JP2001298252A - プリント基板検査方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】多種類のプリント基板の検査が可能であり、ス
ルーホールの検査または配線パターンとスルーホールの
検査を短時間で実行することのできるプリント基板検査
方法および装置を提供する。 【構成】プリント基板８の一方の面側に設けられた印加
電極３１から、前記プリント基板に設けられたスルーホ
ール８４〜８７の一端部に高周波電圧を印加する手順
と、前記高周波電圧により前記プリント基板の他方の面
から放射される電磁波を検出する手順と、前記電磁波の
検出強度から、前記プリント基板に設けられた前記スル
ーホールの良否の検査を行う手順とを有するものであ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント基板の
製造工程において、その配線パターンの良否を検査する
ためのプリント基板検査方法および装置に関するもので
あり、特に、配線パターンの良否とともにスルーホール
の良否を容易に検査することのできるプリント基板検査
方法および装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、プリント基板の検査は、プリント
基板のエッチング終了後に画像検査装置で配線パターン
の仕上がり具合を検査し、シルク・レジスト工程を経た
後、ランド等にピン状電極を接触させて電気試験機によ
る電気的導通の検査（線路の切断、他のパターンとの接
触等の検査）を行っていた。一般的には、画像試験を行
っているところは少なく、電気試験機による検査のみと
いう場合も多かった。これらの検査後に、プリント基板
が製品として出荷されている。電気試験機には、専用治
具チェッカー、ユニバーサルチェッカー、フライングプ
ローブチェッカーの３種類の試験機がある。

【０００３】図１は、専用治具チェッカーを示す図であ
る。専用治具チェッカーは、検査対象のプリント基板専
用の専用治具１０，１０を製作し、その専用治具１０の
ピン状電極１３をプリント基板８に押し当てて、配線パ
ターンにおける切断個所の有無や、他のパターンとの短
絡個所の有無を検査する。専用治具１０は、プリント基
板８の各配線パターンの一端部と他端部に接触するよう
に、ピン状電極１３がピンソケット１１の取付面上に配
置され、サポート板１２により位置決めされている。

【０００４】この専用治具チェッカーは、プリント基板
上のパターン・ランドが微小化してきたため、ピン状電
極を配置できない場合もあるが、基本的には高速かつ確
実な試験が行える。しかし、プリント基板の種類ごと
に、その種類のプリント基板に対応させた専用治具１
０，１０を製作する必要があるため、大量生産の製品の
検査には適しているが、少量品の検査の場合は治具製作
費用の負担が大きくなるという問題点がある。さらに、
この専用治具チェッカーでは配線パターンの導通検査の
みが可能であり、より詳細かつ高度な検査である、配線
パターンの微小な欠陥や変形等の有無の検査を行うこと
はできなかった。

【０００５】ユニバーサルチェッカーは、所定面積の中
に２．５４ｍｍ間隔、またはそれ以下の一定間隔（１．
８ｍｍ、１．５ｍｍ、１．２７ｍｍ等）の２次元格子状
にピン状電極を配置したものである。この格子状のピン
状電極にプリント基板を押し当ててパターンの一端部と
他端部に接触しているピンを割り出し、これを基に専用
治具チェッカーと同様な試験を行う。プリント基板上の
パターン・ランドが比較的大型であれば、このユニバー
サルチェッカーで検査できるが、最近のプリント基板は
パターン・ランドが微小化しているため、ユニバーサル
チェッカーでは検査不可能な場合が多い。

【０００６】図２は、これを改良したユニバーサルチェ
ッカー２０を示す図である。プリント基板８の検査点に
幾何学的に一対一に対応して孔あけされたパターン板２
４をプリント基板８の種類ごとに作成し、図２のように
プリント基板８に近接して配置する。ピンソケット２１
に格子状に配置されたピン２５に軸方向長さの長いロン
グピン２６を接続し、ロングピン２６をガイド板２２、
ロングピンサポート板２３を介してパターン板２４のパ
ターン孔に挿入する。そして、ロングピン２６の先端部
を検査点に接触させることにより、専用治具チェッカー
と同様に、その配線パターンの切断や他のパターンとの
短絡の有無を検査する。

【０００７】この改良型のユニバーサルチェッカー２０
においても、プリント基板の種類ごとに、その種類のプ
リント基板に対応させた専用のガイド板２２、ロングピ
ンサポート板２３、パターン板２４等を製作する必要が
あり、プリント基板の種類に応じてそれらを交換する必
要があるという、専用治具チェッカーと同様の問題点が
ある。また、この改良型のユニバーサルチェッカーで
も、配線パターンの導通検査のみが可能であり、より詳
細かつ高度な検査である、配線パターンの微小な欠陥や
変形等の有無の検査を行うことはできなかった。

【０００８】フライングプローブチェッカーは、専用治
具チェッカー、ユニバーサルチェッカーの問題点を解決
すべく開発されたものであり、測定電極（プローブ）が
平面（Ｘ−Ｙ座標）上を任意に移動できるように作られ
ている。そのため、プリント基板の配線パターンの一端
部と他端部にプローブを移動させ押し当てることによ
り、配線パターンの切断や他のパターンとの短絡の有無
を検査することができる。専用治具が不要であり、かつ
測定電極を含む測定部が簡素な構成となり、少量のプリ
ント基板の検査には適している。しかし、プリント基板
の多数の配線パターンを、パターンごとに順次測定部の
移動および位置決めを行いながら検査する必要があるた
め、検査に時間がかかるという問題点がある。

【０００９】以上のような電気試験機に対して、画像検
査装置は、エッチング終了後にプリント基板に印刷され
た配線パターンをＣＣＤイメージセンサーによるパター
ン認識を通して検査するものである。画像検査装置によ
れば、微細なパターンまで判別可能であるが、スルーホ
ール（プリント基板の表面と裏面の配線パターンを電気
的に接続するための微小な貫通孔）の内面が見えないた
め、スルーホールの導通状態が検査できないという問題
点がある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
電気試験機にはそれぞれに問題点があり、画像検査装置
を使用してもスルーホールの検査が行えないという問題
点があった。そのため、多種類のプリント基板にも迅速
に対応でき、配線パターンとスルーホールの検査を短時
間に低コストで行うことのできる検査方法および装置は
いまだ実現されていなかった。

【００１１】そこで、本発明は、多種類のプリント基板
の検査が可能であり、スルーホールの検査または配線パ
ターンとスルーホールの検査を短時間で実行することの
できるプリント基板検査方法および装置を提供すること
を目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のプリント基板検査方法は、プリント基板の
一方の面側に設けられた印加電極から、前記プリント基
板に設けられたスルーホールの一端部に高周波電圧を印
加する手順と、前記高周波電圧により前記プリント基板
の他方の面から放射される電磁波を検出する手順と、前
記電磁波の検出強度から、前記プリント基板に設けられ
た前記スルーホールの良否の検査を行う手順とを有する
ものである。

【００１３】また、上記のプリント基板検査方法におい
て、前記印加電極は、前記プリント基板の複数の前記ス
ルーホールに同時に高周波電圧を印加することが可能な
ものであることが好ましい。

【００１４】また、本発明のプリント基板検査装置は、
プリント基板の一方の面側に設けられ、前記プリント基
板に設けられたスルーホールの一端部に高周波電圧を印
加する印加電極と、前記プリント基板の他方の面側に設
けられ、前記高周波電圧により前記プリント基板の他方
の面から放射される電磁波を検出する電磁波検出手段
と、前記電磁波検出手段の検出出力を処理して、前記プ
リント基板に設けられた前記スルーホールの検査を行う
信号処理手段とを有するものである。

【００１５】また、上記のプリント基板検査装置におい
て、前記印加電極は、前記プリント基板の複数の前記ス
ルーホールに同時に高周波電圧を印加することが可能な
ものであることが好ましい。

【００１６】また、上記のプリント基板検査装置におい
て、前記印加電極および前記電磁波検出手段を前記プリ
ント基板の表面上の任意の位置に、前記プリント基板に
対して相対的に移動可能な移動手段を有することが好ま
しい。

【００１７】また、上記のプリント基板検査装置におい
て、前記プリント基板の配線パターンを画像により検査
する画像検査手段を有することが好ましい。

【００１８】また、上記のプリント基板検査装置におい
て、前記プリント基板の表面と裏面とを反転させる反転
手段を設けることができる。

【００１９】また、上記のプリント基板検査装置におい
て、前記画像検査手段を、前記プリント基板の表面側と
裏面側とにそれぞれ設けるようにすることができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して説明する。図３は、本発明のプリント基板検
査装置１の構成を示す図である。プリント基板８は取付
枠９に取り付けられて案内レール２上に載置され、図示
しない移動機構により自動的に移動および搬送が行われ
る。このプリント基板８には、スルーホール（プリント
基板の表面と裏面の配線パターンを電気的に接続するた
めの微小な貫通孔）が形成されている。プリント基板８
は、図３の右側から左方向に移動されて右側の検査領域
で停止位置決めされ、そこで信号処理部５、印加電極３
１およびアンテナ４１によるスルーホールの検査が行わ
れる。

【００２１】スルーホールの検査が終了すると、プリン
ト基板８は、次に左側に移動されて左側の検査領域で停
止位置決めされ、ＣＣＤカメラ６１による配線パターン
の検査が行われる。ＣＣＤカメラ６１による画像検査を
行っている時間に、次のプリント基板８のスルーホール
の検査を右側の検査領域で同時に行うことができるた
め、総合的な検査時間は短縮され、効率的にプリント基
板８の検査を行うことができる。

【００２２】ＣＣＤカメラ６１による配線パターンの検
査は、照明器６２およびＣＣＤカメラ６１を備えた画像
検出ヘッド６をプリント基板８の検査面に沿って直交２
軸方向（Ｘ−Ｙ軸方向）に移動させ、プリント基板８上
の配線パターンを画像データとして取得して行う。この
取得した画像データを基準データと比較することによ
り、パターンの切断、他パターンとの接触、パターン変
形部等の欠陥部を検出することができる。基準データと
しては、比較基準用の正常製品データ、同じ種類の１枚
目のプリント基板で取得したデータ、プリント基板の設
計データや加工データから作成した基準データ等を使用
することができる。

【００２３】反転機構７は、プリント基板８の表面側の
画像検査の後、プリント基板８の裏面側の画像検査を行
うためにプリント基板８を反転させるための機構であ
る。プリント基板８の表面側の画像検査終了後、画像検
出ヘッド６を退避位置に移動させ、裏面側が上側を向く
ように反転機構７によってプリント基板８を反転する。
その後、画像検出ヘッド６を検査位置に移動させ、プリ
ント基板８の裏面側の画像検査を行う。これにより、プ
リント基板８の表裏両面の画像検査を自動的に連続して
行うことができる。

【００２４】反転機構７の動作は、後に図８により詳し
く説明する。このように、反転機構７を設置する代わり
に、画像検出ヘッド６をプリント基板８の表側だけでな
く裏側にも設けるようにしてもよい。画像検出ヘッド６
をプリント基板８の表裏両側に設ければ、プリント基板
８の表面側の画像検査と裏面側の画像検査とを同時に実
行することができ、検査時間を短縮することができる。

【００２５】図４は、印加電極３１とアンテナ４１とに
よるスルーホールの検査領域の拡大図である。取付枠９
に取り付けられたプリント基板８は、案内レール２上に
載置され図示しない移動機構により左側に移動されて、
検査位置に停止位置決めされる。検査位置には、プリン
ト基板８の上方に印加電極３１が設けられており、プリ
ント基板８の下方にアンテナ４１が設けられている。

【００２６】この印加電極３１は、電極支持部材３によ
って支持されており、左右方向（Ｘ方向）、前後方向
（Ｙ方向）、上下方向（Ｚ方向）にそれぞれ移動および
位置決めが可能である。印加電極３１をスルーホールの
上面ランドに接触させ、印加電極３１からプリント基板
８のスルーホールに高周波電圧が印加される。この高周
波電圧はスルーホールを伝搬して下面ランドから電磁波
として放射される。高周波電圧の周波数は、例えば、１
０ｋＨｚ〜１ＭＨｚ程度が使用できる。

【００２７】アンテナ４１は、プリント基板８の下面か
ら放射される電磁波を検出するためのものである。この
検出した電磁波の強度によりスルーホールの良否の検査
を行う。アンテナ４１は、アンテナ支持部材４によって
支持されており、左右方向（Ｘ方向）、前後方向（Ｙ方
向）にそれぞれ移動および位置決めが可能である。アン
テナ４１は、印加電極３１と対向する位置となるよう
に、印加電極３１と同期して移動される。

【００２８】プリント基板８に形成された基準位置マー
ク８２は、プリント基板８の配線パターンやスルーホー
ルの検査および部品組付けの基準位置を示すものであ
る。基準位置マーク８２を基準として、スルーホールま
たは配線パターンの検査位置でプリント基板８の移動を
停止させ、スルーホールの検査または配線パターンの検
査を実行することができる。取付枠９に設けられた係合
穴９１は、次の画像検査部において、反転機構７の反転
腕７１の先端部を挿入し、プリント基板８を取付枠９と
ともに表裏反転させるためのものである。

【００２９】図５は、本発明のプリント基板検査方法の
動作原理を示す図である。ここでは単純化するために、
プリント基板８のスルーホールに高周波電圧を印加する
ための印加電極３１をピン状電極とした。図５に示すよ
うに、印加電極３１を介して高周波電圧を例えばスルー
ホール８６の上面ランドに印加する。スルーホール８６
のように上下間が正常に導通しているものでは、高周波
電圧による電磁波がスルーホールの導体上を伝搬して下
面ランドから放射される。

【００３０】これに対してスルーホール８５では、表裏
間で完全に切断されているので、印加電極３１を上面ラ
ンドに接触させたときの下面ランドからの電磁波の放射
強度は小さくなる。また、スルーホール８７のように表
裏間で導体に一部欠損がある場合には、スルーホールの
導体を伝搬する電磁波に反射等が生じて、下面ランドか
らの放射強度は減少し、スルーホール８５の場合とスル
ーホール８６の場合の中間程度の電磁波放射強度とな
る。このようにして、スルーホール８４〜８７の上面ラ
ンドに印加電極３１を接触させた場合の下面ランドから
の電磁波の放射強度をアンテナ４１で検出して、良品の
プリント基板におけるスルーホールでの基準値と比較す
ることにより、それぞれのスルーホール８４〜８７の良
否を検査することができる。

【００３１】図５のように、印加電極３１をスルーホー
ル８４〜８７に１つずつ順次接触させるようにして、ア
ンテナ４１で下面ランドからの電磁波の放射強度を検出
しても、スルーホールの検査を行うことはできるが、そ
のためには、印加電極３１およびアンテナ４１をスルー
ホールの数だけ移動位置決めしなければならず、検査時
間が長くなるという問題点がある。そこで、印加電極３
１を板状の電極として、複数のスルーホールの検査を同
時に行うようにすれば、検査時間を短縮することができ
る。

【００３２】図６は、印加電極３１の具体的形態を示す
図である。図６に示すように、板状の印加電極３１を複
数のスルーホール８４〜８７の上面ランドに同時に接触
させて、それらのスルーホール８４〜８７の下面ランド
から放射される電磁波の強度をアンテナ４１によって検
出する。良品のプリント基板８について予め放射強度の
基準値を測定して記憶しておけば、その基準データと比
較することにより印加電極３１の面積に含まれるスルー
ホールの良否を判定することができる。そして、プリン
ト基板８の全面をカバーするように印加電極３１および
アンテナ４１の位置を順次変更して検査を行うことによ
り、プリント基板８全面のスルーホールの検査を行うこ
とができる。

【００３３】なお、図６では、印加電極３１とアンテナ
４１の相対位置は固定して、スルーホール８４〜８７の
下面ランドから放射される電磁波の総和を検出するよう
にしているが、アンテナ４１を相対的に移動させて個々
のスルーホールからの放射電磁波を別々に検出するよう
にしてもよい。すなわち、図６のように印加電極３１を
位置させた状態で、アンテナ４１をスルーホール８４の
真下の位置からスルーホール８７の真下の位置まで、順
次移動させて放射電磁波を検出する。このように検出す
ると、検出時間は長くなるが、スルーホールの良否によ
る検出値の差が大きくなるため正確な検査を行うことが
できる。

【００３４】また、印加電極３１をそのカバー範囲を単
位としてＸＹ方向に移動して、プリント基板８の全面を
走査するように検査してもよいが、スルーホールの位置
を予め設計データや加工データから取得しておき、スル
ーホールの存在する範囲のみを検査するようにすれば、
さらに検査時間を短縮することができる。さらに、ここ
ではプリント基板８を固定して印加電極３１とアンテナ
４１を移動しながら検査を行うようにしているが、印加
電極３１とアンテナ４１を固定してプリント基板８を移
動しながら検査を行うようにしてもよい。また、プリン
ト基板全体のスルーホールの数が比較的少ない場合に
は、印加電極の大きさをプリント基板全体を覆うような
大きさとして、１度に全てのスルーホールの検査を行う
ようにすることもできる。

【００３５】図７は、信号処理部５の構成を示すブロッ
ク図である。信号処理部５は、印加電極３１に高周波電
圧を出力するとともに、アンテナ４１からの電磁波検出
データにより、プリント基板８の各スルーホールの良否
を判定する。信号処理部５には、種々のデータ処理を行
う情報処理手段としてのＣＰＵ５０が設けられており、
ＣＰＵ５０にはバス５１を介して主記憶装置としてＲＯ
Ｍ５２およびＲＡＭ５３が接続されている。ＣＰＵ５０
は、ＲＯＭ５２に記憶されているシステムプログラムお
よびデータと、ＲＡＭ５３にロードされたプログラムお
よびデータに従って動作する。ＲＡＭ５３へのプログラ
ムおよびデータのロードは入出力装置５６から行う。

【００３６】このようなＲＡＭ５３にロードされるプロ
グラムとしては、基本プログラムであるＯＳ（オペレー
ティング・システム）やプリント基板検査装置１として
のデータ処理機能を実現させる信号処理プログラム５３
１、表示手段５４に対して文字や図形の表示を行う表示
制御プログラム等がある。また、ＲＡＭ５３には、スル
ーホールから放射される電磁波の検出データである電磁
波強度分布データ５３２と、電磁波強度分布の基準とな
る基準データ５３３を記憶するための記憶領域が設けら
れている。

【００３７】信号処理部５には、文字および図形を表示
する表示手段５４、操作者がデータを入力するための入
力手段５５が設けられている。これらはインターフェー
ス回路を介してバス５１に接続されている。表示手段５
４としてはＣＲＴ、ＥＬ表示パネルや液晶ディスプレイ
等が使用でき、入力手段５５としてはキーボード、マウ
ス、トラックボール等が使用できる。

【００３８】また、信号処理部５には入出力装置５６が
設けられている。入出力装置５６にはプリンタや、外部
機器との測定情報等のやりとりを行う通信インターフェ
ース回路等を含むものである。また、入出力装置５６と
してフレキシブルディスク等の交換可能記憶媒体の入出
力装置や固定ディスク装置を設けることもできる。高周
波回路５７は、印加電極３１に高周波電圧を出力し、ま
た、アンテナ４１により検出した電磁波の高周波電圧を
処理するための回路である。

【００３９】高周波回路５７にアンテナ４１からの検出
信号が入力されると、その信号は電磁波強度としてデジ
タル化され電磁波強度分布データ５３２としてＲＡＭ５
３に記憶される。また、ＲＡＭ５３には、電磁波強度分
布の基準値となる基準データ５３３が予め記憶されてい
る。基準データ５３３としては、比較基準用の正常製品
における電磁波強度分布データ、同じ種類の１枚目のプ
リント基板で取得した電磁波強度分布データ、プリント
基板の設計データや加工データから作成した基準データ
等を使用することができる。

【００４０】そして、その検査中のプリント基板の電磁
波強度分布データ５３２と、予め記憶されている基準デ
ータ５３３とを比較して、両者に許容値を超える差があ
る場合には、検査中のプリント基板を不良品と判定する
ものである。両者の差が許容値以内であれば、検査中の
プリント基板を良品と判定する。判定結果は、表示手段
５４に表示したり、選別装置（図示せず）に送出してプ
リント基板の自動選別に利用することができる。

【００４１】図８は、反転機構７によるプリント基板８
の反転動作を示す図である。画像検出ヘッド６によるプ
リント基板８の表面側の画像検査が終了すると、まず、
画像検出ヘッド６を退避位置に移動させる。次に、反転
機構７の反転腕７１を取付枠９に向けて前進させ、反転
腕７１の先端部を係合穴９１（図４参照）に係合挿入す
る。そして、反転腕７１を上昇させて取付枠９およびプ
リント基板８を上方に移動し、さらに反転腕７１を１８
０度回動させて取付枠９およびプリント基板８を反転さ
せる。その後、反転腕７１を下降させて取付枠９および
プリント基板８を反転した状態で案内レール２上に載置
する。そして、画像検出ヘッド６を検査位置に移動さ
せ、プリント基板８の裏面側の画像検査を行う。これに
より、プリント基板８の表裏両面の画像検査を自動的に
連続して行うことができる。

【００４２】以上のように、印加電極３１とアンテナ４
１によりプリント基板８のスルーホール８４〜８７の良
否検査を短時間に行うことができ、プリント基板８の両
面の配線パターンを画像検出ヘッド６による画像検査に
より行うことができるので、配線パターンとスルーホー
ルの検査を短時間に自動的に実行することができる。

【００４３】従来の検査工程では、プリント基板のエッ
チング後の画像検査による配線パターンの検査と、出荷
前の電気試験機による導通検査の２回の検査を行ってい
た。経験的には、目視で判別しにくいプリント基板の不
良の多くがレジスト前に発生している。このため、プリ
ント基板のエッチング後（レジスト前）に本発明のプリ
ント基板検査装置１によって検査を行えば、１回の検査
によりプリント基板の目視検査以外の検査を完了するこ
とができ、出荷前の最終検査として目視検査のみを行え
ばよく、電気検査を省略することも可能となる。

【００４４】そして、スルーホールの検査は、専用治具
を作成する必要もなく正確な検査が行えるため、検査時
間ひいてはプリント基板の作成期間も短縮させることが
でき、検査のためのランニングコストも減少させること
ができる。また、配線パターンの検査は画像検査により
行うので、導通検査だけでなく、パターンの一部欠落や
変形の有無等の詳細な検査を行うことができる。

【００４５】なお、以上の実施の形態においては、スル
ーホールの検査の後に配線パターンの画像検査を行って
いるが、これに限らず、配線パターンの画像検査の後に
スルーホールの検査を行うようにしてもよい。また、以
上の実施の形態のように、スルーホールの検査部と配線
パターンの画像検査部とを一体化して１つのプリント基
板検査装置として構成することが好ましいが、スルーホ
ールの検査部のみを備えたプリント基板検査装置とする
こともできる。

【００４６】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下のような効果を奏する。

【００４７】スルーホールの一端部に高周波電圧を印加
し他端部から放射される電磁波を検出してスルーホール
の検査を行うようにしたので、専用治具を作成する必要
もなく正確な検査を短時間で行うことができ、検査時間
および検査費用を削減することができる。また、スルー
ホールの電気的な導通のみでなく、一部欠損等の詳細な
検査が可能であるため、スルーホールの経時変化による
切断等の可能性も検査でき、プリント基板の信頼性を向
上させることができる。

【００４８】印加電極をプリント基板の複数のスルーホ
ールに同時に高周波電圧を印加することが可能なものと
したので、短時間で検査を実行することができる。

【００４９】印加電極および電磁波検出手段をプリント
基板の表面上の任意の位置に相対移動可能としたので、
プリント基板の全面を走査して全てのスルーホールの検
査を行うことができる。

【００５０】プリント基板の配線パターンを画像により
検査する画像検査手段を併設するようにしたので、スル
ーホールの検査に連続して配線パターンの検査を行うこ
とができ、検査工程を削減するとともに自動化すること
ができ、効率的にプリント基板の検査を行うことができ
る。

【００５１】プリント基板の表面と裏面とを反転させる
反転手段を設けるようにすれば、表面と裏面の配線パタ
ーンの検査を自動化して連続的に行うことができ、効率
的にプリント基板の検査を行うことができる。

【００５２】画像検査手段をプリント基板の表面側と裏
面側とにそれぞれ設けるようにすれば、表面と裏面の配
線パターンの検査を自動化して同時に行うことができ、
さらに効率的にプリント基板の検査を行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、従来の電気試験機である専用治具チェ
ッカーを示す図である。

【図２】図２は、改良型のユニバーサルチェッカーを示
す図である。

【図３】図３は、本発明のプリント基板検査装置の構成
を示す図である。

【図４】図４は、スルーホールの検査領域の拡大図であ
る。

【図５】図５は、本発明のプリント基板検査方法の動作
原理を示す図である。

【図６】図６は、印加電極の具体的形態を示す図であ
る。

【図７】図７は、信号処理部の構成を示すブロック図で
ある。

【図８】図８は、反転機構によるプリント基板の反転動
作を示す図である。

【符号の説明】

１…プリント基板検査装置 ２…案内レール ３…電極支持部材 ４…アンテナ支持部材 ５…信号処理部 ６…画像検出ヘッド ７…反転機構 ８…プリント基板 ９…取付枠 １０…専用治具 １１…ピンソケット １２…サポート板 １３…ピン状電極 ２０…ユニバーサルチェッカー ２１…ピンソケット ２２…ガイド板 ２３…ロングピンサポート板 ２４…パターン板 ２５…ピン ２６…ロングピン ３１…印加電極 ４１…アンテナ ６１…ＣＣＤカメラ ６２…照明器 ７１…反転腕 ８２…基準位置マーク ８４〜８７…スルーホール ９１…係合穴

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】プリント基板（８）の一方の面側に設けら
   れた印加電極（３１）から、前記プリント基板（８）に
   設けられたスルーホール（８４〜８７）の一端部に高周
   波電圧を印加する手順と、 前記高周波電圧により前記プリント基板（８）の他方の
   面から放射される電磁波を検出する手順と、 前記電磁波の検出強度から、前記プリント基板（８）に
   設けられた前記スルーホール（８４〜８７）の良否の検
   査を行う手順とを有するプリント基板検査方法。
2. 【請求項２】請求項１に記載したプリント基板検査方法
   であって、 前記印加電極（３１）は、前記プリント基板（８）の複
   数の前記スルーホールに同時に高周波電圧を印加するこ
   とが可能なものであるプリント基板検査方法。
3. 【請求項３】プリント基板（８）の一方の面側に設けら
   れ、前記プリント基板（８）に設けられたスルーホール
   （８４〜８７）の一端部に高周波電圧を印加する印加電
   極（３１）と、 前記プリント基板（８）の他方の面側に設けられ、前記
   高周波電圧により前記プリント基板（８）の他方の面か
   ら放射される電磁波を検出する電磁波検出手段（４１）
   と、 前記電磁波検出手段の検出出力を処理して、前記プリン
   ト基板（８）に設けられた前記スルーホール（８４〜８
   ７）の検査を行う信号処理手段（５）とを有するプリン
   ト基板検査装置。
4. 【請求項４】請求項３に記載したプリント基板検査装置
   であって、 前記印加電極（３１）は、前記プリント基板（８）の複
   数の前記スルーホールに同時に高周波電圧を印加するこ
   とが可能なものであるプリント基板検査装置。
5. 【請求項５】請求項３，４のいずれか１項に記載したプ
   リント基板検査装置であって、 前記印加電極（３１）および前記電磁波検出手段（４
   １）を前記プリント基板（８）の表面上の任意の位置
   に、前記プリント基板（８）に対して相対的に移動可能
   な移動手段を有するプリント基板検査装置。
6. 【請求項６】請求項３〜５のいずれか１項に記載したプ
   リント基板検査装置であって、 前記プリント基板（８）の配線パターンを画像により検
   査する画像検査手段（６）を有するプリント基板検査装
   置。
7. 【請求項７】請求項６に記載したプリント基板検査装置
   であって、 前記プリント基板（８）を表面と裏面とを反転させる反
   転手段（７）を有するプリント基板検査装置。
8. 【請求項８】請求項６に記載したプリント基板検査装置
   であって、 前記画像検査手段（６）は、前記プリント基板（８）の
   表面側と裏面側とにそれぞれ設けられているものである
   プリント基板検査装置。