KR960002289B1 - 웨이퍼의 프로우빙 방법 - Google Patents

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조원식
안규종
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현대전자산업주식회사
김주용
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Abstract

내용 없음.

Description

웨이퍼의 프로우빙 방법
제1도는 프로우브 시스템의 블럭도.
제2도는 프로우브 시스템의 개략사시도.
제3a~d도는 본 발명의 플로우차트이다.
본 발명은 웨이퍼(Wafer)의 프로우빙(Probing) 방법에 관한 것으로, 프로우브 카드의 휨현상을 즉각 파악할 수 있도록 제1및 제2단계에 의해 프로우브 카드의 휨현상을 검사토록 한 것이다.
일반적으로 프로우버 시스템은 프로우브(탐침)와 정밀한 송급장치를 조합한 것으로, 트랜지스터나 IC 제조에 사용되는 펠렛(다이스)을 웨이퍼의 상태로 검사하도록 본딩패드부분 또는 체크용 패터언부분에 탐침을 세워서 측정한다. 이 때문에 다탐침(多探針)과 이것을 차례로 전후좌우로 송급하는 장치, 즉 프로우버와 이것과 연동하는 테스터가 필요하게 된다.
이와같이 프로우브를 사용하여 웨이퍼의 각 펠렛을 테스트하는 것을 프로우빙(PROBING)이라 하며, 펠렛 또는 이것을 잘라내기전의 웨이퍼단계에서 특성 측정을 하려면 전극위로 가는 침을 세워서 측정하지 않으면 안 된다. 그 때문에 트랜지스터는 2-3개, IC에서는 그 이상의 침이 필요한데, 이것을 탐침 또는 프로우브라고 칭하며, 트랜지스터나 IC를 케이스에 조립해 넣은 최종단계에서 검사하여 불량을 가려내게 되면 중간의 스템이나 캠 등의 조립공정이 낭비가 되므로 그래서 이것을 조립하기전의 펠렛 또는 웨이퍼의 단계에서 검사하여 양호한 펠렛만을 다음 공정으로 보내서 낭비를 적게 하여 제조원가를 절감하고 있다. 이렇게 프로우버 시스템을 이용하여 웨이퍼를 검사할 때에는 자동측정기(테스터)와 조합하여 웨이퍼의 단계에서 웨이퍼 내에 포함되어 있는 전펠렛을 측정하며, 이때 불량부품에는 점 등을 표기하여 나중에 그 부분을 폐기한다.
통상 프로우버 시스템은 자동측정장치(테스터, 테스트 시스템)와 함께 이루어지며, 하나의 테스트 시스템에 프로우버 시스템은 2개로 구성된다. 즉, 스테이션 1 및 2의 프로우버 시스템을 하나의 테스트 시스템이 측정하는 것으로 제1도와 같이 스테이션 1 및 2의 프로우브 시스템(10,11)을 테스트 시스템(20)으로 측정토록 구성한다. 이러한 프로우브 시스템(10)의 일례로는 제2도와 같이 예시할 수 있는 바, 웨이퍼가 로딩 및 언로딩되는 카세트(30)와, 로딩된 웨이퍼를 가열(80℃)시켜 프로우브 카드 밑으로 이동시키는 척(32)과 ; 웨이퍼와 프로우브 카드홀더(35)에 고정된 프로우브 카드의 상태로 확인하는 마이크로스코우프(34)를 포함한다. (36)은 링캐리어(Ring Carrier), (38)은 프로파일러 센서헤드, (40,42)는 모니터 및 키보드, (44)는 조이스틱(45)을 갖는 콘솔, (46)는 제어부이다.
상기 프로우브 카드홀더(35)에 장착되는 프로우브 카드는 또한 테스트 시스템(20)에서 나오는 테스트용 전기신호를 프로우빙 어셈브리에서 제공받으며, 프로우브 카드는 프로우브 니들(탐침)을 통하여 웨이퍼의 각 다이(펠렛) 패드에 전함으로써 다이의 이상유무를 측정할 수 있도록 한다. 그러나 프로우브 카드는 얇기 때문에 휨현상이 빈번히 발생하고, 이에 따라 프로우브된 (니들)의 위치 역시 틀리게 되어 정확한 프로우빙을 어렵게 하는 요인이 된다.
본 발명은 이를 해결코자 하는 것으로, 프로우브 카드를 1단계 및 2단계로 수행하여 프로우브 카드의 휨현상을 미리 발견할 수 있도록 함을 특징으로 한다. 즉, 본 발명은 스테이션 1과 2 및 해당 프로우브 카드 번호를 지정하여 프로우빙하는 방법에서, 프로우빙 스테이션 및 프로우브 카드번호 지정 후 프로우브 카드의 니들이 펠렛의 패드에 닿았는지를 검사하는 1단계를 먼저 수행하고, 니들이 패드에 닿지 않을 때까지 척을 내린 후 다시 올리는 공정에 의해 프로우브 카드의 휘어짐을 검사하는 2단계를 포함하여 수행하는 웨이퍼의 프로우빙 방법을 제공하려는 것이다.
이하 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 메뉴로는 각 스테이션 별 프로우브 시스템을 제1단계 및 제2단계를 수행토록 하는 바 이를 예를들어 먼저 설명한다.
1. STI Probe card No:
2. Test Only One Step
3. Test All…
4. ST2 Probe card No
5. Test Only One Step
6. Test All…
7. Enter System No
○. Save Check Result To Host
×. Exit Program
Enter Number=
즉, 상기에서
1. ST1 Prove card No는 스테이션 1프로우브 시스템의 프로우브 카드번호를 입력시키라는 지시이고(9각 프로우브 카드는 고유번호가 있음),
2. Test Only One Step은 프로우브 카드의 각 니들이 펠렛의 패드에 닿았는지를 검사하라는 지시이고,
3. Test All…는 프로우브 카드의 니들이 하나라도 패드에 닿았을 경우 니들이 닿지 않을 때까지 척을 내린 후, 다시 척을 설정높이(예를 들어 2.5㎜)만큼 올리는 것이고(이때 척은 제2도의 (32)로 볼 수 있으며 웨이퍼의 각 다이를 옮겨 주는 받침대이다.),
4. ST2 Prove card No는 스테이션 2 프로우브 시스템의 프로우브 카드번호를 입력시키라는 지시이고(각 프로우브 카드는 고유번호가 있음),
5. Test Only One Step은 프로우브 카드의 각 니들이 펠렛의 패드에 닿았는지를 검사하라는 지시이고,
6. Test All…는 프로우브 카드의 니들이 하나라도 패드에 닿았을 경우 니들이 닿지 않을 때까지 척을 내린 후, 다시 척을 설정높이(예를 들어 2.5㎜) 만큼 올리는 것이고,
7. Enter System No는 테스트 시스템(20)의 고유번호를 입력시키는 것이고(테스트 시스템(20)에는 테스트용 고유번호가 설정되어 있다,)
○. Save Check Result To Host는 프로우브 카드휨이 양상을 그린 맵(Map)을 테스트 시스템의 하드디스크(Hard disk)에 저장하는 것이고,
×. Exit Program은 프로그램 종료를 지시하는 것이며, Enter Numver=은 베뉴의 번호(0~7)를 선택하라는 것이다.
이와같은 독특한 메뉴에 의해 본 발명은 수행되는 바, 제3a도와 같이 상기 메뉴가 먼저 디스플레이된다(A1 단계). 메뉴에 따라 원하는 메뉴번호의 키를 눌러 키입력시킨다(A2 단계). 입력된 키번호가 "1" 이면(A3 단계), 제3b도를수행한다. 즉, 프로우브 시스템의 스테이션 넘버를 입력시키고 상기 단계(A1 단계)로 복귀시킨다(A4 단계).
한편 상기 단계(A2 단계)에서 입력된 키번호가 "2"이면 제3c도와 같은 1단계를 수행한다(A10 단계).
즉, 프로우브 카드가 니들이 펠렛의 패드에 닿았는지를 1단계로 측정하고(A11 단계), 측정데이터를 디스플레이시키고 상기 단계(A1 단계)로 복귀한다. 또 한편 상기 단계(A2 단계)에서 입력된 키번호가 "3"이면 제3d도와 같은 2단계를 수행한다(A20 단계). 즉, 프로우브 카드의 니들(핀)의 전핀접촉 상황을 측정하고(A21 단계), 접촉된 핀이 하나도 없으면 상기 단계(A1 단계)를 수행하고 하나라도 있으면 다음 단계를 수행한다(A22 단계) 접촉된 핀이 있으면 척높이를 하강시키고(A23 단계), 전핀의 접촉을 측정하여(A24 단계), 접촉핀이 없을 때까지 하강 및 측정을 반복토록 한다(A25 단계). 이어 접촉핀이 없게 되면 척을 일정높이로 상승시켜 전핀(All Pin)을 측정하고(A26 단계), 측정데이터를 디스플레이하고(A27 단계) 상기 단계(A1 단계)로 복귀 한다.
한편 상기 제2단계(A20)에 이어 수행되게 단계(B1,B10,B20)에서의 ⑤, ⑥, ⑦은 상기 단계(A3,A10,A20)에서의 ②, ③, ④와 대응하여 수행되므로 그 설명은 생략한다상기 단계(A3,A10,A20)는 스테이션 1의 프로우브 시스템이고, 상기 단계(B1,B10,B20)는 스테이션 2의 프로우브 시스템이다).
즉, 본 발명은 제1단계(A10)에서 프로우브 카드의 니들이 펠렛의 패드에 닿았는지를 검사하고, 이어 2단계(A20)에서 니들이 패드에 닿지 않을 때까지 척의 높이를 내린다음 니들을 다시 올림으로써 프로우브 카드의 휘어짐을 미리 검사할 수 있게 되어, 휘어짐을 조기 발견할 수 있어 작업에러를 줄일 수 있다.
이상과 같이 본 발명은 제1및 제2단계를 수행하여 프로우브 카드의 휘어짐을 조기 발견할 수 있어, 작업에러를 줄이고 그만큼 경제적이다.

Claims (2)

  1. 스테이션 1과 2 및 해당 프로우브 카드번호를 지정하여 프로우빙하는 방법에 있어서, 프로우빙 스테이션 및 프로우브 카드번호 지정 후 프로우브 카드의 니들이 펠렛의 패드에 닿았는지를 검사하는 니들이 패드에 닿지 않을 때까지 척을 내린 후 다시 올리는 공정에 의해 프로우브 카드의 휘어짐을 검사하는 2단계(A20)를 포함수행하여 프로우브 카드의 이상을 검사토록 함을 특징으로 하는 웨이퍼의 프로우빙 방법.
  2. 제1항에 있어서, 제2단계(A20)는 전핀접촉을 측정하여(A21) 접촉되는 핀이 있나를 판단하고(A22), 있으면 척의 높이를 하강시켜(A23) 다시 전핀접촉을 측정하며(A24), 접촉핀이 없으면(A25) 다시 척을 상승시켜 전핀을 측정하고(A26) 측정데이타를 디스프레이시키는 단계를 순차 수행함을 특징으로 하는 웨이퍼의 프로우빙 방법.
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