JP2002055145A - マルチポート試験機能を持つ集積回路テスタおよび被験デバイスの試験方法 - Google Patents

マルチポート試験機能を持つ集積回路テスタおよび被験デバイスの試験方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 特に集積回路(IC)の全体コストにおける
試験コスト比の増大を抑制する改良された試験装置(A
TE)を提供する。 【解決手段】 分散した複数の端子別試験ユニット(7
00)を設けた端子別テスタアーキテクチャを持つ自動
試験装置(ATE)(200)であって、各端子別試験
ユニット(700i)が、被験デバイス(DUT)(6
00)のそれぞれのDUT端子(di)へと刺激応答信
号を発し、および/又は前記それぞれのDUT端子から
刺激応答信号を受信することにより、前記それぞれのD
UT端子を試験する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動試験装置を利
用した集積回路の試験に関する。
【0002】
【従来の技術】集積回路(IC)の試験は一般にその適
正な動作を保証するために実施される。これは特にIC
の開発段階および製造工程において必要なものである。
後者の場合、一般的にICの試験は最終用途に供される
前に実施される。試験の間、ICは被験デバイス(DU
T)として様々な種類の刺激信号にさらされる。その応
答は測定、処理され、そして通常は良品に期待される応
答と比較される。これらの処理は一般的にデバイス特定
型試験プログラムに準じて自動試験装置(ATE)によ
り実施される。
【0003】試験の間、その試験に関わる各DUT端子
(DUTpin)はATEの端子電子回路(pin e
lectronic)に接続される。ATEは大別する
と2つの種類に分類される。1つは集中型リソースを持
つものであり、もう1つは端子別アーキテクチャに基づ
く分散型リソースを持つものである。後者の場合、端子
別リソースが更に、特には刺激テストベクターのシーケ
ンスおよび印加時間の集中制御を行う中央リソースを有
する。端子別アーキテクチャは、一般的に妥当なコスト
で高性能、高スケラビリティを実現できるものである。
端子別アーキテクチャを持つATEの例として、アジレ
ント・テクノロジー社のAgilent83000およ
び93000系統の半導体試験装置があげられる。これ
らの装置の詳細は、例えばEP−A−859318、E
P−A−864977、EP−A−886214、EP
−A−882991、US−A−5,499,248、
US−A−5,453,995に開示されている。
【0004】半導体産業は、単一IC上の集積度を如何
に上げるかが常に問われる分野である。近年では、完全
なエンドユーザーシステムを構成する全ての機能を実質
的に包含する単一ICを設計することが可能となった。
このようなデバイスは、一般的にシステムオンチップ
(SOC)と呼ばれる。代表的なSOCは、一連のアナ
ログ、デジタル又はメモリDUTコアを集積したもの
で、これらは設計生産性を得る為に複数のデザインで利
用される。本明細書において使用した場合、「DUTコ
ア」という語は、DUTであるIC中の、入出力信号群
や信号タイミング条件、そして動作モデルにより特定さ
れるインターフェースによって特性付けられる、独立デ
バイス様の構成部品を一般的に指すものである。例えば
完成されたDUTコアをSOCへと集積化する等、SO
Cを階層的に設計する場合も増えている。
【0005】図1は内部および周辺DUTコアを含むS
OCを示す。この例においては、SOC10は、内部D
UTコア15としてランダムアクセスメモリ(RAM)
20、リードオンリーメモリ(ROM)30、マイクロ
プロセッサユニット(MPU)40、デジタル信号プロ
セッサ(DSP)50およびグラフィクプロセッサユニ
ット(GPU)60を含む。ここにあげたSOC10は
また、周辺DUTコアとしてローカルエリアネットワー
ク(LAN)モジュール70、フラットパネルインター
フェース80、音声ブロック90、ダイナミックランダ
ムアクセスメモリ(DRAM)100、汎用シリアルバ
ス(USB)110、高速シリアルインターフェース
(HSS)120およびスケラビリティバス130(例
えば、Advanced Graphics ATE−
port−AGP)を含む。図1に例示したSOC10
はパーソナルコンピュータ(PC)の全ての主要機能と
インターフェースを集積化したものであり、高集積型ノ
ートブックパソコンに適用することができる。
【0006】DUTは内容的に益々複雑化しているが、
一方でDUTインターフェースの帯域幅(信号端子数と
データ転送速度の積)はそれに対応するようには増えて
いない。DUTインターフェースとは、DUT周囲環境
との通信に利用されるDUTの全ての信号端子、特には
DUTを試験する為の端子を指す。試験刺激および応答
データはDUTインターフェースを介して流れる為、S
OCをテストする為の試験時間、よって試験コストは増
大してしまう。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、特に
集積回路(IC)の全体コストにおける試験コスト比の
増大を抑制する改良された試験装置(ATE)を提供す
るところにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】この目的は、独立請求項
に記載の手段により達成される。推奨される実施例は従
属請求項に記載されている。
【0009】本発明は、複数の独立した端子別試験ユニ
ットを有する端子別テスタアーキテクチャを持つ自動試
験装置(ATE)を利用する為、分散型の端子別試験ユ
ニットの各々が被験デバイス(DUT)の各DUT端子
をアクセスすることができ、更に各DUT端子からの刺
激応答信号を受信することができるようになっている。
各テストシーケンスにおいて、DUTは1つ以上のDU
T端子を通じてアクセスすることができる1つ以上の機
能ユニットを表す1つ以上のDUTコアへと定義され
る。ATEは1つ以上のATEポートをDUTの各DU
Tコアへと指定する。各ATEポートは、1つ以上の端
子別試験ユニットに対応しており、ATE中の独立した
試験ユニットとして作動する。
【0010】DUTの試験は、それぞれのDUTコアへ
と指定された各ATEポートを利用してそのDUTコア
(例えば機能ユニットへと接続する1つ以上のDUT端
子)を試験することにより実施することができる。AT
Eポートは、ATE中の独立した機能ユニットである
為、DUT中のアドレスされる全DUTコアの試験は、
逐次的に実施できるだけではなく(例えばDUTコアの
連続的試験)、複数のDUTコアを同時に試験するとい
ったように並列的に実施することも可能である。
【0011】本明細書において使用した場合、「テスト
シーケンス」という語は、DUTコアに対するATEポ
ートの指定に変化のない時間的単位を意味する。これは
特定の試験を実行している間はDUTコアへのATEポ
ートの指定を変えることができないという意味ではな
い。複数のDUTコアを連続的に試験する為に端子別試
験ユニットを時分割多重化したシステムを採用した場合
等、ATEポートが重なり合う場合もあり得ることは言
うまでもない。しかしながら、テストシーケンスの単一
時間枠の間、各ATEポートは明らかに1つ以上の特定
のDUTコアへと指定された状態にある。換言すると、
このような時間枠内において、ATEの各ATE端子
は、1つ以上のDUTコアを試験する為に1つの特定の
DUT端子を介して明確に指定されているのである。
【0012】本明細書において使用した場合、「ATE
端子」という語は個々の端子別試験ユニットの電気接触
を指すだけではなく、文脈によっては端子別試験ユニッ
ト自体を指す場合もある。従って本明細書において使用
される「DUT端子」という語もまた、DUTの電気接
触を指すだけではなく、文脈によってはDUT端子を介
してアクセス可能なそれぞれのDUT機能を指す場合も
ある。
【0013】DUTコアへのATEポートの指定の変更
は、例えばATE端子とDUT端子の物理接続を切り換
える(スイッチおよび/又はマルチプレクサを利用する
等)ことにより物理的に実施することもできるが、例え
ば適当なソフトウエアツールを利用することでATE端
子とDUT端子の物理的な切り換えを行うことなく仮想
的に実施できることは言うまでもない。物理的な指定変
更は、主にアナログDUT又はDUTコアを試験する場
合に適用される。一方、仮想的な指定変更は、主にデジ
タルDUT又はDUTコアを試験する場合に適用され
る。本発明は、これらの又は他の同様の概念の各々に対
しても、或いはこれらの概念の組み合わせに対しても適
用することができることは明らかである。
【0014】本発明によれば、ATEの端子別試験ユニ
ットを試験毎に1つのATEポートから他のポートへと
再設定することができる。あたかも1つのATEポート
に指定された一連のDUT端子がそれ自体で1つの装置
を構成しているかのように、各ATEポートに対してタ
イミングおよび刺激/応答パターンを定義し、個々にプ
ログラムすることができる。各ATEポートの試験条件
は、以下の1つ以上を指定するものであることが望まし
い。
【0015】・ATEポートに対する刺激/応答ベクタ
ーのサイクルタイム(期間)の指定。 ・各ATE端子に使用可能な波形群で表される端子別の
タイミング指定。各波形は時間中に指定されたインスタ
ンスにおいて生じる様々な種類の事象シーケンスを表
す。 ・パターンプログラムの指定。例えばATEポートのシ
ーケンサープログラム(テストベクターをループさせる
命令又はランダムロジックテストに代表的な条件分岐命
令)又はATEポートのアルゴリズムパターン発生(A
PG)プログラム(代表的にはメモリ試験用)。 ・ATEポートの各端子に対する端子別ベクターデータ
の指定。 ・ATEポートのアナログ端子に対するアナログ設定条
件の指定。
【0016】本発明によれば、更に複数のATEポート
で同時に実行される試験の全体的な試験条件を指定する
ことができ、これには以下の1つ以上が含まれることが
望ましい。
【0017】・定義されたテストシーケンスの間に同時
に有効化するATEポート群の決定。 ・1つ以上のATE端子に対するATEポート試験条件
の選択。例えば1つ以上のATE端子に対するATEポ
ートタイミング設定。 ・必要な場合、DUT端子とATE端子との間の依存性
を表わすグローバル試験条件の指定。例えばグローバル
DUT指定。 ・各ATEポートに対するATEポート別パターンプロ
グラムのシーケンスを定義するマルチポートパターンバ
ーストの決定。
【0018】本発明は、試験実行用の全体的な試験条件
に基づき、例えば、ハードウエア限界を超えないかどう
か等、各ATE端子に対する試験条件の一貫性を確認す
ることができる。更に、製造試験において最初のDUT
の試験を特定の試験設定を高速起動により実施する前
に、完成した試験設定をダウンロードしておくことが可
能である。
【0019】従って本発明によれば、試験時に同時起動
するように設定し得るATEポートの数に実質的な限界
が無く、1つの端子別試験ユニットが既に1つのATE
ポートを構成している。更に、従来の手段では共通して
(commonly)指定する端子別試験ユニットブロック(例え
ば64)を設けなければならなかったが、本発明によれ
ばATEポートに指定する端子別試験ユニット群の大き
さにも制約が無く、従って端子別試験ユニットを各々自
由にATEポートへと指定することができる。
【0020】従って本発明によれば、システムオンチッ
プ(SOC)中の独立的にアクセス可能な複数のDUT
コアの並列試験が可能となる。本発明は更に、同時に試
験されるATEポートとは無関係に、試験対象のDUT
コアのみに対して最適化されたATEポートベクター速
度およびシーケンサー/APGプログラムの設定を可能
としたことにより、使用可能なDUTインターフェース
帯域幅の利用状態を改善するものである。
【0021】本発明は、その全て又は1部を1つ以上の
好適なソフトウエアプログラムにより実現すること、或
いはそのようなプログラムによりサポートを得ることが
可能である。プログラムは何らかのデータ記憶担体に記
憶することができる、或いはそれにより提供されるもの
で、いずれかの好適なデータ処理装置内において、ある
いはそのようなデータ処理装置により実行可能なもので
ある。
【0022】本発明の他の目的およびそれに付随する利
点は、添付図を参照しつつ以下の詳細説明を読むことに
より明らかとなる。実質的に同様な、又は機能的に同等
の要素は同じ符号を付した。
【0023】
【発明の実施の形態】本発明は、マルチポート試験設定
を記述することができる以下の2種類の概念を提供する
ものである。
【0024】1.ATEポート別概念は、ATEポート
別の試験条件を記述することができるものである(例え
ば、DUT端子のサブセット自体が独立したDUTを構
成しているものであるかのように、DUT端子のサブセ
ットに接続するATE端子群に特定した試験条件を記述
する)。例えば以下を記述する。 a.ATEリソース(デジタル又はアナログ)をDUT
端子へと指定するATEポート自体の定義(以下の第一
章を参照); b.各ATEポートのタイミング条件(以下の第二章を
参照); c.各ATEポートの刺激および応答パターンプログラ
ム(以下の第三章を参照)。
【0025】2.ATEポートグローバル概念は、各A
TEポートの試験条件を、テストシーケンス中に有効な
マルチポート試験設定へと統合化することができるもの
である。例えば以下を記述する。 a.各ATEポートのタイミング条件を参照する指定ブ
ロック(以下の第二章を参照); b.各ATEポートのパターンプログラムを参照するパ
ターンバースト(以下の第三章を参照)。
【0026】ATEのアナログ試験リソースは通常、他
のリソースとは無関係に独立的にプログラミングされる
為、本願においてはこれらのリソースにおけるATEポ
ート別試験条件決定概念に関しては触れないものとす
る。
【0027】他のATEポート別概念は、例えば以下に
あげるATE端子サブセットの設定を結びつけることに
より試験全体の再利用を容易にする。 ‐ATEポート毎のI/Oおよび成端(termina
tion)電圧(Rambus ATEポートのも
の);又は ‐マルチプロセッサワークステーションと同じような並
列試験を実行可能とするATEポート別の試験手順(例
えば埋め込み型メモリDUTコアの冗長修復試験を実行
しつつ結果を事後処理することによりアナログキャプチ
ャー試験を実施する等。
【0028】以下の三章は上述した本発明に基づく概念
を詳細にわたって説明するものである。第四章は架空の
SOCデバイスに対してマルチポート試験を応用した例
を説明するものである。第五章は第四章で説明した架空
のマルチポート試験応用例に基づく実施の詳細を説明す
るものである。
【0029】第一章:ATEポート定義 図2には、複数の独立した周辺又は内部DUTコアを同
時に試験するように設定された複数のATEポートを有
するATE200が描かれている。この実施例において
は、DUT10は内部DUTコア15として、MPU4
0、DSP50およびRAM20(図1も参照)を含
む。DUT10はまた、周辺DUTコアとしてLAN7
0、DRAM100およびUSB110を更に含む。
【0030】DUT10を試験する為に、端子別テスタ
アーキテクチャを持つATEは複数の独立した端子別試
験ユニット(図2においては詳細を図示せず)を含み、
これら端子別試験ユニットの各々は刺激信号(stimulus
signal)をDUT10の特定の端子へと印加し、ま
た、そこから刺激応答を受信することができるようにな
っている。DUT10の内部DUTコア15(例えば、
符号40、50、20で示したユニット)を試験する場
合、ATE200はATEポート210を、内部DUT
コア40、50、20の機能を試験する独立した端子別
試験ユニットの特定のサブセットとして指定する。従っ
てATE200は更にUSB110を試験する為にはA
TEポート220、DRAM100を試験する為にはA
TEポート220、そしてLAN70を試験する為には
ATEポート230を提供するが、各々のATEポート
は独立した端子別試験ユニットの特定のサブセットを含
んでいる。
【0031】図2のクロック発生器250は、ある観点
から見ると、各端子別試験ユニットへとルーティングさ
れる中央デジタルクロック源を表すものである。しかし
別の観点から見ると、概念的には全ての端子別リソース
の中心となるリソースを指すものと見ることもできる。
このように、クロック発生器はマルチATEポート試験
を、中央リソースの一設定(例えば中央デジタルマスタ
ークロックの1期間)に基づいて有効化される条件の試
験のみに限定するものである。
【0032】図3は、DUT10の端子に対してATE
ポートを指定した状態のDUT10を図2とは異なる角
度から見た図である。この例においては、DUT10は
独立したDUT端子300A、300B・・・300R
を含み、DUT端子の各々は、独立した端子別試験ユニ
ットによるアクセスが可能な外部電気接点を構成してい
る。最初のテストシーケンスにおいては、DUT端子3
00A〜300EがATEポートAに指定され、DUT
端子300F〜300HがATEポートBに指定され、
そしてDUT端子300K〜300QがATEポートD
に指定される。次のテストシーケンスにおいて、DUT
ポート300B〜300HはATEポートA、Bではな
くATEポートCに指定される。ATEポートAおよび
Bは試験中、同時に利用することが可能であるが、AT
EポートCはATEポートAおよびBと同時に利用する
ことができない。
【0033】第二章:ATEポート別タイミングおよび
ATEポートグローバル指定ブロック 図4は、2つのATEポートAおよびBを利用した試験
の全体的なタイミング条件を描いた図である。この例に
おけるタイミング条件は以下のように指定されている。
【0034】a.ATEポートAには、ATEポート別
波形定義400Aおよび方程式ブロック(equation blo
ck)410A、ATEポートBには、ATEポート別波
形定義400Bおよび方程式ブロック410Bが設けら
れる。波形定義400(waveform definition)および
方程式ブロック410は、ATEポートA又はBのそれ
ぞれのATE端子が、小さな仮想デバイスの入出力信号
であるかのように指定される。これらのATEポート別
波形定義400および方程式ブロック410は、他のA
TEポート(ATEポートAおよびB以外)およびデバ
イス全体とは完全に無関係であり、従って他のマルチA
TEポート試験に、或いは同じDUT端子を持つ他のS
OCデバイスに対してでさえも再利用することができ
る。 b.指定ブロック420において、同時に起動するAT
Eポート別波形定義400および方程式ブロック410
が選択される。 c.指定ブロック420において、方程式ブロック41
0の外部変数(指定値)に対する特定ATEポート値が
定義される。 d.指定ブロック420において、複数のATEポート
別方程式ブロックに共通する外部変数(例えば「tpe
r=10」:tperはデバイスのATEポートグロー
バル作動期間であり、tsuはATEポートA特定の設
定時間、そしてthldはATEポートBに特定のホー
ルド時間を指す)に対するDUTグローバル値を定義す
る。
【0035】第三章:ATEポート別パターンプログラ
ムおよびATEポートグローバルマルチポートバースト 図5は3つのATEポートI〜IIIを使った試験のパ
ターン実行の一例を描いた図であり、3つのATEポー
トに対するATEポート別パターンプログラムの同時実
行がATEポートグローバルマルチポートバーストによ
り指定されている。
【0036】ATEポートパターンプログラムはランダ
ムロジック試験用のシーケンサープログラムおよびベク
ターデータか、或いはメモリDUTコア試験用のアルゴ
リズムパターン発生(APG)プログラムのいずれかで
ある。ATEポートパターンプログラムは、ATEポー
トの端子別試験ユニットに接続するDUT端子が小型仮
想デバイスの入出力信号であるかのように設定される。
これは他のATEポートパターンプログラムとは完全に
無関係であり、従って他のマルチATEポート試験に、
或いは同じDUTポートを有する他のSOCデバイスに
対してでさえも再利用することができる。図5の例にお
いては、7つの異なるATEポートパターンプログラム
A〜D、M、NおよびXがこの3つのATEポートI〜
IIIに指定されている。
【0037】マルチポートバーストとは、ATEポート
別パターンプログラムを全体的な試験パターン実行へと
組み込む為のATEポートグローバル概念である。マル
チポートバーストは以下を指定するものである。
【0038】a.パターン実行中に同時に有効化される
ATEポート群を表すATEポート実行コンテキスト。 b.各ATEポートに対するATEポート別パターンプ
ログラムのシーケンス。図5の例においては、ATEポ
ートIのシーケンスはATEポートパターンプログラム
Xのみである。ATEポートIIについてはATEポー
トパターンプログラムのシーケンスはA、B、A、C、
Dである。ATEポートIIIについては、ATEポー
トパターンプログラムシーケンスはM、Nとなってい
る。 c.ATEポート全体の実行を同期させる為のグローバ
ルシーケンス命令。これらの命令は、例えばDUTグロ
ーバルタイミング指定のようなグローバル試験条件を変
更する場合もある。 d.アイドリング時のATEポートの動作(behavio
r)。例えば、ベクターシーケンスの繰り返し又は一定
状態等。マルチポートバースト中に指定されていない場
合、アイドリング動作は設定ブロック中で選択された波
形定義に記述されているfill-waveformにより決定され
る。
【0039】独立したATEポート別パターンプログラ
ムの実行時間は様々である。従ってATEポートのアイ
ドル時間は同期命令が発生するまで、或いは全てのAT
Eポート別パターンプログラムが終了するまでである。
図5の例におけるATEポートIIIのアイドル時間
は、ATEポートパターンプログラムMが実行されてか
ら同期するまで、そしてATEポートパターンプログラ
ムNが実行されてからグローバルタイミング指定が変わ
るまでの時間である。ATEポートIについては、AT
EポートパターンプログラムXが実行されるまでがアイ
ドル時間である。ATEポートIIについては、アイド
ル時間は必要無い。
【0040】第四章:マルチポート手法による架空SO
Cデバイス試験 図6は本発明に基づくマルチポート手法を、DUT60
0であるSOCデバイス(例えば通信デバイス)に適用
した場合の詳細を説明するものである。DUT600の
マルチポート試験の実施については第五章で説明する。
DUT600は6個のDUTコアと23本のDUT端子
d1〜d23を含む。DUT600はDUTコアとして
埋め込み型プロセッサMPU、埋め込み型メモリRA
M、2つのシリアル入力DUTコア620A、620B
および2つのシリアル出力DUTコア630A、630
Bを有する。
【0041】内部16ビットバス610(例えば200
Mbit/秒で作動するもの)により、DUTコア間の
固定通信が可能である。バス−アービトレーション(bu
s-arbitration)論理回路BA手段により、同時に2対
のDUTコアがそれぞれ100Mbit/秒でデータを
流すことができ、それぞれの通信は10nsのタイムス
ライスで行われる。ここでは説明の便宜上、実際のデバ
イスに利用される、又は必要とされる様々なDUT端子
および内部信号、具体的には基本となる刻時機構等には
説明の便宜上、本明細書においては触れないものとす
る。
【0042】試験対応機能として、DUT600は以下
を含む。 ・DUT端子DMux(DUT端子d20)により制御
される、MPUの外部メモリバスD0〜D15(DUT
端子d4〜d19)を介しての内部バス610へのアク
セス。 ・DUT端子Tmode(DUT端子d21)により制
御されるMPUのスキャン試験モード。 ・内部バス610を介して制御され、DUT端子BCL
K(DUT端子d3)を介してクロッキングされる、R
AM用の内蔵型自己試験エンジンBIST。
【0043】DUT600の試験時間を短縮する為に、
3つのマルチATEポート試験を実施することができる
(例えばユーザーによる実施)。これらの試験はそれぞ
れ2つのDUTコアを同時にテストするものである。実
施の詳細を説明する前に、以下にこれら3つの試験のア
プリケーション志向的な説明を記す。
【0044】試験1 3つのテストシーケンスによりRAMとMPUを同時に
試験する。 a.BISTエンジンをBISTポート(DUT端子:
BCLK、D0〜D15、DMux)を介して設定す
る。 b.BISTクロッキングポート(DUT端子:BCL
K)を介してBISTを200MHzでクロックしつ
つ、同時にMPU試験ATEポート(DUT端子:I1
〜I8、O1〜O8、TMode)を介してより低速の
試験速度(例えば40MHz)でMPUを試験する。 c.BISTポート(DUT端子:BCLK、D0〜D
15、DMux)を介してBISTエンジンの試験特性
を読み取る。
【0045】試験2 シリアル入力DUTコア620Aおよびシリアル出力D
UTコア630Aを、2つの高速シリアルATEポート
(DUT端子:SI1およびSO1)およびデータAT
Eポート(DUT端子:D0〜D15、DMux)を介
して同時に試験する。高速シリアルATEポートは、こ
こでは800Mbit/秒にて作動するものとする。デ
ータATEポートは、SI1を介して受信されたデータ
の比較を行うと同時にSO1からシリアル出力する並列
データを供給する。これはデータATEポートを介して
ATEポート別パターンをタイムスライシングすること
により可能となる。各タイムスライスは、DUTコアへ
の特定のATEポート指定でのテストシーケンスであ
る。
【0046】試験3 上述した試験2に基づいてシリアル入力DUTコア62
0Bおよびシリアル出力DUTコア630Bが試験され
る。同じ試験設定をデータATEポートに適用すること
ができるが、ATEポート(DUT端子:SI1、SO
1)の試験設定はATEポートのデジタルATE端子
(DUT端子:SI2、SO2)に再現される。シリア
ルDUT端子の試験にアナログリソースを要する場合、
その同じアナログ試験リソースをDUT端子SI2およ
びSO2へとルーティングしてこの試験を行うこともで
きる。
【0047】第五章:マルチポート試験の実施 提案されるマルチポート概念の実施例について説明する
前に、マルチDUTポート試験例のATE設定を説明す
る。
【0048】図7は端子別アーキテクチャを持つATE
200とDUT600との間の接続例を示す図である。
DUT600のDUT端子d1〜d23の各々がATE
端子a1〜a23の各々へとそれぞれ接続している。A
TE端子a1〜a23は、各々ATE200の対応する
端子別試験ユニット700A〜700WをDUT600
へと接続する電気接点である。各端子別試験ユニット7
00は、主に中心クロックを供給する共通同期バス71
0を除いては独立的に作動することができるものであ
る。普遍的にATE端子aiはdut端子di(i=1、
2、・・・23)へと接続されるものと想定する。
【0049】制御ワークステーション720は、ATE
200の共用部品および端子別試験ユニット700をイ
ンターフェースして設定データのダウンロード又は結果
データのアップロードを行う。制御ワークステーション
720は試験開始の実行も行うが、しかし端子別試験ユ
ニット700が中央同期ユニット730の助けを得て制
御する試験実行処理には関わらない。
【0050】他の構成においては、高速シリアルDUT
端子diに刺激を供給する、又はそこからデータを取得
する為にATE200の共用アナログ試験リソースを利
用する場合もある。この場合、切り換えユニット(例え
ばATE200のリレー)を利用すればアナログリソー
スをそれぞれのDUT端子へと動的に指定することがで
きる。上述した所定試験2(第二章を参照)において
は、アナログ刺激ユニット(ASU)をDUT端子SI
1(図6)へ、そしてアナログキャプチャーユニット
(ACU)をDUT端子SO1へと接続することができ
る。これによりASUはATEポートSI1を構成し、
ACUはATEポートSO1を構成することになる。試
験2に関しては、これらをDUT端子SI2およびSO
2にそれぞれ接続することができ、従ってATEポート
SI2およびSO2を構成することになる。
【0051】図8はATE端子aiを持つデジタル端子
別試験ユニット700iの概略図である。本発明を説明
する上で必要な要素に限定して述べると、端子別試験ユ
ニット700iは以下の機構を含んでいる。
【0052】‐以下を格納するwワードの汎用メモリ8
00 ・タイミング条件セット(本例ではsセット) ・シーケンサ用プログラムメモリ(本例ではp命令)お
よびアルゴリズムパターンプログラム ・パターンプログラム用ベクターメモリ(本例ではvベ
クター) ・他の用途 ‐以下の2つの主要副部品を含む試験プロセッサ810 ・プログラム命令およびベクターデータを汎用メモリか
ら読み出すシーケンサおよびアルゴリズムパターン発生
器(APG)820 ・駆動および比較事象シーケンスを現在有効なタイミン
グ条件セットに準じて生成するフォーマッタおよびタイ
ミング発生器830 ‐信号をDUT600へと送り、そこから信号を受信す
る基本機能を持つ端子電子部品(pin electronics)8
40 ‐以下を含む端子別試験ユニット700iのインターフ
ェース ・例えば端子別試験ユニットのサブセット(例えば、A
TEポートを構成するサブセット)へのブロードキャス
トをサポートするアクセス制御論理回路850 ・試験プロセッサにより処理されるグローバル同期信号
セット ・主に制御ワークステーションが各端子別試験ユニット
700iの汎用メモリ800への、又はからの書き込み
又は読み出しを行う為に利用するグローバルバス
【0053】本発明は端子別試験ユニット700iをA
TEポートと呼ばれる共通にプログラミングされた試験
ユニットセットへと動的に組み込むものである。具体的
には、メモリ管理手段(例えば採用したソフトウエア)
は、ATEポート別に構築されたタイミング条件セッ
ト、プログラム命令、およびベクターメモリを割り当て
なければならない。
【0054】このマルチポート試験の実施例は、架空の
DUT600に対して3つのマルチポート試験(第四章
の試験1〜3)がどのように実行されるかを説明するこ
とでより明確になる。
【0055】マルチポート試験を実施する前に、試験プ
ログラム開発を通じて使用される試験条件を例えば以下
のように指定しなければならない。
【0056】a.どの端子別試験ユニット700iを全
体試験用とするか、およびこれらをどのようにDUT6
00へと接続するか:端子別試験ユニット700iのA
TE端子にDUTグローバル名が定義される。これらの
名前については後にATEポートローカル端子名を説明
する際に触れる。 b.試験中、アイドリング状態にある端子別試験ユニッ
ト700iを、他の同時に有効化されているATEポー
トの試験結果に影響を与えることなく、どのように動作
させるか(例えば静的信号を送る等)。
【0057】試験1:RAMおよびMPUの同時試験 以下はプログラミング手順および採用した概念がどのよ
うにシステムに具現化されるかを説明するものである。
【0058】a.試験に使用するATEポート(図6参
照)の定義 ‐BIST_PORTはDUT端子BCLK、D0〜D
15およびDMuxを指す。試験リソースを一意的に識
別する為には、このATEポートに対応するDUT端子
名の上述したグローバル端子名に対するマッピングが例
えば以下のように定義されなければならない。 ・BLCKを、ATE端子a3を持つ端子別試験ユニッ
ト700Cのエイリアスとする。 ・D0〜D15を、ATE端子a4〜a19を持つ端子
別試験ユニット700D〜700Sのエイリアスとす
る。 ・DMuxを、ATE端子a20を持つ端子別試験ユニ
ット700Tのエイリアスとする。 ‐BIST_CLK_PORTはDUT端子BCLKを
指す。 ・BCLKを、ATE端子a3を持つ端子別試験ユニッ
ト700Cのエイリアスとする。 ‐MPU_TEST_PORTはDUT端子I1〜I
8、O1〜O8、TModeを指す。 ・I1〜I8を、ATE端子a4〜a11を持つ端子別
試験ユニット700D〜700Kのエイリアスとする。 ・O1〜O8を、ATE端子a12〜a19を持つ端子
別試験ユニット700L〜700Sのエイリアスとす
る。 ・TModeを、ATE端子a20を持つ端子別試験ユ
ニット700Tのエイリアスとする。
【0059】本発明においてはATEポート定義および
適正なデータ構造でマッピングした名前を記憶する他に
も、端子別試験ユニット700iのアクセス制御論理回
路850の設定が、データ記憶および結果検索をブロー
ドキャストで実行できるように実行される。
【0060】b.波形表(waveform table)および方程
式セット(equation set)が各ATEポートについて定
義されなければならない。(第二章を参照) ‐BIST_PORTタイミング:周波数40MHz ‐BIST_CLK_PORTタイミング:周波数20
0MHz ‐MPU_TEST_PORTタイミング:周波数40
MHz
【0061】DUT端子のタイミング条件は、それが異
なるATEポート(例えばATE端子BCLK)に割り
当てられた場合でも変わることはない為、単一の波形表
および/又は方程式セットを複数のATEポートのAT
E端子全ての上位セットに指定することができる場合も
ある。例えば、MPU_TEST_PORTおよびBI
ST_PORTはタイミング周波数40MHzの共通の
波形表および方程式セットを共用することができる等で
ある。
【0062】c.以前に定義された波形表および方程式
セット(第二章参照)を参照することにより、同時に有
効化されるATEポートセットに対して試験の全体的な
タイミング条件指定ブロックが記述される。
【0063】本発明は、指定ブロックの各々についてタ
イミングが実現可能であるかどうかを検証する。例えば
2つの有効ATEポートが同じATE端子を指していな
いか、或いはATEポート別期間を中央クロックに基づ
いて実現できるかどうか等を検証する。
【0064】事前設定式のブロードキャストを採用する
ことで、本発明は効率的に各ATEポートのタイミング
定義をダウンロードすることができる。従って、1つの
ATEポートの端子は指定ブロックの同じタイミング条
件セットを共用しなければならない。これを行うにはメ
モリの浪費を防ぐ為にタイミング条件セットのメモリ管
理を効果的に行わなければならない。
【0065】図9は、以下を保証する為にメモリ管理ソ
フトがATE端子別タイミング条件セットをどのように
使用するかを説明する図である。 ‐1つのATEポート用に同時に有効化されなければな
らないATE端子別タイミング条件セットが同じ記憶場
所を使用しており、ATEポートのタイミング条件セッ
トの変更および有効化を高速で実施することができる。 ‐できれば、未使用の記憶場所が後にダウンロードされ
るタイミング条件セットにより埋められること。例え
ば、ATEポートCの最後の設定ブロック(試験6)の
タイミング条件セットで空の地点を埋める等。
【0066】d.ATEポート別パターンプログラムが
試験中の各ステップについて作成される(第三章に記載
の通り)。
【0067】e.マルチポートバーストが試験中の各ス
テップについて定義される(第三章に記載の通り)。 ‐BISTエンジンを設定する為の、ATEポートBI
ST_PORTに対する単一パターンプログラムによる
バースト。 ‐I1〜I8およびO1〜O8を介してアクセス可能な
8スキャンチェーンによるMPU試験(40MHz)の
間に行われる、BISTエンジンをクロック(200M
Hz)する為のATEポートBIST_CLK_POR
TおよびMPU_TEST_PORTのマルチポートバ
ースト。RAMDUTコアへの充分なアクセスが得られ
ることを前提とした場合、APGパターンプログラムを
MPU試験と同時に起動してビットマップを生成するこ
とができる。 ‐結果特性を読み出す為の、ATEポートBIST_P
ORTに対する単一パターンプログラムによるバース
ト。
【0068】タイミング条件セットに関しては、ソフト
ウエアメモリ管理機構は以下を保証するATE端子別プ
ログラムメモリ800およびベクターメモリを利用す
る。 ‐1つのATEポートに対して同時に有効化されなけれ
ばならないATE端子別パターンプログラムが同じ記憶
場所を使用しており、これによりATE端子のパターン
プログラムの変更および有効化が高速で実施できるこ
と。 ‐できれば、未使用の記憶場所が後にダウンロードされ
るパターンプログラムにより埋められること。
【0069】f.第一の実行可能サブテストの設定(B
ISTエンジン設定)を行う為に適正な設定ブロックお
よびパターンプログラムバーストが選択される。他の2
つのサブテストも同様に設定され、これらの独立したテ
ストシーケンスが単一の試験へと統合化される。
【0070】g.試験結果のログ記録および試験フロー
の進行が、そのテストの合格判定、或いは一方又は両方
のDUTコア(MPU又はRAM)の不良判定のいずれ
に基づいて行われるべきかが指定される。
【0071】試験2:SI1およびSO1の同時試験 最初は試験1と同じステップが実行される。 a.試験で使用するATEポートの定義 ‐DATA_PORTはATE端子D0〜D15、DM
uxを指す。 ‐CORE_PORTはATE端子D0〜D15を指
す。 ‐SI1_PORTはATE端子SI1を指す。 ‐SI2_PORTはATE端子SI2を指す(試験3
用)。 ‐SO1_PORTはATE端子SO1を指す。 ‐SO2_PORTはATE端子SO2を指す(試験3
用)。
【0072】b.ATEポート別波形表および方程式セ
ットを指定 ‐DATA_PORTタイミング周波数200MHz:
DATA_PORT_TIM ‐SI1_PORTタイミング周波数800MHz:S
I_PORT_TIM ‐SO1_PORTタイミング周波数800MHz:S
O_PORT_TIM
【0073】c.3つのATEポートのATEポート別
タイミング条件を統合した指定ブロックの定義
【0074】d.ATEポート別パターンプログラムの
作成。単一ATEポートDATA_PORTを介して2
つのDUTコアSI1およびSO1がアクセスされる
が、これにはこれらのDUTコアへのデータをインター
リーブしなければならない。
【0075】このデータのインターリーブは、DATA
_PORT用のATEポート別パターンプログラムの生
成時に実施することができる。本発明では、かわりにD
UTコアアクセスプロトコルを柔軟に定義しつつ、DU
Tコアデータを個々に維持することも可能である。ここ
では以下が提供される。 ‐指定ATEポート(コアアクセスATEポート)に対
する各DUTコアのATEパターンプログラム。DUT
コアデータストリームを生成するこの種のパターンを
「DUTコアパターン」と呼ぶ。本明細書の例において
は、2つのDUTコアパターンを指定しなければならな
い。いずれもDUTコアアクセスATEポートCORE
_PORTを介した、DUTコアへのインターフェース
を提供するものである。 ‐以下の特徴を持つ主要パターンプログラム ・DUTコアアクセスに必要な全てのATE端子の上位
セットであるATEポートに対して定義されている。 ・統合化されなければならないDUTコアパターンを識
別する。 ・DUTコアデータとは無関係なDUTコアアクセスプ
ロトコルパターンを生成する。 ・DUTコアパターンプログラムにより生成されたDU
TコアデータをDUTコアアクセスプロトコルに準じて
選択する(DUTコアパターンにより指定されたDUT
コアアクセスATEポートについて)。
【0076】図10は2つのDUTコアへの同時DUT
コアアクセスを実行する主要パターンの一例を示した図
である。ベクター0においては、DUTコアパターンS
I1_DataおよびSO1_Dataが参照され、こ
れによりベクター1および3において、システムが、D
UTコアアクセスATEポート(表においては「p」で
表示)でそれぞれのDUTコアへのDUTコアデータを
生成するようにATEを動的に再設定することができる
ようになる。この例において、DUTコアアクセスAT
EポートCORE_PORTはDUTコアパターンSI
1_DataおよびSO1_Dataの両方に使用され
る。
【0077】本発明のこの部分における利点として以下
をあげることができる。 ‐ATEポートの設定を、1つのサブテストから次のサ
ブテストへと切り換えることができるだけではなく、パ
ターンプログラム中においても切り換えることができ
る。従ってテストシーケンスを単一の試験期間から完全
な試験へと拡張することができる。 ‐DUTコアパターンがDUTコアアクセスプロトコル
とは無関係に維持される。よって以下の対応が可能であ
る。 ・DUTコアパターンの再利用 ・使用可能帯域の利用効率を最大化するパターンインタ
ーリーブ、そして最終的には複数のDUTコアの並列試
験による試験実行時間の低減
【0078】e.試験用マルチポートバーストの定義
(第三章);3つのATEポートが同時に有効化される
(ポート実行コンテキスト)。 ‐DUTコアパターンを参照する主要パターンプログラ
ムを使用するDATA_PORT;ATEポートパター
ンプログラムをDATA_PORT_PATとして表
す。 ‐シリアルデータストリームをシリアル入力DUTコア
の外部DUT端子へと送るSI1_ポート;ATEポー
トパターンプログラムをSI_PORT_PATとして
表す。 ‐シリアル出力DUTコアの外部DUT端子からのシリ
アルデータストリームを期待データと比較するSO1_
PORT;ATEポートパターンプログラムをSO_P
ORT_PATとして表す。
【0079】f.適正な指定ブロックおよびマルチポー
トバーストを選択することによる試験設定(第三章に説
明)
【0080】g.試験結果のログ記録および試験フロー
の進行が、そのテストの合格判定、或いは一方又は両方
のDUTコア(MPU又はRAM)の不良判定のいずれ
に基づいて行われるべきかが指定される。
【0081】試験3:SI1およびSO1の同時試験 この試験は、ATEポートSI1_PORTの試験設定
をSI2_PORTへ、そしてATEポートSO1_P
ORTの試験設定をSO2_PORTへと複写すること
により試験2の通りに実行することができる。DUTコ
アSI2およびSO2がDUTコアSI1およびSO1
と同じ動作をするものと前提した場合、DUTコアパタ
ーンを参照する主要パターンプログラムを変更せずに再
利用することができる。
【0082】本発明によれば、単純な複写処理だけでは
なく、複数のATEポートで共用するATEポート別タ
イミング又はパターンプログラムを指定することができ
る。
【0083】この架空のDUTの場合、ATEポートS
I1_PORTおよびSI2_PORT中のATE端子
間のマッピング、およびATEポートSO1_PORT
およびSO2_PORT中のATE端子間のマッピング
が定義される。このエイリアスマッピングに基づいて以
下のように指定することができる。 ‐SI_PORT_TIMおよびSI_PORT_PA
TをSI1_PORTおよびSI2_PORTに適用 ‐SO_PORT_TIMおよびSO_PORT_PA
TをSO1_PORTおよびSO2_PORTに適用
【0084】マルチポートバーストのタイミング指定ブ
ロックおよびATEポート実行コンテキスト定義時のA
TEポートSI2_PORTおよびSO2_PORTの
選択を除けば、試験3の設定は試験2と同じである。
【0085】単一の試験設定要素を複数のATEポート
に適用することに対応した本発明においては、以下の利
益が提供される。 ‐生成すべき試験データ量(例:ユーザーが生成する試
験データ)を低減することができる。 ‐複数のATEポートについて同一でなければならない
試験設定要素に、強制的に一貫性を持たせることができ
る。 ‐共用される試験設定要素の単一コピーを記憶すること
により、データ記憶を最適化することができる。 ‐試験設定を、この設定を共用するATE端子へとブロ
ードキャストすることにより、データ転送を最適化する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】内部および周辺DUTコアを含む、従来から周
知のSOC例を示す図である。
【図2】複数の独立した周辺又は内部DUTコアを同時
に試験するように構成された複数のATEポートを有す
る、本発明に基づくATE200を描いた図である。
【図3】DUT10を描いた図であり、DUT端子への
ATEポート指定例を示す図である。
【図4】2つのATEポートAおよびBを利用した試験
の全体的なタイミング条件を示す図である。
【図5】3つのATEポートI〜IIIを利用した試験
のパターン実行例を示す図である。
【図6】DUT600であるSOCデバイスの試験に適
用した場合の本発明に基づくマルチポート手法を説明す
る図である。
【図7】端子別アーキテクチャを持つATE200とD
UT600との間の接続例を描いた図である。
【図8】デジタル端子別試験ユニット700iの概略図
である。
【図9】メモリ管理ソフトウエアがどのようにATE端
子別タイミング条件セットを利用するかを説明する図で
ある。
【図10】ATEポート設定を1つのテストシーケンス
から別のテストシーケンスへと切り換えることにより2
つのDUTコアへの同時DUTコアアクセスを実現する
主要パターンの一例を示す図である。
【符号の説明】
200 自動試験装置(ATE) 210〜240 ATEポート 600 被験デバイス(DUT) 700 端子別試験ユニット
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01R 31/28 P Y (71)出願人 399117121 395 Page Mill Road P alo Alto,California U.S.A. Fターム(参考) 2G132 AA00 AB01 AE23 AG02 AG08 AL07 AL26 5B048 AA20 DD01 DD05 DD07

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 分散した複数の端子別試験ユニットを設
    けた端子別テスタアーキテクチャを持つ自動試験装置で
    あって、各端子別試験ユニットが、被験デバイスのそれ
    ぞれの被験デバイス端子へと刺激応答信号を発し、およ
    び/又は前記それぞれの被験デバイス端子から刺激応答
    信号を受信することにより、前記それぞれの被験デバイ
    ス端子を試験するように適合しており、前記被験デバイ
    スが、テストシーケンスの間、前記被験デバイスの1つ
    以上の機能ユニットを表し、前記被験デバイスの1つ以
    上の被験デバイス端子を含む1つ以上の被験デバイスコ
    アへと定義されることを特徴とし、 更にテストシーケンスにおいて1つ以上の前記端子別試
    験ユニットを1つ以上の自動試験装置ポートへと指定す
    る手段を含み、これにより前記自動試験装置ポートの各
    々が、1つ以上の端子別試験ユニットを含み、また、前
    記テストシーケンス中に1つ以上の前記被験デバイスコ
    アを試験する、独立した試験機能ユニットを構成するこ
    とを特徴とする自動試験装置。
  2. 【請求項2】 前記指定する手段が、 前記1つ以上の端子別試験ユニットと、前記1つ以上の
    被験デバイス端子との間の接続を切り換える為の切り換
    え手段と、 前記テストシーケンス中において、前記1つ以上の自動
    試験装置ポートへの前記1つ以上の端子別試験ユニット
    の指定に基づき、前記切り換え手段の切り換え動作を制
    御する制御手段と、 を含むことを特徴とする請求項1に記載の自動試験装
    置。
  3. 【請求項3】 前記自動試験装置ポートの1つが、その
    1つの自動試験装置ポートに指定された被験デバイス端
    子群自体によりあたかも単一のデバイスが構成されてい
    るかのように独立的にタイミングおよび/又は刺激・応
    答パターンを定義および/又はプログラミングする手段
    を備えていることを特徴とする請求項1に記載の自動試
    験装置。
  4. 【請求項4】 前記プログラミング手段が、 前記1つの自動試験装置ポートに対する刺激・応答ベク
    ターのサイクルタイムを指定する手段、および/又は前
    記1つの自動試験装置ポートの各自動試験装置端子に対
    する端子別タイミングを、使用可能な波形群として指定
    する手段であって、前記波形の各々が、時間中の所定イ
    ンスタンスに生じる様々な種類の事象シーケンスを表し
    ていることを特徴とする手段、および/又は前記1つの
    自動試験装置ポートに対してパターンプログラムを指定
    する手段、および/又は前記1つの自動試験装置ポート
    の各端子に対して端子別ベクターデータを指定する手
    段、および/又は前記1つの自動試験装置ポートのアナ
    ログ端子に対するアナログ設定条件を指定する手段、 を含んでいることを特徴とする請求項3に記載の自動試
    験装置。
  5. 【請求項5】 前記プログラミング手段が、 前記1つ以上の被験デバイスコアをアクセスするために
    利用される前記自動試験装置ポートの一部を構成する共
    用端子別試験ユニット群を通じて前記1つ以上の被験デ
    バイスコアに対するアクセスプロトコルを実現する主要
    パターンプログラムと、 前記1つ以上の被験デバイスコアの各被験デバイスコア
    に対する刺激・応答パターンを実現する為の個別パター
    ンプログラムと、 を含むことを特徴とする請求項3又は4に記載の自動試
    験装置。
  6. 【請求項6】 前記主要パターンプログラムが、 前記1つの独立した自動試験装置の前記端子別試験ユニ
    ットを有効化し、アクセスすべき前記1つ以上の被験デ
    バイスコアをアクセスする為に前記1つの独立した自動
    試験装置の設定を行う手段、および/又は前記アクセス
    すべき1つ以上の被験デバイスコアを試験する為に1テ
    ストシーケンス中にアクセスされる前記1つ以上の被験
    デバイスコアのパターンプログラムにより生成されたパ
    ターンデータを選択する手段、 を含むことを特徴とする請求項5に記載の自動試験装
    置。
  7. 【請求項7】 前記プログラミング手段が、 複数の自動試験装置ポートの前記端子別試験ユニット間
    にエイリアスマッピングを指定する指定手段を含み、好
    ましくは、1つの独立した自動試験装置ポートのタイミ
    ング情報、パターンプログラム又は他の試験条件群が、
    前記エイリアスマッピングが定義された他の複数の自動
    試験装置ポートに適用されるように指定することを特徴
    する請求項3に記載の自動試験装置。
  8. 【請求項8】 複数の自動試験装置ポートに同時に実施
    される試験の全体的な試験条件を指定する指定手段を更
    に含む請求項1に記載の自動試験装置。
  9. 【請求項9】 前記指定手段が、 定義されたテストシーケンス中に同時に有効化される自
    動試験装置ポート群を決定する手段、および/又は1つ
    以上の自動試験装置端子に対して自動試験装置ポート試
    験条件、好ましくは自動試験装置ポートタイミング設定
    を選択する為の手段、および/又は前記被験デバイスお
    よび前記自動試験装置の端子間の依存関係を表すための
    グローバル試験条件、好ましくはグローバル被験デバイ
    ス指定を指定する手段、および/又はマルチポートバタ
    ーンバーストを各自動試験装置ポート用の自動試験装置
    ポート別パターンプログラムのシーケンスとして決定す
    る手段、を含むことを特徴とする請求項8に記載の自動
    試験装置。
  10. 【請求項10】 複数の独立した分散型端子別試験ユニ
    ットを設けた端子別テスタアーキテクチャを持つ自動試
    験装置を利用して被験デバイスを試験する為の方法であ
    って、前記端子別試験ユニットの各々が、前記被験デバ
    イスのそれぞれの被験デバイス端子に対して刺激応答信
    号を発し、および/又は刺激応答信号を前記それぞれの
    被験デバイス端子から受信することにより、前記被験デ
    バイス端子を試験するように適合しており、前記方法
    が; (a)テストシーケンス用に前記被験デバイスを、前記
    被験デバイスの1つ以上の機能ブロックを表し、前記被
    験デバイスの1つ以上の被験デバイス端子を含む1つ以
    上の被験デバイスコアへと定義するステップと、 (b)前記テストシーケンス中に、前記1つ以上の端子
    別試験ユニットを1つ以上の自動試験装置ポートへと指
    定することで、前記自動試験装置ポートの各々を、前記
    1つ以上の端子別試験ユニットを含み、前記テストシー
    ケンス中に前記1つ以上の被験デバイスコアを試験する
    為の独立した試験機能ユニットとして構成するステップ
    と、 を含む方法。
  11. 【請求項11】 (c)前記1つ以上の自動試験装置ポ
    ートに対するタイミングおよび/又は刺激・応答パター
    ンを、あたかも前記自動試験装置ポートの1つに指定さ
    れた被験デバイス端子群自体がデバイスを構成するもの
    であるかのように、定義および/又はプログラミングす
    るステップを更に含む請求項10に記載の方法。
  12. 【請求項12】 前記ステップ(c)が、 (c1)前記1つの自動試験装置ポートに対して刺激・
    応答ベクターのサイクルタイムを指定するステップ、 (c2)前記1つの自動試験装置ポートの前記端子別試
    験ユニットの各々に対して端子別タイミングを使用可能
    な波形群として指定するステップであって、前記波形の
    各々が、時間における所定インスタンスで生じる様々な
    種類の事象シーケンスを表すことを特徴とするステッ
    プ、 (c3)前記1つの自動試験装置ポートに対するパター
    ンプログラム、好ましくは前記1つの自動試験装置ポー
    トの端子別試験ユニット全てに対する共通シーケンス命
    令を指定するステップ、 (c4)前記1つの自動試験装置ポートの前記端子別試
    験ユニットの各々に対する端子別ベクターデータを指定
    するステップ、および、 (c5)前記1つの自動試験装置ポートのアナログ端子
    に対するアナログ設定条件を指定するステップ、 の内の1つ以上のステップを含むことを特徴とする請求
    項11に記載の方法。
  13. 【請求項13】 (d)複数の自動試験装置ポートで同
    時に実施される試験の全体的な試験条件を指定するステ
    ップを更に含む請求項10から12のうちのいずれかに
    記載の方法。
  14. 【請求項14】 前記ステップ(d)が、 (d1)定義されたテストシーケンスの間、同時に有効
    化される自動試験装置ポート群を決定するステップ、 (d2)1つ以上の自動試験装置端子に対し、自動試験
    装置ポート試験条件、好ましくは自動試験装置ポートタ
    イミング設定を選択するステップ、 (d3)前記被験デバイスおよび前記自動試験装置の端
    子間の依存関係を表すグローバル試験条件、好ましくは
    グローバル被験デバイス設定を指定するステップ、およ
    び、 (d4)マルチポートパターンバーストを、各自動試験
    装置ポート用の自動試験装置ポート別パターンプログラ
    ムのシーケンスとして決定するステップ、 の内の1つ以上のステップを含むことを特徴とする請求
    項13に記載の方法。
  15. 【請求項15】 コンピュータ等のデータ処理システム
    上で起動した場合、請求項10に記載の方法を実行す
    る、好ましくはデータ記憶担体上に記憶されたソフトウ
    エアプログラム又はソフトウエア製品。
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