JPH04248477A - プローブ駆動装置 - Google Patents
プローブ駆動装置Info
- Publication number
- JPH04248477A JPH04248477A JP3013371A JP1337191A JPH04248477A JP H04248477 A JPH04248477 A JP H04248477A JP 3013371 A JP3013371 A JP 3013371A JP 1337191 A JP1337191 A JP 1337191A JP H04248477 A JPH04248477 A JP H04248477A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- probe
- section
- sequence control
- movement amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Mechanical Control Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プローブ駆動装置に関
し、特に、プリント配線板の導通絶縁検査において使用
されるフライングプローブ装置において使用されるプロ
ーブ駆動装置に関する。
し、特に、プリント配線板の導通絶縁検査において使用
されるフライングプローブ装置において使用されるプロ
ーブ駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年の電子機器の高性能化、小型化、多
機能化の進展に伴い、プリント配線板の高密度化、高精
度化が著しい。このため、プリント配線板の品質を保証
するために、プリント配線板における微細回路、スルー
ホールの導通、絶縁を検査し、確実にその欠陥を検出す
ることが大きな課題となってきている。一般に、プリン
ト配線板の検査では多数のプローブピンを同時に被検査
プリント配線板に接触させ、プローブピン相互の導通絶
縁を測定するユニバーサル検査方式が使われている。こ
の場合多数のプローブピンは２．５４ｍｍなどの定ピッ
チの間隔を持った格子の上に配置されているが、前述し
たプリント配線板の高密度化、高精度化ため、ユニバー
サル方式では検査出来ないプリント配線板が出現してき
ている。従って個別のプリント配線板毎に各々の回路パ
ターンの検査ポイントにプローブピンが接触できるよう
にプローブピンを配置した検査冶具が必要になる。しか
し、プリント配線板の種類は増えるばかりであり、ユニ
バーサル方式における検査冶具の費用、さらにはその準
備に要する時間はますます増大しており、その解決策が
望まれている。
機能化の進展に伴い、プリント配線板の高密度化、高精
度化が著しい。このため、プリント配線板の品質を保証
するために、プリント配線板における微細回路、スルー
ホールの導通、絶縁を検査し、確実にその欠陥を検出す
ることが大きな課題となってきている。一般に、プリン
ト配線板の検査では多数のプローブピンを同時に被検査
プリント配線板に接触させ、プローブピン相互の導通絶
縁を測定するユニバーサル検査方式が使われている。こ
の場合多数のプローブピンは２．５４ｍｍなどの定ピッ
チの間隔を持った格子の上に配置されているが、前述し
たプリント配線板の高密度化、高精度化ため、ユニバー
サル方式では検査出来ないプリント配線板が出現してき
ている。従って個別のプリント配線板毎に各々の回路パ
ターンの検査ポイントにプローブピンが接触できるよう
にプローブピンを配置した検査冶具が必要になる。しか
し、プリント配線板の種類は増えるばかりであり、ユニ
バーサル方式における検査冶具の費用、さらにはその準
備に要する時間はますます増大しており、その解決策が
望まれている。
【０００３】前述の状況に対応するためにフライングプ
ローブ方式と呼ばれる布線検査検査方式が注目されてい
る。この方式は被検査プリント配線板の上にＸ方向及び
Ｙ方向、さらにはＺ軸方向にに移動できるプローブを配
置し、プリント配線板毎の各々の回路パターンにプロー
ブを接触させ、回路パターン毎に導通、絶縁を検査する
ものである。プリント配線板毎に治具の準備をする必要
がなく、格子以外へのプロービングも可能となるなど優
れた特徴を持つ。しかしながらユニバーサル方式と比較
して検査ポイント毎にプローブの移動を必要とするため
、検査時間がかかるという本質的な欠点がある。よって
、フライングプローブ機の特徴を生かし、欠点を補うた
めには、安定した高速なプローブ駆動が必要である。
ローブ方式と呼ばれる布線検査検査方式が注目されてい
る。この方式は被検査プリント配線板の上にＸ方向及び
Ｙ方向、さらにはＺ軸方向にに移動できるプローブを配
置し、プリント配線板毎の各々の回路パターンにプロー
ブを接触させ、回路パターン毎に導通、絶縁を検査する
ものである。プリント配線板毎に治具の準備をする必要
がなく、格子以外へのプロービングも可能となるなど優
れた特徴を持つ。しかしながらユニバーサル方式と比較
して検査ポイント毎にプローブの移動を必要とするため
、検査時間がかかるという本質的な欠点がある。よって
、フライングプローブ機の特徴を生かし、欠点を補うた
めには、安定した高速なプローブ駆動が必要である。
【０００４】従来のプロービング駆動装置はプローブ位
置信号を発生するシーケンス制御部と、前記シーケンス
制御部より出力されるプローブ位置信号を入力しＺ軸移
動量指令、Ｙ軸移動量指令、Ｘ軸移動量指令を出力する
位置データ分配部と、前記位置データ分配部より出力さ
れるＺ軸移動指令を入力し、Ｚ軸駆動信号と前記シーケ
ンス制御部に入力されるＺ軸完了信号を出力するＺ軸サ
ーボ部と、前記Ｚ軸駆動信号によりプローブ先端のＺ方
向の位置移動を行うプロービングヘッドと、前記位置デ
ータ分配部より出力されるＹ軸移動指令を入力し、Ｙ軸
駆動信号と前記シーケンス制御部と位置データ分配部と
に入力されるＹ軸完了信号を出力するＹ軸サーボ部と、
前記位置データ分配部より出力されるＸ軸移動指令を入
力し、Ｘ軸駆動信号と前記シーケンス制御部と位置デー
タ分配部へ入力されるＸ軸完了信号を出力するＸ軸サー
ボ部と、前記Ｙ軸駆動信号及び前記Ｘ軸駆動信号を入力
しプローブのＸ軸及びＹ軸方向の位置決めを行うＸＹテ
ーブルとにより構成されている。
置信号を発生するシーケンス制御部と、前記シーケンス
制御部より出力されるプローブ位置信号を入力しＺ軸移
動量指令、Ｙ軸移動量指令、Ｘ軸移動量指令を出力する
位置データ分配部と、前記位置データ分配部より出力さ
れるＺ軸移動指令を入力し、Ｚ軸駆動信号と前記シーケ
ンス制御部に入力されるＺ軸完了信号を出力するＺ軸サ
ーボ部と、前記Ｚ軸駆動信号によりプローブ先端のＺ方
向の位置移動を行うプロービングヘッドと、前記位置デ
ータ分配部より出力されるＹ軸移動指令を入力し、Ｙ軸
駆動信号と前記シーケンス制御部と位置データ分配部と
に入力されるＹ軸完了信号を出力するＹ軸サーボ部と、
前記位置データ分配部より出力されるＸ軸移動指令を入
力し、Ｘ軸駆動信号と前記シーケンス制御部と位置デー
タ分配部へ入力されるＸ軸完了信号を出力するＸ軸サー
ボ部と、前記Ｙ軸駆動信号及び前記Ｘ軸駆動信号を入力
しプローブのＸ軸及びＹ軸方向の位置決めを行うＸＹテ
ーブルとにより構成されている。
【０００５】次に従来のプローブ駆動装置について図面
を参照して詳細に説明する。図２は従来のプローブ機構
の一例を示すブロック図である。
を参照して詳細に説明する。図２は従来のプローブ機構
の一例を示すブロック図である。
【０００６】ここで、プロービングヘッド６の移動が最
初に完了すると、言い替えればＸＹテーブル７の移動が
完了する前に、プロービングヘッド６に装着されている
プローブがプリント配線板に接触しているとプリント配
線板に損傷を与えることになる。これをさけるためにＸ
Ｙテーブルの移動の完了、つまりＸ軸とＹ軸のＹ軸完了
信号ｃとＸ軸駆動信号ｇを位置データ分配部２１で入力
、確認してからＺ軸サーボ３にＺ軸移動量指令ｂを出力
する必要がある。このためＸＹテーブル７とプローブヘ
ッド６の動作がシーケンシャルになり、プローブの移動
、さらには検査に時間がかかることになる。
初に完了すると、言い替えればＸＹテーブル７の移動が
完了する前に、プロービングヘッド６に装着されている
プローブがプリント配線板に接触しているとプリント配
線板に損傷を与えることになる。これをさけるためにＸ
Ｙテーブルの移動の完了、つまりＸ軸とＹ軸のＹ軸完了
信号ｃとＸ軸駆動信号ｇを位置データ分配部２１で入力
、確認してからＺ軸サーボ３にＺ軸移動量指令ｂを出力
する必要がある。このためＸＹテーブル７とプローブヘ
ッド６の動作がシーケンシャルになり、プローブの移動
、さらには検査に時間がかかることになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のプロー
ブ駆動装置はその位置データ分配部がＸ軸、Ｙ軸及びＺ
軸のサーボ制御部に各々の軸に応じた移動量に配分する
だけなので、プリント配線板が損傷するのを防ぐため、
ＸＹテーブルの移動が完了するまでＺ軸の移動を始める
ことができないので、位置決めに時間がかる欠点がある
。
ブ駆動装置はその位置データ分配部がＸ軸、Ｙ軸及びＺ
軸のサーボ制御部に各々の軸に応じた移動量に配分する
だけなので、プリント配線板が損傷するのを防ぐため、
ＸＹテーブルの移動が完了するまでＺ軸の移動を始める
ことができないので、位置決めに時間がかる欠点がある
。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のプローブ駆動装
置は、プローブ位置信号を発生するシーケンス制御部と
、前記シーケンス制御部より出力されるプローブ位置信
号を入力しＺ軸移動量指令、Ｙ軸移動量指令、Ｘ軸移動
量指令を出力する軌道発生部と、前記軌道発生部より出
力されるＺ軸移動量指令を入力し、Ｚ軸駆動信号と前記
シーケンス制御部へ入力されるＺ軸完了信号を出力する
Ｚ軸サーボ部と、前記Ｚ軸駆動信号によりプローブ先端
のＺ方向の位置移動を行うプロービングヘッドと、前記
軌道発生部より出力されるＹ軸移動量指令を入力し、Ｙ
軸駆動信号と前記シーケンス制御部へ入力されるＹ軸完
了信号を出力するＹ軸サーボ部と、前記軌道発生部より
出力されるＸ軸移動量指令を入力し、Ｘ軸駆動信号と前
記シーケンス制御部へ入力されるＸ軸完了信号を出力す
るＸ軸サーボ部と、前記Ｙ軸駆動信号及び前記Ｘ軸駆動
信号を入力しプローブのＸ軸及びＹ軸方向の位置決めを
行うＸＹテーブルとにより構成されていることを特徴と
する。
置は、プローブ位置信号を発生するシーケンス制御部と
、前記シーケンス制御部より出力されるプローブ位置信
号を入力しＺ軸移動量指令、Ｙ軸移動量指令、Ｘ軸移動
量指令を出力する軌道発生部と、前記軌道発生部より出
力されるＺ軸移動量指令を入力し、Ｚ軸駆動信号と前記
シーケンス制御部へ入力されるＺ軸完了信号を出力する
Ｚ軸サーボ部と、前記Ｚ軸駆動信号によりプローブ先端
のＺ方向の位置移動を行うプロービングヘッドと、前記
軌道発生部より出力されるＹ軸移動量指令を入力し、Ｙ
軸駆動信号と前記シーケンス制御部へ入力されるＹ軸完
了信号を出力するＹ軸サーボ部と、前記軌道発生部より
出力されるＸ軸移動量指令を入力し、Ｘ軸駆動信号と前
記シーケンス制御部へ入力されるＸ軸完了信号を出力す
るＸ軸サーボ部と、前記Ｙ軸駆動信号及び前記Ｘ軸駆動
信号を入力しプローブのＸ軸及びＹ軸方向の位置決めを
行うＸＹテーブルとにより構成されていることを特徴と
する。
【０００９】
【実施例】次に、本発明の実施例について、図面を参照
して詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示すブ
ロック図である。
して詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示すブ
ロック図である。
【００１０】シーケンス制御部１では検査ポイントの座
標を発生するとプローブ位置信号ａを出力し軌道発生部
２０へ入力する。軌道発生部２０ではプローブ位置信号
ａと予め記憶していた現在位置よりＸ軸分、Ｙ軸分、Ｚ
軸分の移動量を算出する。このときＺ軸の移動は現在の
プローブ位置より上昇を始め、あらたなプローブ位置で
下降を完了するような加減速を行うように作成される。 Ｘ軸とＹ軸の移動量についてもＸ軸とＹ軸の駆動が同時
に完了させるような速度プロファイルを作成する。Ｘ軸
、Ｙ軸の速度プロファイルにＺ軸速度プロファイルをＸ
軸、Ｙ軸の速度プロファイルと重ねあわせ、つまりＸ軸
、Ｙ軸、Ｚ軸の移動が同時に完了するように速度プロフ
ァイルを作成する。この移動量をＺ軸移動量指令ｂ、Ｙ
軸移動量指令ｃ、Ｚ軸移動量指令ｄとして出力する。 Ｚ軸サーボ部３ではＺ軸移動量指令ｂに比例するＺ軸駆
動信号ｅを出力し、プロービングヘッド部６を駆動する
。Ｚ軸サーボ部３ではＺ軸移動指令ｂに相当する移動が
完了すると、Ｚ軸完了信号ｈを出力する。同様に、Ｙ軸
サーボ部４ではＹ軸移動量指令ｃに比例するＹ軸駆動信
号ｆを出力し、Ｘ軸サーボ部５ではＸ軸移動量指令ｄに
比例するＸ軸駆動信号を出力する。これらのＹ軸駆動信
号ｆとＸ軸駆動信号ｇによりＸＹテーブル７が駆動され
る。このときＺ軸と同様にＹ軸サーボ部４ではＹ軸移動
指令ｃに相当する移動が完了すると、Ｙ軸完了信号ｉを
出力し、Ｘ軸サーボ部５ではＸ軸移動指令ｄに相当する
移動が完了すると、Ｘ軸完了信号ｊを出力する。シーケ
ンス制御部１は各軸の移動完了を確認する次のプローブ
位置信号を送出する。前述のように軌道発生部ではＸ軸
、Ｙ軸、Ｚ軸が同時に移動を完了するように各軸の速度
プロファイルを作成するのでＸ軸、Ｙ軸の移動が完了し
てから改めて、Ｚ軸の移動を始める必要が無い。
標を発生するとプローブ位置信号ａを出力し軌道発生部
２０へ入力する。軌道発生部２０ではプローブ位置信号
ａと予め記憶していた現在位置よりＸ軸分、Ｙ軸分、Ｚ
軸分の移動量を算出する。このときＺ軸の移動は現在の
プローブ位置より上昇を始め、あらたなプローブ位置で
下降を完了するような加減速を行うように作成される。 Ｘ軸とＹ軸の移動量についてもＸ軸とＹ軸の駆動が同時
に完了させるような速度プロファイルを作成する。Ｘ軸
、Ｙ軸の速度プロファイルにＺ軸速度プロファイルをＸ
軸、Ｙ軸の速度プロファイルと重ねあわせ、つまりＸ軸
、Ｙ軸、Ｚ軸の移動が同時に完了するように速度プロフ
ァイルを作成する。この移動量をＺ軸移動量指令ｂ、Ｙ
軸移動量指令ｃ、Ｚ軸移動量指令ｄとして出力する。 Ｚ軸サーボ部３ではＺ軸移動量指令ｂに比例するＺ軸駆
動信号ｅを出力し、プロービングヘッド部６を駆動する
。Ｚ軸サーボ部３ではＺ軸移動指令ｂに相当する移動が
完了すると、Ｚ軸完了信号ｈを出力する。同様に、Ｙ軸
サーボ部４ではＹ軸移動量指令ｃに比例するＹ軸駆動信
号ｆを出力し、Ｘ軸サーボ部５ではＸ軸移動量指令ｄに
比例するＸ軸駆動信号を出力する。これらのＹ軸駆動信
号ｆとＸ軸駆動信号ｇによりＸＹテーブル７が駆動され
る。このときＺ軸と同様にＹ軸サーボ部４ではＹ軸移動
指令ｃに相当する移動が完了すると、Ｙ軸完了信号ｉを
出力し、Ｘ軸サーボ部５ではＸ軸移動指令ｄに相当する
移動が完了すると、Ｘ軸完了信号ｊを出力する。シーケ
ンス制御部１は各軸の移動完了を確認する次のプローブ
位置信号を送出する。前述のように軌道発生部ではＸ軸
、Ｙ軸、Ｚ軸が同時に移動を完了するように各軸の速度
プロファイルを作成するのでＸ軸、Ｙ軸の移動が完了し
てから改めて、Ｚ軸の移動を始める必要が無い。
【００１１】
【発明の効果】本発明のプローブ駆動装置は位置データ
分配部の代わりに軌道発生部を設けることにより、その
Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸を協調動作させ、Ｘ軸及びＹ軸の移
動が完了したあとからＺ軸を駆動させずに、言い替えれ
ば常にＺ軸の駆動時間を浪費することなくＸ軸とＹ軸の
動作が完了したと同時にＺ軸を駆動を完了できるので、
より高速にプローブの位置決めができるという効果があ
る。
分配部の代わりに軌道発生部を設けることにより、その
Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸を協調動作させ、Ｘ軸及びＹ軸の移
動が完了したあとからＺ軸を駆動させずに、言い替えれ
ば常にＺ軸の駆動時間を浪費することなくＸ軸とＹ軸の
動作が完了したと同時にＺ軸を駆動を完了できるので、
より高速にプローブの位置決めができるという効果があ
る。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】従来の一例を示すブロック図である。
１ シーケンス制御部
２０ 軌道発生部
２１ 位置データ分配部
３ Ｚ軸サーボ部
４ Ｙ軸サーボ部
５ Ｘ軸サーボ部
６ プロービングヘッド
７ ＸＹテーブル
Claims (1)
- 【請求項１】 プローブ位置信号を発生するシーケン
ス制御部と、前記シーケンス制御部より出力されるプロ
ーブ位置信号を入力しＺ軸移動量指令、Ｙ軸移動量指令
、Ｘ軸移動量指令を出力する軌道発生部と、前記軌道発
生部より出力されるＺ軸移動量指令を入力し、Ｚ軸駆動
信号と前記シーケンス制御部へ入力されるＺ軸完了信号
を出力するＺ軸サーボ部と、前記Ｚ軸駆動信号によりプ
ローブ先端のＺ方向の位置移動を行うプロービングヘッ
ドと、前記軌道発生部より出力されるＹ軸移動量指令を
入力し、Ｙ軸駆動信号と前記シーケンス制御部へ入力さ
れるＹ軸完了信号を出力するＹ軸サーボ部と、前記軌道
発生部より出力されるＸ軸移動量指令を入力し、Ｘ軸駆
動信号と前記シーケンス制御部へ入力されるＸ軸完了信
号を出力するＸ軸サーボ部と、前記Ｙ軸駆動信号及び前
記Ｘ軸駆動信号を入力しプローブのＸ軸及びＹ軸方向の
位置決めを行うＸＹテーブルとにより構成されているこ
とを特徴とするプローブ駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3013371A JPH04248477A (ja) | 1991-02-04 | 1991-02-04 | プローブ駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3013371A JPH04248477A (ja) | 1991-02-04 | 1991-02-04 | プローブ駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04248477A true JPH04248477A (ja) | 1992-09-03 |
Family
ID=11831232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3013371A Pending JPH04248477A (ja) | 1991-02-04 | 1991-02-04 | プローブ駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04248477A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4848429B2 (ja) * | 2006-02-02 | 2011-12-28 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | サーボ制御された電力を最適化するための装置 |
-
1991
- 1991-02-04 JP JP3013371A patent/JPH04248477A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4848429B2 (ja) * | 2006-02-02 | 2011-12-28 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | サーボ制御された電力を最適化するための装置 |
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