JPH11260869A - プローブカードによる多ピンデバイスの検査装置 - Google Patents
プローブカードによる多ピンデバイスの検査装置Info
- Publication number
- JPH11260869A JPH11260869A JP5720498A JP5720498A JPH11260869A JP H11260869 A JPH11260869 A JP H11260869A JP 5720498 A JP5720498 A JP 5720498A JP 5720498 A JP5720498 A JP 5720498A JP H11260869 A JPH11260869 A JP H11260869A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- performance board
- signal
- pin
- pin device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】多ピンデバイスのウェハ検査を行う場合におい
て、特に小ピンテスターでの検査を可能とすることによ
り費用削減および作業効率向上を可能とする技術に関す
る。従来の検査装置では、多出力ＩＣの検査を行う場
合、プローブカード上の全ての信号をケーブルによりパ
フォーマンスボードへ接続しなければならない。 【解決手段】信号選択部をプローブカードの近傍に配置
し、プローブカード上の信号を信号選択部を経由して、
再度プローブカード上に戻す形にする。 【効果】プローブカードとパフォーマンスボード間の接
続ケーブル本数が削減することが可能になる。
て、特に小ピンテスターでの検査を可能とすることによ
り費用削減および作業効率向上を可能とする技術に関す
る。従来の検査装置では、多出力ＩＣの検査を行う場
合、プローブカード上の全ての信号をケーブルによりパ
フォーマンスボードへ接続しなければならない。 【解決手段】信号選択部をプローブカードの近傍に配置
し、プローブカード上の信号を信号選択部を経由して、
再度プローブカード上に戻す形にする。 【効果】プローブカードとパフォーマンスボード間の接
続ケーブル本数が削減することが可能になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は多ピンデバイスのウ
ェハ検査を行う場合において、特に小ピンテスターでの
検査を可能とすることにより費用削減および作業効率向
上を可能とする技術に関するものである。
ェハ検査を行う場合において、特に小ピンテスターでの
検査を可能とすることにより費用削減および作業効率向
上を可能とする技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】多ピンデバイスの検査を行う場合、従来
は多ピンデバイスの信号数をカバー出来るピンエレクト
ロニクスを持ったＬＳＩテスターにより検査を行うか、
またはＬＳＩテスターのピンエレクトロニクスが不足す
る場合は、図２及び図３に示すようにデバイスの全信号
をケーブルなどでパフォーマンスボードへ接続し、信号
選択を行い検査を実施している。
は多ピンデバイスの信号数をカバー出来るピンエレクト
ロニクスを持ったＬＳＩテスターにより検査を行うか、
またはＬＳＩテスターのピンエレクトロニクスが不足す
る場合は、図２及び図３に示すようにデバイスの全信号
をケーブルなどでパフォーマンスボードへ接続し、信号
選択を行い検査を実施している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】検査対象となるデバイ
スの信号数に対してＬＳＩテスター側のピンエレクトロ
ニクスが不足する場合において、従来は多出力端子ＩＣ
からプローブによりプローブカード上に接続された全て
の信号をサブコネクターなどを用いて図２及び図３に示
した方法によりパフォーマンスボードへ接続を行うた
め、プローブカードとパフォーマンスボード間のケーブ
ル本数が多く複雑となり断線なども発生し取り扱いが困
難となっている。また、ＩＣの試験においても、多出力
端子ＩＣの全出力端子にパフォーマンスボードと接続を
行う長いケーブルがあるめ、このケーブルによる容量が
ＩＣの試験自体へも悪影響を及ぼしている。
スの信号数に対してＬＳＩテスター側のピンエレクトロ
ニクスが不足する場合において、従来は多出力端子ＩＣ
からプローブによりプローブカード上に接続された全て
の信号をサブコネクターなどを用いて図２及び図３に示
した方法によりパフォーマンスボードへ接続を行うた
め、プローブカードとパフォーマンスボード間のケーブ
ル本数が多く複雑となり断線なども発生し取り扱いが困
難となっている。また、ＩＣの試験においても、多出力
端子ＩＣの全出力端子にパフォーマンスボードと接続を
行う長いケーブルがあるめ、このケーブルによる容量が
ＩＣの試験自体へも悪影響を及ぼしている。
【０００４】本発明は上記の問題を解消するためになさ
れたもので、プローブカードとパフォーマンスボード間
の接続ケーブル本数を削減しピンエレクトロニクスが不
足するＬＳＩテスターにおいて効率よく検査を行うこと
を可能とする。
れたもので、プローブカードとパフォーマンスボード間
の接続ケーブル本数を削減しピンエレクトロニクスが不
足するＬＳＩテスターにおいて効率よく検査を行うこと
を可能とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のプローブカード
による多ピンデバイスの検査装置は、ａ）プローブカー
ド上に出力された多ピンデバイスの信号を信号選択部を
通して、再度プローブカード上のダミー配線を通してパ
フォーマンスボードと接続することにより、プローブカ
ードとパフォーマンスボード間の接続ケーブル本数を減
少させることが可能となる特徴を持ち、ｂ）小ピンテス
ターで多ピンデバイスの検査を行うために、ダミー配線
を持ったプローブカードにより、このプローブカードの
近傍に信号選択を行う回路を有し、パフォーマンスボー
ド上にて多ピンデバイスからの出力信号選択を簡略化す
ることが可能となる特徴を有している。
による多ピンデバイスの検査装置は、ａ）プローブカー
ド上に出力された多ピンデバイスの信号を信号選択部を
通して、再度プローブカード上のダミー配線を通してパ
フォーマンスボードと接続することにより、プローブカ
ードとパフォーマンスボード間の接続ケーブル本数を減
少させることが可能となる特徴を持ち、ｂ）小ピンテス
ターで多ピンデバイスの検査を行うために、ダミー配線
を持ったプローブカードにより、このプローブカードの
近傍に信号選択を行う回路を有し、パフォーマンスボー
ド上にて多ピンデバイスからの出力信号選択を簡略化す
ることが可能となる特徴を有している。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１は本発明の検査装置の接続関
係図、図２及び図３は従来の検査装置の接続関係図であ
る。図１において、１の角型プローブカード上に多出力
端子ＩＣからプローブにより接続された全ての信号は、
角型プローブカード上に設置されたサブコネクターなど
から２の接続ケーブルにより３の信号選択部に入り、３
の信号選択部により選択された信号は再び２の接続ケー
ブルを経由して１の角型プローブカード上へ戻される。
この戻された信号は、多出力端子ＩＣの信号とは別の１
の角型プローブカード上に設置されたダミー配線を通り
４の角型プローブカードの本来のコネクターへ配線さ
れ、５の角型プローブカードの本来のコネクターとパフ
ォーマンスボードを接続するケーブルのみにより、６の
パフォーマンスボード、７のパフォーマンスボードとテ
ストヘッド間の接続を通り、８のテストヘッドへ伝えら
れ、９の小ピンテスターにより良品または不良品の判定
処理が行われる。図４は本発明の実施例である角型プロ
ーブカード内の信号の流れを表したもので、図５の従来
例における角型プローブカード内の信号の流れと比較し
た場合、３４のダミー配線を行うことにより角型プロー
ブカードとパフォーマンスボード間の接続ケーブル本数
を大幅に削減することが可能となる。これは、信号選択
部へ３３の接続ケーブルにて３２の信号が伝わり、信号
選択部で選択され、３３の接続ケーブルを再び通り３４
へ戻すことより実現させている。図５の従来例では、４
２の信号は４３の接続ケーブルへ伝えられた後は、この
接続ケーブルによりパフォーマンスボードなどへ接続さ
れるため角型プローブカードとパフォーマンスボード間
のケーブル本数が本発明に比べてはるかに多くなること
がわかる。また、図４の本発明を用いる事により信号選
択部を角型プローブカードの近傍に設置することが可能
となるため、多出力ＩＣに対する試験用ケーブルの影響
が減少できる上、パフォーマンスボード上の付加回路も
簡略化が可能となる。尚、本実施例では、角型プローブ
カードを用いて説明を行っているが、プローブカードの
形については任意の形のプローブカードに適用可能であ
る。
係図、図２及び図３は従来の検査装置の接続関係図であ
る。図１において、１の角型プローブカード上に多出力
端子ＩＣからプローブにより接続された全ての信号は、
角型プローブカード上に設置されたサブコネクターなど
から２の接続ケーブルにより３の信号選択部に入り、３
の信号選択部により選択された信号は再び２の接続ケー
ブルを経由して１の角型プローブカード上へ戻される。
この戻された信号は、多出力端子ＩＣの信号とは別の１
の角型プローブカード上に設置されたダミー配線を通り
４の角型プローブカードの本来のコネクターへ配線さ
れ、５の角型プローブカードの本来のコネクターとパフ
ォーマンスボードを接続するケーブルのみにより、６の
パフォーマンスボード、７のパフォーマンスボードとテ
ストヘッド間の接続を通り、８のテストヘッドへ伝えら
れ、９の小ピンテスターにより良品または不良品の判定
処理が行われる。図４は本発明の実施例である角型プロ
ーブカード内の信号の流れを表したもので、図５の従来
例における角型プローブカード内の信号の流れと比較し
た場合、３４のダミー配線を行うことにより角型プロー
ブカードとパフォーマンスボード間の接続ケーブル本数
を大幅に削減することが可能となる。これは、信号選択
部へ３３の接続ケーブルにて３２の信号が伝わり、信号
選択部で選択され、３３の接続ケーブルを再び通り３４
へ戻すことより実現させている。図５の従来例では、４
２の信号は４３の接続ケーブルへ伝えられた後は、この
接続ケーブルによりパフォーマンスボードなどへ接続さ
れるため角型プローブカードとパフォーマンスボード間
のケーブル本数が本発明に比べてはるかに多くなること
がわかる。また、図４の本発明を用いる事により信号選
択部を角型プローブカードの近傍に設置することが可能
となるため、多出力ＩＣに対する試験用ケーブルの影響
が減少できる上、パフォーマンスボード上の付加回路も
簡略化が可能となる。尚、本実施例では、角型プローブ
カードを用いて説明を行っているが、プローブカードの
形については任意の形のプローブカードに適用可能であ
る。
【０００７】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明を用いるこ
とにより、小ピンテスターにおいて多出力ＩＣを複雑且
つ長いケーブル接続を行わずに試験を実施することが可
能となる。また、プローブカードの近傍に設置した信号
選択部と組み合わせることによりパフォーマンスボード
上の付加回路も簡略することもが可能となる。
とにより、小ピンテスターにおいて多出力ＩＣを複雑且
つ長いケーブル接続を行わずに試験を実施することが可
能となる。また、プローブカードの近傍に設置した信号
選択部と組み合わせることによりパフォーマンスボード
上の付加回路も簡略することもが可能となる。
【図１】本発明の実施例における検査装置の接続関係
図。
図。
【図２】従来の検査装置Ａの接続関係図。
【図３】従来の検査装置Ｂの接続関係図。
【図４】本発明の実施例におけるプローブカード及びパ
フォーマンスボード間の信号の流れ図。
フォーマンスボード間の信号の流れ図。
【図５】従来のプローブカード及びパフォーマンスボー
ド間の信号の流れ図。
ド間の信号の流れ図。
１ 実施例における角型プローブカード ２ 実施例における信号選択部と角型プローブカード上
のサブコネクターなどとを接続するケーブル ３ 実施例における信号選択部 ４ 実施例における角型プローブカードの本来のコネク
ター ５ 実施例における角型プローブカードの本来のコネク
ターとパフォーマンスボードを接続するケーブル ６ パフォーマンスボード ７ パフォーマンスボードとテストヘッド間の接続 ８ テストヘッド ９ 小ピンテスター １０ 従来例における角型プローブカード １１ 従来例における信号選択部と角型プローブカード
のサブコネクターなどとを接続するケーブル １２ 従来例における信号選択部と角型プローブカード
のサブコネクターなどとを接続するケーブル １３ 従来例における角型プローブカードの本来のコネ
クター １４ 従来例における信号選択部 １５ 従来例における信号選択部とパフォーマンスボー
ドを接続するケーブル １６ 従来例における角型プローブカードの本来のコネ
クターとパフォーマンスボードを接続するケーブル １７ パフォーマンスボード １８ パフォーマンスボードとテストヘッド間の接続 １９ テストヘッド ２０ 小ピンテスター ２１ 従来例における角型プローブカード ２２ 従来例における角型プローブカードの本来のコネ
クター ２３ 従来例におけるパフォーマンスボードと角型プロ
ーブカードのサブコネクターなどとを接続するケーブル ２４ 従来例におけるパフォーマンスボードと角型プロ
ーブカードのサブコネクターなどとを接続するケーブル ２５ 従来例における角型プローブカードの本来のコネ
クターとパフォーマンスボードを接続するケーブル ２６ 従来例におけるパフォーマンスボード上の信号選
択部 ２７ パフォーマンスボード ２８ パフォーマンスボードとテストヘッド間の接続 ２９ テストヘッド ３０ 小ピンテスター ３１ 実施例における角型プローブカード ３２ 実施例における角型プローブカード上のサブコネ
クターなどにより信号選択部へ接続される信号 ３３ 実施例における信号選択部と角型プローブカード
を接続するためのケーブル ３４ 実施例における信号選択部から角型プローブカー
ド上に戻された信号及びこの信号に対するダミー配線 ３５ 実施例における角型プローブカードの本来のコネ
クター ３６ 実施例における角型プローブカードの本来のコネ
クターとパフォーマンスボードを接続するケーブル ３７ 実施例におけるその他の信号 ３８ 実施例における多出力端子ＩＣからプローブによ
り角型プローブカード基板上に接続された出力信号 ４１ 従来例における角型プローブカード ４２ 従来例における角型プローブカード上のサブコネ
クターなどにより信号選択部またはパフォーマンスボー
ドへ接続される信号 ４３ 従来例におけるサブコネクターなどから信号選択
部またはパフォーマンスなどとを接続するケーブル ４４ 従来例における角型プローブカードの本来のコネ
クター ４５ 従来例における角型プローブカードの本来のコネ
クターとパフォーマンスボードとを接続するケーブル ４６ 従来例におけるその他の信号 ４７ 従来例における多出力端子ＩＣからプローブによ
り角型プローブカード基板上に接続された出力信号
のサブコネクターなどとを接続するケーブル ３ 実施例における信号選択部 ４ 実施例における角型プローブカードの本来のコネク
ター ５ 実施例における角型プローブカードの本来のコネク
ターとパフォーマンスボードを接続するケーブル ６ パフォーマンスボード ７ パフォーマンスボードとテストヘッド間の接続 ８ テストヘッド ９ 小ピンテスター １０ 従来例における角型プローブカード １１ 従来例における信号選択部と角型プローブカード
のサブコネクターなどとを接続するケーブル １２ 従来例における信号選択部と角型プローブカード
のサブコネクターなどとを接続するケーブル １３ 従来例における角型プローブカードの本来のコネ
クター １４ 従来例における信号選択部 １５ 従来例における信号選択部とパフォーマンスボー
ドを接続するケーブル １６ 従来例における角型プローブカードの本来のコネ
クターとパフォーマンスボードを接続するケーブル １７ パフォーマンスボード １８ パフォーマンスボードとテストヘッド間の接続 １９ テストヘッド ２０ 小ピンテスター ２１ 従来例における角型プローブカード ２２ 従来例における角型プローブカードの本来のコネ
クター ２３ 従来例におけるパフォーマンスボードと角型プロ
ーブカードのサブコネクターなどとを接続するケーブル ２４ 従来例におけるパフォーマンスボードと角型プロ
ーブカードのサブコネクターなどとを接続するケーブル ２５ 従来例における角型プローブカードの本来のコネ
クターとパフォーマンスボードを接続するケーブル ２６ 従来例におけるパフォーマンスボード上の信号選
択部 ２７ パフォーマンスボード ２８ パフォーマンスボードとテストヘッド間の接続 ２９ テストヘッド ３０ 小ピンテスター ３１ 実施例における角型プローブカード ３２ 実施例における角型プローブカード上のサブコネ
クターなどにより信号選択部へ接続される信号 ３３ 実施例における信号選択部と角型プローブカード
を接続するためのケーブル ３４ 実施例における信号選択部から角型プローブカー
ド上に戻された信号及びこの信号に対するダミー配線 ３５ 実施例における角型プローブカードの本来のコネ
クター ３６ 実施例における角型プローブカードの本来のコネ
クターとパフォーマンスボードを接続するケーブル ３７ 実施例におけるその他の信号 ３８ 実施例における多出力端子ＩＣからプローブによ
り角型プローブカード基板上に接続された出力信号 ４１ 従来例における角型プローブカード ４２ 従来例における角型プローブカード上のサブコネ
クターなどにより信号選択部またはパフォーマンスボー
ドへ接続される信号 ４３ 従来例におけるサブコネクターなどから信号選択
部またはパフォーマンスなどとを接続するケーブル ４４ 従来例における角型プローブカードの本来のコネ
クター ４５ 従来例における角型プローブカードの本来のコネ
クターとパフォーマンスボードとを接続するケーブル ４６ 従来例におけるその他の信号 ４７ 従来例における多出力端子ＩＣからプローブによ
り角型プローブカード基板上に接続された出力信号
Claims (2)
- 【請求項１】多出力端子を持つＩＣ（以下、多ピンデバ
イスと称す）の検査に用いるプローブカードにおいて、
プローブカード上に出力された多ピンデバイスの信号を
信号選択部を通して、再度プローブカード上のプローブ
カードとパフォーマンスボード間の接続ケーブル本数を
少なくするための配線（以下、ダミー配線と称す）を通
してパフォーマンスボードと接続することにより、プロ
ーブカードとパフォーマンスボード間の接続ケーブル本
数を減少させることが出来る特徴を持つプローブカード
による多ピンデバイスの検査装置。 - 【請求項２】多ピンデバイスの検査を行うために十分な
ピンエレクトロニクスを保有しないＬＳＩテスター（以
下、小ピンテスターと称す）で多ピンデバイスの検査を
行うために、請求項１記載のプローブカードの近傍に信
号選択を行う回路を有し、パフォーマンスボード上にて
多ピンデバイスからの出力信号選択を簡略化することを
特徴とするプローブカードによる多ピンデバイスの検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5720498A JPH11260869A (ja) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | プローブカードによる多ピンデバイスの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5720498A JPH11260869A (ja) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | プローブカードによる多ピンデバイスの検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11260869A true JPH11260869A (ja) | 1999-09-24 |
Family
ID=13048981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5720498A Pending JPH11260869A (ja) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | プローブカードによる多ピンデバイスの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11260869A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002055145A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-02-20 | Agilent Technol Inc | マルチポート試験機能を持つ集積回路テスタおよび被験デバイスの試験方法 |
| KR20120061378A (ko) * | 2010-12-03 | 2012-06-13 | 삼성전자주식회사 | 테스터 및 그 테스터를 포함한 테스트 장치 |
-
1998
- 1998-03-09 JP JP5720498A patent/JPH11260869A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002055145A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-02-20 | Agilent Technol Inc | マルチポート試験機能を持つ集積回路テスタおよび被験デバイスの試験方法 |
| KR20120061378A (ko) * | 2010-12-03 | 2012-06-13 | 삼성전자주식회사 | 테스터 및 그 테스터를 포함한 테스트 장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5487074A (en) | Boundary scan testing using clocked signal | |
| JPH02171668A (ja) | 電子素子のテスト方法 | |
| KR930020167A (ko) | 입력/출력 접속 검사방법 및 그 장치 | |
| JPH10227830A (ja) | Ｉｃテスタ用テストボード | |
| KR100683041B1 (ko) | 다수의 테스트될 반도체 소자를 동시에 테스트하는 반도체소자 실장 테스트 장치 | |
| JPH11260869A (ja) | プローブカードによる多ピンデバイスの検査装置 | |
| JPH10150082A (ja) | 半導体試験装置 | |
| TWI783549B (zh) | 提高待測試電路板中腳位測試涵蓋率系統及其方法 | |
| JP3487810B2 (ja) | バウンダリスキャン回路およびその方法 | |
| KR100505661B1 (ko) | 반도체 테스트 장치 및 그 구동방법 | |
| JP2000040014A (ja) | Ｅｃｕ機能検査装置の評価システム | |
| JP2000206166A (ja) | Ｅｃｕ機能検査装置の評価システム | |
| KR930006962B1 (ko) | 반도체 시험방법 | |
| JP3178424B2 (ja) | 集積回路試験装置及び集積回路試験方法 | |
| JPS6159849A (ja) | 半導体試験装置 | |
| JP2008186829A (ja) | ウェハー検査用治工具及びその治工具を使用した測定方法 | |
| JPH0572296A (ja) | 半導体集積回路 | |
| JP4234826B2 (ja) | 半導体集積回路の評価方法 | |
| CN115480153A (zh) | 提高待测试电路板中脚位测试涵盖率系统及其方法 | |
| JPH11109000A (ja) | 半導体装置の接続試験用装置 | |
| JP2002022807A (ja) | 回路基板検査装置 | |
| JPH1183957A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
| JPS6235644A (ja) | 半導体装置 | |
| JP2001060653A (ja) | テスト対応型半導体集積回路及びそのテスト方法 | |
| JPH10275835A (ja) | ウエハ検査装置 |