JPH06350011A - 樹脂封止型半導体装置の製造方法と、この製造方法に用いられる複数の半導体素子を載置するためのリードフレームと、この製造方法によって製造される樹脂封止型半導体装置 - Google Patents

樹脂封止型半導体装置の製造方法と、この製造方法に用いられる複数の半導体素子を載置するためのリードフレームと、この製造方法によって製造される樹脂封止型半導体装置

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JPH06350011A
JPH06350011A JP5141790A JP14179093A JPH06350011A JP H06350011 A JPH06350011 A JP H06350011A JP 5141790 A JP5141790 A JP 5141790A JP 14179093 A JP14179093 A JP 14179093A JP H06350011 A JPH06350011 A JP H06350011A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 個々の半導体チップ毎のみならず複数の半導
体チップを一度に重ね合わせたときにおいても、より正
確な位置合わせを各製品ごとに均一に行わせることので
きる樹脂封止型半導体装置の製造方法を提供することを
目的とする。 【構成】 半導体素子を載置するベッド部及びインナ―
リ―ドとアウタ―リ―ドを有するリ―ド部より成る第１
のリ―ドフレ―ム部に対し、隣接する同様の第２のリ―
ドフレ―ム部を連結部で折り曲げ、半導体素子同志を対
向して重ねたとき、両リ―ドフレ―ム部のインナ―リ―
ドとアウタ―リ―ドとが交互に、正確に位置決めされて
配列される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体素子及びリ―ドフ
レ―ム同志の位置合せが簡単で且つ正確に行なえる樹脂
封止型半導体装置の製造方法と、この製造方法にに用い
られるリードフレームと、この製造方法によって製造さ
れる樹脂封止型半導体装置に関する．
【０００２】
【従来の技術】従来、少なくとも１個の半導体チップを
マウントして、ボンディングしたリ―ドフレ―ムを複数
枚，前記半導体チップをマウントした側の面を互いに対
向するように重ねて、前記リ―ドフレ―ムのリ―ドを圧
着し、樹脂封止する構造とすることにより、高密度実装
を実現する半導体集積回路装置は、例えば実開平２−５
４２４８，特開平２−１０５４５０、又は特開平１−２
５７３６１が知られている。
【０００３】しかしながら、上記先行文献は、重ね合わ
される一対のリ―ドフレームは、一個の半導体チップ毎
に、その都度、位置合わせを行っているため、製造工程
が繁雑になると共に、正確な位置合わせが各製品ごと均
一に行われるとは限らず難点とされていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、上述の事
情に鑑み、個々の半導体チップ毎のみならず複数の半導
体チップを一度に重ね合わせたときにおいても、より正
確な位置合わせを各製品ごとに均一に行わせることので
きる樹脂封止型半導体装置の製造方法を提供することを
目的とする。
【０００５】又、この発明は、上記樹脂封止型半導体装
置の製造方法に用いられるリードフレームを提供するこ
とを目的とする。更に、この発明は、上記樹脂封止型半
導体装置の製造方法によって製造される樹脂封止型半導
体装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記課題を
解決するために、リードフレーム部材の長手方向に沿っ
て配置され、半導体素子を載置すべき第一のベット部
と、前記ベット部を中心にして少なくとも一方向に延
び、略等間隔に並設される複数のインナーリード及びこ
れらインナーリードの夫々に接続される複数のアウター
リードとより成る第一のリード群とを有する第一のリー
ドフレーム部と、半導体素子を載置すべき第二のベッド
部と、前記第二のベッド部を前記第一のリードフレーム
部の第一のベット部に対向して重ねたときに、前記第一
のリード群の同一方向に延びる前記複数のインナーリー
ド及び前記複数のアウターリード間に交互に配列される
複数のインナーリード及びこれらインナーリードの夫々
に接続される複数のアウターリードとより成る第二のリ
ード群とを有し、前記リードフレーム部材の連結部を介
して前記第一のリードフレーム部と連結される第二のリ
ードフレーム部とを準備する工程と；前記第一及び第二
のベッド部に夫々前記第一及び第二の半導体素子を載置
し、これら半導体素子の夫々の電極を、対応する前記複
数のインナーリードに電気的に接続する工程と；前記第
一及び第二のリードフレーム部を連結部で折り曲げ、前
記第一及び第二の半導体素子を対向させ、前記第一及び
第二のリード群の夫々のインナーリ−ドとアウターリー
ドとが交互に配列されるよう前記第一及び第二のリード
フレーム部を重ねる工程と；前記第一及び第二のリード
フレーム部の夫々のアウターリードの各端部を残し、前
記第一及び第二の半導体素子を対応して含む前記第一及
び第二のリードフレーム部をモールド樹脂で封止する工
程と；で構成される。又、この発明の樹脂封止型半導体
装置の製造方法に用いられるリードフレームはリードフ
レーム部材の長手方向に沿って配置され、半導体素子を
載置すべき第一のベット部と、前記ベット部を中心にし
て少なくとも一方向に延び、略等間隔に並設される複数
のインナーリード及びこれらインナーリードの夫々に接
続される複数のアウターリードとより成る第一リード群
とを有する第一リードフレーム部と；半導体素子を載置
すべき第二ベッド部と、前記第二ベッド部を前記第一リ
ードフレーム部の第一ベット部に対向して重ねたとき
に、前記第一リード群の同一方向に延びる前記複数のイ
ンナーリード及び前記複数のアウターリード間に交互に
配列される複数のインナーリード及びこれらインナーリ
ードの夫々に接続される複数のアウターリードとより成
る第二のリード群とを有し、前記リードフレーム部材の
連結部を介して前記第一リードフレーム部と連結される
第二リードフレーム部とより構成される。
【０００７】更に、この発明の上記製造方法によって製
造される樹脂封止型半導体装置は第一の半導体素子と、
前記第一の半導体素子を載置する第一のベッド部と、前
記第一の半導体素子の電極と電気的に接続され、前記第
１の半導体素子を中心にして少なくとも一方向に延び、
夫々が略等間隔に並列される複数のインナ―リ―ド及び
これら複数のインナ―リ―ドに接続される複数のアウタ
―リ―ドとを有する第１のリ―ド群と、より成る第１の
リ―ドフレ―ム部と；前記第１の半導体素子と対向する
位置に配置される第２の半導体素子と，前記第２の半導
体素子を載置するベッド部、前記第２の半導体素子の電
極と電気的に接続され、前記第２の半導体素子を中心に
して第１のリ―ド群と同一方向に延び，前記第１のリ―
ド群の各インナ―リ―ド及びこれらインナ―リ―ドに夫
々接続される複数のアウタ―リ―ドを有する第２のリ―
ド群とより成る第２のリ―ドフレ―ムと；前記第１のリ
―ド群の各アウタ―リ―ドと前記第２のリ―ド群の各ア
ウタ―リ―ドとの各端部が互いに千鳥状に導出するよう
前記第１の半導体素子と前記第２の半導体素子を封止す
るモ―ルド樹脂とより構成される。
【０００８】
【作用】この発明は、夫々のベット部に半導体素子が載
置された連続した第１及び第２のリ―ドフレ―ムを連結
部で折り曲げ重ね合わせ、両半導体素子が対向する位置
に配せられるとき、これら両半導体素子及び夫々対応す
るインナーリード及びアウターリードの位置合わせが簡
単で且つ正確に行うことができる。
【０００９】特に前記第１及び第２のリ―ドフレ―ムの
夫々の長手方向に複数の半導体素子を配列し、両リード
フレームの中心の連結部で折り曲げることにより、この
連結部を中心にして前記第１及び第２のリ―ドフレ―ム
の夫々に対称位置にあった複数の半導体同志は一度に正
確に位置決めされて対向して配置される。
【００１０】
【実施例】以下図面を参照して、この発明の一実施例に
ついて説明する。図１に示すように、１個の半導体素子
を載置するベッド部となる部分１及びこの部分１と四方
に放射状に接続されているインナ―リ―ド２及びアウタ
―リ―ド３とでなるリードフレ―ム部４を単位リ―ドフ
レ―ムとし、これら単位リ―ドフレ―ムを互いに外枠５
で連結しながら、略等間隔に配列したリードフレーム６
を形成する。
【００１１】図２は、図１に示すリードフレーム６から
２つの半導体素子分のフレ―ムを抽出して拡大して示す
図であり、各フレ―ム部４は外枠５で連結されている。
図３は、図２のリ―ドフレ―ム６を側面から視た図であ
って、ベッド部となる部分を中心にして押し下げ加工を
施し、フレ―ム部４上に半導体素子が載置される部分に
凹部７を形成している。
【００１２】次に、図４に示すように、ベッド抜き加工
を施し、複数のインナ―リ―ド２の夫々の一方の端部を
切り離し、ベッド部８を形成する。ベッド部８には、後
述する半導体素子９（図１２）がマウントされた後ボン
ディングされる。
【００１３】続いて、図５に示すように、両単位リード
フレ―ム部４を連結する外枠５部分を残して一方の単位
リードフレ―ム部４の、外枠との接続部を切り離す。次
いで、夫々半導体素子９をマウントした状態の、両単位
フレ―ムを連結する外枠部分５を折り曲げて重ねる。
【００１４】図６は、両単位リードフレ―ム部４、４を
重ねたときのインナ―リ―ド２とアウタ―リ―ド３と
が、交互に配列される状態を示し、一方の単位リードフ
レーム部４のアウタ―リ―ド３と他方の単位リードフレ
ーム部４のアウタ―リ―ド３が、千鳥状に配列されるこ
とになる。
【００１５】図７は、半導体素子９をベッド部に載置し
たリードフレ―ム部４，４が、重ね合された時の状態を
示す側面図である。重ねたリードフレ―ム部４，４はア
ウタ―リ―ド３を残して、図８で示されるように樹脂１
０でモ―ルドされる。
【００１６】次に、図９に示すようにタイバ―カットを
行い、更に、図１０，図１１に示すように、連結部カッ
ト，足曲げ，アウタ―リ―ド部の先端カット，最後に吊
りピンカットを行い、２つの半導体素子を一組とする樹
脂封止形の半導体装置を完成する。
【００１７】図１１に示す側面図を拡大して図１２に示
す。上述したように、リードフレーム部４，４を折り曲
げ、夫々のベッド部８，８に載置された半導体素子９，
９は、対向して位置し、半導体素子９，９における電極
１１は夫々ボンディングワイヤ１２を介して夫々インナ
―リ―ド２，２に接続される。尚、ボンディングワイヤ
１２の限らず電気的に接続される手段であれば良い。
【００１８】インナ―リ―ド２に接続され、モ―ルド樹
脂１０から導出されるアウタ―リ―ド３は、図１３に示
されるように、千鳥状に配列される。しかも、図１０で
示すようにアウタ―リ―ド３の先端カットによって、リ
―ド端部は直線状に並列される。
【００１９】尚、図２乃至図１３は説明の便宜上、一対
の単位リードフレーム部４、４を重ね合わせた例につい
て説明したが、図１４に示すように複数の単位リードフ
レーム部４を互いに連結部で連結しながら共通の外枠で
保持し、一連のリードフレーム６と、中心で折り曲げる
ことにより複数対の単位リードフレーム部４、４を一度
に重ね合わせることができる。
【００２０】この場合、フレーム部材の長手方向に沿っ
て第一及び第二の単位リードフレーム部４Ａ、４Ｂが交
互に隣接して配列されたリードフレーム６を中心で折り
重ねたとき、中心より一方向に交互に配列されいる、第
一及び第二の単位リードフレーム部４Ａ…４Ｂ，４Ａに
対し、中心より他方向に交互に隣接して配列されている
第二及び第一の単位リードフレーム部４Ｂ，４Ａ…４Ｂ
が夫々対向して配置される。
【００２１】その結果、夫々対向するリードフレーム部
同志において、リードフレーム部４Ａの配列された複数
のインナーリード及びアウターリード間に交互に第二の
リードフレーム部４Ｂの複数のインナーリード及びアウ
ターリードが配列されることになる。
【００２２】図１５は第一及び第二のリードフレーム部
４Ａ、４Ｂを夫々２個ずつを単位としてリードフレーム
６の長手方向に沿って単位ごとに、交互に配列した実施
例であり、リードフレーム６の中心で折り重ねたとき、
中心より一方向に交互に配列されている２個ずつを単位
とする第一及び第二のリードフレーム部４Ａ、４Ｂに対
し、中心より他方向に交互に配列されている２個ずつを
単位とする第二及び第一のリードフレーム部４Ｂ、４Ａ
が順次対向して重ね合わされる。
【００２３】尚、リードフレーム部４Ａ、４Ｂは２個に
限らず、２個以上の複数個を単位としてもよい。図１６
は、リードフレーム６の中心より一方向に少なくとも２
個以上の第一のリードフレーム部４Ａ、４Ａ…４Ａが連
結部で連結されて隣接して配置され、前記中心より他方
向には少なくとも２個以上の第二のリードフレーム部４
Ｂ、４Ｂ…４Ｂが前記第一のリードフレーム部４Ａと対
称となる位置に夫々配置される実施例である。
【００２４】この実施例においても、リードフレーム６
の中心で折り重ねたとき複数の第一のリードフレーム部
４Ａと対称となる位置にある複数の第二のリードフレー
ム部４Ｂが夫々重ね合わされることとなる。
【００２５】上述した図１４乃至図１６に示す実施例に
おける各リードフレーム部のベット部に半導体素子を載
置し、中心Ｃで折り曲げることにより対向した一対の前
記半導体素子を有する半導体チップが、連続して複数
個、正確に位置決めされて得ることができる。
【００２６】重ねられた半導体素子を載置したリードフ
レーム部４Ａ，４Ｂは、図８で説明したと同様に、アウ
ターリードを残して樹脂でモールドされ、樹脂封止形の
半導体装置を得ることができる。
【００２７】
【発明の効果】この発明の樹脂封止型半導体装置の製造
方法によれば、夫々のベット部に半導体素子が載置され
た連続した第１及び第２のリ―ドフレ―ム部を連結部で
折り曲げ重ね合わせ、両半導体素子が対向する位置に配
せられるとき、これら両半導体素子及び夫々対応するイ
ンナーリード及びアウターリードの位置合わせが簡単で
且つ正確に行うことができる。
【００２８】特に、前記第１及び第２のリ―ドフレ―ム
の夫々の長手方向に複数の半導体素子を配列した場合
には、両リードフレームの連結部で折り曲げることによ
り、この連結部を中心にして前記第１及び第２のリ―ド
フレ―ムの夫々に対称位置にあった複数の半導体素子同
志及び互いに配列されるインナーリード及びアウターリ
ードは一度に、正確に位置決めされて対向して配置され
る。
【００２９】従って、この製造方法によって得られた樹
脂封止型半導体装置は、単一の半導体チップを含む一個
の樹脂封止型半導体装置のみならず、複数の樹脂封止型
半導体装置を一度に製造した場合にも、夫々の半導体素
子同志及び互いに配列されるインナーリード及びアウタ
ーリードの位置は正確に決められる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の、複数の半導体素子を載置するための
リードフレームを示す平面図。
【図２】図１に示すリ―ドフレ―ムのうち隣接する２つ
のリ―ドフレ―ム部を１組とするリ―ドフレ―ムの拡大
平面図。
【図３】図２に示すリ―ドフレ―ムの側面図。
【図４】図２に示すリ―ドフレ―ムにベッド抜き加工を
施した平面図。
【図５】図４に示すベッド抜き加工後のリ―ドフレ―ム
に対し一方のリ―ドフレ―ムを外枠から切り離し、図示
矢印方向に折り曲げることを説明する図。
【図６】隣接するリ―ドフレ―ムを重ねたときのインナ
―リ―ドとアウタ―リ―ドの配列状態を示す平面図。
【図７】半導体素子が載置された互いに隣接するリ―ド
フレ―ムを重ねたときの状態を示す側面図。
【図８】図７で示すリ―ドフレ―ムに対し樹脂でモ―ル
ドした状態を示す平面図。
【図９】図８で示す樹脂でモ―ルドされたリ―ドフレ―
ムに対し、タイバ―カット処理を行ったことを示す平面
図。
【図１０】図９で示すリ―ドフレ―ムに対し、カット処
理及び足曲げ処理を行って完成した半導体装置の平面
図。
【図１１】図１０で示す半導体装置の側断面図。
【図１２】本発明の半導体装置の内部構成の概略を示す
図。
【図１３】本発明の半導体装置のアウタ―リ―ドの導出
部を拡大して示す斜視図。
【図１４】本発明のリードフレームの他の実施例を示す
平面図。
【図１５】本発明のリードフレームの更に他の実施例を
示す平面図。
【図１６】本発明のリードフレームの更に他の実施例を
示す平面図。
【符号の説明】
２…インナ―リ―ド、 ３…アウタ―リ―ド、４
…リ―ドフレ―ム部、 ６…リ―ドフレ―ム、８…
ベッド部、 ９…半導体素子、１０…モ―
ルド樹脂。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 25/18

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】リードフレーム部材の長手方向に沿って配
    置され、半導体素子を載置すべき第一のベット部と、前
    記ベット部を中心にして少なくとも一方向に延び、略等
    間隔に並設される複数のインナーリード及びこれらイン
    ナーリードの夫々に接続される複数のアウターリードと
    より成る第一のリード群とを有する第一のリードフレー
    ム部と、半導体素子を載置すべき第二のベッド部と、前
    記第二のベッド部を前記第一のリードフレーム部の第一
    のベット部に対向して重ねたときに、前記第一のリード
    群の同一方向に延びる前記複数のインナーリード及び前
    記複数のアウターリード間に交互に配列される複数のイ
    ンナーリード及びこれらインナーリードの夫々に接続さ
    れる複数のアウターリードとより成る第二のリード群と
    を有し、前記リードフレーム部材の連結部を介して前記
    第一のリードフレーム部と連結される第二のリードフレ
    ーム部とを準備する工程と；前記第一及び第二のベッド
    部に夫々前記第一及び第二の半導体素子を載置し、これ
    ら半導体素子の夫々の電極を、対応する前記複数のイン
    ナーリードに電気的に接続する工程と；前記第一及び第
    二のリードフレーム部を連結部で折り曲げ、前記第一及
    び第二の半導体素子を対向させ、前記第一及び第二のリ
    ード群の夫々のインナーリ−ドとアウターリードとが交
    互に配列されるよう前記第一及び第二のリードフレーム
    部を重ねる工程と；前記第一及び第二のリードフレーム
    部の夫々のアウターリードの各端部を残し、前記第一及
    び第二の半導体素子を対応して含む前記第一及び第二の
    リードフレーム部をモールド樹脂で封止する工程と；よ
    り成ることを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方
    法
  2. 【請求項２】前記第一及び第二のリードフレーム部は、
    前記リードフレーム部材の長手方向に沿って交互に、複
    数個の夫々が前記連結部で連結され隣接して配置されて
    いることを特徴とする請求項１に記載の脂封止型半導体
    装置の製造方法．
  3. 【請求項３】前記第一及び第二のリードフレーム部は、
    夫々が２以上の同一数を単位として、前記リードフレー
    ム部材の長手方向に沿って交互に、夫々が前記連結部で
    連結され隣接して配置されていることを特徴とする請求
    項１に記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法．
  4. 【請求項４】前記第一のリードフレーム部は、前記リー
    ドフレーム部材の長手方向の中心より一方向に、少なく
    とも２以上が、夫々が前記連結部で連結され互いに隣接
    して配置され、前記第二のリードフレーム部は、前記中
    心より他方向に、少なくとも２以上が前記第一のリード
    フレーム部と夫々が対称位置に、夫々が前記連結部で連
    結され隣接して配置されていることを特徴とする請求項
    １に記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法．
  5. 【請求項５】リードフレーム部材の長手方向に沿って配
    置され、半導体素子を載置すべき第一ベット部と、前記
    ベット部を中心にして少なくとも一方向に延び、略等間
    隔に並設される複数のインナーリード及びこれらインナ
    ーリードの夫々に接続される複数のアウターリードとよ
    り成る第一リード群とを有する第一リードフレーム部
    と；半導体素子を載置すべき第二ベッド部と、前記第二
    ベッド部を前記第一リードフレーム部の第一ベット部に
    対向して重ねたときに、前記第一リード群の同一方向に
    延びる前記複数のインナーリード及び前記複数のアウタ
    ーリード間に交互に配列される複数のインナーリード及
    びこれらインナーリードの夫々に接続される複数のアウ
    ターリードとより成る第二のリード群とを有し、前記リ
    ードフレーム部材の連結部を介して前記第一リードフレ
    ーム部と連結される第二リードフレーム部とより成るこ
    とを特徴とするリードフレーム．
  6. 【請求項６】前記第一及び第二のリードフレーム部は、
    前記リードフレーム部材の長手方向に沿って交互に、夫
    々が前記連結部で連結され隣接して配置されていること
    を特徴とする請求項５に記載のリードフレーム．
  7. 【請求項７】前記第一及び第二のリードフレーム部は、
    夫々が２以上の同一数を単位として、前記リードフレー
    ム部材の長手方向に沿って交互に、夫々が前記連結部で
    連結され隣接して配置されていることを特徴とする請求
    項５に記載のリードフレーム．
  8. 【請求項８】前記第一のリードフレーム部は、前記リー
    ドフレーム部材の長手方向の中心より一方向に、少なく
    とも２以上が、夫々前記連結部で連結され互いに隣接し
    て配置され、前記第二のリードフレーム部は前記中心よ
    り他方向に、少なくとも２以上が前記第一のリードフレ
    ーム部と夫々が対称位置に、夫々が前記連結部で連結さ
    れ隣接して配置されていることを特徴とする請求項５に
    記載のリードフレーム．
  9. 【請求項９】第一の半導体素子と、前記第一の半導体素
    子を載置する第一のベッド部と、前記第一の半導体素子
    の電極と電気的に接続され、前記第１の半導体素子を中
    心にして少なくとも一方向に延び、夫々が略等間隔に並
    列される複数のインナ―リ―ド及びこれら複数のインナ
    ―リ―ドに接続される複数のアウタ―リ―ドとを有する
    第１のリ―ド群と、より成る第１のリ―ドフレ―ム部
    と；前記第１の半導体素子と対向する位置に配置される
    第２の半導体素子と，前記第２の半導体素子を載置する
    ベッド部、前記第２の半導体素子の電極と電気的に接続
    され、前記第２の半導体素子を中心にして第１のリ―ド
    群と同一方向に延び，前記第１のリ―ド群の各インナ―
    リ―ド及びこれらインナ―リ―ドに夫々接続される複数
    のアウタ―リ―ドを有する第２のリ―ド群とより成る第
    ２のリ―ドフレ―ムと；前記第１のリ―ド群の各アウタ
    ―リ―ドと前記第２のリ―ド群の各アウタ―リ―ドとの
    各端部が互いに千鳥状に導出するよう前記第１の半導体
    素子と前記第２の半導体素子を封止するモ―ルド樹脂と
    より成る樹脂封止型半導体装置．
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