JPS59198744A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents

樹脂封止型半導体装置

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JPS59198744A
JPS59198744A JP7346883A JP7346883A JPS59198744A JP S59198744 A JPS59198744 A JP S59198744A JP 7346883 A JP7346883 A JP 7346883A JP 7346883 A JP7346883 A JP 7346883A JP S59198744 A JPS59198744 A JP S59198744A
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JP
Japan
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stage
resin
lead frame
semiconductor device
semiconductor element
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JP7346883A
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Nobuhiko Mizuo
水尾 允彦
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (a)  発明の技術分野 本発明は樹脂封止型半導体装置に係り、特に上下二段に
耐熱性絶縁部材を介して積み重ねたリードフレームを用
いて半導体素子を実装し、多ピン化構造を有する樹脂封
止型半導体装置に関する。
・(b)  従来技術と問題点 現在半導体装置は益々高密度、高集積化が進められてお
り、たとえば樹脂封止型半導体装置に用いられるリード
フレームとに搭載する半導体素子は技術の向上に伴い、
高集積化にもかかわらず、チップサイズはより小さくな
って来ている。−万樹脂封止型半導体装置用のリードフ
レームは前記半導体素子を搭載するステージ部と、その
周辺に配設された外部リードに直結したターミナルポス
トは7レーム形成技術などにより物理的にある一定以上
近ずく事は不可能である。
従来、この種の半導体の構成とその製造手順とを第1図
乃至第4図に示しである。即ち第1図は半導体素子の実
装に用いるリードフレームであって、1はフレーム枠、
2はステージ部、3はこのステージ部の周囲に配された
インナリード(ターミナルポスト)、4はタイバ一部、
5はこのタイバ部をはさんで前記インドリード3に連な
る外部リードである。また第2図は前記リードフレーム
(D スf −シ部2に半導体素子6をマウントし、か
つその各電i/fノドと各ターミナルポスト3とを金な
どからなる金属ワイヤ7によりワイヤポンド接続した状
態であり、さらに第3図は第2図の半導体素子6とその
ワイヤボンド部分を樹脂8により封止した状態を示して
いる。
そして、このように樹脂封止したのち、第4図に示すよ
うに、リードフレーム中の不要部分てある7レーム枠1
とタイバ部分9とを切り取って各外部リード5を独立さ
せ完成品とする。
しかしながら前述し1こように高集積化され小型化され
1こ半導体素子6上の多数の電極パッドに対応するター
ミナルポスト8の形成はリードフレーム成型技術上きわ
めて困難であり、その解決策として半導体素子6を接着
するステージ部2とターミナルポスト3迄の距離を長く
して多数本のターミナルポスト3を設ける、即ちターミ
ナルポスト3と半導体素子6を結線する金属ワイ見7を
長くするか、又はターミナルポストの幅を出来るだけ狭
く加工することにより解決しているが、前者においては
樹脂封止時におけるワイヤ70−などによりワイヤ相互
の接触又は断線など信頼度上に問題があり、後者におい
ては極めて狭いターミナルポスト3上にワイヤボンドす
る必要があるため作業上問題があった。
(C)  発明の目的 本発明の目的はかかる問題点に鑑みなされたもので、上
記問題点を解決するため耐熱性絶縁部材によって上下二
段に所望のリードフレームを、該絶縁部材を介して接合
し、該リードフレームの所定領域に半導体素子を実装し
多ピン化構造を有する樹脂封止型半導体装置の提供にあ
る。
(d)  発明の構成 即ち本発明の封脂封止型半導体装置は樹脂封止してなる
半導体容器の一側面より上下二段の外部リード端子が導
出してなることを特徴とする。
<6)  発明の実施例 以下本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第5図は本発明の一実施例の樹脂封止型半導体装置の要
部構造を示す模式的断面図である。
同図において11は下段のリードフレームに設けられた
ステージ部、12は該ステージ上に接着された半導体素
子、13は下段のリードフレームのインナリード(ター
ミナルポスト)、14は耐熱性絶縁部材、15は上段の
リードフレームのインナリード(ターミナルポスト)、
16は半導体素子12の各電極パッドと下段及び上段の
ターミナルポスト13・15にワイヤボンデングされた
金線などよりなる細線、17はターミナルポスト13よ
り導出された下段の外部リード端子、18はターミナル
ホスト15より導出された上段の外部リード端子、19
は半導体素子12及びワイヤ接続部を樹脂封止した樹脂
、20は樹脂封止してなる半導体容器を示す。
かかる構造の樹脂封止型半導体装置においては従来の樹
脂封圧型半導体装置に比べて、高集積化され小型化され
た半導体素子12の多数の電極パッドに対応して上下二
段のターミナルホスト13・15にワイヤボンデングが
可能のため約2倍のリード取り出しが可能となる。即ち
ワイヤ結線を長くすることなく、又、ターミナルポスト
の寸法を狭くすることなく機能を向上さすことが可能と
なり多ピン化構造とすることができる。
次に上記構造の樹脂封止型半導体装置の製法について述
べる。
まず初めに第6図(a)に示すようなステージ部11と
一体となつ1こ下段のリードフレーム21と、第6図(
b)に示すようなステージ部のない上段のり一ドフレー
ム22をたとえばポリイミド樹脂などの耐熱性絶縁部材
14によって所定領域(斜面部分)を該絶縁部材を介し
て二段重ねに形成する。また下段のり−ド7シームのタ
ーミナルポスト13と上段のターミナルポス)15とは
相互に配Mをずらして構成されるようにすればワイヤ接
続時に都合がよい。尚第6図において前回と同等の部分
については同一符号を付している。次いでかかる構造を
有するリードフレームを用いてステージ部11上に半導
体素子12(第5図)を接着し、半導体素子12の各電
極パッドと上段及び下段のターミナルホスト18・15
に金線などの細線16によって電気的に接続される。次
いで樹脂モールド成型時においては下段のリードフレー
ム21のタイバ部23と上段のリードフレーム22のタ
イバ部24の間に絶縁部材14と同じ厚さの金属片を押
入して樹脂封止を行なう。樹脂封肚後不要部分のタイバ
部及びフレーム枠を切断すれば第5図の断面構造を有す
る樹脂封止型半導体装置が完成する。
(f)  発明の効果 以上説明しtコごとく本発明によnば絶縁部材を介して
積み重ねたリードフレームを用いることによす筒集積度
半導体素子の実装が容易となり、半導体装置の機能向上
及び信頼性向上に効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第4図は従来のリードフレームを用いて半導
体素子を実装置する樹脂封止型半導体装置の製造手順を
示す説明図、第5図は本発明の一実施例の樹脂封止型半
導体装置の要部構造を示す模式的断面図、第6図は本開
明の一実施例の樹脂封止型半導体装置に用いられる上段
及び下段のリードフレームの模式的一部平面図を示す。 図1とおいて、11はステージ部、12は半導体素子、
13・15はターミナルポスト、14は耐熱性絶縁部材
、16は金属細線、17・18は外部リード端子、19
は樹脂、20は半導体容器を示す。 代理人弁理士 松 岡 宏四部 第1図 第3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 樹脂封脂してなる半導体容器の一側面より、上下二段の
    外部リード端子が導出してなることを特徴とする樹脂封
    止型半導体装置。
JP7346883A 1983-04-25 1983-04-25 樹脂封止型半導体装置 Pending JPS59198744A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62216350A (ja) * 1986-01-06 1987-09-22 エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション 電子構成要素のパツケ−ジおよびその製造方法
US5592019A (en) * 1994-04-19 1997-01-07 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor device and module

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JPS5462778A (en) * 1977-10-28 1979-05-21 Toshiba Corp Laminated frame for power ic
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