JPH03154358A

JPH03154358A - 半導体ウエハのプロービングマシン

Info

Publication number: JPH03154358A
Application number: JP29349289A
Authority: JP
Inventors: Hajime Tsujita; 辻田　一
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1989-11-10
Filing date: 1989-11-10
Publication date: 1991-07-02

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的コ（産業上の利用分野）本発明は半導体ウェハのプロービングマシンに関するも
ので、特にダイソータ工程でのウェハブロービングに使
用されるものである。

（従来の技術）この種のマシンの従来技術を第２図に示す。第２図（ａ
）は同マシン本体の平面的構成図、同図（ｂ）はプロー
ブカードの平面的構成図、同図（Ｃ）は上記マシン本体
とは別個所に設けられたプローブカードテスターを正面
方向がら見た構成図である。これら図において１は測定
ケーブル（プローブカードルテスター間）、２はプロー
ブカードコネクタ挿入口、３はウェハ測定専用ステージ
、４はプローブカード装着エリア、５はプローブカード
、６はプローブカードコネクター　７はプローブカード
ニードル、８はプローブカードテスター（ニードルチェ
ック用テスター）、９は操作パネルである。

この第２図のものは、１１ｐ＋定回路を具備したプロー
ブカード５をプロービングマシンエリア４内にセットし
、プローブカードコネクター６をプロービングマシンコ
ネクター２に装着する。次にステージ３へ載せられてい
るウニ／Ｘを測定し、測定ケーブル１により、別所にあ
るテスター８にてＧＯ／ＮＧ判定を行う。このことを通
常ダイソータ測定と称している。このダイソータ測定を
行っているプローブカードニードル７になんらかの変化
（例えばＡＩ！クズ付着による接触抵抗の変化及び高さ
バラツキ等）が生じ、良品チップなのに不良としてしま
ういわゆる良品／不良と言われる現象が発生する。この
現象が発生した場合、又は二ドルをチェックしたい場合
は、いったんプローブカード５をとりはずし、別に設け
られているプローブカードテスター８にてプローブカー
ドニードル７をチェックしていた。

（発明が解決しようとする課題）上記従来のものは、次のような問題点がある。

（１）　　プローブカードテスター８は絶対必要である
が、単独購入の場合相当商社である。

（２）　　プローブカードニードルチェック時、プロー
ブカード５は必ずプロービングマシンより取りはずす必
要があり、作業性が悪い。これは新たにカード５をマシ
ン本体にセットした場合、イニシャルからスタートしな
ければウェハ測定は不可となるからである。

（３）現状のプローブカードテスターの扱いは熟練を要
し、オペレータレベルでは難しい。

そこで本発明は、プロービングマシン本体よりプローブ
カードを取りはずすことなく、ニードルの状態を誰もが
簡単に確認でき、尚かつ作業性向上を図ることを目的と
している。

［発明の構成］（課題を解決するための手段と作用）本発明は、半導体ウェハのダイソータ工程に使用される
プロービングマシーンにおいて、測定回路を備えたプロ
ーブカードを使用し通常のウェハ測定を行う為のメイン
ステージと、プローブカードのニードルをチェックする
際に使用されるサブステージと、前記メインステージ及
びサブステージを切換える為のコネクタを具備し、通常
ウェハの／ＩＪＪ定系及びプローブカードニードルのチ
ェック機構がプロービングマシンに一体化されているこ
とを特徴とする半導体ウエノ＼のプロービングマシンで
ある。また本発明は、前記プローブカードは固定されて
おり、このプローブカード下に前記メインステージ、サ
ブステージのうちの一方が選択的に配置され、該配置さ
れた方の１ｇ１定系或いはチェック機構が選択されるこ
とを特徴とする前記（１）項に記載の半導体ウェハのプ
ロービングマシンである。

即ち本発明は、プローブカードテスターとプロービング
マシーン本体が一体化されており、二ドルに異常が発生
した場合や定期的に診断したい場合、いつでも簡単かつ
確実に行える様にしたプロービングマシンである。

（実施例）以下図面を参照して本発明の一実施例を説明する。第１
図（ａ）は同実施例の平面的構成図、同図（ｂ）は同構
成を正面方向から見た構成図であるが、これは第２図の
ものと対応させた場合の例であるから、対応個所には同
一符号を付しておく。

第１図において１１はテストケーブル（プローブカード
ルプローブカードテスター間）、１２はプローブカード
コネクタ挿入口（プローブカードテスター使用時）、１
３はコネクタ１２とプローブカード５をつなぐケーブル
、１４はコネクタ１５とプローブカード５をつなぐケー
ブルである。プローブカード５はニードル７（第２図参
照）を下に向けてプロービングマシン上の図示の位置に
固定されている。１５はニードルチェック用ステージ（
プローブカードテスター使用時）、１６はウェハ測定と
ニードルチェックとの切換スイッチ、１７はプローブカ
ードテスター用デイスプレィ、】８はプローブカードテ
スター用データアウトプリンターである。

第１図のものは、通常ウェハ測定の場合、プロービング
マシンのステージ３ヘウエハが載せられており、プロー
ブカードコネクタを、ケーブル１３を介してコネクタ２
へ装着し、７１１１１定ケーブル１にてＧｏ／ＮＧ　（
良／不良）判定を行っている。

プローブカードニードル７（第２図参照）のチェック（
例えばニードルの高さバラツキ、接触抵抗等のチェック
）を行いたい場合、切換スイッチ〕６を押すことにより
、ウェハ測定は中断され、ステージ３は他の個所へ移動
し、ニードルチェック用ステージ１５がマシンの中央（
カード５の直下）に移動され、コネクタ１２にケーブル
１４を装着することにより、ニードルチェックがスタン
バイされる。そしてテストケーブル１１を通り、プロー
ブカードテスター（プロービングマシン内に設置）８に
てチェックが開始され、結果がデイスプレィ１７及び゛
プリンタ１８へ出力される。又ニードルチェック完了後
、特に異常がなければ、マシンステージ３が中央へ戻り
、再びウェハ＃１定が開始されるものである。

第１図の構成によれば、次の利点がある。

（１）通常ウェハ測定及びプローブカードテスターが一
体化されている為、プローブカード５が図示の位置に装
着されている状態でウェハ測定及びニードルのチェック
が可能である。

（２）　　プローブカードテスター８がもつスペースが
不要である。

（３）　　プロービングマシン上にてニードルのチェッ
クが可能な為、半導体ウェハのバッド（外部端子）に対
しての針位置、針跡、アライメント（半導体チップ対ニ
ードルの位置関係）調整等が簡単にでき、スピーデイな
測定が行なえる。

［発明の効果］以上説明した如く本発明によれば、プローブカードテス
ターとプロービングマシーン本体が一体化されており、
ニードルに異常が発生した場合や定期的に診断したい場
合、いつでも簡単にかつ確実に行え、また占有場所的に
も有利なプロービングマシンが提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明の一実施例の平面的構成図、第１
図（ｂ）は同構成を正面方向がら見た構成図、第２図（
ａ）は従来例の平面的構成図、第２図（ｂ）は同構成の
一部詳細図、第２図（ｃ）は同構成とは別場所に設けら
れたテスタの構成図である。１・・・測定ケーブル、２・・・コネクタ挿入口（ウェ
ハ測定時）、３・・・ウニ八測定用ステージ（メインス
テージ）、５・・・プローブカード、７・・・ニードル
、８・・・プローブカードテスター（ニードルチェック
用）、１１・・・テストケーブル、１２・・・コネクタ
挿入口、１３．１４・・・ケーブル、１５・・・ニード
ルチェック用ステージ（サブステージ）、１６・・・切
換スイッチ、１７・・・プローブカードテスタ用デイス
プレィ、１８・・・プローブカードテスター用プリンタ
ー

Claims

【特許請求の範囲】

（１）半導体ウェハのダイソータ工程に使用されるプロ
ービングマシーンにおいて、測定回路を備えたプローブカードを使用し通常のウェハ
測定を行う為のメインステージと、プローブカードのニ
ードルをチェックする際に使用されるサブステージと、
前記メインステージ及びサブステージを切換える為のコ
ネクタを具備し、通常ウェハの測定系及びプローブカー
ドニードルのチェック機構がプロービングマシンに一体
化されていることを特徴とする半導体ウェハのプロービ
ングマシン。
（２）前記プローブカードは固定されており、このプロ
ーブカード下に前記メインステージ、サブステージのう
ちの一方が選択的に配置され、該配置された方の測定系
或いはチェック機構が選択されることを特徴とする請求
項１に記載の半導体ウェハのプロービングマシン。