JPH10275835A - ウエハ検査装置 - Google Patents
ウエハ検査装置Info
- Publication number
- JPH10275835A JPH10275835A JP9080004A JP8000497A JPH10275835A JP H10275835 A JPH10275835 A JP H10275835A JP 9080004 A JP9080004 A JP 9080004A JP 8000497 A JP8000497 A JP 8000497A JP H10275835 A JPH10275835 A JP H10275835A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- test
- prober
- heads
- probe unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハサイズの大口径化に伴うプローバの設
置面積増加を抑制し、ウエハ検査装置全体の設置面積を
抑制し、また、１ウエハ当りの検査時間の増大を避け
る。 【解決手段】 ２つのテストヘッドが接続される１つの
テスタと、１つのプローブユニット、１つのウエハステ
ージを有する１つのプローバより構成し、２つのテスト
ヘッドと１つのプローブユニットをテストボードを介し
て接続し、２つのテストヘッドで１つのウエハ上の複数
チップを同時に検査する。
置面積増加を抑制し、ウエハ検査装置全体の設置面積を
抑制し、また、１ウエハ当りの検査時間の増大を避け
る。 【解決手段】 ２つのテストヘッドが接続される１つの
テスタと、１つのプローブユニット、１つのウエハステ
ージを有する１つのプローバより構成し、２つのテスト
ヘッドと１つのプローブユニットをテストボードを介し
て接続し、２つのテストヘッドで１つのウエハ上の複数
チップを同時に検査する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、テスタとプローバを含
むウエハ検査装置に関する。
むウエハ検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のウエハ検査装置は、図４
に示すように、２つのテストヘッド２ａ，２ｂが接続さ
れる１つのテスタ１と、各々のテストヘッドに接続され
る２つのプローバ８ａ，８ｂより構成されている。
に示すように、２つのテストヘッド２ａ，２ｂが接続さ
れる１つのテスタ１と、各々のテストヘッドに接続され
る２つのプローバ８ａ，８ｂより構成されている。
【０００３】上の構成において、テストヘッド２ａ，２
ｂは、それぞれテストボード４ａまたは４ｂを介してプ
ローブユニット５ａ，５ｂと電気的に接続されている。
ｂは、それぞれテストボード４ａまたは４ｂを介してプ
ローブユニット５ａ，５ｂと電気的に接続されている。
【０００４】本構成におけるウエハ検査概要を説明する
と、各プローバの図示していないウエハローダより、そ
れぞれ１枚のウエハ６ａ（または６ｂ）を取り出し、ウ
エハステージ７ａ（または７ｂ）に載せ、プローブユニ
ット５ａ（または５ｂ）との位置合わせを行った後、ウ
エハ６ａ（または６ｂ）とプローブユニット５ａ（また
は５ｂ）とを電気的に接続し、テスタ１のテストヘッド
２ａ（または２ｂ）を用いて２枚のウエハを同時に検査
する。（各プローブユニット５ａ，５ｂは、ニードル針
方式、垂直針立て方式、メンブレム方式等ウエハ６ａ，
６ｂ上のチップに対して電気的に接続出来るものであれ
ば、如何なる方式であってもよい。） この時、各ウエハ上のチップを複数同時に検査すること
がメモリ製品では一般的である。図５は１ウエハ６の検
査回数を説明するものであり、この場合、４チップを同
時に検査し、５６回で終了する。２２は１チップ、２１
は４チップからなる１回当りのテストエリアを示す。ウ
エハ１枚の検査が終了すると、図示していない各アンロ
ーダに収納する。アンローダはローダと兼用の場合もあ
る。
と、各プローバの図示していないウエハローダより、そ
れぞれ１枚のウエハ６ａ（または６ｂ）を取り出し、ウ
エハステージ７ａ（または７ｂ）に載せ、プローブユニ
ット５ａ（または５ｂ）との位置合わせを行った後、ウ
エハ６ａ（または６ｂ）とプローブユニット５ａ（また
は５ｂ）とを電気的に接続し、テスタ１のテストヘッド
２ａ（または２ｂ）を用いて２枚のウエハを同時に検査
する。（各プローブユニット５ａ，５ｂは、ニードル針
方式、垂直針立て方式、メンブレム方式等ウエハ６ａ，
６ｂ上のチップに対して電気的に接続出来るものであれ
ば、如何なる方式であってもよい。） この時、各ウエハ上のチップを複数同時に検査すること
がメモリ製品では一般的である。図５は１ウエハ６の検
査回数を説明するものであり、この場合、４チップを同
時に検査し、５６回で終了する。２２は１チップ、２１
は４チップからなる１回当りのテストエリアを示す。ウ
エハ１枚の検査が終了すると、図示していない各アンロ
ーダに収納する。アンローダはローダと兼用の場合もあ
る。
【０００５】本従来例においては、各テストヘッド毎に
プローバを接続している為、テスタ本体の小型化及びテ
ストヘッドの小型化が行われてもプローバの大きさは変
わらず、ウエハ検査装置全体の設置面積削減が阻まれて
いた。
プローバを接続している為、テスタ本体の小型化及びテ
ストヘッドの小型化が行われてもプローバの大きさは変
わらず、ウエハ検査装置全体の設置面積削減が阻まれて
いた。
【０００６】この不具合点を改良した公知例として、特
開昭６２−８６８３５号公報が挙げられる。図６に正面
図を示すように、２つのテストヘッド２ａ，２ｂが接続
される１つのテスタと１つのプローバより構成されてお
り、各テストヘッド２ａ，２ｂとテストボード４ａ，４
ｂを通じ電気的に接続される２つのプローブユニット５
ａ，５ｂを介して試験を行うウエハ６ａ，６ｂを載せて
セットする２つのウエハステージ７ａ，７ｂを１つのプ
ローバ８内に設置した構成である。本構成においては、
図示していないウエハローダより、各ウエハステージ７
ａ，７ｂ上に２枚のウエハ６ａ，６ｂをそれぞれ供給す
る。
開昭６２−８６８３５号公報が挙げられる。図６に正面
図を示すように、２つのテストヘッド２ａ，２ｂが接続
される１つのテスタと１つのプローバより構成されてお
り、各テストヘッド２ａ，２ｂとテストボード４ａ，４
ｂを通じ電気的に接続される２つのプローブユニット５
ａ，５ｂを介して試験を行うウエハ６ａ，６ｂを載せて
セットする２つのウエハステージ７ａ，７ｂを１つのプ
ローバ８内に設置した構成である。本構成においては、
図示していないウエハローダより、各ウエハステージ７
ａ，７ｂ上に２枚のウエハ６ａ，６ｂをそれぞれ供給す
る。
【０００７】本例では、上述の従来例に比し、プローバ
として３０％の小型化が実現出来、ウエハ検査装置全体
としての設置面積の削減が可能となった。この面積はプ
ローバの占める面積であるが、ウエハサイズを１とした
場合、ローダの占める面積は２、ウエハステージの面積
は３、但し２つのウエハステージの場合は５とすると、
先の従来例の場合（ローダ：２＋ウエハステージ：３）
×２台＝１０に対し、本改良例ではローダ：２＋ウエハ
ステージ２：５＝７となり、設置面積として約３０％の
縮減が可能となる。
として３０％の小型化が実現出来、ウエハ検査装置全体
としての設置面積の削減が可能となった。この面積はプ
ローバの占める面積であるが、ウエハサイズを１とした
場合、ローダの占める面積は２、ウエハステージの面積
は３、但し２つのウエハステージの場合は５とすると、
先の従来例の場合（ローダ：２＋ウエハステージ：３）
×２台＝１０に対し、本改良例ではローダ：２＋ウエハ
ステージ２：５＝７となり、設置面積として約３０％の
縮減が可能となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のウエハ
検査装置では、いずれの場合もウエハステージを１つの
プローバ内に２つ含むため、ウエハサイズの大口径化に
伴い、プローバの設置面積がウエハサイズの２乗に比例
して増え、テスタ及びテストヘッドの小型化が行われて
も、ウエハ検査装置全体としての設置面積が増加してし
まうという問題があった。
検査装置では、いずれの場合もウエハステージを１つの
プローバ内に２つ含むため、ウエハサイズの大口径化に
伴い、プローバの設置面積がウエハサイズの２乗に比例
して増え、テスタ及びテストヘッドの小型化が行われて
も、ウエハ検査装置全体としての設置面積が増加してし
まうという問題があった。
【０００９】又、１枚のウエハを検査する時間もウエハ
サイズの大口径化に伴い、ウエハサイズのほぼ２乗の割
合で長くなるという問題もあった。
サイズの大口径化に伴い、ウエハサイズのほぼ２乗の割
合で長くなるという問題もあった。
【００１０】本発明の目的はウエハサイズの大口径化に
伴うウエハ検査装置の所要面積の増加を抑制し、かつウ
エハ１枚当りの検査時間を増大させないことである。
伴うウエハ検査装置の所要面積の増加を抑制し、かつウ
エハ１枚当りの検査時間を増大させないことである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明のウエハ検査装置
は、１つのウエハステージが接続されるプローバと複数
のテストヘッドが接続される１つのテスタを有し、１つ
のウエハステージに置かれた１枚のウエハ上のチップ
を、複数のテストヘッドを同時に作動させて検査を行
う。
は、１つのウエハステージが接続されるプローバと複数
のテストヘッドが接続される１つのテスタを有し、１つ
のウエハステージに置かれた１枚のウエハ上のチップ
を、複数のテストヘッドを同時に作動させて検査を行
う。
【００１２】複数のテストヘッドに共通な１つのテスト
ボードが設けられてもよい。
ボードが設けられてもよい。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００１４】図１は本発明のウエハ検査装置の実施形態
を示す概略正面図、図２は、図１のウエハ検査装置の測
定部エリア１０の拡大図である。
を示す概略正面図、図２は、図１のウエハ検査装置の測
定部エリア１０の拡大図である。
【００１５】図１に示すウエハ検査装置は、１つのウエ
ハステージ７が含まれる１つのプローバ８と２つのテス
トヘッド２ａ，２ｂが接続される１つのテスタ１からな
り、２つのテストヘッド２ａ，２ｂは共通のテストボー
ド４を介して、１つのプローバの１つのプローブユニッ
ト５と電気的に接続されている。
ハステージ７が含まれる１つのプローバ８と２つのテス
トヘッド２ａ，２ｂが接続される１つのテスタ１からな
り、２つのテストヘッド２ａ，２ｂは共通のテストボー
ド４を介して、１つのプローバの１つのプローブユニッ
ト５と電気的に接続されている。
【００１６】このウエハ検査装置による検査では、図示
していないウエハローダよりウエハ６を取り出し、ウエ
ハステージ７に載せ、プローブユニット５との位置合わ
せを行った後、ウエハ６とプローブユニット５とテスト
ボード４を電気的に接続し、テスタ１のテストヘッド２
ａ，２ｂによりウエハ６上のチップを複数づつ、同時に
検査する。
していないウエハローダよりウエハ６を取り出し、ウエ
ハステージ７に載せ、プローブユニット５との位置合わ
せを行った後、ウエハ６とプローブユニット５とテスト
ボード４を電気的に接続し、テスタ１のテストヘッド２
ａ，２ｂによりウエハ６上のチップを複数づつ、同時に
検査する。
【００１７】図２において、テストボード４はテストヘ
ッド２ａ，２ｂに共用となっており、１２ａ，１２ｂは
テストヘッド２ａ，２ｂとテストボード４との接続部を
示し、１１ｄは、プローブユニット５とテストボード４
との接続部を示す。
ッド２ａ，２ｂに共用となっており、１２ａ，１２ｂは
テストヘッド２ａ，２ｂとテストボード４との接続部を
示し、１１ｄは、プローブユニット５とテストボード４
との接続部を示す。
【００１８】図３は、本例における１ウエハ当りの検査
回数を説明するもので、図５の従来例と対応させて示し
てあり、図５の場合の５６回に対し、この場合、８チッ
プを２台のテストヘッドによる１回当りのテストエリア
２０として同時に検査し、３０回で１枚のウエハの検査
を終了することができる。１ウエハ当りの検査時間はプ
ローブユニットがウエハにコンタクトする回数にほぼ比
例し、従来のほぼ半分の時間で終了する。ウエハ１枚の
検査が終了すると、図示していないアンローダ（ローダ
と兼用）に収納する。
回数を説明するもので、図５の従来例と対応させて示し
てあり、図５の場合の５６回に対し、この場合、８チッ
プを２台のテストヘッドによる１回当りのテストエリア
２０として同時に検査し、３０回で１枚のウエハの検査
を終了することができる。１ウエハ当りの検査時間はプ
ローブユニットがウエハにコンタクトする回数にほぼ比
例し、従来のほぼ半分の時間で終了する。ウエハ１枚の
検査が終了すると、図示していないアンローダ（ローダ
と兼用）に収納する。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、複数のテ
ストヘッドを１つのテストボードを介して１つのプロー
ブユニットに電気的に接続し、複数のテストヘッドを用
いて１枚のウエハを検査出来る様にした為、ウエハサイ
ズが大口径化されても、プローバの設置面積は増加せ
ず、ウエハ検査装置全体としての設置面積の増加を抑制
することが出来、また、１ウエハ当たりの検査時間を増
大させない効果がある。
ストヘッドを１つのテストボードを介して１つのプロー
ブユニットに電気的に接続し、複数のテストヘッドを用
いて１枚のウエハを検査出来る様にした為、ウエハサイ
ズが大口径化されても、プローバの設置面積は増加せ
ず、ウエハ検査装置全体としての設置面積の増加を抑制
することが出来、また、１ウエハ当たりの検査時間を増
大させない効果がある。
【図１】本発明に従うウエハ検査装置の実施形態の例を
示す概略正面図である。
示す概略正面図である。
【図２】図１のウエハ検査装置の測定部エリアの拡大図
である。
である。
【図３】図１に示すウエハ検査装置における検査回数の
説明図である。
説明図である。
【図４】従来例のウエハ検査装置の概略正面図である。
【図５】従来例のウエハ検査装置における検査回数の説
明図である。
明図である。
【図６】従来例の改良されたウエハ検査装置の概略正面
図である。
図である。
１ テスタ ２ａ，２ｂ テストヘッド ３ ケーブル ４，４ａ，４ｂ テストボード ５，５ａ，５ｂ プローブユニット ６，６ａ，６ｂ ウエハ ７，７ａ，７ｂ ウエハステージ ８，８ａ，８ｂ プローバ １０ 測定部エリア
Claims (2)
- 【請求項１】 ウエハステージが含まれるプローバとテ
ストヘッドが接続されるテスタを有し、ウエハステージ
に置かれるウエハ上のチップをテストヘッドからテスト
ボードを通じてプローブユニットに送られる試験信号を
用いて試験を行うウエハ検査装置において、 １つのウエハステージが含まれる１つのプローバと複数
のテストヘッドが接続される１つのテスタを有し、 前記１つのウエハステージに置かれた１枚のウエハ上の
チップを、前記複数のテストヘッドを同時に作動させて
検査を行うことを特徴とするウエハ検査装置。 - 【請求項２】 前記複数のテストヘッドに共通な１つの
テストボードが設けられる請求項１に記載のウエハ検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9080004A JPH10275835A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | ウエハ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9080004A JPH10275835A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | ウエハ検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10275835A true JPH10275835A (ja) | 1998-10-13 |
Family
ID=13706197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9080004A Pending JPH10275835A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | ウエハ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10275835A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6732053B1 (en) * | 1998-09-30 | 2004-05-04 | Intel Corporation | Method and apparatus for controlling a test cell |
| CN104678273A (zh) * | 2015-03-13 | 2015-06-03 | 秦皇岛视听机械研究所 | 一种二极管裸晶圆高速双针测试装置 |
-
1997
- 1997-03-31 JP JP9080004A patent/JPH10275835A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6732053B1 (en) * | 1998-09-30 | 2004-05-04 | Intel Corporation | Method and apparatus for controlling a test cell |
| CN104678273A (zh) * | 2015-03-13 | 2015-06-03 | 秦皇岛视听机械研究所 | 一种二极管裸晶圆高速双针测试装置 |
| CN104678273B (zh) * | 2015-03-13 | 2017-09-29 | 秦皇岛视听机械研究所 | 一种二极管裸晶圆高速双针测试装置 |
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