JPH0126536B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0126536B2 JPH0126536B2 JP56168840A JP16884081A JPH0126536B2 JP H0126536 B2 JPH0126536 B2 JP H0126536B2 JP 56168840 A JP56168840 A JP 56168840A JP 16884081 A JP16884081 A JP 16884081A JP H0126536 B2 JPH0126536 B2 JP H0126536B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- logic circuit
- integrated circuits
- stage
- data
- circuit diagram
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 claims description 16
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は集積回路（以下本明細書においてIC
と略記する）について設計者でなくても明確に良
品は否か解析できる装置に関する。
と略記する）について設計者でなくても明確に良
品は否か解析できる装置に関する。
従来ICについて良品か否かを解析するとき、
フアンクシヨンテスタによるフアイルリストと、
論理回路図によつて進められる。ICを動作状態
とし所定のフアンクシヨン信号を印加して出力信
号を調べる。リストにより出力信号の予定値が判
つているからそれと比較して障害のある論理回路
を推定する。しかし論理回路図は配線図のように
画かれ、IC内における実際のレイアウトとは無
関係であり、大規模集積回路LSIになると所望の
論理回路図をLSIチツプ内から選択的に切り出し
て観測し、良品か否か観測することは微細すぎて
設計者でないとできないことである。また光学顕
微鏡或いは電子顕微鏡により被検ICに可視の光
または電子ビームを照射してその反射光または二
次電子を検知することも行なわれているが、論理
回路図において何処の部分と対応するか直ぐ判断
することができず、不良の個所のあることが判る
に過ぎなかつた。
フアンクシヨンテスタによるフアイルリストと、
論理回路図によつて進められる。ICを動作状態
とし所定のフアンクシヨン信号を印加して出力信
号を調べる。リストにより出力信号の予定値が判
つているからそれと比較して障害のある論理回路
を推定する。しかし論理回路図は配線図のように
画かれ、IC内における実際のレイアウトとは無
関係であり、大規模集積回路LSIになると所望の
論理回路図をLSIチツプ内から選択的に切り出し
て観測し、良品か否か観測することは微細すぎて
設計者でないとできないことである。また光学顕
微鏡或いは電子顕微鏡により被検ICに可視の光
または電子ビームを照射してその反射光または二
次電子を検知することも行なわれているが、論理
回路図において何処の部分と対応するか直ぐ判断
することができず、不良の個所のあることが判る
に過ぎなかつた。
本発明の目的は前述の欠点を改善し、論理回路
図データ、実装データを基準としてICを所定の
位置に移動させ、ICが良品か否か解析する装置
を提供することにある。そのため本発明の要旨と
する所は中央制御装置により論理回路図データを
次々にデイスプレイに表示させて、論理回路図、
実装データによりICを搭載したステージを制御
することである。
図データ、実装データを基準としてICを所定の
位置に移動させ、ICが良品か否か解析する装置
を提供することにある。そのため本発明の要旨と
する所は中央制御装置により論理回路図データを
次々にデイスプレイに表示させて、論理回路図、
実装データによりICを搭載したステージを制御
することである。
以下図面に示す本発明の実施例について説明す
る。図面は電子ビームを照射線とする本発明の実
施例を示す図であつて、１は中央制御装置、２は
論理回路図データ格納用外部記憶装置、３はIC
における論理回路レイアウトデータ格納用外部記
憶装置、４は論理回路図表示用の高分解能グラフ
イツクデイスプレイ、５はICを動作させる駆動
回路としての直流電源、６はICを搭載し移動可
能なＸ・Ｙステージの駆動回路、７はＸ・Ｙステ
ージ、８はIC、９は二次電子検知器、１０はモ
ニタ、１１は集束レンズ、１２はＸ・Ｙ偏向部、
１３は電子銃、１４は電子ビームを示している。
当然電子ビームを取扱う部分は真空状態に維持す
る。被検IC８の論理回路図データは外部記憶装
置２に格納されているので、中央制御装置１によ
り読出し、グラフイツクデイスプレイ４に表示す
る。論理回路図データは大規模なICのときに何
ページにもわたることがあるので、その中から目
的とする論理回路図を表示し、更にカーソルを用
いて特定部分を指定する。指定データはグラフイ
ツクデイスプレイ上の座標Ｘ・Ｙと論理回路図デ
ータのページ数とにより中央制御装置１に読込ま
れ、どの論理回路が選択されたかの判定がなされ
る。次に外部記憶装置３に搭載された論理回路の
ICチツプにおけるレイアウトデータを中央制御
装置１に読込んでそのデータから、前記選択され
た論理回路のチツプ内位置を求める。Ｘ・Ｙステ
ージ７をチツプ内レイアウト位置と一致させるた
めの中央制御装置１はＸ・Ｙステージ駆動回路６
を制御する。一方ICには動作用駆動回路５から
直流電圧を各ピンに印加し動作状態としておき、
電子ビーム１４によりICの上を走査する。この
とき集束レンズ１１とＸ・Ｙ偏向部１２を使用す
る。細く絞つた電子ビーム１４がIC８を照射し
たとき動作中の論理回路の良否に応じた二次電子
１５が放射されるから、二次電子検知器９におい
て検出できる。検知器９出力はモニタ１０に対す
る輝度信号として印加する。なおモニタ１０の
Ｘ・Ｙ走査は電子ビーム１４のＸ・Ｙ偏向部１２
の偏向走査と同期して行なう。そのためIC上所
望の論理回路について電子による像がモニタ１０
に表示されるから、ICの動作状態が明確になり、
ICの良・不良の解析を速やかに進めることがで
きる。
る。図面は電子ビームを照射線とする本発明の実
施例を示す図であつて、１は中央制御装置、２は
論理回路図データ格納用外部記憶装置、３はIC
における論理回路レイアウトデータ格納用外部記
憶装置、４は論理回路図表示用の高分解能グラフ
イツクデイスプレイ、５はICを動作させる駆動
回路としての直流電源、６はICを搭載し移動可
能なＸ・Ｙステージの駆動回路、７はＸ・Ｙステ
ージ、８はIC、９は二次電子検知器、１０はモ
ニタ、１１は集束レンズ、１２はＸ・Ｙ偏向部、
１３は電子銃、１４は電子ビームを示している。
当然電子ビームを取扱う部分は真空状態に維持す
る。被検IC８の論理回路図データは外部記憶装
置２に格納されているので、中央制御装置１によ
り読出し、グラフイツクデイスプレイ４に表示す
る。論理回路図データは大規模なICのときに何
ページにもわたることがあるので、その中から目
的とする論理回路図を表示し、更にカーソルを用
いて特定部分を指定する。指定データはグラフイ
ツクデイスプレイ上の座標Ｘ・Ｙと論理回路図デ
ータのページ数とにより中央制御装置１に読込ま
れ、どの論理回路が選択されたかの判定がなされ
る。次に外部記憶装置３に搭載された論理回路の
ICチツプにおけるレイアウトデータを中央制御
装置１に読込んでそのデータから、前記選択され
た論理回路のチツプ内位置を求める。Ｘ・Ｙステ
ージ７をチツプ内レイアウト位置と一致させるた
めの中央制御装置１はＸ・Ｙステージ駆動回路６
を制御する。一方ICには動作用駆動回路５から
直流電圧を各ピンに印加し動作状態としておき、
電子ビーム１４によりICの上を走査する。この
とき集束レンズ１１とＸ・Ｙ偏向部１２を使用す
る。細く絞つた電子ビーム１４がIC８を照射し
たとき動作中の論理回路の良否に応じた二次電子
１５が放射されるから、二次電子検知器９におい
て検出できる。検知器９出力はモニタ１０に対す
る輝度信号として印加する。なおモニタ１０の
Ｘ・Ｙ走査は電子ビーム１４のＸ・Ｙ偏向部１２
の偏向走査と同期して行なう。そのためIC上所
望の論理回路について電子による像がモニタ１０
に表示されるから、ICの動作状態が明確になり、
ICの良・不良の解析を速やかに進めることがで
きる。
以上は走査型電子顕微鏡と云われる形式の装置
について説明したが、光学顕微鏡によつても全く
同様に解析を行なうことができる。
について説明したが、光学顕微鏡によつても全く
同様に解析を行なうことができる。
このようにして本発明によるとICチツプにお
ける構成回路のレイアウトについて知識がなくて
も、回路図データから所定回路の位置を制御装置
により精細に指定できるため、ICの回路部につ
いてその良・不良を解析することが極めて正確・
且つ高能率に行なうことができる。
ける構成回路のレイアウトについて知識がなくて
も、回路図データから所定回路の位置を制御装置
により精細に指定できるため、ICの回路部につ
いてその良・不良を解析することが極めて正確・
且つ高能率に行なうことができる。
図面は本発明の実施例を示すブロツク構成図で
ある。 １…中央制御装置、２，３…外部記憶装置、４
…グラフイツクデイスプレイ、５…直流電源、６
…Ｘ・Ｙステージ駆動回路、７…Ｘ・Ｙステー
ジ、８…IC、９…二次電子検知器、１０…モニ
タ、１１…集束レンズ、１２…Ｘ・Ｙ偏向部、１
３…電子銃、１４…電子ビーム、１５…二次電
子。
ある。 １…中央制御装置、２，３…外部記憶装置、４
…グラフイツクデイスプレイ、５…直流電源、６
…Ｘ・Ｙステージ駆動回路、７…Ｘ・Ｙステー
ジ、８…IC、９…二次電子検知器、１０…モニ
タ、１１…集束レンズ、１２…Ｘ・Ｙ偏向部、１
３…電子銃、１４…電子ビーム、１５…二次電
子。
Claims (1)
- １ 細く絞つた照射線の当つた集積回路からの反
射線を検知し、集積回路の不良を解析する装置に
おいて、集積回路を搭載して移動可能なＸ・Ｙス
テージと、集積回路を動作させる駆動回路と、被
検査集積回路の論理回路図データと集積回路内部
実装データを記憶する外部記憶装置と、前記ステ
ージ・駆動回路・外部記憶装置を制御するための
中央制御装置とを具備し、前記Ｘ・Ｙステージは
被検査集積回路の内部実装データ・論理回路図デ
ータを読出した値により制御することを特徴とす
る集積回路の不良解析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56168840A JPS5870541A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 集積回路の不良解析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56168840A JPS5870541A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 集積回路の不良解析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5870541A JPS5870541A (ja) | 1983-04-27 |
| JPH0126536B2 true JPH0126536B2 (ja) | 1989-05-24 |
Family
ID=15875495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56168840A Granted JPS5870541A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 集積回路の不良解析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5870541A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE452526B (sv) * | 1984-05-09 | 1987-11-30 | Stiftelsen Inst Mikrovags | Forfarande for att inspektera integrerade kretsar eller andra objekt |
| DE3437550A1 (de) * | 1984-10-12 | 1986-04-24 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur fehleranalyse an integrierten schaltungen |
| US4706019A (en) * | 1985-11-15 | 1987-11-10 | Fairchild Camera And Instrument Corporation | Electron beam test probe system for analyzing integrated circuits |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS518314A (en) * | 1974-07-11 | 1976-01-23 | Sumitomo Shipbuild Machinery | Sementokurinkaano seizohoho |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5596560U (ja) * | 1978-12-27 | 1980-07-04 |
-
1981
- 1981-10-23 JP JP56168840A patent/JPS5870541A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS518314A (en) * | 1974-07-11 | 1976-01-23 | Sumitomo Shipbuild Machinery | Sementokurinkaano seizohoho |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5870541A (ja) | 1983-04-27 |
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