて測定した。
【0048】
(ニ)クラック限界膜厚
直径4インチ、厚さ0.5mmのシリコンウエハーに、ポリシラザン溶液をスピンコート法で製膜した後、実施例の方法に従ってシリカ質膜に転化した。ポリシラザン溶液のポリシラザン濃度又はスピンコーターの回転数を調節することによって、膜厚を約0.5μmから約5μmの範囲で変化させたサンプルを作製した。焼成後の薄膜を顕微鏡観察(×120)し、クラックの有無を調べた。クラック発生の無い最大膜厚をクラック限界膜厚とした。
【0049】
参考例1[ペルヒドロポリシラザンの合成]
内容積1lの四つ口フラスコにガス吹き込み管、メカニカルスターラー、ジュワーコンデンサーを装着した。反応器内部を脱酸素した乾燥窒素で置換した後、四つ口フラスコに脱気した乾燥ピリジンを490ml入れ、これを氷冷した。次に、ジクロロシラン51.9gを加えると、白色固体状のアダクト(SiH2Cl2・2C5H5N)が生成した。反応混合物を氷冷し、撹拌しながら水酸化ナトリウム管及び活性炭管を通して精製したアンモニア51.0gを吹き込んだ後、100℃で加熱した。
【0050】
反応終了後、反応混合物を遠心分離し、乾燥ピリジンを用いて洗浄した後、更に乾燥窒素雰囲気下で濾過して濾液850mlを得た。濾液5mlから溶媒を減圧除去すると、樹脂状固体ペルヒドロポリシラザン0.102gが得られた。
【0051】
得られたポリマーの数平均分子量は、凝固点降下法で(溶媒:乾燥ベンゼン)により測定したところ、1120であった。IR(赤外吸収)スペクトル(溶媒:乾燥o−キシレン;ペルヒドロポリシラザンの濃度:10.2g/l)は、波数(cm-1)3390、及び1180のN−Hに基づく吸収:2170のSi−Hに基づく吸収:1040〜800のSi−N−Siに基づく吸収を示した。IRスペクトルを図1に示す。
【0052】
参考例2[ポリメチル(ヒドロ)シラザンの合成]
内容積500mlの四つ口フラスコにガス吹き込み管、メカニカルスターラー、ジュワーコンデンサーを装着した。反応器内部を脱酸素した乾燥窒素で置換した後、四つ口フラスコにメチルジクロロシラン(CH3SiHCl2、24.3g,0.221mol)と乾燥ジクロロメタン300mlを入れた。反応混合物を氷冷し、撹拌しながら乾燥アンモニア20.5g(1.20mol)を窒素ガスと共に吹き込んでアンモニア分解を行った。
【0053】
反応終了後、反応混合物を遠心分離した後、濾過した。濾液から溶媒を減圧除去し、ポリメチル(ヒドロ)シラザンを無色の液体として8.79g得た。生成物の数平均分子量を凝固点降下法で(溶媒:乾燥ベンゼン)により測定したところ、310であった。
【0054】
内容積100mlの四つ口フラスコにガス導入管、温度計、コンデンサー及び滴下ロートを装着し、反応系内をアルゴンガスで置換した。四つ口フラスコにテトラヒドロフラン12ml及び水酸化カリウム0.189g(4.71mol)を入れ、磁気撹拌を開始した。滴下ロートに上述のポリメチル(ヒドロ)シラザン5.00g及び乾燥テトラヒドロフラン50mlを入れ、これを水酸化カリウムに滴下した。室温で1時間反応させた後、滴下ロートにヨウ化メタン1.60g(11.3mmol)、及び乾燥テトラヒドロフラン1mlを入れ、これを反応溶液に滴下した。室温で3時間反応させた後、反応混合物の溶媒を減圧除去し、乾燥n−ヘキサン40mlを加えて遠心分離し、濾過した。濾液の溶媒を減圧除去すると、ポリメチル(ヒドロ)シラザンが白色粉末として4.85g得られた。
【0055】
生成したポリマーの数平均分子量は1060であった。IR(赤外吸収)スペクトル〔溶媒:乾燥o−キシレン;ポリメチル(ヒドロ)シラザンの濃度:43.2g/l〕は、波数(cm-1)3380、及び1170のN−Hに基づく吸収:2140のSi−Hに基づく吸収:1250のSi−CH3に基づく吸収を示した。IRスペクトルを図2に示す。
【0056】
比較例
参考例1で合成したペルヒドロポリシラザンをキシレンに溶解し(20wt%)、濾過精度0.2μmのアドバンテック社製PTFEシリンジフィルターで濾過した。これを直径4インチ、厚さ0.5mmのシリコンウェハー上にスピンコーターを用いて塗布し(3000rpm、20秒)、室温で乾燥させた(10分)。この時のIRスペクトルは図1のペルヒドロポリシラザンのIRスペクトルと同等であった。続いて、このペルヒドロポリシラザンを塗布したシリコン板を、250℃のホッとプレート上で3分間加熱した。次に、これを3kPaの水蒸気を含有する空気雰囲気中、400℃で1時間焼成した。
【0057】
焼成後のIRスペクトルを図3に示す。波数(cm-1)1100及び450のSi−Oに基づく吸収が主に見られ、ポリシラザンの吸収、すなわち波数(cm-1)3350及び1200のN−Hに基づく吸収:2160及び880のSi−Hに基づく吸収はほとんど消失した。得られた膜の評価を行ったところ、比誘電率は4.6、密度は2.1g/cm3、内部応力は2.0×109dyne/cm2、クラック限界膜厚は1.8μmであった。また、得られた膜を温度23℃、相対湿度50%の大気中に1週間放置した後、再び比誘電率を測定したところ、4.8であった。
【0058】
実施例1
参考例1で合成したペルヒドロポリシラザンをキシレンに溶解し(20wt%)、濾過精度0.2μmのアドバンテック社製PTFEシリンジフィルターで濾過した。これを直径4インチ、厚さ0.5mmのシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し(3000rpm、20秒)、室温で乾燥させた(10分)。この時のIRスペクトルは、図1のペルヒドロポリシラザンのIRスペクトルと同等であった。続いて、容量3Lのテフロン製ビーカーに、濃度30wt%の塩酸水溶液を300ml注入した。そして、ペルヒドロポリシラザンを塗布したシリコン板をビーカー内部に吊し、ビーカー上部にテフロン板を乗せて蓋をし、1分間放置した。このシリコン板をビーカーから取り出し、250℃のホットプレート上で3分間加熱した。この時、塩化アンモニウムと考えられる白煙が観測された。次に、これを乾燥空気雰囲気中、400℃で1時間焼成した。
【0059】
焼成後のIRスペクトルを図4に示す。波数(cm-1)1100と450のSi−Oに基づく吸収と、2250と880のSi−Hに基づく吸収が見られ、波数(cm-1)3350及び1200のN−Hに基づく吸収はほとんど消失した。得られた膜の評価を行ったところ、比誘電率は2.8、密度は1.3g/cm3、内部応力は2.0×108dyne/cm2、クラック限界膜厚は2.5μmであった。また、得られた膜を温度23℃、相対湿度50%の大気中に1週間放置した後、再び比誘電率を測定したところ、2.9であった。
【0060】
実施例2
参考例1で合成したペルヒドロポリシラザン1.0gを、キシレン4.0gに溶解し、トリ−n−ペンチルアミン0.05gを添加した。これを濾過精度0.2μmのアドバンテック社製PTFEシリンジフィルターで濾過した。これを直径4インチ、厚さ0.5mmのシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し(3000rpm、20秒)、室温で乾燥させた(10分)。この時のIRスペクトルは、図1のペルヒドロポリシラザンのIRスペクトルと同等であった。続いて、容量3Lのテフロン製ビーカーに、濃度30wt%の塩酸水溶液を300ml注入した。そして、ペルヒドロポリシラザンを塗布したシリコン板をビーカー内部に吊し、ビーカー上部にテフロン板を乗せて蓋をし、1分間放置した。このシリコン板をビーカーから取り出し、250℃のホットプレート上で3分間加熱した。この時、塩化アンモニウムと考えられる白煙が観測された。次に、これを乾燥空気雰囲気中、400℃で1時間焼成した。
【0061】
焼成後のIRスペクトルを図5に示す。波数(cm-1)1100と450のSi−Oに基づく吸収と、2250と880のSi−Hに基づく吸収が見られ、波数(cm-1)3350及び1200のN−Hに基づく吸収はほとんど消失した。得られた膜の評価を行ったところ、比誘電率は2.5、密度は1.1g/cm3、内部応力は3.7×108dyne/cm2、クラック限界膜厚は2.5μmであった。また、得られた膜を温度23℃、相対湿度50%の大気中に1週間放置した後、再び比誘電率を測定したところ、2.5であった。
【0062】
実施例3
参考例2で合成したポリメチル(ヒドロ)シラザン1.0gを、キシレン4.0gに溶解し、トリ−n−ペンチルアミン0.05gを添加した。これを濾過精度0.2μmのアドバンテック社製PTFEシリンジフィルターで濾過した。これを直径4インチ、厚さ0.5mmのシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し(3000rpm、20秒)、室温で乾燥させた(10分)。この時のIRスペクトルは、図2のポリメチル(ヒドロ)シラザンのIRスペクトルと同等であった。続いて、容量3Lのテフロン製ビーカーに、濃度30wt%の塩酸水溶液を300ml注入した。そして、ペルヒドロポリシラザンを塗布したシリコン板をビーカー内部に吊し、ビーカー上部にテフロン板を乗せて蓋をし、1分間放置した。このシリコン板をビーカーから取り出し、250℃のホットプレート上で3分間加熱した。この時、塩化アンモニウムと考えられる白煙が観測された。次に、これを乾燥空気雰囲気中、400℃で1時間焼成した。
【0063】
焼成後のIRスペクトルを図6に示す。波数(cm-1)1100と450のSi−Oに基づく吸収、2250と880のSi−Hに基づく吸収、1250のSi−CH3に基づく吸収が見られ、波数(cm-1)3350及び1200のN−Hに基づく吸収はほとんど消失した。得られた膜の評価を行ったところ、比誘電率は2.7、密度は1.1g/cm3、内部応力は1.6×108dyne/cm2、クラック限界膜厚は3.0μmであった。また、得られた膜を温度23℃、相対湿度50%の大気中に1週間放置した後、再び比誘電率を測定したところ、3.3であった。
【0064】
実施例4
参考例1で合成したペルヒドロポリシラザン1.0gを、キシレン4.0gに溶解し、トリ−n−ペンチルアミン0.05gを添加した。これを濾過精度0.2μmのアドバンテック社製PTFEシリンジフィルターで濾過した。これを直径4インチ、厚さ0.5mmのシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し(3000rpm、20秒)、室温で乾燥させた(10分)。この時のIRスペクトルは、図1のペルヒドロポリシラザンのIRスペクトルと同等であった。続いて、容量3Lのテフロン製ビーカーに、濃度30wt%の塩酸水溶液を300ml注入した。そして、ペルヒドロポリシラザンを塗布したシリコン板をビーカー内部に吊し、ビーカー上部にテフロン板を乗せて蓋をし、1分間放置した。このシリコン板をビーカーから取り出し、250℃のホットプレート上で3分間加熱した。この時、塩化アンモニウムと考えられる白煙が観測された。次に、これを乾燥空気雰囲気中、400℃で1時間焼成した。
【0065】
焼成後のIRスペクトルを図7に示す。波数(cm-1)1100と450のSi−Oに基づく吸収と、2250と880のSi−Hに基づく吸収が見られ、波数(cm-1)3350及び1200のN−Hに基づく吸収はほとんど消失した。得られた膜の評価を行ったところ、比誘電率は2.6、密度は1.0g/cm3、内部応力は1.8×108dyne/cm2、クラック限界膜厚は3.0μmであった。また、得られた膜を温度23℃、相対湿度50%の大気中に1週間放置した後、再び比誘電率を測定したところ、2.6であった。
【0066】
実施例5
参考例1で合成したペルヒドロポリシラザン1.0gを、キシレン4.0gに溶解し、トリ−n−ペンチルアミン0.05gを添加した。これを濾過精度0.2μmのアドバンテック社製PTFEシリンジフィルターで濾過した。これを直径4インチ、厚さ0.5mmのシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し(3000rpm、20秒)、室温で乾燥させた(10分)。この時のIRスペクトルは、図1のペルヒドロポリシラザンのIRスペクトルと同等であった。続いて、容量3Lのテフロン製ビーカーに、濃度30wt%の硝酸水溶液を300ml注入した。そして、ペルヒドロポリシラザンを塗布したシリコン板をビーカー内部に吊し、ビーカー上部にテフロン板を乗せて蓋をし、1分間放置した。このシリコン板をビーカーから取り出し、250℃のホットプレート上で3分間加熱した。この時、硝酸アンモニウムと考えられる白煙が観測された。次に、これを乾燥空気雰囲気中、400℃で1時間焼成した。
【0067】
焼成後のIRスペクトルを図8に示す。波数(cm-1)1100と450のSi−Oに基づく吸収と、2250と880のSi−Hに基づく吸収が見られ、波数(cm-1)3350及び1200のN−Hに基づく吸収はほとんど消失した。得られた膜の評価を行ったところ、比誘電率は2.8、密度は1.2g/cm3、内部応力は3.1×108dyne/cm2、クラック限界膜厚は2.5μmであった。また、得られた膜を温度23℃、相対湿度50%の大気中に1週間放置した後、再び比誘電率を測定したところ、2.9であった。
【0068】
実施例6
参考例1で合成したペルヒドロポリシラザン1.0gを、キシレン4.0gに溶解し、トリ−n−ペンチルアミン0.05gを添加した。これを濾過精度0.2μmのアドバンテック社製PTFEシリンジフィルターで濾過した。これを直径4インチ、厚さ0.5mmのシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し(3000rpm、20秒)、室温で乾燥させた(10分)。この時のIRスペクトルは、図1のペルヒドロポリシラザンのIRスペクトルと同等であった。続いて、容量3Lのテフロン製ビーカーに、濃度30wt%の酢酸水溶液を300ml注入した。そして、ペルヒドロポリシラザンを塗布したシリコン板をビーカー内部に吊し、ビーカー上部にテフロン板を乗せて蓋をし、3分間放置した。このシリコン板をビーカーから取り出し、250℃のホットプレート上で3分間加熱した。この時、酢酸アンモニウムと考えられる白煙が観測された。次に、これを乾燥空気雰囲気中、400℃で1時間焼成した。
【0069】
焼成後のIRスペクトルを図9に示す。波数(cm-1)1100と450のSi−Oに基づく吸収と、2250と880のSi−Hに基づく吸収が見られ、波数(cm-1)3350及び1200のN−Hに基づく吸収はほとんど消失した。得られた膜の評価を行ったところ、比誘電率は3.1、密度は1.4g/cm3、内部応力は4.5×108dyne/cm2、クラック限界膜厚は2.0μmであった。また、得られた膜を温度23℃、相対湿度50%の大気中に1週間放置した後、再び比誘電率を測定したところ、3.5であった。
【0070】
実施例7
参考例1で合成したペルヒドロポリシラザン1.0gを、キシレン4.0gに溶解し、これを濾過精度0.2μmのアドバンテック社製PTFEシリンジフィルターで濾過した。これを直径4インチ、厚さ0.5mmのシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し(3000rpm、20秒)、室温で乾燥させた(10分)。この時のIRスペクトルは、図1のペルヒドロポリシラザンのIRスペクトルと同等であった。続いて、容量3Lのテフロン製ビーカーに、濃度1.0wt%のトリエチルアミン水溶液を300ml注入した。そして、ペルヒドロポリシラザンを塗布したシリコン板をビーカー内部に吊し、ビーカー上部にテフロン板を乗せて蓋をし、3分間放置した。次に、容量3Lのテフロン製ビーカーに、濃度30wt%の塩酸水溶液を300ml注入した。そして、ペルヒドロポリシラザンを塗布したシリコン板をビーカー内部に吊し、ビーカー上部にテフロン板を載せて蓋をし、1分間放置した。このシリコン板をビーカーから取り出し、250℃のホットプレート上で3分間加熱した。この時、塩化アンモニウムと考えられる白煙が観測された。次に、これを乾燥空気雰囲気中、400℃で1時間焼成した。
【0071】
焼成後のIRスペクトルを図10に示す。波数(cm-1)1100と450のSi−Oに基づく吸収と、2250と880のSi−Hに基づく吸収が見られ、波数(cm-1)3350及び1200のN−Hに基づく吸収はほとんど消失した。得られた膜の評価を行ったところ、比誘電率は2.2、密度は1.0g/cm3、内部応力は4.2×108dyne/cm2、クラック限界膜厚は2.5μmであった。また、得られた膜を温度23℃、相対湿度50%の大気中に1週間放置した後、再び比誘電率を測定したところ、2.2であった。
【0072】
実施例8
参考例1で合成したペルヒドロポリシラザン1.0gを、キシレン4.0gに溶解した。これを濾過精度0.2μmのアドバンテック社製PTFEシリンジフィルターで濾過した。これを直径4インチ、厚さ0.5mmのシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し(3000rpm、20秒)、室温で乾燥させた(10分)。この時のIRスペクトルは、図1のペルヒドロポリシラザンのIRスペクトルと同等であった。続いて、容量3Lのテフロン製ビーカーに、濃度1.0wt%のn−ブチルアミン水溶液を300ml注入した。そして、ペルヒドロポリシラザンを塗布したシリコン板をビーカー内部に吊し、ビーカー上部にテフロン板を乗せて蓋をし、3分間放置した。次に、容量3Lのテフロン製ビーカーに、濃度30wt%の塩酸水溶液を300ml注入した。そして、ペルヒドロポリシラザンを塗布したシリコン板をビーカー内部に吊し、ビーカー上部にテフロン板を載せて蓋をし、1分間放置置した。このシリコン板をビーカーから取り出し、250℃のホットプレート上で3分間加熱した。この時、塩化アンモニウムと考えられる白煙が観測された。次に、これを乾燥空気雰囲気中、400℃で1時間焼成した。
【0073】
焼成後のIRスペクトルを図11に示す。波数(cm-1)1100と450のSi−Oに基づく吸収と、2250と880のSi−Hに基づく吸収が見られ、波数(cm-1)3350及び1200のN−Hに基づく吸収はほとんど消失した。得られた膜の評価を行ったところ、比誘電率は2.3、密度は1.1g/cm3、内部応力は3.9×108dyne/cm2、クラック限界膜厚は2.5μmであった。また、得られた膜を温度23℃、相対湿度50%の大気中に1週間放置した後、再び比誘電率を測定したところ、2.3であった。
【0074】
実施例9
参考例1で合成したペルヒドロポリシラザン1.0gを、キシレン4.0gに溶解した。これを濾過精度0.2μmのアドバンテック社製PTFEシリンジフィルターで濾過した。これを直径4インチ、厚さ0.5mmのシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し(3000rpm、20秒)、室温で乾燥させた(10分)。この時のIRスペクトルは、図1のペルヒドロポリシラザンのIRスペクトルと同等であった。続いて、容量3Lのテフロン製ビーカーに、濃度1.0wt%のトリエチルアミン水溶液を300ml注入した。そして、ペルヒドロポリシラザンを塗布したシリコン板をビーカー内部に吊し、ビーカー上部にテフロン板を乗せて蓋をし、3分間放置した。このシリコン板をビーカーから取り出し、250℃のホットプレート上で3分間加熱した。次に、これを乾燥空気雰囲気中、400℃で1時間焼成した。
【0075】
焼成後のIRスペクトルを図12に示す。波数(cm-1)1100と450のSi−Oに基づく吸収と、2250と880のSi−Hに基づく吸収が見られ、波数(cm-1)3350及び1200のN−Hに基づく吸収はほとんど消失した。得られた膜の評価を行ったところ、比誘電率は3.9、密度は1.8g/cm3、内部応力は4.2×108dyne/cm2、クラック限界膜厚は2.0μmであった。また、得られた膜を温度23℃、相対湿度50%の大気中に1週間放置した後、再び比誘電率を測定したところ、3.9であった。
【0076】
実施例10
参考例1で合成したペルヒドロポリシラザン1.0gを、キシレン4.0gに溶解した。これを濾過精度0.2μmのアドバンテック社製PTFEシリンジフィルターで濾過した。これを直径4インチ、厚さ0.5mmのシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し(3000rpm、20秒)、室温で乾燥させた(10分)。この時のIRスペクトルは、図1のペルヒドロポリシラザンのIRスペクトルと同等であった。続いて、容量3Lのテフロン製ビーカーに、純水300ml注入し、ペルヒドロポリシラザンを塗布したシリコン板をビーカー内部に吊し、ビーカー上部にテフロン板を乗せて蓋をした。次に、このビーカー中に乾燥窒素で5mol%に希釈したモノメチルアミンを0.1L/minの流量で注入し、3分間放置した。このシリコン板をビーカーから取り出し、250℃のホットプレート上で3分間加熱した。次に、これを乾燥空気雰囲気中、400℃で1時間焼成した。
【0077】
焼成後のIRスペクトルを図13に示す。波数(cm-1)1100と450のSi−Oに基づく吸収と、2250と880のSi−Hに基づく吸収が見られ、波数(cm-1)3350及び1200のN−Hに基づく吸収はほとんど消失した。得られた膜の評価を行ったところ、比誘電率は3.7、密度は1.8g/cm3、内部応力は4.2×108dyne/cm2、クラック限界膜厚は2.0μmであった。また、得られた膜を温度23℃、相対湿度50%の大気中に1週間放置した後、再び比誘電率を測定したところ、3.7であった。
【0078】
【発明の効果】
請求項1〜3の低誘導率シリカ質膜の形成方法は、主として前記一般式(I)で表される構造単位からなる骨格を有する数平均分子量が約100〜50,000のポリシラザン又はその変性物の塗膜に、
(1)無機酸又は有機酸と水又は水蒸気を接触させる、
(2)アミンと水又は水蒸気を接触させる、又は
(3)アミンと水又は水蒸気を接触させ、続いて無機酸又は有機酸と水又は水蒸気を接触させる、
という処理を行った後、引き続き加熱焼成するという構成としたことから、本方法によると、Si−H基又はSi−R基を残存させながらSi−N結合の酸化が選択的に促進されるので、膜応力が小さく且つ膜厚限界が高い、低密度の低誘電率シリカ質膜を形成することができる。
【0079】
請求項4の低誘導率シリカ質膜は、ポリシラザン由来の密度が1〜1.8g/cm3であることから、比誘電率が2.0〜4.0と低く、しかも膜応力が小さく且つ膜厚限界の高いものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】参考例1で得られたペルヒドロポリシラザンのIRスペクトル図である。
【図2】参考例2で得られたポリメチル(ヒドロ)シラザンのIRスペクトル図である。
【図3】比較例で得られたポリシラザン処理品のIRスペクトル図である。
【図4】実施例1で得られたポリシラザン処理品のIRスペクトル図である。
【図5】実施例2で得られたポリシラザン処理品のIRスペクトル図である。
【図6】実施例3で得られたポリシラザン処理品のIRスペクトル図である。
【図7】実施例4で得られたポリシラザン処理品のIRスペクトル図である。
【図8】実施例5で得られたポリシラザン処理品のIRスペクトル図である。
【図9】実施例6で得られたポリシラザン処理品のIRスペクトル図である。
【図10】実施例7で得られたポリシラザン処理品のIRスペクトル図である。
【図11】実施例8で得られたポリシラザン処理品のIRスペクトル図である。
【図12】実施例9で得られたポリシラザン処理品のIRスペクトル図である。
【図13】実施例10で得られたポリシラザン処理品のIRスペクトル図である。
Claims (3)
- 主として下記一般式(I)
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