JPH0516179B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、自動ウエハ処理装置、特に、メモリ
ICなどの半導体ウエハプローブ検査工程におい
て、検査結果としての不良情報をウエハのチツプ
上にインクマークするウエハプローバ用インクマ
ーク制御装置に関する。

〔発明の背景〕 一般に、メモリIC、ロジツクICなどのウエハ
加工工程における完成検査作業は、ウエハプロー
バ装置とウエハテスタとを連動させた自動化装置
により行なわれている。この装置はウエハテスタ
から出力されるチツプ不良情報をプローバ装置に
送り、当該不良チツプ上にインクマークを付与す
る構成になつている。

以下、かかる装置の従来例を第１図を参照して
説明する。テスト用ウエハ１は、XYZ移動テー
ブル２に取付けられたウエハチヤツク３に吸着固
定されており、XYZ移動テーブル２により、前
後、左右に所定のピツチでインデツクス送りされ
ると共に上下動可能となつており、この上下動に
よりテスト用ウエハ１がプローブ針４に接触し、
各ICチツプ毎に必要な検査がなされる。プロー
ブ針４はテストヘツド５に取付けられ、信号線６
を介してウエハテスタ７に接続され、テスト電
圧、テスト波形の供給を受けると共に、チツプの
出力情報をウエハテスタ７に戻す働きをする。チ
ツプの出力情報を受けたウエハテスタ７はこれを
処理し、検査中のチツプの良、不良を判定する。
良、不良情報は信号線８を介してインクマーク操
作部９のアンド操作部１０に送出される。アンド
操作部１０の出力はインクマーク駆動アンプ１
１、信号線１２を介してインクマーク部１３に接
続されている。

XYZ移動テーブル２にはウエハプローバ制御
部１４が接続されている。ウエハプローバ制御部
１４は、マイクロプロセツサ部１５、XYZテー
ブル移動座標発生部１６およびXYZテーブル操
作部１７から構成されており、マイクロプロセツ
サ部１５はスタート信号線１８およびテスト終了
信号線１９を介してウエハテスタ７に、またマー
キングイネーブル信号線２０を介してアンド操作
部１０にそれぞれ接続されている。

ウエハプローバ制御部１４は、マイクロプロセ
ツサ部１５により制御され、スタート信号線１８
を介してスタート信号をウエハテスタ７に送り、
またテスト終了信号線１９を介してテスト終了信
号を受取り、ウエハ１上の測定検査を進行させて
行く。またウエハプローバ制御部１４は、XYZ
テーブル操作部１７においてXYZテーブル駆動
のためのモータ制御などを行なうが、ウエハ１を
どの範囲で移動させるかはXYZテーブル移動座
標発生部１６の指令による。XYZテーブル移動
座標発生部１６は、予め与えられたウエハサイズ
などのデータからマイクロプロセツサ部１５が計
算した座標を記憶し、順次、XYZテーブル操作
部１７にテーブル移動座標を指示して行く。

検査した不良チツプの不良表示は、インクマー
ク操作部９の指令に基づき動作するインクマーク
部１３により、ウエハ１上のチツプ表面に直接マ
ーキングする方法でなされる。ウエハプローバ制
御部１４のマイクロプロセツサ部１５はウエハプ
ローバ装置のシーケンス動作も管理しているの
で、同時にマーキングイネーゲル信号２０を出す
ことができる。この信号とウエハテスタ７から出
される良、不良情報を乗せた信号とをアンド操作
部１０で処理し、インクマーク指令を発生させ
る。このインクマーク指令によりインクマーク駆
動アンプ１１を介してインクマーク部１３が動作
する。

ウエハ１は、XYZテーブル移動座標発生部１
６の指令によりピツチ移動し、かつチツプ毎に上
下動作し、プローブ針４に接触して測定検査され
る。XYZテーブル移動座標発生部１６の指令座
標はマイクロプロセツサ部１５で計算されるが、
入力情報としては、ウエハサイズ、チツプのＸ方
向ピツチ、Ｙ方向ピツチしか与えられないので、
詳細な座標は計算できない。

第２図はXYZテーブル移動座標発生部１６の
座標情報の一例を示すもので、Ｘ方向にピツチａ
で９ピツチ、Ｙ方向にピツチｂで11ピツチの矩形
範囲内をXYZ移動テーブル２、すなわちウエハ
１が移動することを示している。図において、２
１はウエハの外郭であり、通常円形なので、周辺
部に正常なチツプが加工形成できない場所が生じ
る。ウエハ１が測定検査された場合、図で斜線を
施された部分では、ウエハが無いか、あるいはチ
ツプが欠けて形成されて不完全なので、ウエハテ
スタ７からは不良信号が出されることになる。一
方、マーキングイネーブル信号はマイクロプロセ
ツサ部１５から信号線２０を通じて矩形全範囲に
対して送出されるので、図の斜線部では必ずイン
クマーク動作がなされることになる。

このように、従来の装置は、ウエハ面以外で常
にインクマーク動作がなされることになり、イン
クジエツト方式のインクマーク機構を採用した場
合、ウエハチヤツク３その他の部分に対して常に
インクが射出され、付着する欠点があつた。ま
た、このような不要部分へのインクの付着を防ご
うとすれば、複雑な防止機構を要し、更に通常の
押圧方式のインクマーク機構を用いた場合でも駆
動電力が無駄になるなどの欠点を有していた。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、不必要な場所でのウエハ処理
動作を防止し、ウエハ全体の処理時間を短かくで
きるウエハ処理装置を提供することである。

本発明の他の目的は、不必要な場所でのインク
マーク動作を防止し、簡潔な機構のインクジエツ
ト方式によるインクマーク機構を採用でき、合理
的な検査システムを実現し得るウエハプローバ用
インクマーク制御装置を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明の一実施例は、XYZ移動テーブルを制
御するウエハプローバ制御部と、このウエハプロ
ーバ制御部からの信号とウエハテスタからの信号
とからインクマーク信号を発生するインクマーク
操作部と、前記インクマーク信号により不良チツ
プ上に不良表示マークを付与するインクマーク部
とを備えたウエハプローバ用インクマーク制御装
置において、チツプ座標パターン情報を記憶しか
つ所定の処理を行なうチツプ座標パターン記憶処
理部を備え、前記ウエハプローバ制御部内に設け
られたXYZテーブル移動座標発生部の移動パタ
ーン情報と、前記チツプ座標パターン記憶処理部
のチツプ座標パターン情報と、ウエハテスタから
得られる不良情報信号とを処理して得られる信号
によりインクマーク動作させるようにしたことを
特徴とする。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第３図により説明す
る。なお、第１図と構造、機能が同一な部分は同
一符号を付した。ウエハ１は、XYZ移動テーブ
ル２上に載置固定されたウエハチヤツク３に吸着
固定されており、XYZ移動テーブル２により、
前後、左右に所定のピツチでインデツクス送りさ
れると共に上下動可能であり、この上下動により
ウエハ１がプローバ針４に接触し、各ICチツプ
毎に必要な検査がなされるようになつている。図
示は省略したが、プローブ針４は第１図と同様に
テストヘツドに取付けられ信号線を介してウエハ
テスタ７に接続されている。ウエハテスタ７から
の良、不良情報は、信号線８を介してインクマー
ク操作部３０のアンド操作部３１に送出されるよ
うになつている。アンド操作部３１の出力はイン
クジエツト駆動部３２、信号線３３を介してイン
ク供給機構３４に接続されている。インク供給機
構３４にはインクだめ３５とジエツトノズル３６
とが設けられている。

XYZ移動テーブル２には、マイクロプロセツ
サ部３７、XYZ移動座標発生部３８およびXYZ
テーブル操作部３９から構成されたウエハプロー
バ制御部４０が接続されている。マイクロプロセ
ツサ部３７およびXYZ移動座標発生部３８はそ
れぞれ信号線４１，４２を介してチツプ座標パタ
ーン記憶処理部４３に接続され、更に信号線４４
を介してアンド操作部３１に接続されている。チ
ツプ座標パターン記憶処理部４３は、入力情報と
して、第５図に示すようなウエハ上で検査する必
要があるチツプの座標情報を記憶させておくため
のチツプ座標情報記憶部４５を備えている。

次に本実施例の装置によりインクマークされる
手順を説明する。ウエハプローバ制御部４０で
は、第４図に示すような座標を従来通りマイクロ
プロセツサ部３７で計算しておき、この座標情報
をXYZ移動座標発生部３８から信号線４２を介
してチツプ座標パターン記憶処理部４３に与え
る。またマイクロプロセツサ部３７からもマーキ
ングイネーブル信号、種々のタイミング信号、ス
テイタス信号を信号線４１を介してチツプ座標パ
ターン記憶処理部４３に送出する。これらの情報
と、チツプ座標情報記憶部４５に記憶されている
チツプ座標パターン情報とを処理した結果を信号
線４４に送出する。これを受けたインクマーク操
作部３０は、ウエハテスタ７から出された良、不
良信号情報と共にアンド操作部３１で処理し、イ
ンクマーク機構の動作信号を発生させ、この信号
を基にしてインクジエツト駆動部３２が動作し、
インク供給機構３４を制御する。インクだめ３５
を出たインクはインク供給機構３４により加圧、
方向制御され、ジエツトノズル３６から射出され
てウエハ１上に不良表示のためのマークを付与す
る。第６図は以上のようにしてマーク付けされた
パターン例を示す。

信号線４４におけるパターン情報は第５図に示
すような段階形のパターンであるが、インクジエ
ツト駆動部３２から信号線３３に出される情報は
第６図の斜線で示した不良インクマークパターン
となる。従つて、本実施例によれば、ウエハ上以
外の部分ではインク供給機構３４が全く動作せ
ず、不必要な場所でのインクの射出を完全に防止
することができる。また無駄な電力消費をなくす
こともできる。

次に本発明の他の実施例について説明する。前
記実施例においては、インクジエツトのマーク動
作が第５図の座標パターン内に限定でき合理的で
あるが、プローバ装置としては、XYZ移動テー
ブル２がウエハ上以外の位置にも移動するので、
動作に無駄がある。本実施例はこの点を改良した
ものであり、信号の流れを第３図の破線で示すよ
うに変えたものである。即ち、チツプ座標パター
ン記憶処理部４３の適当な情報を破線で示された
信号線４６に乗せ、XYZテーブル操作部３９に
送り、処理した結果により第４図に示す座標パタ
ーン内で、XYZ移動テーブル２、即ちウエハ１
をピツチ送りさせる。従つて、ウエハ１上の測定
検査したいチツプ上のみ検査されるようにウエハ
１が移動する。

ウエハ１がピツチ送りされると、マイクロプロ
セツサ部３７からマークイネーブル信号が信号線
４７を通じてアンド操作部３１に送られ、インク
ジエツト駆動部３２が作動するので、本実施例に
おいても、第６図に示した不良マークパターン例
と同様のものが得られる。

本実施例によれば、インクマーク機構の動作お
よびXYZ移動テーブル２のピツチ送り動作がウ
エハ面上のみで行なわれるので、XYZ移動テー
ブルの駆動電力とインクジエツト駆動部の駆動電
力が低減できる。また、ウエハ全体での移動時間
を短縮させる効果を有する。

なお、上記実施例においてはインクマーク機構
としてインクジエツト方式を採用した例について
述べたが、従来の押印方式を採用してもよい。

〔発明の効果〕

本発明の一実施例によれば、予め与えられた有
効なチツプ座標に基づいてウエハの移動範囲を決
めているので、不完全なチツプ部分での処理が避
けられ、ウエハ全体の処理時間を短かくできる。

また、インクジエツト方式のインクマーク機構
の動作範囲がウエハ上に限定できるので、従来問
題であつたウエハ外でインク射出するという不都
合を解消することができる。また従来の押印方式
のインクマーク機構を採用した場合でも無駄押し
動作が無くなり、全体として合理的な不良チツプ
インクマークシステムを構成できる。またチツプ
座標パターン記憶処理部からの出力信号をXYZ
テーブル操作部に加えることにより、XYZ移動
テーブルのピツチ移動動作およびテスト回数の適
正化を図ることができ、省エネルギ効果とウエハ
全体の検査時間の大幅な短縮効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のインクマーク制御装置の説明
図、第２図は従来のXYZ移動座標発生部の座標
情報を示す説明図、第３図は本発明のインクマー
ク制御装置の２つの実施例を同時に示す説明図、
第４図はXYZ移動座標発生部におけるXYZテー
ブル移動情報の一例を示す説明図、第５図はチツ
プ座標情報記憶部の座標情報パターンの説明図、
第６図は不良インクマーク結果のパターン例を示
す説明図である。 １……ウエハ、２……XYZ移動テーブル、７
……ウエハテスタ、３０……インクマーク操作
部、３１……アンド操作部、３２……インクジエ
ツト駆動部、３４……インク供給機構、３８……
XYZ移動座標発生部、４０……ウエハプローバ
制御部、４３……チツプ座標パターン記憶処理
部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 複数の実質的に同サイズの矩形状のチツプ領
   域を有し、円形状の外形を有するウエハを処理対
   象とする自動ウエハ処理装置であつて、(1)上記ウ
   エハを載せるテーブルと、(2)該テーブルのＸ方向
   及びそれに垂直なＹ方向の移動を制御するための
   XY制御機構と、(3)上記チツプ領域のＸ方向及び
   Ｙ方向ピツチを記憶するメモリ及び上記ウエハ内
   における有効なチツプ座標を記憶するメモリを有
   し、これらのメモリに蓄積された情報に基づいて
   上記XY制御機構を通じて上記テーブルを所定の
   範囲でピツチ送りするためのデータ処理装置とを
   具備して成ることを特徴とする自動ウエハ処理装
   置。